JPH03290332A - 光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法Info
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- JPH03290332A JPH03290332A JP2091541A JP9154190A JPH03290332A JP H03290332 A JPH03290332 A JP H03290332A JP 2091541 A JP2091541 A JP 2091541A JP 9154190 A JP9154190 A JP 9154190A JP H03290332 A JPH03290332 A JP H03290332A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方
法、特には光ファイバ用石英ガラス母材を製造するため
に有用とされる多孔質プリフォーム母材を大量生産する
ための製造方法に関するものである。
法、特には光ファイバ用石英ガラス母材を製造するため
に有用とされる多孔質プリフォーム母材を大量生産する
ための製造方法に関するものである。
(従来の技術)
光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法につい
てはすでに種々の方法が提案されており、例えば第5図
に示したような外付法によって四塩化けい素などのけい
素化合物を酸水素火炎バーナー21に送り、このバーナ
ーでの火炎加水分解で発生したガラス微粒子を水平に設
置され回転しているコア用ガラス棒22に吹きつけ、バ
ーナー21をコア用ガラス棒22に沿って左右に往復運
動させて、ガラス微粒子をこのコア用ガラス棒22上に
一層つつ堆積させるという方法で行なわれているが、生
産能力の増大にはこの装置台数を増やすことで対応して
きている。
てはすでに種々の方法が提案されており、例えば第5図
に示したような外付法によって四塩化けい素などのけい
素化合物を酸水素火炎バーナー21に送り、このバーナ
ーでの火炎加水分解で発生したガラス微粒子を水平に設
置され回転しているコア用ガラス棒22に吹きつけ、バ
ーナー21をコア用ガラス棒22に沿って左右に往復運
動させて、ガラス微粒子をこのコア用ガラス棒22上に
一層つつ堆積させるという方法で行なわれているが、生
産能力の増大にはこの装置台数を増やすことで対応して
きている。
(発明か解決しようとする課題)
しかし、この公知の方法は1本のコア用ガラス棒にガラ
ス微粒子の吹きつけが行なわれるために1台あたりの生
産性がわるく、したがって大量生産するためにはこの装
置を多数設置することが必要とされるので、これには場
所と操作人員をそれに比例して増加させることが必要に
なるという欠点があり、これにはまたこの製造装置には
排気管も必要でそのための空間が複雑で狭くなるし、ま
た発熱面積が増大するために室温上昇をきたすという問
題があった。
ス微粒子の吹きつけが行なわれるために1台あたりの生
産性がわるく、したがって大量生産するためにはこの装
置を多数設置することが必要とされるので、これには場
所と操作人員をそれに比例して増加させることが必要に
なるという欠点があり、これにはまたこの製造装置には
排気管も必要でそのための空間が複雑で狭くなるし、ま
た発熱面積が増大するために室温上昇をきたすという問
題があった。
(課題を解決するための手段)
本発明はこのような不利を解決することのできる光ファ
イバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法に関するもの
であり、これは反応炉内に光ファイバコア用ガラス棒を
置き、ガラス原料ガスを酸水素火炎バーナーで反応させ
、生成するシリカ微粒子を回転するコア用ガラス棒表面
に吹きつける多孔質プリフォーム母材の製造方法におい
て、1台の移動装置に複数のコア用ガラス棒を設置した
ことを特徴とするものである。
イバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法に関するもの
であり、これは反応炉内に光ファイバコア用ガラス棒を
置き、ガラス原料ガスを酸水素火炎バーナーで反応させ
、生成するシリカ微粒子を回転するコア用ガラス棒表面
に吹きつける多孔質プリフォーム母材の製造方法におい
て、1台の移動装置に複数のコア用ガラス棒を設置した
ことを特徴とするものである。
すなわち、本発明者らは光ファイバ用多孔質プリフォー
ム母材の効率的な大量生産方法について種々検討した結
果、コア用ガラス棒の複数本を反応炉内に並列に、また
は垂直に設置すると共にコア用ガラス棒と直角の位置に
酸水素火炎バーナーを設置し、これらのコア用ガラス棒
を外部からの機械力で各々回転させると共に1台の移動
装置により複数本のコア用ガラス棒を同時に軸方向に往
復運動させながらこれらのコア用ガラス棒に酸水素火炎
バーナーで発生したガラス微粒子を吹きつけてコア用ガ
ラス棒の外周にガラス微粒子を堆積させれば、目的とす
る多孔質プリフォーム母材を1台の装置で多数本同時に
取得することができ、従来の装置類に必要とされる装置
面積が著しく縮小され、また排気口を共通化すればこれ
が複雑となり、空間が狭くなるということもなく、)1
0110℃2などの腐蝕ガスの管理が単純化され、大量
に発生する熱を集中的に断熱処理できるということを見
出して本発明を完成させた。
ム母材の効率的な大量生産方法について種々検討した結
果、コア用ガラス棒の複数本を反応炉内に並列に、また
は垂直に設置すると共にコア用ガラス棒と直角の位置に
酸水素火炎バーナーを設置し、これらのコア用ガラス棒
を外部からの機械力で各々回転させると共に1台の移動
装置により複数本のコア用ガラス棒を同時に軸方向に往
復運動させながらこれらのコア用ガラス棒に酸水素火炎
バーナーで発生したガラス微粒子を吹きつけてコア用ガ
ラス棒の外周にガラス微粒子を堆積させれば、目的とす
る多孔質プリフォーム母材を1台の装置で多数本同時に
取得することができ、従来の装置類に必要とされる装置
面積が著しく縮小され、また排気口を共通化すればこれ
が複雑となり、空間が狭くなるということもなく、)1
0110℃2などの腐蝕ガスの管理が単純化され、大量
に発生する熱を集中的に断熱処理できるということを見
出して本発明を完成させた。
以下にこれをさらに詳述する。
(作用)
本発明による光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製
造は、光ファイバコア用ガラス棒の複数本を1台の移動
装置に設置すると共に、これらの各ガラス棒に対応して
酸水素火炎バーナーを設けること、各コア用ガラス棒を
回転すると共に1台の移動装置により各コア用ガラス棒
を同時に軸方向に往復運動させて酸水素火炎で発生した
ガラス微粒子をコア用ガラス棒に均一に一層づつ堆積さ
せることによって行なわれる。
造は、光ファイバコア用ガラス棒の複数本を1台の移動
装置に設置すると共に、これらの各ガラス棒に対応して
酸水素火炎バーナーを設けること、各コア用ガラス棒を
回転すると共に1台の移動装置により各コア用ガラス棒
を同時に軸方向に往復運動させて酸水素火炎で発生した
ガラス微粒子をコア用ガラス棒に均一に一層づつ堆積さ
せることによって行なわれる。
本発明におけるガラス微粒子の発生は酸水素火炎バーナ
ーに酸素ガスと水素カスを供給して酸水素火炎を発生さ
せ、ここにキャリヤガスとしての酸素ガスと共に四塩化
けい素などのけい素化合物を導入し、このけい素化合物
の火炎加水分解でガラス微粒子を発生させるという公知
の方法で行なえばよい。
ーに酸素ガスと水素カスを供給して酸水素火炎を発生さ
せ、ここにキャリヤガスとしての酸素ガスと共に四塩化
けい素などのけい素化合物を導入し、このけい素化合物
の火炎加水分解でガラス微粒子を発生させるという公知
の方法で行なえばよい。
本発明において使用される光ファイバコア用ガラス棒は
予じめプリフォームの特性を計測し、外周に付着すべき
クラッド厚さおよびその重量が計算されているもので、
外径変動が小さく、欠陥のないものが選ばれる。
予じめプリフォームの特性を計測し、外周に付着すべき
クラッド厚さおよびその重量が計算されているもので、
外径変動が小さく、欠陥のないものが選ばれる。
本発明においては多孔質プリフォーム母材の単位面積当
りの生産性向上ということから1台の移動装置にコア用
ガラス棒が多数本設置されるのであるが、このコア用ガ
ラス棒は第1図、第2図に示したように垂直に、また第
3図、第4図に示したように水平に保持される。
りの生産性向上ということから1台の移動装置にコア用
ガラス棒が多数本設置されるのであるが、このコア用ガ
ラス棒は第1図、第2図に示したように垂直に、また第
3図、第4図に示したように水平に保持される。
また、本発明ではこのコア用ガラス棒に上記した酸水素
火炎バーナーで発生したガラス微粒子が吹きつけられて
ガラス微粒子がコア用ガラス棒上に堆積されるのである
か、多孔質プリフォーム母材の生産性向上のために複数
本のコア用カラス棒に同時にガラス微粒子を堆積させる
ということからこれらのコア用ガラス棒にはこれと直角
の位置にそれぞれ酸水素火炎バーナーが設置される。し
かし、この多孔質プリフォーム母材は全長にわたって均
一な厚さにガラス微粒子を堆積させる必要があるので、
コア用ガラス棒は外部からの機械力によって例えばlO
〜60rpmで回転させると共にバーナーまたはコア用
ガラス棒のいずれか一方を例えは20〜300 m+n
/分の速度で軸方向に往復移動させることが必要であり
、これによればコア用ガラス棒の全長にわたってガラス
微粒子を均一な厚さで一層づつ堆積させることができる
ので、堆積厚さが正確にコントロールされ、全長にわた
って均−にガラス微粒子の堆積された複数本の多孔質プ
リフォーム母材を一度に得ることができる。光ファイバ
用母材では正確な付着厚さが必要であり、このためには
各コア用ガラス棒毎に、スートの重さが計測できる秤量
装置を設置し、目標重量範囲で各々停止することが望ま
しい。また、この、バーナーで堆積すると移動幅が短く
なる利点がある。
火炎バーナーで発生したガラス微粒子が吹きつけられて
ガラス微粒子がコア用ガラス棒上に堆積されるのである
か、多孔質プリフォーム母材の生産性向上のために複数
本のコア用カラス棒に同時にガラス微粒子を堆積させる
ということからこれらのコア用ガラス棒にはこれと直角
の位置にそれぞれ酸水素火炎バーナーが設置される。し
かし、この多孔質プリフォーム母材は全長にわたって均
一な厚さにガラス微粒子を堆積させる必要があるので、
コア用ガラス棒は外部からの機械力によって例えばlO
〜60rpmで回転させると共にバーナーまたはコア用
ガラス棒のいずれか一方を例えは20〜300 m+n
/分の速度で軸方向に往復移動させることが必要であり
、これによればコア用ガラス棒の全長にわたってガラス
微粒子を均一な厚さで一層づつ堆積させることができる
ので、堆積厚さが正確にコントロールされ、全長にわた
って均−にガラス微粒子の堆積された複数本の多孔質プ
リフォーム母材を一度に得ることができる。光ファイバ
用母材では正確な付着厚さが必要であり、このためには
各コア用ガラス棒毎に、スートの重さが計測できる秤量
装置を設置し、目標重量範囲で各々停止することが望ま
しい。また、この、バーナーで堆積すると移動幅が短く
なる利点がある。
なお、この反応に伴なう排気は装置のコンパクト化のた
めにも一つの排気口からまとめて排気することがよく、
したがってこの反応室は例えば第2図(b)、第4図(
b)に示したように中央に排気口を設けた密閉型のもの
とすることがよく、これによればより一層装置のコンパ
クト化を画り、集中断熱処理することができる。
めにも一つの排気口からまとめて排気することがよく、
したがってこの反応室は例えば第2図(b)、第4図(
b)に示したように中央に排気口を設けた密閉型のもの
とすることがよく、これによればより一層装置のコンパ
クト化を画り、集中断熱処理することができる。
つぎに本発明による多孔質プリフォーム母材の製造方法
を添付の図面にもとづいて説明する。
を添付の図面にもとづいて説明する。
第1図は相互に連通している複数の密閉型反応炉1.1
・・・にコア用ガラス棒2,2・・・を垂直に配置した
装置の縦断面図を示したもので、このコア用ガラス棒2
は外部のモーター3で各々回転させられ、昇降装置4に
よって同時に上下方向に往復運動するようにされている
。また、このコア用ガラス棒2にはこれと直角の位置に
酸水素火炎バーナー5が設けられており、この酸水素火
炎バーナー5には四塩化けい素などのけい素化合物が供
給されてここで発生したガラス微粒子がコア用ガラス棒
2に吹きつけられるようになっているが、この反応によ
り発生する排ガスは反応炉1.1・・・の中央に設けら
れた排気口6から外部に排気されるようにされており、
各排気量は調節弁8、全体の排気量は調節弁9により調
節される。
・・・にコア用ガラス棒2,2・・・を垂直に配置した
装置の縦断面図を示したもので、このコア用ガラス棒2
は外部のモーター3で各々回転させられ、昇降装置4に
よって同時に上下方向に往復運動するようにされている
。また、このコア用ガラス棒2にはこれと直角の位置に
酸水素火炎バーナー5が設けられており、この酸水素火
炎バーナー5には四塩化けい素などのけい素化合物が供
給されてここで発生したガラス微粒子がコア用ガラス棒
2に吹きつけられるようになっているが、この反応によ
り発生する排ガスは反応炉1.1・・・の中央に設けら
れた排気口6から外部に排気されるようにされており、
各排気量は調節弁8、全体の排気量は調節弁9により調
節される。
この装置による多孔質プリフォーム母材の製造はコア用
ガラス棒2をモーター3によって回転させると共に昇降
装置4で全体を上下方向に往復運動させ、その外周に酸
水素火炎バーナー5で発生したガラス微粒子を吹きつけ
ると、コア用ガラス棒が自転し、上下方向に往復運動し
ているのでガラス微粒子はコア用ガラス棒2の外周に均
一に一層づつ堆積されて多孔質プリフォーム母材7が形
成さね、この際の排気は排気口6から外部に排気される
ので、これによれば複数本の多孔質プリフォーム母材7
を一度に複数本容易に得ることができる。
ガラス棒2をモーター3によって回転させると共に昇降
装置4で全体を上下方向に往復運動させ、その外周に酸
水素火炎バーナー5で発生したガラス微粒子を吹きつけ
ると、コア用ガラス棒が自転し、上下方向に往復運動し
ているのでガラス微粒子はコア用ガラス棒2の外周に均
一に一層づつ堆積されて多孔質プリフォーム母材7が形
成さね、この際の排気は排気口6から外部に排気される
ので、これによれば複数本の多孔質プリフォーム母材7
を一度に複数本容易に得ることができる。
また、第2図はさらに大型立体化した場合の例であり、
これは1基の大型反応炉を密閉型円筒形のものとして、
ここに複数本のコア用ガラス棒を設置した装置を示した
ものであり、これは各々の反応炉はなく、共同の反応炉
で発熱量の増大に伴ない断熱層17を有した密閉型円筒
形の反応炉11の中央に共同排気口12が設けられてお
り、この排気口12の外周にコア用ガラス棒13が複数
本(図では8本)等間隔で垂直に配置されており、これ
は外部のモーターによって回転され、図示されていない
昇降装置によって上下方向に往復運動するようにさねて
いて、これらのコア用ガラス棒13.13・・・にはこ
れらに直角の位置にそれぞれ酸水素火炎バーナー14.
14・・・とこれを操作するための操作盤15.15・
・・が対設されているが、操作盤は別に集中管理システ
ムとしてまとめることが好ましい この装置を使用して多孔質プリフォーム母材棒を製造す
るためには、上記のように配置されているコア用ガラス
棒を外部モーターで回転させると共に外部の昇降装置を
使用してこれを上下方向に往復運動させておき、酸水素
火炎バーナーにけい素化合物を供給してその火炎加水分
解でガラス微粒子を発生させてこのガラス微粒子を運動
しているコア用ガラス棒に吹きつけるようにすればよく
、このようにするとコア用ガラス棒か回転し、上下方向
に往復運動しているのでガラス微粒子はコア用ガラス棒
の外周に均一に一層づつ堆積されて多孔質プリフォーム
母材16として形成されるが、この際第2図(b)のよ
うに反応炉を断熱化し、中央部に排気口12を集中化し
、熱管理、HCl。
これは1基の大型反応炉を密閉型円筒形のものとして、
ここに複数本のコア用ガラス棒を設置した装置を示した
ものであり、これは各々の反応炉はなく、共同の反応炉
で発熱量の増大に伴ない断熱層17を有した密閉型円筒
形の反応炉11の中央に共同排気口12が設けられてお
り、この排気口12の外周にコア用ガラス棒13が複数
本(図では8本)等間隔で垂直に配置されており、これ
は外部のモーターによって回転され、図示されていない
昇降装置によって上下方向に往復運動するようにさねて
いて、これらのコア用ガラス棒13.13・・・にはこ
れらに直角の位置にそれぞれ酸水素火炎バーナー14.
14・・・とこれを操作するための操作盤15.15・
・・が対設されているが、操作盤は別に集中管理システ
ムとしてまとめることが好ましい この装置を使用して多孔質プリフォーム母材棒を製造す
るためには、上記のように配置されているコア用ガラス
棒を外部モーターで回転させると共に外部の昇降装置を
使用してこれを上下方向に往復運動させておき、酸水素
火炎バーナーにけい素化合物を供給してその火炎加水分
解でガラス微粒子を発生させてこのガラス微粒子を運動
しているコア用ガラス棒に吹きつけるようにすればよく
、このようにするとコア用ガラス棒か回転し、上下方向
に往復運動しているのでガラス微粒子はコア用ガラス棒
の外周に均一に一層づつ堆積されて多孔質プリフォーム
母材16として形成されるが、この際第2図(b)のよ
うに反応炉を断熱化し、中央部に排気口12を集中化し
、熱管理、HCl。
C,122などの腐蝕ガスの管理を容易にすると、排気
ガスは排気口12から排気されるので、これによれば多
孔質プリフォーム母材が一度に複数本得られるという有
利性が与えられる。
ガスは排気口12から排気されるので、これによれば多
孔質プリフォーム母材が一度に複数本得られるという有
利性が与えられる。
また、コア用ガラス棒を横型にする例としては第3図、
第4図が例示される。第3図はこれを2台上下に重ねた
もので、反応容器を独立にもち、バーナーを固定し、2
本のコア用ガラス棒を同時に往復移動させるものであり
、第3図(b)はこの側面を示したものである。第4図
はこれをさらに多段としたもので、形式は第3図のもの
と同じである。各ロンド毎にセパレーターをつけ、上下
の炎の干渉、上位からの異物の落下を防ぐと共に一種の
流通反応を形成するので気流が整い、さらに各層での反
応条件を変えることができる。なお、第4図(b)はこ
の側面図で集中排気を示している。
第4図が例示される。第3図はこれを2台上下に重ねた
もので、反応容器を独立にもち、バーナーを固定し、2
本のコア用ガラス棒を同時に往復移動させるものであり
、第3図(b)はこの側面を示したものである。第4図
はこれをさらに多段としたもので、形式は第3図のもの
と同じである。各ロンド毎にセパレーターをつけ、上下
の炎の干渉、上位からの異物の落下を防ぐと共に一種の
流通反応を形成するので気流が整い、さらに各層での反
応条件を変えることができる。なお、第4図(b)はこ
の側面図で集中排気を示している。
(実施例)
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例
外径17.1mm、長さ600mmのシングルモード光
ファイバコア用合成石英ガラス棒4本の両端にダミー用
石英棒を溶接し、これを第1図に示した直径180+n
mφの密閉型反応炉にジヨイントを介して垂直に設置し
、これを外部のモーターで30rpmで自転させると共
に外部の昇降装置を使用して上下方向に100mm/分
の速度で上下幅600mmの距離に往復運動させた。
ファイバコア用合成石英ガラス棒4本の両端にダミー用
石英棒を溶接し、これを第1図に示した直径180+n
mφの密閉型反応炉にジヨイントを介して垂直に設置し
、これを外部のモーターで30rpmで自転させると共
に外部の昇降装置を使用して上下方向に100mm/分
の速度で上下幅600mmの距離に往復運動させた。
ついで、この石英ガラス棒に配置した酸水素火炎バーナ
ーに最終的には水素ガス53λ/分、酸素ガス26L/
分、四塩化けい素31/分を供給し、この四塩化けい素
の火炎加水分解で発生したガラス微粒子を石英ガラス棒
の表面に吹きつけ、その外周に一層づつガラス微粒子を
堆積させ、19.8時間運転したところ、外径的100
mmの多孔質プリフォーム母材が4本製造された。
ーに最終的には水素ガス53λ/分、酸素ガス26L/
分、四塩化けい素31/分を供給し、この四塩化けい素
の火炎加水分解で発生したガラス微粒子を石英ガラス棒
の表面に吹きつけ、その外周に一層づつガラス微粒子を
堆積させ、19.8時間運転したところ、外径的100
mmの多孔質プリフォーム母材が4本製造された。
つぎにこの多孔質プリフォーム母材を電気炉内において
He、 CJZ 2ガス雰囲気下に1.520℃で焼結
し、透明ガラス化しガラス旋盤で加工してシングルモー
ド用光ファイバプリフォームとした。これを各々1,9
50℃で線引きして外径125μmの光ファイバを作り
、各々のファイバ特性をしらべたところ、 第1表に示したとおりの結果が得られた。
He、 CJZ 2ガス雰囲気下に1.520℃で焼結
し、透明ガラス化しガラス旋盤で加工してシングルモー
ド用光ファイバプリフォームとした。これを各々1,9
50℃で線引きして外径125μmの光ファイバを作り
、各々のファイバ特性をしらべたところ、 第1表に示したとおりの結果が得られた。
第 1 表
(発明の効果)
本発明は光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方
法に関するもので、これは前記したように反応炉内にコ
ア用ガラス棒を複数本設置すると共に各コア用ガラス棒
と直角の位冒に酸水素火炎バーナーを設置し、該コア用
ガラス棒を回転させると共に軸方向に往復運動させなが
ら個々の酸水素火炎バーナーからガラス微粒子を各コア
用ガラス棒に吹ぎつけ、コア用ガラス棒の外周にシリカ
微粒子を堆積させて多孔質プリフォーム母材棒を形成さ
せるものであるが、これによればガラス微粒子を堆積さ
せるコア用ガラス棒か一つの移動装置または反応炉内に
複数本設置されており、これに複数個の酸水素火炎バー
ナーから一斉にガラス微粒子が吹きつけられるので複数
本の多孔質プリフォーム母材を一回の工程で一度で得る
ことができるので多量生産の目的が達成されるし、この
コア用ガラス棒が反応炉内に配置されているし、複数本
のコア用ガラス棒に対するガラス微粒子の堆積が一度に
行なわれるので場所と人手を特に増加させる必要がなく
、さらにはコア用ガラス棒が垂直に保持されている場合
は得られる多孔質プリフォーム母材にたわみが発生する
ことがなく、偏心のない多孔質プリフォーム母材が得ら
れるという有利性が与えられる。
法に関するもので、これは前記したように反応炉内にコ
ア用ガラス棒を複数本設置すると共に各コア用ガラス棒
と直角の位冒に酸水素火炎バーナーを設置し、該コア用
ガラス棒を回転させると共に軸方向に往復運動させなが
ら個々の酸水素火炎バーナーからガラス微粒子を各コア
用ガラス棒に吹ぎつけ、コア用ガラス棒の外周にシリカ
微粒子を堆積させて多孔質プリフォーム母材棒を形成さ
せるものであるが、これによればガラス微粒子を堆積さ
せるコア用ガラス棒か一つの移動装置または反応炉内に
複数本設置されており、これに複数個の酸水素火炎バー
ナーから一斉にガラス微粒子が吹きつけられるので複数
本の多孔質プリフォーム母材を一回の工程で一度で得る
ことができるので多量生産の目的が達成されるし、この
コア用ガラス棒が反応炉内に配置されているし、複数本
のコア用ガラス棒に対するガラス微粒子の堆積が一度に
行なわれるので場所と人手を特に増加させる必要がなく
、さらにはコア用ガラス棒が垂直に保持されている場合
は得られる多孔質プリフォーム母材にたわみが発生する
ことがなく、偏心のない多孔質プリフォーム母材が得ら
れるという有利性が与えられる。
第1図〜第4図は本発明による光ファイバ用多孔質プリ
フォーム製造装置を示したもので、第1図はその一実施
例の縦断面図、第2図(a)は他の実施例の縦断面図、
第2図(b)はその横断面図、343図(a)はさらに
他の実施例の縦断面図、第3図(b)はその側面図、第
4図(a)は他の実施例の縦断面図、第4図(b)はそ
の側面図、第5図は従来公知の方法による光ファイバ用
多孔買プリフォーム製造方法の縦断面図を示したもので
ある。 1.11・・・密閉型反応炉 2.13.22・・・コア用ガラス棒 3・・・モーター 4・・・昇降装置 5.14.21・・・酸水素火炎バーナー6.12・・
・排気口 ア、16・・・多孔質プリフォーム母材8.9・・・排
気調節弁 15・・・酸水素火炎バーナー操作盤 17・・・断熱層
フォーム製造装置を示したもので、第1図はその一実施
例の縦断面図、第2図(a)は他の実施例の縦断面図、
第2図(b)はその横断面図、343図(a)はさらに
他の実施例の縦断面図、第3図(b)はその側面図、第
4図(a)は他の実施例の縦断面図、第4図(b)はそ
の側面図、第5図は従来公知の方法による光ファイバ用
多孔買プリフォーム製造方法の縦断面図を示したもので
ある。 1.11・・・密閉型反応炉 2.13.22・・・コア用ガラス棒 3・・・モーター 4・・・昇降装置 5.14.21・・・酸水素火炎バーナー6.12・・
・排気口 ア、16・・・多孔質プリフォーム母材8.9・・・排
気調節弁 15・・・酸水素火炎バーナー操作盤 17・・・断熱層
Claims (1)
- 1、反応炉内に光ファイバコア用ガラス棒を置き、ガラ
ス原料ガスを酸水素火炎バーナーで反応させ、生成する
シリカ微粒子を回転するコア用ガラス棒表面に吹きつけ
る多孔質プリフォーム母材の製造方法において、一台の
移動装置に複数のコア用ガラス棒を設置したことを特徴
とする光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2091541A JP2866436B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2091541A JP2866436B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03290332A true JPH03290332A (ja) | 1991-12-20 |
| JP2866436B2 JP2866436B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=14029335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2091541A Expired - Fee Related JP2866436B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | 光ファイバ用多孔質プリフォーム母材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2866436B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106587591A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-04-26 | 江苏南方光纤科技有限公司 | 一种基于vad工艺的多预制棒制备系统及其制备方法 |
| CN113912282A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-11 | 富通集团(嘉善)通信技术有限公司 | 芯棒的加工方法、预制棒以及光纤 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5312608A (en) * | 1976-07-21 | 1978-02-04 | Nec Corp | Production of magnetic head |
| JPS5792537A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production unit for parent material of optical fiber |
| JPH01147230U (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-11 |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP2091541A patent/JP2866436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5312608A (en) * | 1976-07-21 | 1978-02-04 | Nec Corp | Production of magnetic head |
| JPS5792537A (en) * | 1980-11-29 | 1982-06-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Production unit for parent material of optical fiber |
| JPH01147230U (ja) * | 1988-03-28 | 1989-10-11 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106587591A (zh) * | 2016-11-21 | 2017-04-26 | 江苏南方光纤科技有限公司 | 一种基于vad工艺的多预制棒制备系统及其制备方法 |
| CN113912282A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-01-11 | 富通集团(嘉善)通信技术有限公司 | 芯棒的加工方法、预制棒以及光纤 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2866436B2 (ja) | 1999-03-08 |
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|---|---|---|---|
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