JPH03289617A - 配線接続バンプ - Google Patents

配線接続バンプ

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JPH03289617A
JPH03289617A JP9157990A JP9157990A JPH03289617A JP H03289617 A JPH03289617 A JP H03289617A JP 9157990 A JP9157990 A JP 9157990A JP 9157990 A JP9157990 A JP 9157990A JP H03289617 A JPH03289617 A JP H03289617A
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electrode
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substrate
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Yoichi Ogushi
大串 洋一
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は素子や回路等を形成した基板、あるいはPL
ZT(透明なセラミック)等の表示基板と外部引き出し
配線パターンを形成した基板とを接続する配線接続バン
プ(突起状電極)に係り、更に詳しくは回路素子とバン
プを一体化した新規な配線接続ハンプに関するものであ
る。
[発明の技術的背景およびその課題] この種のバンプは、例えば第5図および第6図に示すP
LZTデイスプレィを例にして説明すると、PLZTプ
レート上に形成した複数の画素1aの電極を外部に引き
出すため、その電極と駆動回路2との接続に用いられて
おり1例えば各画素1aの電極にバンプ3が形成され、
また駆動回路2の基板にはそのバンプ3に接続する配線
パターンが形成されている。これにより、各画素1aが
その駆動回路2で駆動され、つまりON表示、あるいは
OFF表示されるため、そのPLZTプレート1をデイ
スプレィ装置として利用することができる。
しかし、上記各画素1aがスタティック駆動である場合
、PLZTプレート1の全画素1aを駆動するためには
各画素1a毎に電極を駆動回路2に引き出し、例えば全
画素1aの数が10000個である場合、少なくとも1
0000本の配線パターンが必要となる。
そこで、液晶表示装置に見られるように、配線パターン
の本数を極めて少なくすることができるマトリックス駆
動法が考えられる。すなわち、上記バンプ接続法を利用
し、かつ、バンプ3の近傍にアクティブ素子を形成すれ
ばよい。
しかしならが、バンプ形成工程とアクティブ素子形成工
程の2工程を必要とし、工程数増加によるコスト高、品
質管理の困難性等の問題が増えるという問題点がある。
また、バンプ3だけなく、アクティブ素子を形成するた
め、その分面積を必要とし、例えばPLZTプレート1
による表示装置の場合、その画素1aの開口率が低下し
、画質を低下するという欠点がある。
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、その目
的はアクティブ素子とバンプを一体化し、その製造コス
トを低く抑え1品質管理をし易くするとともに、表示画
素の開口率を高くとることができるようにした配線接続
バンプを提供することにある。
[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、この発明は基板に形成した
複数の素子等を駆動するために、それら素子の電極を外
部に引き出す配線パターンを形成した基板を上記基板等
に重ねたとき、その電極と配線パターンとを接続する配
線接続バンプにおいて、上記配線パターンを形成した基
板l:上記素子の電極と対向する位置に回路素子を設け
、この回路素子をバンプとしたことを要旨とする。
また、この発明は表示板としてのPLZTプレートに形
成した複数の画素を駆動するために、それら画素の電極
を外部に引き出す配線パターンを形成した透明基板を上
記PLZTプレートに重ねたとき、その電極と配線パタ
ーンとを接続する配線接続バンプにおいて、上記透明基
板に上記画素の電極と対向する位置にアクティブ素子を
設け、このアクティブ素子をバンプとして上記画素の電
極と配線パターンとを接続し、上記複数の画素をマトリ
ックス駆動可能としたものである。
[作  用] 上記構成としたので、表示板としてのPLZTプレート
を例にして説明すると、そのPLZTプレートに形成し
た画素の電極を外部に引き出すため、その引き出し配線
パターンを形成した透明基板にはその電極と対向する位
置にアクティブ素子を形成し。
そのアクティブ素子をバンプとして利用する。すなわち
、アクティブ素子とバンプとを一体化していることから
、その製造がl工程で済み、その面積が小さくてよい。
また、そのアクティブ素子として、例えばバイリスタや
TFT等の素子を形成することにより、PLZTプレー
トの各画素がアクティブマトリック卵動可能となり、外
部引き出し配線パターンの本数が少なくなる。
[実 施 例] 以ド、この発明の実施例を第1図乃至第4図に基づいて
説明する。なお、図中、第5図および第6図と同一部分
には同一符号を付し重複説明を省略する。
第1図において、PLZTプレート1の電極を外部に引
き出す配線パターンを形成した基板(例えば透明板;ガ
ラス板)5には画素1aと対向する位置にそれぞれ回路
素子(例えばアクティブ素子)6が設けられており、そ
の一方の電極7が配線パターンに接続され、他方の電極
8がバンプに形成されている。
そのアクティブ素子6としては、例えば第2図に示す電
気抵抗が印加電圧によって変化する抵抗素子のバリスタ
を用いる。バリスタにはその動作原理から分類すると、
セラミック粒界障壁を利用したもの、半導体p−n接合
障壁を利用したもの、金属〜半導体接合を利用したもの
等がある。そこで、例えば表示装置としてPLZTプレ
ート1を用いる場合、そのバリスタには例えば酸化亜鉛
(Zn○)のものを用いることができる。すなわち、P
LZTプレート1の駆動電圧を50v以上と考えるなら
ば。
バリスタ電圧vbが8kVから30k Vの範囲で選択
できるセラミックス粒界障壁を利用したもの、つまり酸
化亜鉛バリスタが適しているからである。
また、上記アクティブ素子6としては第3図に示されて
いるT″F T (Thin Fil++ Trasi
stor)やダイオード等を用いることができる。第3
図のTFTの場合、例えば蒸着等により、そのTFTを
ガラス板5に形成することになるが、9がゲート電極で
、10が絶縁膜で、11が半導体薄膜で、12がソース
電極で、13がドレイン電極で、14が絶縁膜である。
ここで、第5WIに示されているPLOTプレートlの
画素1aをアクティブマトリック駆動する場合を例にし
て説明する。
まず、ガラス板5に複数の画素1aの電極と対向して上
記アクティブ素子6のTFTを形成することになるが、
第4図に示されているように、そのガラス板5には、X
、Yの駆動ライン15,16および共通ライン(GND
)17の配線パターンが形成され、またその配線パター
ンとゲート電極9およびソース電極12とをそれぞれ接
続し、かつ、各画素1aの電極とドレイン電極13とを
接続可能とするようにTFTを形成する。そして、その
ガラス板5をPLZTプレート1に取り付ければ、横列
の各画素1aはYlの駆動ライン9とX工、X2.・・
・、Xoの駆動ライン9の信号により駆動することがで
きる。
このように、PLZTプレート1の各画素1aの電極を
アクティブ素子6の電極8をバンプとし、そのバンプを
介して外部に引き出すことができるため、その各画素1
aをアクティブマトリックス駆動することが可能になる
。また、PLZTプレート1の各M素1aをアクティブ
マトリックス駆動することができることから、それら画
素1aの電極を外部に引き出すための配線パターンの本
数が減り、例えばそのPLZTプレート1を将来のHD
TVに適用しようとした場合、スタテック駆動法である
と、18000000本を必要とするものが、2800
本で済ませられることから、画素1aの開口率を大きく
することができ、高精彩化、駆動回路の薄型化が可能と
なり、薄型のパルスデイスプレィ装置の実現が可能にな
る。
さらに、そのアクティブマトリック駆動とするためのア
クティブ素子6と画素1aの電極を外部に引き出すため
のバンプとを一体化したので、工程が1回で済ませられ
、品質管理がし易くなるだけなく、接続の信頼性も向上
し1面積的にも狭くてよく1画素1aの開口率を大きく
設計することが可能となる。
なお、上記実施例では1表示装置として用いるPLZT
プレート1の電極を外部に引き出す場合を例にして説明
したが、基板に形成した素子や回路をバンプを介して外
部に引き出す場合でも、同様の効果を得ることができ、
この場合回路素子のアクティブ素子6を抵抗とし、回路
等のインピーダンス調整にも利用することができる。
[発明の効果] 以上説明したように、この発明によれば、基板等に複数
個配列された素子を駆動するために、それら素子の電極
と外部に引き出す配線とを接続するバンプにおいて、こ
のバンプに上記各素子をマトリックス駆動するためのア
クティブ素子を含めて一体化したので、例えばρLZT
プレートに複数の画素を形成し、かつ、それら電極を外
部に引き出すためのバンプをアクティブ素子にすると、
それら画素をアクティブマトリック駆動することができ
、しかもその駆動ラインの本数を極めて少なくでき、そ
の画素の開口率を大きくすることができる。
また、上記アクティブ素子6とバンプを1工程で形成す
ることができるため、品質管理がし易く、また接続の信
頼性もよく、製造コストを低く抑えることができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例を示す配線接続バンプの概
略的断面図、第2図は上記配線接続バンプとしてのアク
ティブ素子の特性図、第3図はこの発明の変形実施例を
示し、配線接続バンプの概略的断面図、第4図は上記第
3図に示す配線接続バンプを用いたPLZTプレートの
概略的駆動回路図、第5図は従来のバンプの概略的断面
図、第6図はPLZTプレート等の基板の概略的正面図
である。 図中、1はPLZTプレート、1aは画素、5ガラス板
(基板)、6は回路素子(アクティブ素子)、7゜8は
電極(アクティブ素子の)、9は電極(T P Tの)
510は絶縁膜、11は半導体薄膜、 12はソース電
極、13はドレイン電極、14は絶縁膜、15.16は
駆動ライン、17は共通ライン(GND)である。 である。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板に形成した複数の素子等を駆動するために、
    それら素子の電極を外部に引き出す配線パターンを形成
    した基板を前記基板等に重ねたとき、その電極と配線パ
    ターンとを接続する配線接続バンプにおいて、 前記配線パターンを形成した基板に前記素子の電極と対
    向する位置に回路素子を設け、該回路素子をバンプとし
    たことを特徴とする配線接続バンプ。
  2. (2)表示板としてのPLZTプレートに形成した複数
    の画素を駆動するために、それら画素の電極を外部に引
    き出す配線パターンを形成した透明基板を前記PLZT
    プレートに重ねたとき、その電極と配線パターンとを接
    続する配線接続バンプにおいて、前記透明基板に前記画
    素の電極と対向する位置に回路素子を設け、該回路素子
    をバンプとして前記画素の電極と配線パターンとを接続
    し、前記複数の画素をマトリックス駆動可能としたこと
    を特徴とする配線接続バンプ。
  3. (3)前記回路索子はバリスタやTFT等のアクティブ
    素子である請求項(1)または(2)記載の配線接続バ
    ンプ。
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