JPH03290366A - 炭化ケイ素焼結体の調製方法 - Google Patents

炭化ケイ素焼結体の調製方法

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JPH03290366A
JPH03290366A JP2407637A JP40763790A JPH03290366A JP H03290366 A JPH03290366 A JP H03290366A JP 2407637 A JP2407637 A JP 2407637A JP 40763790 A JP40763790 A JP 40763790A JP H03290366 A JPH03290366 A JP H03290366A
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JP
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borosiloxane
mixture
silicon carbide
preceramic
char
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JP2407637A
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Gary T Burns
ゲイリー トマス バーンズ
Gregg Alan Zank
グレッグ アラン ザンク
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Dow Corning Corp
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    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/56Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
    • C04B35/565Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
    • C04B35/571Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[0001] 本発明は、プレセラミックボロシロキサンと、炭化ケイ
素粉末と、当該ボロシロキサンのための硬化剤とを含み
、そして任意的に、当該ボロシロキサンのための架橋剤
及び/又は焼結を促進するための追加の成分を含んでな
る混合物の熱分解によって、高緻密化されたセラミック
体を調製することに関する。このような−高緻密化セラ
ミック体は、加圧下での焼結により又は無圧法(pre
ssureless process)を利用して調製
することができる。 [0002] 本発明はまた、プレセラミックボロシロキサンと、炭化
ケイ素粉末と、当該ボロシロキサンのための硬化剤とを
含み、そして任意的に、当該ボロシロキサンのための架
橋剤及び/又は焼結を促進するための追加の成分を含ん
でなる新規な混合物にも関する。 [0003] 本発明の製品及び方法には、従来技術の方法を上回るい
くつかの明らかな利点がある。第一に、未焼結体(gr
een body)の強度が高く、従って焼結前の手で
の取扱い及び機械加工が容易になる。第二に、ボロシロ
キサンを使用すると、追加の焼結助剤(例えばホウ素も
しくはアルミニウム)及び/又は炭素源をプレセラミッ
ク混合物に含ませる必要がなくなる。これは、それらが
百方ともボロシロキサンの高分子構造へ取り入れること
ができるためである。最後に、プレセラミック混合物は
、プレス及び焼結又はトランスファー/射出成形及び焼
結の適用のような種々の成形技術に適応するように色々
に変えることができる。 [0004] 本出願は、プレセラミックボロシロキサンと、炭化ケイ
素粉末と、当該ボロシロキサンのための硬化剤とを含み
、そして任意的に、当該ボロシロキサンのための架橋剤
及び/又は焼結を促進するための追加成分を含んでなる
混合物を焼結することによって、高密度、高強度のセラ
ミック製品を思いもよらぬことに得ることができる、と
いうことを初めて開示する。 [0005] 本発明は、手で取扱うことの可能な未焼結体を調製する
方法に関する。この方法は、炭化ケイ素粉末と、プレセ
ラミックボロシロキサンと、このボロシロキサンのため
の硬化剤と、そして任意的に、当該ボロシロキサンのた
めの架橋剤及び/又は焼結を促進するための追加成分と
を混ぜ合わせることを含む。この混合物中に存在する硬
化剤の量は、ボロシロキサンを硬化させるのに有効な量
である。 またこの混合物中に存在するプレセラミックボロシロキ
サンの量は、(a)ホウ素の量が炭化ケイ素粉末と当該
プレセラミックボロシロキサンから得られるチャーとの
合計重量を基準として0.08〜3重量%であり、そし
て(b)当該混合物の遊離炭素値が炭化ケイ素粉末と当
該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャーと
の合計重量を基準として0.1重量%より多いような量
である。架橋剤が存在する場合、その量は、ボロシロキ
サンを架橋させるのに有効な量である。焼結を促進する
ための追加の成分も、有効な量で混合物に加えることが
できる。混合物は次いで、上述の手で取扱うことの可能
な未焼結体を得るために、約500℃未満の温度で加圧
下に所望の形に成形される。 [0006] 本発明はまた、炭化ケイ素の焼結体を調製する方法に関
する。この方法は、上で成形された手で取扱い可能な未
焼結体を1900℃より高い温度において不活性雰[0
007] 本発明は更に、炭化ケイ素粉末と、プレセラミックボロ
シロキサンと、このボロシロキサンのための硬化剤とを
含み、そして任意的に、当該ボロシロキサンのための架
橋剤及び/又は焼結を促進するための追加成分を含んで
なる均一混合物に関する。この混合物中に存在する硬化
剤の量は、ボロシロキサンを硬化させるのに有効な量で
ある。この混合物中に存在するプレセラミックボロシロ
キサンの量は、(a)ホウ素の量が炭化ケイ素粉末と当
該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャーと
の合計重量を基準として0.08〜3重量%であり、そ
して(b)当該混合物の遊離炭素値が炭化ケイ素粉末と
当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャー
との合計重量を基準として0.1重量%より多いような
量である。架橋剤が存在する場合、その量は、ボロシロ
キサンを架橋させるのに有効な量である。焼結を促進す
るための追加の成分も、有効な量で混合物に加えること
ができる。 [0008] 本発明は、プレセラミックボロシロキサン重合体と、炭
化ケイ素粉末と、当該ボロシロキサンのための硬化剤と
から、そして任意的に当該ボロシロキサンのなめの架橋
剤及び/又は焼結を促進するための追加成分から、高緻
密化された焼結体を調製することに関する。本発明を実
施して製造された焼結体は、炭化ケイ素の理論密度(3
,21g/cm )の約75%に相当する約2.4 g
 7cm3よりも高い密度を有する。このような高緻密
化された焼結体は軽量耐火セラミックスとして有用であ
る。 [0009] 本発明の新規組成物はまた、手で取扱いの可能な未焼結
体を調製するために使用することができる。「手で取扱
いの可能な未焼結体」とは、焼結を行う以前に手で取扱
いあるいは所望の形状に機械加工するのに十分な生強度
を有する未焼結体を意味する。一般に、本発明を実施し
て500psi (35,2kg/cm2)以上の生強
度が得られよう。 [00103 未焼結体は、当該技術分野で公知の通常の技術により成
形することができる。 そのような方法には、加圧成形、−軸プレス成形、等方
プレス成形、抽出し成形トランスファー成形、射出成形
その地回様のものが含められる。本発明は、プレセラミ
ック混合物の組成を焼結製品の品質に影響を及ぼさずに
多数の成形技術を利用するために適応するように容易に
変更することができるので、この点で特に有利である。 [0011] プレセラミック混合物はボロシロキサンを含むため、上
記の技術により成形された未焼結体は一般に、手で取扱
い又は機械加工、フライス削り等の如き方法で更に成形
するのに十分強い。これは、脆い対象物を手で扱うこと
につきまとう問題を軽減するばかりでなく、製品設計の
融通性のゆえにより複雑な成形物を作り出すのを可能に
する。 [0012] 成形された未焼結体は次いで、それらを理論密度の約7
5%より高い密度を有するセラミックス物品に変えるた
め不活性雰囲気下に高温で焼結される。セラミック物品
の密度は理論値の約85%(2,7g 7cm3)より
高い方が好ましい。この密度は約2.9 g 7cm3
(理論値の90%)より高い方がより好ましく、また密
度は約3.05g/Cm3(理論値の95%)より高い
のが最も好ましい。 [0013] 熱分解すると、本発明のボロシロキサンは炭化ケイ素(
SiC)と遊離炭素の両方を生じる。このファクターは
、結合剤が完全に遊離炭素に熱分解するProckaz
kaの米国特許第4004934号明細書のような従来
技術と比べた場合特に、混合物を焼結すると起こる収縮
の量を減少させるのに役立つ。起こる収縮が少ないので
、焼結対象物を公差の管理を高めて成形することができ
る。 [0014] 本発明の組成物は、加圧下であるいは無圧法を使って焼
結させて高緻密化セラミックス物品を製造することがで
きる。圧力を使用する焼結法はより高密度のセラミック
ス物品を一般に製造するので、最大限の密度が要望され
る場合にはこのような方法が好ましかろう。しかしなが
ら一般には、必要とする操作が簡素化されるため無圧焼
結法が好ましい。 [0015] 焼結のためには、酸素の混入とシリカの生成を防ぐため
不活性雰囲気を使用する。それにより、焼結処理も焼結
された製品の密度も向上する。本発明の目的上は、不活
性雰囲気とは不活性ガス、真空又はこれらの両方を包含
することを意味する。不活性ガスを使用する場合、それ
は例えばアルゴン、ヘリウム又は窒素でよい。真空を使
用する場合、それは例えば0.1〜200torrの範
囲でよく、好ましくは0.1〜0.3 torrである
。連合法の典型例は、組成物を1150℃までの温度で
はアルゴン中で焼成し、1150℃から1575℃に至
るまで真空中で焼成し、そして1575℃から2070
℃に至るまでアルゴン下で焼成することであろう。 [0016] 不活性雰囲気の上記の利点に加えて、焼結中に窒素を用
いるとβ−3iC粒子のα−3iC粒子への転化を減少
させることができる。この転化の抑制は、大きなα−3
iC粒子は終局の緻密化を妨げて、かくしてセラミック
ス製品中における傷の部位となることがあるため、セラ
ミックスの生成では特に有利と考えられる。とは言うも
のの、窒素を使用すると焼結速度が低下するので、焼成
温度を上昇させることが往々にして必要である。 [0017] 焼結は、炉の雰囲気を管理するための手段を備えたいず
れの通常の高温炉で行ってもよい。一般には約1900
℃又はこれより高い温度が使用され、好ましい温度範囲
はおよそ1950〜2200℃である。一番好ましい焼
結温度は約2070℃である。より低い温度を使用する
ことができるとは言っても、セラミックス製品は所望の
密度にはならないかもしれない。 [0018] 焼結のための温度スケジュールは、焼成すべき成形品の
容積と混合物の組成の両方に依存する。より小さな対象
物の場合には、温度は比較的速く上昇させることができ
る。けれども、より大きな対象物又はボロシロキサン濃
度の高い対象物の場合には、均一なセラミックス体を作
り出すのにより長いプログラムが必要とされる。 [0019] 本発明において有用なボロシロキサン類は、当該技術分
野で一般によく知られている。選択されたものは、有意
のセラミックチャー収率で、一般には約20重量%以上
の収率で、セラミック材料に転化させることが可能でな
くてはならない。 しかしながら、チャー収率は焼成中のセラミックスの収
縮に逆に関係するので、より高い収率、例えば約30重
量%より高い収率のものが好ましい。 [0020] 本発明で利用されるボロシロキサン類はまた、一般には
、遊離炭素を含有するセラミックチャーを生成する。セ
ラミックチャーが少なくとも10重量%の遊離炭素を含
有するボロシロキサン類が好ましく、少なくとも30重
貴顕の遊離炭素を含有するものがより好ましい。 [0021] ボロシロキサンが上で説明したように十分なチャー収率
と遊離炭素を有するセラミックチャーに変わることがで
きる限りは、その構造は重要ではない。ボロシロキサン
は、一般式[R35iOo、5] 、  [R25iO
] 、  [R5101,5] 、  [BO1,5]
、[RBO]、[R2BOo、5]  及び[5102
]の単位を含有することができ、これらの式において、
各Rは水素、炭素原子数1〜20個のアルキル基例えば
メチル基、エチル基、プロピル基等、フェニル基及びビ
ニル基からなる群より独立に選択される。一般には、フ
ェニル基を含有しているボロシロキサン類が好ましいが
、これはそのような基が十分な遊離炭素を有するセラミ
ックチャーの生成を容易に可能にするからである。ケイ
素と結合したビニル基は焼結前にボロシロキサンを硬化
させることができる機構を与えるので、ビニル基を含有
しているボロシロキサンも好ましい。Rがほとんどもっ
ばらメチル基であるボロシロキサン類は、結果として得
られるセラミックチャーの遊離炭素が不十分であるため
、本発明Ph5iO0,5]、[Me2SiviOo、
5]、[BOl、5]  及び[PhzSxO]単位を
含有するが、例えば[ViSiol、5 ] 、  [
PhMeSiO]、  [MeH3iO]、  [Me
ViSiO] 。 [Ph2SiO] 、  [MezSiO] 、  [
Me3Sio、5]  等の如き他の単位も有用である
。ここでは、ボロシロキサン類の混合物を使用してもよ
い。 [0022] このようなボロシロキサン類をSiC粉末のための結合
剤として用いることは、この重合体の置換基を変えてチ
ャーの遊離炭素及びホウ素の量を所望のものにすること
ができるので、従来技術の結合剤以上に特別に有利であ
る。このように、この重合体は、利用される成形法に適
しており且つなおチャーの遊離炭素が適切であるプレセ
ラミック混合物中の重合体/SiC比を得るように適合
させることができる。例えば、100%遊離炭素からな
るチャーを結果として与えるProckazka (米
国特許第4004934号明細書)の高分子炭素源を用
いたならば、所定の成形技術のためにプレセラミック混
合物の重合体/SiC比を上昇させると炭素が大過剰に
なり、こうしてセラミック体の終局の緻密化を妨げよう
。 [0023] 本発明のボロシロキサン類は、当該技術分野においてよ
く知られた技術により調製することができる。とは言う
ものの、好ましい方法は、ホウ酸エステルか又はホウ酸
をトリフルオロメチルスルホン酸又はトリフルオロ酢酸
、水及び熱の存在下でケイ素アルコキシド又はシロキサ
ンと共重合させることを含む。典型的な方法では、ホウ
酸エステル/ホウ酸をケイ素アルコキシド/シロキサン
、蒸留水及び酸の攪拌混合物に加える。反応混合物は約
2〜18時間還流させる。次いで、それにより生成され
たメタノール及び水を除去し、そして樹脂を冷却する。 次にトルエンを加え、そしてこの溶液を透明になるまで
再び還流させる(水を除去しながら)。樹脂を再び冷却
し、Me2ViSiC1(末端ブロッカ−)を加える。 溶液を約0.5〜48時間攪拌し、次いで真空中で濃縮
して重合体が得られる。発明者らは、ビニル基が存在し
ている場合には、上記の反応でトリフルオロ酢酸を使用
することが、それによりそれらが容易に保持されるため
好ましい、ということを見いだした。 [0024] このような方法もそのほかの方法も、ヤジマらの米国特
許第4152509号及び同第4248814号各明細
書、並びにNo1l、口Chemistry and 
Technology of 5ilicones口第
5章(翻訳第2版) Academic Press(
1968)に記載されている。適当なボロシロキサンを
調製するための具体的方法は、本明細書中の例において
も例示される。 [0025] プレセラミックボロシロキサンは、(a)ホウ素の量が
炭化ケイ素粉末と当該プレセラミックボロシロキサンか
ら得られるチャーとの合計重量を基準として0゜08〜
3重量%であり、そして(b)当該混合物の遊離炭素値
がやはり同じ基準で0.1重量%より多いような量で、
本発明の組成物中に存在する。 [0026] 本発明において「混合物の遊離炭素値」の意味するのは
、炭化ケイ素粉末とボロシロキサンから得られるチャー
との合計重量を基準とする重量百分率として表した、熱
分解中にボロシロキサンから得られる遊離又は過剰の炭
素の量である。 セラミックチャー中の炭素の総量は、遊離又は過剰炭素
の量と炭化ケイ素の形をした炭素の量とを合わせたもの
に等しい。 [0027] ボロシロキサンから得られるホウ素及び遊離炭素の量は
、炭化ケイ素粉末を少しも存在させずに、ボロシロキサ
ン、硬化剤及び、もし存在するならば架橋剤を、安定な
セラミックチャーが得られるまで不活性雰囲気下に高温
で熱分解させて測定される。本発明の目的上、「安定な
セラミックチャー」は、その温度に更に暴露することに
よって重量を有意に減少させない高温において製造され
たセラミックチャーと定義される。標準的に、安定なセ
ラミックチャーはアルゴン下に1800℃で約30分間
の熱分解により製造される。他の高温を使って安定なセ
ラミックチャーを作ることができるけれども、1800
℃より低い温度の場合には高温への暴露時間を増加させ
る必要がある。 [0028] 次に、セラミックスの収率と安定なセラミックチャーの
ホウ素、ケイ素及び炭素含有量の両方を測定する。混合
物の法則を利用すれば、安定なセラミックチャーのSi
C及び遊離炭素の量を計算することができる。こうして
計算された遊離炭素の量及びホウ素の量は、標準的に、
プレセラミックボロシロキサン1g当りに生成された量
として表現される。ボロシロキサンの熱分解により生成
されたホウ素及び遊離炭素の量が分れば、所望の量のホ
ウ素及び所望の遊離炭素値を有するボロシロキサン/炭
化ケイ素混合物を得るためにどれだけのボロシロキサン
が必要であるかを決定することができる。当然、焼結体
を調製するのに同じ又は非常に類似のボロシロキサンを
使用するのであれば、ボロシロキサン1g当りに生成さ
れるホウ素及び遊離炭素の量を毎回測定する必要はない
。 [0029] この手順は、実例によっであるいは最もよく説明するこ
とができる。1800℃での熱分解によって、炭素40
重量%、ケイ素55重量%及びホウ素5重量%を含有す
るチャーを50重量%の収率で与えるボロシロキサン(
100g )を想定する。このようなチャーは、27.
5g (0,98モル)のケイ素及び2.5gのホウ素
を含有する。混合物の法則を使用すれば、このチャーは
また0、98モル(11,8g)の炭素をSiCの形で
含有する。このチャーは20gの炭素を含有しているの
で、チャーの遊離炭素量は8.2 g (20g−11
,8g)である。このように、1gのプレセラミックボ
ロシロキサンは0.082 gの遊離炭素と0.025
 gのホウ素とをもたらす。 [0030] プレセラミック混合物が100gのSiCを含有してい
る場合、次に掲げる二つの式を使って所定の遊離炭素値
(FCV)又はホウ素濃度(B)について加えられるべ
きボロシロキサンの量(×)を計算する。 [0031]
【数1】 [0032] 上式中の分子は、Xグラムのボロシロキサンにより生成
される遊離炭素又はホウ素の総量を表す。上式中の分母
は、炭化ケイ素(100g )と×グラムのボロシロキ
サンから得られるチャーとを合わせた量を表す。 [0033] この重合体はチャーの遊離炭素値及びホウ素含有量の両
方を与えるので、両方の式を満足する量の重合体を選ば
なくてはならない。所定の重合体にあって両方の式を満
足することができない場合には、構造を変えてチャー組
成を変更することができ、あるいはプレセラミック混合
物に追加の遊離炭素及び/又は焼結助剤を加えることが
できる。 [0034] この手順を使えば、本発明の組成物を調製するのに必要
とされるボロシロキサンの量を決めることができる。こ
の手順は、さもなければ必要とされるかもしれない、費
用がかかり且つ時間のかかる試行錯誤法を回避する。 [0035] 加えられるべきボロシロキサンの量を決定するというこ
の見たところ複雑な方法は、次の1)〜5)の段階に要
約することができる。 1)既知量のボロシロキサンを熱分解して安定なチャー
にする。 2)チャーを秤量し、その結果を出発化合物の重量パー
セントすなわちボロシロキサンの「チャー収率」として
表す。 [0036] 3)結果として得られたチャーを元素成分について分析
する。 4)混合物の法則を使い、存在している全部の炭素量か
らケイ素と結合した炭素の量を差引いてチャー中の「遊
離炭素」の量を計算する。その結果得られた値を1gの
出発物質当りに生成された遊離炭素として表現する。1
gの出発物質当りに生成されたホウ素の量も計算する。 [0037] 5)所定の遊離炭素値又はホウ素濃度のために加えられ
るべきボロシロキサン(B)の量を、次に掲げる式を使
って計算する。 [0038]
【数2】 [0039] 上式中、PCBはポロシロキサ21g当りに生成された
遊離炭素のグラム数でありBはボロシロキサンのグラム
数であり、ABBはポロシロキサ21g当りに生成され
たホウ素の量であり、そしてCYBはボロシロキサンの
チャー収率である。 [0040] 混合物の遊離炭素値は、炭化ケイ素粉末とボロシロキサ
ンから得られるチャー約0.1重量%より少ない場合に
は、焼結体の密度は一般に約2.4 g 7cm3(理
論値の75%)未満に低下する。混合物の遊離炭素値が
0.5%より大きく、結果として得られる焼結体の密度
が理論値の約85%より高いことが、一般に好ましい。 混合物の遊離炭素値は0.5〜3.0重量%であるのが
より好ましく、1.0〜2.0重量%の範囲であるのが
より一層好ましい。最適な密度は一般に、混合物の遊離
炭素値が約1.5重量%である場合に得られる。 [0041] 所望量の遊離炭素を重合体に組み入れることができない
場合には、追加の炭素源を加えてもよい。この組み入れ
のために用いられる手順は、1989年12月28日に
出願された、Gary Thomas Burns、R
onald Keller、Willard )Iau
th、Ghandan KumarSahaを発明者と
し、[Multicomponent Binders
 for SiCPowders口という発明の名称の
、米国特許出願第458461号明細書に記載されてい
る。 [0042] ホウ素は、焼結を促進するために本発明において必要で
ある。一般に、ボロシロキサンから得られるホウ素の量
は、炭化ケイ素粉末とボロシロキサンから得られるチャ
ーとの合計重量を基準として約0.08〜3.0重量%
に相当すべきである。 この量より少ない量は適切な焼結を妨げ、またより多い
量はしばしば、所望の密度を持たない製品をもたらす。 [0043] 所望量のホウ素を重合体に組み入れることができない場
合には、焼結を促進する追加の成分を混合物に加えても
よい。これらには、鉄、Fe5C、マグネシウム、Mg
C5、リチウム、Li2C2、ベリリウム、Be2C、
ホウ素、ホウ素含有化合物、アルミニウム、アルミニウ
ム含有化合物、及び金属酸化物例えば酸化トリウム、酸
化イツトリウム、酸化ランタン、酸化セリウムの如きも
の、が包含される。これらの金属含有焼結助剤の多くは
、Negita、口Effective Sinter
ing Aids for 5iliconCarbi
de Ceramics:Reactivities 
 of  5ilicon Carbide with
  Various Additives、 [1Vo
1.69. J、 Am、 Ceram、 Soc、 
C−308(1986)に記載されている。Negit
aにより示唆された他の金属含有焼結助剤も、本発明の
実施に有効かもしれない。好ましい焼結助剤は、ホウ素
、ホウ素含有化合物、アルミニウム及びアルミニウム含
有化合物からなる群より選択される。ホウ素含有焼結助
剤の例には、炭化ホウ素、水素化ホウ素リチウム、トリ
ビニルホウ素、トリフェニルホウ素、六ホウ化ケイ素、
H2SO4,B2O3等が含まれる。アルミニウム含有
焼結助剤の例には、酸化アルミニウム、窒化アルミニウ
ム、ニホウ化アルミニウム等が含まれる。最も好ましい
焼結助剤はホウ素及び炭化ホウ素である。焼結助剤の混
合物を使用してもよい。 [0044] 本発明の組成物はまた炭化ケイ素粉末を含む。これらの
材料は商業的に入手可能であり、当該技術分野でよく知
られている。α−3iC粉末とβ−3iC粉末の両方と
も、また混合物も、使用することができる。一般には、
平均粒度10μm未満のSiC粉末が好ましく、より好
ましいのは平均粒度1μm未満の粉末である。 [0045] 本発明の組成物はまた、焼結前にボロシロキサンを架橋
させるために用いられる硬化剤を含有する。それにより
製造された未焼結体は、一般に未硬化物品よりも高い強
度を有し、従って焼結前の手での取扱い又は機械加工の
いずれにもよりよく耐えることができる。これらの硬化
剤は一般に、硬化剤を含有している未焼結体を50〜3
00℃の範囲の温度に加熱して活性化される。 [0046] 本発明において有効である通常の硬化剤は当該技術分野
においてよく知られている。それらの例には、有機過酸
化物、例えばジベンゾイルペルオキシド、ビス−p−ク
ロロペンゾールペルオキシド、ビス−2,4−ジクロロ
ペンゾールペルオキシド、ジ−t−ブチルペルオキシド
、ジクミルペルオキシド、t−ブチルペルベンゾエート
、2,5−ビス(1−ブチルペルオキシ)−2,3−ジ
メチルヘキサン及びt−ブチルペルアセテートといった
ようなもの、そして白金含有硬化剤、例えば白金金属、
H2PtCl6及び((C4H9)3P)2PLC12
の如きもの、が含まれる。 当該技術分野において公知の他の通常の硬化剤も使用す
ることができる。硬化剤は、有効な量で、すなわちボロ
シロキサンの架橋を引き起こすのに十分な量で存在する
。従って、硬化剤の実際の量は、使用する実際の硬化剤
の活性と存在しているボロシロキサンの量とに依存する
。とは言うものの標準的には、過酸化物硬化剤は硬化さ
せるべき化合物の重量を基準として約0.1〜5.0重
量%で存在し、好ましい量は約2.0重量%である。白
金含有硬化剤を使用する場合には、その量は標準的には
、白金が硬化させるべき化合物の重量を基準として約1
〜11000ppで存在するような量であり、好ましい
白金量は約50〜150ppmである。 [0047] 上記の硬化剤のほかに、混合物に室温架橋剤を含ませて
硬化特性を改変してもよい。これらの架橋剤には、例え
ば、多官能性シラン類又はシロキサン類を含めることが
できる。好ましい架橋剤は、5i−H官能結合を有する
、例えばPhzSx (O3xMe2H)z又はPhS
i (O3iMe2H)3のようなシロキサン類である
。 [0048] このほかの処理助剤、例えば滑剤、解膠剤及び分散剤と
いったようなものを添加することも、本発明の範囲内で
ある。そのような化合物の例には、ステアリン酸、鉱油
、パラフィン、ステアリン酸カルシウム、ステアリン酸
アルミニウム、コハク酸、スクシンイミド、無水コハク
酸、又は種々の市販製品例えば01oa 1200(商
標)の如きものが含まれる。 [0049] 種々の成分の量が決定されたならば、焼結された製品を
通して密度が変化する領域ができるのを避けるため均−
且つ均質な混合物を保証するようにそれらを一緒にする
。均−且つ均質な混合物は、通常の混合技術によって、
例えば種々の粉体を乾燥したもしくは湿った状態で粉砕
するかあるいは超音波分散によって、調製することがで
きる。一般的に好ましいのは、種々の粉体を有機溶剤と
混合して粉砕し、その後溶剤を除去する湿式粉砕である
。このほかの混合及び粉砕方法は当業者にとって明らか
である。 [00501 均−且つ均質混合物は、次いで成形して所望の形状にす
ることができる。好ましくは、所望の形状は、射出成形
、−軸プレス成形、等方プレス成形、押出し成形、トラ
ンスファー成形等のような方法を使って加圧下で成形さ
れる。 [0051] 組成物は好ましくは、最終の成形を行う前に硬化させる
。硬化の手順は当該技術分野においてよく知られている
。一般には、そのような硬化は物品を約50〜450℃
の範囲内の温度で、好ましくはアルゴン又は窒素といっ
たような不活性雰囲気中で、加熱して実施することがで
きる。 最終の形が得られたならば、物品を不活性雰囲気中で及
び/又は減圧下に1900℃以上の温度で焼結させる。 好ましい焼結温度は約1950〜2200℃であり、お
よそ2070℃が最も好ましい。 [0052] 理論により限定されるのを望むわけではないながらも、
ボロシロキサンから得られる遊離炭素は高緻密化焼結体
の形成において二つの異なる役割を演じるものと考えら
れる。第一に、それは炭化ケイ素粉末中に存在している
酸素を取除くのを助け、そして第二に、それは追加の焼
結助剤として働くようである。炭化ケイ素粉末はいわゆ
る「遊離炭素」をしばしば含有している。とは言うもの
の、炭化ケイ素粉末に存在している「遊離炭素」は、ボ
ロシロキサンからその場で生成された遊離炭素はど活性
あるいは効果的であるようには思えない。その場で生成
された遊離炭素が化学的により活性であるかどうか、あ
るいはそれが単純により一様に分散されているかどうか
は、明らかではない。いずれにしても、混合物の遊離炭
素値(先に定義したとおり)が約1.5重量%である場
合には、密度が最高の焼結体が得られる。 [0053] 当業者が本発明をよりよく認識し且つ理解することがで
きるように、以下に掲げる例を提供する。特別な指示が
ない限りは、百分率は全て重量百分率である。 この明細書を通して、Meはメチル基を表し、Phはフ
ェニル基を表し、Viはビニル基を表し、そしてBはホ
ウ素含有量を表す。 [0054] 以下の例において使用した分析方法は次のとおりであっ
た。 プロトンNMRスペクトルはVarian EM360
か又はEM390分光計により記録して、結果をppm
で示し、またフーリエ変換赤外スペクトルはN1col
et 5 DX分光計により記録した。ゲル浸透クロマ
トグラフィ=(GPC)データは、モデル600Eシス
テムコントローラー モデル490 UV及びモデル4
10示差回折計検出器を備えた、Waters GPC
により得たが、全ての値はポリスチレンと比較される。 TMAデータは、Omnitherm 2066コンピ
ユータに接続されたDu Pont 940熱機械式分
析器(TMA)によゆ記録した。 [0055] 炭素、水素及び窒素分析は、Control Equi
pment Corporation 240−XA元
素分析器で行った。酸素分析は、酸素測定器316(モ
デル783700)及び電極炉EF 100を備えたL
eco酸素分析器で行った。炭素及びホウ素は、炭素及
びホウ素の可溶性の形態に変えて原子吸光分光分析によ
り溶質を全ケイ素又はホウ素について分析することから
なる連合技術により測定した。 [0056] ローラーブレードを備えたブラベンダープラスチコーダ
ー(モデルPL−V151)で配合を行った。Carv
er実、験室用プレス機(米国ニューシャーシー州すミ
ッ)(Summit)のFred S、 Carver
 Inc、製)により試、験棒を成形した。熱分解は、
Eurothermコントローラー/プログラマ−・モ
デル822を備えたAstro黒鉛元素管炉モデル10
00−3060−FP12で行った。この炉には、90
0℃より高い温度を監視するためIrCon Mode
line Plus光高温計を備え付けた。曲げ強度は
、モデルTTC又はモデル8562インストロン試験機
で測定した(四点曲げ技術を使用)。焼成密度は、AS
TMC373−72に従う水浸漬技術により測定した。 米軍標準規格1942 (MR)に従って、機械加工し
た試験棒を調製した。 [0057] 使用したSiC粉末は、約5〜8%のα−3iCと92
〜95%のβ−5iCとの混合物であるIBIDEN 
BETARUNDUM UF (商標)であった。使用
したホウ素は、Cerac Inc。 より入手した無定形ホウ素であった。フェノール樹脂は
Union Carbide社より入手した。 [0058] A1重合体の合成 138.6g (0,70モル)のPhSi (OMe
)3と、23.25 g (0,125モル)の(Me
2Sivi)20と、40.5g (2,25モル)の
蒸留水と、0.20m1のCF3503Hとの攪拌混合
物へ、5.19g (0,05モル)のB (OMe)
3を加えた。この反応混合物を3時間還流させ、次いで
蒸留により、留出物の温度が90℃より高くなるまでメ
タノール及び水を取除いた。反応混合物を冷却し、0.
541 gのNaHCO3及び115gのトルエンを加
えた。このトルエン溶液を還流させ、そして水をDea
n−8tark )ラップでもって除去した。留出物が
透明になったならば(約3〜4時間)、反応混合物を冷
却して1mlのM’e2SiViclを加えた。48時
間攪拌後、反応混合物をろ過し、ろ液を真空中で濃縮し
た。収量は105.1g (収率91.2%)であった
。1HNMR(CDC13)d=−0,400,30(
SiMe2幅広の重なり一重線) 、5.36〜6.0
3(Si−Vi、幅広の多重線) 、6.67〜7.9
 (Si−ph、幅広の一重線)であって、5iPh/
5iVi /SiMe2の計算モル比=0.1010.
2510.25で、実測値は3.22/1.00/1.
05であった。赤外分析データ(KBrp;盤上の薄膜
)は、cm−1(かっこ内は強度)を単位として表して
、3073 (w) 、 3051 (w) 、 29
59 (w) 。 1594(w) 、 1430 (m) 、 1406
 (w) 、 1361 (w) 、 1255 (m
) 、 1134(s) 、 1060(s) 、 9
57(w) 、 855 (m) 、 787 (m)
 、 739 (m) 、 697 (m)であった。 重合体中のホウ素は、計算値0.47%、実測値0.5
3±0.05%であった。この樹脂のTMA軟化点(T
g)は23.4℃であった。GPC分子量(THF、ポ
リスチレン標準液)は、M  =2330、M  =7
95であった。この重合体W          n のシラノール含有量は0.97%であった。 [0059] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
製造した樹脂14.79 gと、2.64 gのPh2
sl(O3iMe2H)2と、0.81gのLuper
sol 101 (ビス(t−ブチルペルオキシ−2,
5−ジメチルヘキサン)との混合物を調製した。この混
合物のアリコートをアルゴン雰囲気中において200℃
で3時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤
量して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管
炉へ移した。炉を20torr未満になるまで排気し、
次いでアルゴンを充填し直した。この操作を2回反復し
た。アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/m
inで1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してか
ら室温まで冷した。試料の質量残率は40.0%であっ
た。このチャー〇元素組成は、炭素47.3%、ホウ素
0.6%、そしてケイ素45.6%であった。炭素及び
ホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、10
0gの硬化重合体は、ケイ素52.1%(差による)と
炭素47.3%とホウ素0.6%とからなるセラミック
チャー40.0 gを与える。このチャーは、29.8
 gの5iC(74,4%)  0.20gのB(0,
5%)及び10.0 gの過剰のC(25,0%)から
なる。従って、重合体1gごとに0.298 gの5i
C10、002gのB及び0.10gの過剰炭素が得ら
れる。 [0060] C0試験棒の作製と試験 1)  25.02gのSiC粉末を、上記Aで製造さ
れた樹脂3.71 gと、0.65 gのPhzSi(
O8iMe2H)2と、0.20 gのLuperso
l 101とのトルエン溶液に超音波分散させた(FC
V=1.4%、CB〕= 0.028%)。溶剤は真空
中で除去しな。残留物を粉砕して、125μmの篩を通
過させた。篩にかけた粉末を47ks iで一軸プレス
して、35×8×約3mmの試験棒を作った。これらの
試験棒をアルゴン雰囲気中において200℃で3時間硬
化させた(室温から200℃までは3℃/m1n)。硬
化した試験棒の密度の平均は2.17±0.01 g 
7cm3(n = 6 )であった。硬化した試験棒の
平均の四点MOR曲げ強さは5475±460psi 
(385,0±32.3kg/cm2)であった。硬化
試験棒(7)7リコートを、室温から2100℃まで1
5℃/minであって1400℃と2100℃で30分
保持するという温度プログラムを使って2100℃で焼
成した。焼成した試験棒の密度の平均は2.37±0.
03 g 7cm3であった。試験棒にはそりが生じた
。 [0061] 2)  35.OOgのSiC粉末及び0.20 gの
無定形ホウ素を、上記Aで生成された樹脂3.71 g
と、0.654 gのPh2Sx (O3IMe2H)
2と、0.204 gのLupersol 101との
トルエン溶液に超音波分散させた(FCV=1.0%、
CB) =0.57%)。溶剤は真空中で除去した。残
留物を粉砕して、106μmの篩を通過させた。篩にか
けた粉末を47ksiで一軸プレスして、35X8X約
3mmの試験棒を作った。これらの試験棒をアルゴン雰
囲気中において200℃で3時間硬化させた(室温から
200℃までは3℃/m1n)。硬化した試験棒の密度
の平均は2.17±0.018 g 7cm3(n =
 4 )であった。硬化試験棒の平均の四点MOR曲げ
強度は2121±855psi (149,2±60.
1kg/cm2)であった。硬化試験棒のアリコートを
、室温から2100℃まで15℃/minであって14
00℃と2100℃で30分保持するという温度プログ
ラムを使って2100℃で焼成した。 焼成した試、験棒の密度の平均は3.06±0.02 
g 7cm3  そして平均の四点MOR曲げ強さは4
7.2±4.3ksiであった。焼成した試験棒で測定
されたホウ素濃度は0.51±0、05%であった。 [0062] 上記の例は、ボロシロキサン重合体に存在しているホウ
素が不十分な場合にはボロシロキサンと無定形ホウ素と
を組み合わせて使用することができる、ということを証
明する。 [0063] 例ス A0重合体の合成 20.76g (0,20モル)のB (OMe)3を
、 118.8g (0,60モル)のPhSi (O
Me)3と、18.6g (0,10モル)の(Me2
Sivi)20と、46.8g (2,6モル)の蒸留
水と、0.35 gのCF3503Hとの攪拌混合物に
加えた。この反応混合物を3時間還流させ、次いで蒸留
によって、留出物の温度が90℃より高くなるまでメタ
ノールと水を取除いた。反応混合物を冷却し、0.55
5 gのNaHCO3及び103.7 gのトルエンを
加えた。このトルエン溶液を還流させ、そして水をDe
an−3t、ark )ラップでもって除去した。 留出物が透明になったならば(約3〜4時間)、反応混
合物を冷却して1mlのMe2SIViC1を加えた。 16時間攪拌後、反応混合物をろ過し、ろ液を真空中で
濃縮し幅広の重なり一重線) 、5.42〜5.95(
Si−Vi、幅広の多重線)  6.38〜7.98(
Si−ph、幅広の一重線)であって、5iPh/5i
Vi /SiMe2の計算モル比=3.0 /1.0 
/1.0テ、実測値は4.06/1.00/1.19で
あった。赤外分析データ(KBr円盤上の薄膜2963
(w) 、 1958(w) 、 1888(w) 、
 1821 (w) 、 1821 (w) 、 16
59(w) 、 1595 (w) 、 1489 (
w) 、 1430(m) 。 1408(m) 、 1261 (s)、 1082(
vs) 、 962(m) 、 844 (m) 、 
803 (s) 、 742(m) 、 718(m)
 、 699 (m)であった。重合体中のホウ素は、
計算値0.47%、実測値0.53±0.05%であっ
た。この樹脂のTMA軟化点(Tg)は90.9℃であ
った。GPC分子量(THF、ポリスチレン標準液)は
、M  =890、M  =365であった。この重合
体のシラノール含有量は0.93W         
 n [0064] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂14.84 gと、2.64 gのPh
2Si (O8tMe2H)2と、0、852 gのL
upersol 101との混合物を調製した。この混
合物のアリコートをアルゴン雰囲気中において200℃
で3時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤
量して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管
炉へ移した。炉を20torr未満になるまで排気し、
次いでアルゴンを充填し直した。この操作を2回反復し
た。アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/m
inで1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してか
ら室温まで冷した。試料の質量残率は36.8%であっ
た。このチャーの元素組成は、炭素49.9%、ホウ素
3.2%、そしてケイ素45.8%であった。炭素及び
ホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、10
0gの硬化重合体は、ケイ素46.9%(差による)と
炭素49.9%とホウ素3.2%とからなるセラミック
チャー36.8gを与える。このチャーは、24.7 
gの5iC(67、0%)1.2gのB(3,3%)及
び10.9 gの過剰のC(29,6%)からなる。従
って、重合体1gごと[0065] C1試験棒の作製と試験 35、03 gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹
脂3.71 gと、0.655 gのPh2Si(O3
IMe2H)2と、0.210 gのLupersol
 101とのトルエン溶液に超音波分散させた(FCV
=1.11%、〔B) =0.12%)。溶剤は真空中
で除去した。残留物を粉砕して、106μmの篩を通過
させた。篩にかけた粉末を47ks iで一軸プレスし
て、35×8×約3mmの試験棒を作った。これらの試
験棒をアルゴン雰囲気中において200℃で3時間硬化
させた(室温から200℃までは3℃/m1n)。硬化
した試験棒の密度の平均は2.17±0.01 g 7
cm3(n = 6 )であった。硬化した試験棒の平
均の四点M2R曲げ強さは2506±592psi (
176、2±41.6kg/cm2)であった。硬化試
験棒のアリコートを、室温から2100℃まで15℃/
minであって1400℃と2100℃で30分保持す
るという温度プログラムを使って2100℃で焼成した
。焼成した試験棒の密度の平均は3.06±0.01 
g 7cm3  そして平均の四点M2R曲げ強さは7
8.0±8.5ksi (n=8)であった。 [0066] A6重合体の合成 39.6g (0,20モル)のPhSx (OMe)
3と、23.25 g (0,125モル)の(Me2
Sivi)20と48.8g (0,20モル)のPh
2S i (OMe)2と、46.8g (2,6モル
)の蒸留水と、0.200m1のCF3503Hとの攪
拌混合物へ、41.52g (0,40モル)のB (
OMe)3を加えた。 この反応混合物を2時間還流させ、次いで室温で12時
間攪拌した。蒸留によって留出物の温度が90℃より高
くなるまでメタノール及び水を取除いた。反応混合物を
冷却し、0.56 gのNaHCO3及び115gのト
ルエンを加えた。このトルエン溶液を還流させ、そして
水をDean−3tark )ラップでもって除去した
。留出物が透明になったならば(約3〜4時間)、反応
混合物を冷却して1mlのMe2SiviC1を加えた
。0.5時間攪拌後、反応混合物をろ過し、ろ液を真空
中で濃縮した。収量は90.75g (収率92.7%
)であった。IHNMR(CDC13)d=−0,18
〜0.33(SiMe2、幅広の重なり一重線) 、5
.49〜5.96(Si−Vi、幅広の多重線) 、6
.69〜7.89(Si−Ph、幅広の一重線)であっ
て、5iPh/5iVi /SiMe2の計算モル比=
3.0/1. O/1. Oで、実測値は2.86/1
.00/1.0?であった。重合体中のBは、計算が4
.15%、実測が3.61±0.05%であった。赤外
分析データ(KBr円盤上の薄膜)は、cm ’ (が
っこ内は強度)を単位として表して、3220(m)、
 3072(w)、 3051(w)、 2959(w
)、 2256(w)、 1959(w)。 1890(w)、 1822(w) 、 1593 (
w) 、 1569 (w) 、 1430 (m)、
 1352(m)、 1256(s)、 1192(m
)、 1129(s)。 1069(vs)、 998(m)、 957(m)、
 837(m)、 787.(s)、 741(m)、
 719(m)、 698(m)であった。この重合体
のシラノール含有量は3.60%であった。ビニル含有
量は6.19%であった。 [0067] B1重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおイテ
生成された樹脂6.07 gと、1.20gのPh2S
i (O3iMe2H)2と、0.23gのLuper
sol 101との混合物を調製した。この混合物のア
リコートをアルゴン雰囲気中において200℃で3時間
架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤量して黒
鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管炉へ移し
た。炉を20torr未溝になるまで排気し、次いでア
ルゴンを充填し直した。この操作を2回繰り返した。 アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/min
で1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室
温まで冷却した。試料のチャー収率は26.3%であっ
た。このチャーの元素組成は、炭素48.7%、ホウ素
5.0%、そしてケイ素41.2%であった。炭素及び
ホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、10
0gの硬化重合体は、ケイ素46.3%(差による)と
炭素48.7%とホウ素5.0%とからなるセラミック
チャー26.3 gを与える。このチャーは、17.4
 gの5iC(66、1%)1.3gのB(4,9%)
及び7.6gの過剰のC(28,9%)からなる。従っ
て、重合体1gごとに0.174 gの5iC10,0
13gのB及び0.076 gの過剰炭素が得られる。 [0068] C0試験棒の作製と試験 35、01 gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹
脂3.71 gと、0.656 gのPh2sl (O
3iMe2H)2と、0.206 gのLuperso
l 101とのトルエン溶液に超音波分散させた(FC
V=0.78%、(B) =0.13%)。溶剤は真空
中で除去した。残留物を粉砕して、106μmの篩を通
過させた。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレスし
て、35×8×約3mmの試験棒を作った。これらの試
験棒をアルゴン雰囲気中において200℃で3時間硬化
させた(室温から200℃までは3℃/m1n)。硬化
した試験棒の密度の平均は2.23±0.01 g 7
cm3(n = 6 )であった。硬化した試験棒の平
均の四点M2R曲げ強さは1733±501psi (
121,9±35.2kg/am2)であった。硬化試
験棒(7)7リコートを、室温から2100℃まで15
℃/minであって1400℃と2100℃で30分保
持するという温度プログラムを使って2100℃で焼成
した。焼成した試験棒の密度の平均は3.14±0.0
1 g 7cm3であった。機械加工した硬化試験棒の
平均の四点M2R曲げ強さは74.1±8.5ksiで
あった。SiC結晶相は、80%がβそして20%がα
であった[0069] A1重合体の合成 i28.7g (0,65モル)のPhSx (OMe
)3と、23.25 g (0,125モル)の(Me
2Sivi)20と、40.5g (2,3モル)の蒸
留水と、0.200m1のCF3503Hとの攪拌混合
物へ、10.38g (0,10モル)のB (OMe
)3を加えた。この反応混合物を3時間還流させ、次い
で蒸留により、留出物の温度が90℃より高くなるまで
メタノールと水を取除いた。反応混合物を冷却し、0.
576 gのNaHCO3及び101gのトルエンを加
えた。このトルエン溶液を還流させ、そして水をDea
n−3tark )ラップでもって除去した。 留出物が透明になったならば(約3〜4時間) 反応混
合物を冷却して1mlのMe、幅広の重なり一重線) 
、5.27〜5.90(Si−Vi、幅広の多重線) 
 6.50〜7.70(Si−ph、幅広の一重線)で
あって、5iPh/5iVi /SiMe2の計算モル
比=2.6/1.0/1、 Oで、実測値は2.91/
1.01/1.00であった。重合体中のホウ素は、計
算値0.98%、実測値0.80±0.05%であった
。赤外分析データ(KBr円盤上の薄膜)は、cm ’
(かっこ内は強度)を単位として表して、3618 (
w) 、 3074 (w) 、 3051 (w) 
、 3008 (w) 、 2958(w)、 189
0(w) 、 1824 (w) 、 1595(w)
、 1490(w) 、 1430(m)、 1.40
6 (m)、 1361 (m) 、 1255(m)
 、 1135(s)、 1065(vs)、 999
(m)、 958(m)、 837(s)、 788(
s)、 740(m)、 698(m)であった。この
樹脂のTMA軟化点(Tg)は23.8℃であった。G
PC分子量(THF、ポリスチレン標準液)は、M  
=889、M  =463であった。この重合体のシラ
ノール含有量は1.47W          n %であった。 [0070] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂7.42 gと、1.33 gのPh2
Si (O3iMe2H)2と、0.42gのLupe
rsol 101との混合物を調製した。この混合物の
アリコートをアルゴン雰囲気中において200℃で3時
間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤量して
黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管炉へ移
した。炉を20torr未満になるまで排気し、次いで
アルゴンを充填し直した。この操作を2回反復した。ア
ルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/minで
1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室温
まで冷した。試料のチャー収率は38.0%であった。 チャーの元素組成は、炭素52.8%、ホウ素1.0%
、そしてケイ素46.6%であった。炭素及びホウ素分
析値に基づき、計算を行った。すなわち、100gの硬
化重合体は、ケイ素46.2%(差による)と炭素52
.8%とホウ素1.0%とからなるセラミックチャー3
8.0 gを与える。このチャーは、25.1 gの5
iC(66、0%)  0.38gのB (0,10%
)及び12.5 gの過剰のC(32,9%)からなる
。従って、重合体1gごとに0.251gの5iC10
,004gのB及び0.125 gの過剰炭素が得られ
る。 [0071] C1試験棒の作製と試験 1)  35.00gのSiC粉末を、上記Aで生成さ
れた樹脂3.71 gと、0.654 gのph2Si
(O8iMe2H)2と、0.207 gのLuper
sol 101とのトルエン溶液に超音波分散させた(
FCV=1.27%、CB)=0.04%)。溶剤は真
空中で除去した。残留物を粉砕して、106μmの篩を
通過させた。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレス
して、35×8×約3mmの試験棒を作った。これらの
試験棒をアルゴン雰囲気中において200℃で3時間硬
化させた(室温から200℃までは3℃/m1n)。硬
化した試験棒の密度の平均は2.17±0.01 g 
7cm3(n = 6 )であった。硬化試験棒の平均
の四点M0度に基づいて、混合物中のBは0.075%
であった。硬化試験棒のアリコートを、室温から210
0℃まで15℃/minであって1400℃と2100
℃で30分保持するという温度プログラムを使って21
00℃で焼成した。焼成した試験棒の密度の平均は2.
56±0、01 g 7cm3であった。この低い焼成
密度は焼成した試験棒中のホウ素が不十分である結果で
あった。 [0072] 2)  35.00gのSiC粉末を、例3のAで調製
した樹脂1.86 gと、例4のAで調製した樹脂1.
86 gと、0.665 gのPh2St (O3iM
ezH)2と、0.201 gのLupersol 1
01とのトルエン溶液に超音波分散させた(FCV=1
.03%、〔B) = 0.087%)。溶剤は真空中
で除去した。残留物を粉砕して、90μmの篩を通過さ
せた。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレスして、
35X8X約3mmの試験棒を作った。これらの試験棒
をアルゴン雰囲気中において250℃で2時間硬化させ
た(室温から250℃までは4℃/m1n)。硬化した
試験棒の密度の平均は2.29±0.01g 7cm3
(n= 6 ) テあった。硬化試験棒の平均の四点M
2R曲げ強度は2807±789psi (197,4
±55.5kg/cm2)であった。重合体中のホウ素
濃度に基づいて、混合物中のBは0.21%であった。 硬化試験棒のアリコートを、室温から2100℃まで1
5℃/minであって1400℃と2100℃で30分
保持するという温度プログラムを使って2100℃で焼
成した。焼成した試験棒の密度の平均は3.14±0.
01 g 7cm3(n =15)であった。平均の四
点M2R曲げ強さは77.2±8.5ksi (n =
10)であった。焼成した試験棒のSiC結晶相は、8
7%がβそして13%がαであった。焼成した試験棒で
測定されたBは0.21±0゜05%であった。 [0073] 上記の例は、2種類の異なるボロシロキサン重合体を一
緒に混合して焼結のために必要なホウ素濃度を達成する
ことが可能である、ということを証明する。 [0074] 1 ) 20.8g (0,20モル)のB(OMe)
3、例1(7)Aで調製したシロキサン樹脂96 g及
び0.20m1のCF3503Hのトルエン溶液を6時
間還流させた。この反応混合物を室温まで冷却し、−晩
攪拌した。次いで5.0mlの蒸留水を加え、そして蒸
留によりメタノールを取除いた。メタノールの全部が蒸
留されたならば、反応混合物を冷却して0.78 gの
NaHCO3を加え、続いてKOHの3%蒸留水溶液を
11.0ml加えた。この反応混合物を還流させ、そし
てDean−3tark )ラップでもって水を除去し
た。留出物が透明になったならば、反応混合物を室温ま
で冷し、そして1.0mlのMe2viSiC1で反応
を抑制した。攪拌を1時間行ってから、反応混合物を0
.2μmの膜フィルターを通してろ過した。ろ液を真空
中で濃縮して91.6gの樹脂が得られた(収率88.
9%)。この樹脂のTMA軟化点(Tg)は67℃であ
った。18 NMR(CDC13)d=−0、16〜0
.33 (SiMe2、幅広の重なり一重線) 、5.
68〜5.98(Si−Vi、幅広の多重線)、6.7
1〜7.88(Si−Ph、幅広の一重線)であって、
5iPh/5iVi /SiMe2の計算モル比=3.
071.0/1.0で、実測値は2.96/1.00/
2.5であった。重合体中のBは計算が2.1%、実測
が0.67±0.05%であった。赤外分析データ(K
Br円盤上の薄膜)は、cm−1(かっこ内は強度)を
単位として、3217 (w) 、 3073 (w)
 、 3051 (w) 、 2961(w) 、 1
594(w) 、 1430 (m) 、 1407 
(w) 、 1259(m) 、 1133(s) 、
 1056 (s) 、 998(m) 、 957(
m) 、 839(m)、 804 (m) 、 78
8(s) 、 729 (m) 、 697(m)であ
った。 [0075] 2) 20.8g (0,20モル)のB(OMe)3
と、例1のAで調製したシロキサン樹脂96gと、0.
20m1のCF35O3Hとを114gのトルエンに溶
解させた溶液を4時間還流させた。この溶液を室温まで
冷却して、7.0mlの蒸留水を加えた。攪拌を2時間
行ってから、蒸留によってメタノールを取除いた(ポッ
ト温度は100℃に達した)。残留している水を共沸蒸
留によって除去した。溶液を冷却して、1.2gのNa
HCO3と1.0mlのMe2ViSiC1を加えた。 数時間攪拌後、溶液を0.2μmの膜フィルターにより
ろ過した。ろ液を真空中で濃縮して、シラノール含有量
2.82%そしてBが1.61%の樹脂が得られた。赤
外分析データ(薄膜、KBr円盤)は、am ’ (か
っこ内は強度)を単位として、3140(w)、 30
75(w)、 3053(w)、 3008(w)、 
2963(m)、 1957(w)、 1889(w)
 、 1821 (w) 、 1595(m) 、 1
481 (m) 、 1430(s) 、 1378(
s) 、 1261(m) 、 1136(s) 、 
1056(sリスチレンに関して)は、M  =277
1、M  =544であった。 W          n [0076] B1重合体の熱分解とチャー組成の計算1)例5のA−
1)において生成された樹脂3.72 gと、0.68
8 gのPhzsl(O3iMe2H)2と、0.20
8 gのLupersol 101との混合物を調製し
た。この混合物(7)7リコートをアルゴン雰囲気中に
おいて250℃で2時間架橋させた。架橋した重合体の
アリコートを秤量して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼ
をAStrO管炉へ移した。 炉を20torr未満になるまで排気し、次いでアルゴ
ンを充填し直した。この操作を2回繰り返した。アルゴ
ンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/minで19
00℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室温まで
冷した。試料の質量残率は38.4%であった。このチ
ャーの元素組成は、炭素51.3%、ホウ素1.0%、
そしてケイ素46.7%であった。炭素及びホウ素分析
値に基づき、計算を行った。すなわち、100gの硬化
重合体は、ケイ素47.7%(差による)と炭素51.
3%とホウ素1.0%とからなるセラミックチャー38
.4 gを与える。このチャーは、26.2 gの5i
C(68,1%) 、0.40gのB(1,0%)及び
11.8gの過剰のC(30,7%)からなる。従って
、重合体1gごとに0.262 gのSiC、0,00
4gのB及び0.118gの過剰炭素が得られる。 [0077] 2)例5のA−2)において生成された樹脂7.43 
gと、1.315 gのPhzSi(OSiMe2H)
2と、0.416 gのLupersol 101との
混合物を調製した。この混合物のアリコートをアルゴン
雰囲気中において250℃で2時間架橋させた。架橋し
た重合体のアリコートを秤量して黒鉛るつぼに入れた。 このるつぼをAstro管炉へ移した。 炉を20torr未満になるまで排気し、次いでアルゴ
ンを充填し直した。この操作を2回反復した。アルゴン
のパージ下に、試料をおおよそ15℃/minで190
0℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室温まで冷
却した。試料の質量残率は37.9%であった。このチ
ャーの元素組成は、炭素48.1%、ホウ素2.02%
、そしてケイ素49.2%であった。炭素及びホウ素分
析値に基づき、計算を行った。すなわち、100gの硬
化重合体は、ケイ素49.9%(差による)と炭素48
.1%とホウ素2.02%とからなるセラミックチャー
37.9 gを与える。このチャーは、27.01 g
の5iC(71,3%)  0.’/1gのB(2,0
%)及び10.13 gの過剰のC(26,7%)から
なる。従って、重合体1gごとに0.270 gの5i
C10,008gのB及び0.101gの過剰炭素が得
られる。 [0078] C8試験棒の作製と試験 1)35.0gのSiC粉末を、例5のA−1)で生成
された樹脂3.71 gと、0.65 gのPh2Si
(O8iMe2H)2と、0.20 gのLupers
ol 101とのトルエン溶液に超音波分散させた(F
CV=1.2%、CB) =0.04%)。溶剤は真空
中で除去した。残留物を粉砕して、106μmの篩を通
過させた。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレスし
て、35X8X約3mmの試験棒を作った。これらの試
験棒をアルゴン雰囲気中において250℃で2時間硬化
させた(室温から250℃までは4℃/m1n)。硬化
した試験棒の密度の平均は2.25±0.03g 7c
m3(n = 6 )であった。硬化した試験棒の平均
の四点MOR曲げ強さは5635±655psi (3
96,3±46.1kg/Cm2)であった。硬化試験
棒のアリコートを、室温から2100℃まで15℃/m
inであって1400℃と2100℃で30分保持する
という温度プログラムを使って2100℃で焼成した。 焼成した試験棒の密度の平均は2.43±0.05 g
 7cm3であった。 [0079] 2)35.0gのSiC粉末を、例5のA−2)で生成
された樹脂3.705 gと、0.654gのPh2S
i(O8iMe2H)2と、0.210 gのLupe
rsol 101とのトルエン溶液に超音波分散させた
(FCV=1.03%、(B’l =0.08%)。溶
剤は真空中で除去した。残留物を粉砕して、106μm
の篩を通過させた。篩にかけた粉末を47ksiで一重
プレスして、35X8X約3mmの試験棒を作った。こ
れらの試験棒をアルゴン雰囲気中において250℃で2
時間硬化させた(室温から250℃までは4℃/m1n
)。硬化した試、験棒の密度の平均は2.24±0.0
1 g 7cm3(n = 6 )であった。硬化試験
棒の平均の四点MOR曲げ強さは3883±421ps
i (273,1±29.6kg/cm2)であった。 硬化試験棒のアリコートを、室温から2100℃まで1
5℃/minであって1400℃と2100℃で30分
保持するという温度プログラムを使って2100℃で焼
成した。焼成した試験棒の密度の平均は2.93±0.
07 g 7cm3であった。 [0080] 上記の例は、ホウ素を重合体へ平衡法で取入れる場合に
は酸触媒を使用する方が好ましい、ということを証明す
る。 [0081] A0重合体の合成 48.8g (0,20モル)のPh2si (OMe
)2と、39.6g (0,20モル)のPhSi (
OMe)3と、41.5g (0,40モル)のB(O
Me)  と、23.25g (0,10モル)の(M
e2Sivi)2oと、46.8gの蒸留水と、0.2
0m1のCF3503Hとの混合物を3時間還流させ、
次いで蒸留によって、留出物の温度が91℃になるまで
揮発分を除去した。反応混合物を冷却して、223gの
トルエンを加えた。この反応フラスコにDean−3t
ark )ラップを取付け、そして反応混合物を水の全
部が取除かれるまで還流させた。冷却後、2.15gの
NaHCO3と2.0mlのMe2SiViC1を加え
た。反応混合物を約1時間攪拌し、次いで0.22μm
の膜フィルターを通してろ過した。ろ液を濃縮して、半
透明の淡褐色重合体が78.6g(収率79.3%)得
られた。TMA軟化点は24.6℃であった。赤外分析
データ(薄膜、KBr板)は、3219(w)、 30
73(w)、 3053(w)、 3029(w)、 
2965(w)、 2360(w)、 2341 (w
) 、 1822(w) 、 1594 (w) 、 
1430(s) 、 1379(s) 、 1262(
m) 、 1135 (s) 、 1082(s) 、
 998(w)、883(m)、845(m)、804
(m)、719(m)、698(m)、678(m)、
515(m) cm ’であった。 [0082] B1重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された重合体2.84 gと、0.166 gのL
upersol 101との混合物を調製した。この混
合物を、試料をアルゴン雰囲気中で2時間250℃に加
熱して架橋させた(室温から250℃までは4℃/m1
n)。アルゴン雰囲気中で硬化混合物のアリコートを1
900℃に加熱しく室温から1900℃までは15℃/
m1n)、そして2時間1900℃に保持した。セラミ
ックチャーが33.2%の収率で得られた。このセラミ
ックチャーの元素組成は、炭素が36.0%、ケイ素が
55.9%(差引きによる)、そしてホウ素が8.1%
であった。次に述べる混合物の法則の計算を行った。す
なわち、100gの重合体は、26.6 gの5iC(
80,2%)と、4.1gの過剰炭素(12,3%)と
、2.5gのB (7,596)とからなるセラミック
チャー33.2 gを与える。従って、重合体1gごと
に0.266 gの5iC10,025gのB及び0.
034 gの過剰炭素が得られる。 [0083] C3試験棒の作製と試験 1)35.0gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹
脂3.70 gと0.66 gの(Me2)1siO)
4Siトノトルエン溶液に5分間超音波分散サセタ(F
CV= 0.34%、〔B) =0.25%)。溶剤は
減圧で除去した。残留物を硬化アルミナの乳鉢及び乳棒
で粉砕して、90μmの篩を通して篩分けした。篩にか
けた粉末を47ksiでプレスして試験棒を作った。ア
ルゴン雰囲気中において250℃で2時間硬化させた(
室温から250℃までは4℃/m1n)後に、試験棒の
密度は2.11 g 7cm3、そして平均の四点MO
R曲げ強さは3034±263psi (213,4±
18.5kg/cm2) テあった。硬化した試験棒(
7)71)’:1−トを、室温から300℃まではアル
ゴン雰囲気中で2℃/min、300℃から1150℃
まではアルゴン雰囲気中で5℃/min、1150℃か
ら1575℃までは真空中で5℃/min 、1575
℃で3時間真空中に保持、1575℃から2070℃ま
ではアルゴン雰囲気中で5℃/min 、2070℃で
1時間アルゴン雰囲気中に保持、2070℃から110
0℃までアルゴン雰囲気中で3℃/minというプログ
ラムで2070℃に焼成した。焼成した試験棒の密度は
平均して2.10g 7cm3(n =10)であった
。 [0084] 2)42.0gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹
脂5.50 gと、0.28gのLupersol 1
01と、2.50 gのフェノール樹脂とのTHF溶液
に5分間超音波分散させた(FCV=3.28%、CB
〕=0.31%)。溶剤は減圧で除去した。残留物を硬
化アルミナの乳鉢と乳棒で粉砕して、90μmの篩を通
して篩分けした。篩にかけた粉末を47ksiでプレス
して試験棒を作った。アルゴン雰囲気中で250℃で2
時間硬化させた(室温から250℃までは4℃/m1n
)後に、試験棒の密度は2.09 g 70m3、平均
の四点MOR曲げ強さは2910±561psi (2
04,6±39.5kg/cm2)であった。硬化した
試験棒のアリコートを、室温から300℃まではアルゴ
ン雰囲気中で2℃/min、300℃から1150℃ま
ではアルゴン雰囲気中で5℃/min 、1150℃か
ら1575℃までは真空中で5℃/min、1575℃
で3時間真空中に保持、1575℃から2070℃まで
はアルゴン雰囲気中で5℃/min 、2070℃で1
時間アルゴン雰囲気中に保持、2070℃から1100
℃までアルゴン雰囲気中で3℃/minというプログラ
ムで2070℃に焼成した。焼成した試験棒の密度は平
均して3.03 g 7cm3(n = 9 )であっ
た。 [0085] 上記の二つの例は、第二の炭素源を焼結のために必要な
炭素の量が不足しているボロシロキサン樹脂と共に使用
することができる、ということを示す。 [0086] A0重合体の合成 49.58g (0,25モル)のPhSi (OMe
)3と、18.6g (0,10モル)の(Me2Si
vi)20と61.0g (0,25モル)のPh2s
1(OMe)2と、46.8g (2,6モル)の蒸留
水と、0.200m1のCF3503Hとの攪拌混合物
へ、31.1g (0,30モル)のB (OMe)3
を加えた。この反応混合物を4時間還流させた。蒸留に
より、留出物の温度が90℃より高くなるまでメタノー
ル及び水を取除いた。反応混合物を冷却し、0.56 
gのNaHCO3及び250gのトルエンを加えた。こ
のトルエン溶液を還流させ、そして水をDean−8t
ark )ラップでもって除去した。留出物が透明にな
ったならば(約3〜4時間)、反応混合物を冷却し、次
いで2.57 gのNa)(CO3で中和した。この混
合物を15分間かき混ぜ、次いで1.8mlのMe2S
iViC1を加えた。溶液を更に3時間攪拌してから、
0.22μmの膜フィルターによりろ過した。ろ液を真
空中で濃縮して重合生成物を得た。収量は84.7g 
(収率76.4%)であった。赤外分析データ(KBr
円盤上の薄膜)は、cm ’ (かっコ内は強度)を単
位として表して、3074 (w) 、 3053 (
w) 、 3028 (w) 。 2964(w) 、 1957(w) 、 1888(
w) 、 1822(w) 、 1594(w) 、 
1495(w) 、 1430(s) 、 1379(
s) 、 1262(m) 。 1190(m)、 1135(s)、 1082(s)
、 998(m)、 844(m)、 804(m)、
 719(m)、 698(m)であった。重合体中の
シラノール含有量は2.89%であった。TMA軟化点
(Tg)は39.9℃であった[0087] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂7.41gと、1.329 g ノPh
2Si (OSiMe2H)2と、0.411g17)
Lupersol 101との混合物を調製した。この
混合物のアリコートをアルゴン雰囲気中において250
℃で2時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを
秤量して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro
管炉へ移した。炉を20torr未満になるまで排気し
、次いでアルゴンを充填し直した。この操作を2回繰り
返した。アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃
/minで1900℃まで加熱し、温度を2時間保持し
てから室温まで冷した。試料の質量残率は34.5%で
あった。このチャーの元素組成は、炭素48.6%、ホ
ウ素3.83%、そしてケイ素51.2%であった。炭
素及びホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち
、ioo gの硬化重合体は、ケイ素47.6%(差に
よる)と炭素48.6%とホウ素3.83%とからなる
セラミックチャー34.5 gを与える。このチャーは
、23.5 gの5iC(67、0%)、1.3gのB
(3,8%)及び9.8gの過剰のC(28,4%)か
らなる。従って、重合体1gごとに0.235 gの5
iC10,013gのB及び0.098 gの過剰炭素
が得られる。 [0088] C1試験棒の作製と試験 35、0 gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹脂
3.70 gと、0.66 gのPh2Si (O3i
Me2H)2と、0.206 gのLupersol 
101とのトルエン溶液に超音波分散させた(FCV=
1、0%、CB) =0.13%)。溶剤は真空中で除
去した。残留物を粉砕して、106μmの篩を通過させ
た。篩にかけた粉末を47ks iで一重プレスして、
35X8X約3mmの試験棒を作った。これらの試験棒
をアルゴン雰囲気中において250℃で3時間硬化させ
た(室温から250℃までは4℃/m1n)。硬化した
試験棒の密度の平均は2.19±0.01g/am3(
n=6)であった。硬化した試験棒の平均の四点MOR
曲げ強さは2378±318psi (167、2±2
2.4kg/cm2)であった。硬化試験棒のアリコー
トを、室温から300℃までは2℃/min、300℃
から1150℃までは5℃/min 、1150℃から
1575℃までは真空中で5℃/min 、1575℃
で3時間真空中に保持、1575℃から2070℃まで
は5℃/min、そして2070℃で1時間保持という
温度プログラムを使って2070℃に焼成した。試料を
2070℃から100℃まで3℃/minで冷却した。 焼成した試験棒の密度の平均は3.14±0.01 g
 7cm3(n =11)であった。 [0089] A1重合体の合成 22.25g (0,36モル)のB(OH)3と、1
8.6g (0,10モル)の(Me2Sivi)20
と、 131.8g (0,54モル)のPh2Si 
(OMe)2と、0.200m1のCF3503Hとを
200m1のトルエンに溶解させた混合物を90℃で3
時間加熱した。次いでメタノールを蒸留により除去した
。メタノールの大部分が蒸留されたところで、ポット温
度を120℃に上げてトルエンの一部を集めた。合計し
て150.87 gの留出物が集まった。反応溶液を2
.39 gのNaHCO3で中和した。45分間攪拌後
、7.80 gのMe2SiviC1を加え、そして溶
液を一晩攪拌した。反応溶液を0.22μmの膜フィル
ターを通してろ過しそしてろ液を真空中で濃縮後、11
6.6 gの淡褐色樹脂が得られた。重合体中のBは、
計算が3.02%、実測が2.30±0.05%であっ
た。重合体のシラノール含有量は1.481であった。 IHNMR(d8− )ルエン)は、−0,61〜0.
34 (重なり一重線、Si−Me)、3.48(幅広
の一重線の中央、Si−OMe)、5.71〜6.04
 (幅広の多重線、5i−Vi)6.71〜7.91 
(幅広の多重線、5i−Ph)テあツタ。計算す:h、
、り5i−Ph/5i−Vi/Si −OMe /Si
−Me比は1.0810.110.010.1、実測は
1.2 /1. O/1.2 /1.4であった。 [0090] B8重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂4.286 gと、0.754 gのP
h2Si(O8iMe2H)2と、0、181 gのL
upersol 101との混合物を調製した。この混
合物のアリコートをアルゴン雰囲気中において250℃
で2時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤
量して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管
炉へ移した。炉を20torr未満になるまで排気し、
次いでアルゴンを充填し直した。この操作を2回反復し
た。アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/m
inで1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してか
ら室温まで冷した。試料の質量残率は27.5%であっ
た。このチャーの元素組成は、炭素59.4%、ホウ素
3.47%、そしてケイ素40.4%であった。炭素及
びホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、1
00gの硬化重合体は、ケイ素37.13%(差による
)と炭素59.4%とホウ素3.47%とからなるセラ
ミックチャー27.5 gを与える。このチャーは、1
4.59 gの5iC(53,0%)  、0.94g
のB(3,4%)及び15.0 gの過剰のC(53,
6%)からなる。従って、重合体1gごとに0.146
 gのSiC,0,0094gのB及び0.015 g
の過剰炭素が得られる。 [0091] C0試験捧の作製と試験 35.0gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹脂3
.72 gと、0.65 gのPh2Si (O3IM
e2H)2と、0.212 gのLupersol 1
01とのトルエン溶液に超音波分散させた(FCV=0
、155%、〔BI) = 0.097%)。溶剤は真
空中で除去した。残留物を粉砕して、90μmの篩を通
過させた。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレスし
て、35X8X約3mmの試験棒を作った。これらの試
験棒をアルゴン雰囲気中において250℃で3時間硬化
させた(室温から250℃までは4℃/m1n)。硬化
した試験棒の密度の平均は2.21±0.02 g 7
cm3(n = 6 )であった。硬化した試験棒の平
均の四点MOR曲げ強さは1817±378psi (
127,8±26.6kg/cm2)であった。硬化試
験棒のアリコートを、室温から300℃までは2℃/m
in、300℃から1150℃までは5℃/min、1
150℃から1575℃までは真空中で5℃/min 
、1575℃で3時間真空中に保持、1575℃から2
070℃までは5℃/min、そして2070℃で1時
間保持という温度プログラムを使って2070℃に焼成
した。試料を2070℃から100℃まで3℃/min
で冷却した。焼成した試験棒の密度の平均は3.11±
0.02 g 7cm3(n = 8 )であった。機
械加工した試験棒についての平均の四点MOR曲げ強さ
は55.2±5.2ksiであった[0092] 例」− A1重合体の調製 88.8g (1,44モル)のB(OH)3と、74
.4g (0,40モル)の(Me2SiVx)20と
、234.4g (0,96モル)のPh2si(OM
e)2と、158.6g (0,80モル)のPhSi
 (OMe)3と、1って、留出物温度が90℃に達す
るまでメタノールを取除いた。ポットを冷却して356
gのトルエンで希釈した。蒸留ヘッドをDean−3t
ark )ラップと取り替え、そして反応混合物を16
時間還流させた。室温に冷却してから、反応溶液を7.
1gのNaHCO3で中和し、次いで1軸lのMe2S
iviC1で反応を抑制した。反応溶液を室温で数時間
攪拌し、次に0.22μmの膜フィルターを通してろ過
した。ろ液を濃縮すると、283.8 gの淡黄色樹脂
が得られた。IHNMR(d8− トルエン)は、−0
,40〜0.20(重なり一重線、Si−Me) 、5
.2〜6.0 (幅広の多重線、5i−Vi) 、6.
4〜7.7(幅広の多重線、5i−Ph)であった。計
算された5i−Ph/5i−Vi/Si−Me2比は3
、4 /1. O/1.0、実測は3.88/1.06
/1. Oであった。 [0093] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂4.08 gと、0.78gのPh2S
i(O8iMe2H)2と、0.18gのLupers
ol 101との混合物を調製した。この混合物のアリ
コートをアルゴン雰囲気中において250℃で2時間架
橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤量して黒鉛
るつぼに入れた。このるつぼをAStrO管炉へ移した
。炉を20torr未満になるまで排気し、次いでアル
ゴンを充填し直した。この操作を2回反復しな。アルゴ
ンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/rrnnで1
900℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室温ま
で冷却した。試料の質量残率は29.4%であった。こ
のチャーの元素組成は、炭素52.5%、ホウ素6.4
5%、そしてケイ素44.9%であった。 炭素及びホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわ
ち、100gの硬化重合体は、ケイ素41.1%(差に
よる)と炭素52.5%とホウ素6.45%とからなる
セラミックチャー29.4 gを与える。このチャーは
、 17.24 gの5iC(58,6%)  1.8
8gのB(6,4%)及び10.22 gの過剰のC(
34,8%)からなる。従って、重合体1gごとに0.
172 gの5iC10,019gのB及び0.102
gの過剰炭素が得られる。 [0094] C1試験棒の作製と試験 35、2 gのSiC粉末を、上記Aで生成された樹脂
4.08 gと、0.72 gのPh2Si (O3i
Me2H)2と、0.183 gのLupersol 
101とのトルエン溶液に超音波分散させた(FCV=
1.14%、(B) 〜0.21%)。溶剤は真空中で
除去した。残留物を粉砕して、90μmの篩を通過させ
た。篩にかけた粉末を47ksiで一重プレスして、3
5X8X約3mmの試験棒を作った。これらの試験棒を
アルゴン雰囲気中において250℃で2時間硬化させた
(室温から250℃までは3℃/m1n)。硬化した試
験棒の密度の平均は2.23±0.02 g 7cm3
(n = 6 )であった。硬化した試験棒の平均の四
点MOR曲げ強さは2632±299psi (185
,1±21.0kg/am2)テあった。硬化試験棒ノ
アリコートヲ室温から300℃までは2℃/min、3
00℃から1150℃までは5℃/min 、1150
℃から1575℃までは真空中で5℃/min 、15
75℃で3時間真空中に保持、1575℃から2070
℃までは5℃/min、そして2070℃で1時間保持
という温度プログラムを使って2070℃に焼成した。 試料を2070℃から100℃まで3℃/minで冷却
した。焼成した試験棒の密度の平均は3.10±0.0
1 g 7cm3(n =12)であった。機械加工し
た試験棒についての平均の四点MOR曲げ強さは65.
72±10.5ksi(n =24)であった。 [0095] A1重合体の調製 10.3g (0,10モル)のB (OMe)3と、
38.7g (0,45当量)の(MeViSiO)n
と、36.6g (0,15モル)のPh2Si (O
Me、)2と、59.5g (0,30モル)のPhS
i (OMe)3と、85gの水と、0.50m1のC
F3503Hとの混合物を4時間還流させた。次いで反
応混合物を1gのNaHCO3を加えて中和し、そして
蒸留によって、留出物温度が95℃に達するまでメタノ
ールを取除いた。ポットを冷却して100gのトルエン
で希釈し、そして1gのオクタン酸亜鉛を加えた。蒸留
ヘッドをDean−3tark )ラップと取り替えて
反応混合物を24時間還流させた。室温に冷却してから
、反応を10m1のMe2SiViC1で抑制した。反
応溶液を室温で数時間攪拌し、次に0.22μmの膜フ
ィルターを通してろ過した。ろ液を濃縮すると、86g
の樹脂が得られた。THFでのGPCから数平均分子量
が475、重量平均分子量が1191であることが示さ
れた。 [0096] B6重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂5.587 gと0.010gのLup
ersol 101との混合物を調製した。この混合物
のアリコートをアルゴン雰囲気中において200℃で2
時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤量し
て黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管炉へ
移した。炉を20torr未漢になるまで排気し、次い
でアルゴンを充填し直した。この操作を2回反復した。 アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/min
で1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してから室
温まで冷却した。試料の質量残率は34.9%であった
。このチャーの元素組成は、炭素46.1%、ホウ素1
.76%、そしてケイ素50.5%であった。炭素及び
ホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、10
0gの硬化重合体は、ケイ素52.2%(差による)と
炭素46.1%とホウ素1.8%とからなるセラミック
チャー34.9 gを与える。このチャーは、26.0
 gの5iC(74,5%)   0.628 gのB
(1,8%)及び8.28 gの過剰のC(23,7%
)からなる。従って、重合体1gごとに0.26 gの
SiC,0,0063gのB及び0.0828 gの過
剰炭素が得られる。 [0097] C1試験棒の作製と試験 上記Aで生成された樹脂30.0 gと、0.045 
gのLupersol 101と、そして95gのSi
C粉末(50,0g、25.0 g、15.0 g、そ
して5.0 gに四分して加えた)を、ローラーヘッド
と60m1のボウルを備えたブラベンダープラスチコー
ダー試験機でもって110℃で混合した。60ppmの
速度で45分間混合し、そして冷えるに任せた。この材
料を取出して、そして1800℃の熱板温度及び110
00psi (70,3kg/crn2)のトランスフ
ァー圧力で12゜5トンのHull )ランスファー成
形機を使って成形を行った。 材料は、5分のサイクルでもって、12キヤビテイーの
H形の型へ入れて成形した。これらのサイクル後に成形
品を取出して特性を調べると、密度は2.15g/cc
、四点MOR曲げ強さは5.45±1.74ksiであ
った。成形体のアリコートを、室温から1200℃まで
は2.5℃/min 、1200℃から1500℃まで
は真空中で2.5℃/min 、1500℃で2時間真
空中に保持、1500℃から2050℃までは2.5℃
/min、そして2050℃で4時間保持という温度プ
ログラムを使って2050℃に焼成した。試料を205
0℃から100℃まで5℃/minで冷却した。焼結体
の密度の平均は2.96±0.01 g /印1(n=
12)であった。 [0098] A1重合体の調製 20.6g (0,20モル)のB (OMe)3と、
51.6g (0,60当量)の(MeViSiO)n
と、22.0g  (0,30当量)の(Me2Sin
)nと、73.2g (0,30モル)のPh2Si 
(OMe)2と、 118.8g (0,60モル)の
PhSi (OMe)3と、 170gの水と、2.0
mlのCF3503Hとの混合物を4時間還流させた。 蒸留によって、留出物温度が95℃に達するまでメタノ
ールを取除いた。ポットを冷却し、140gのトルエン
を加えて希釈した。蒸留ヘッドをDean−3tark
 )ラップと取り替え、そして反応混合物を24時間還
流させた。室温に冷却してから、反応溶液を1gのNa
HCO3を加え中和し、10m1のMe2SiviC1
で反応を抑制した。反応溶液を室温で数時間攪拌し、次
に0.22μmの膜フィルターを通してろ過した。ろ液
を濃縮すると、 168gの樹脂が得られた。 [0099] B0重合体の熱分解とチャー組成の計算上記Aにおいて
生成された樹脂5.055 gと0.010 gのLu
persol 101との混合物を調製した。この混合
物のアリコートをアルゴン雰囲気中において200℃で
2時間架橋させた。架橋した重合体のアリコートを秤量
して黒鉛るつぼに入れた。このるつぼをAstro管炉
へ移した。炉を20torr未満になるまで排気し、次
いでアルゴンを充填し直した。この操作を2回繰り返し
た。アルゴンのパージ下に、試料をおおよそ15℃/m
inで1900℃まで加熱し、温度を2時間保持してか
ら室温まで冷却した。試料の質量残率は37.6%であ
った。このチャーの元素組成は、炭素49.6%、ホウ
素1.96%、そしてケイ素46.6%であった。炭素
及びホウ素分析値に基づき、計算を行った。すなわち、
100gの硬化重合体は、ケイ素48.4%(差による
)と炭素49.6%とホウ素1.96%とからなるセラ
ミックチャー37.6 gを与える。 このチャーは、25.9 gの5iC(69,1%’)
   0.737 gのB(1,9%)及び10.85
 gの過剰のC(28,9%)からなる。従って、重合
体1gごとに0.26 gのSiC,0,0074gの
B及び0.108 gの過剰炭素が得られる。 [0100] C0試験棒の作製と試験 上記Aで生成された樹脂30.0 gと、0.045 
gのLupersol 101と、そして90.0 g
のSiC粉末(50,Og、20.0 g、15. O
g、そして5.0 gに四分して加えた)を、ローラー
ヘッドと60m1のボウルを備えたブラベンダープラス
チコーダ試験機でもって110℃で混合した。60pp
mの速度で45分間混合し、そして冷えるに任せた。こ
の材料を取出して、そして18QO℃の熱板温度及び1
1000psi (70,3kg/cm2)(7) )
ランスファー圧力で12.5)ンのHull)ランスフ
ァー成形機を使って成形を行った。 材料は、5分のサイクルでもって、12キヤビテイーの
H形の型へ入れて成形した。これらのサイクル後に成形
品を取出して特性を調べると、密度は2.15g/cc
、四点MOR曲げ強さは5.45±1.74ksiであ
った。成形体のアリコートを、室温から1200℃まで
は2.5℃/min 、1200℃から1500℃まで
は真空中で2.5℃/min、1500℃で2時間真空
中に保持、1500℃から2050℃までは2.5℃/
min、そして2050℃で4時間保持という温度プロ
グラムを使って2050℃に焼成した。試料を2050
℃3(n=12)であった。試、験棒についての平均の
四点MOR曲げ強さは49.6±4.5ksi(n=1
2)であった。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】次の工程(a)〜(c)を含む、炭化ケイ
    素の焼結体を調製する方法。 (a)炭化ケイ素粉末と、プレセラミックボロシロキサ
    ンと、このボロシロキサンのための硬化剤とを含んでな
    る成分を混合して均一混合物とし、この際に、上記硬化
    剤が硬化のために有効な量で存在しており、そして上記
    プレセラミックボロシロキサンの量が、 (i)上記混合物中のホウ素の量が上記炭化ケイ素粉末
    と当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャ
    ーとの合計重量を基準として0.08〜3重量%であり
    、そして (ii)上記混合物の遊離炭素値が上記炭化ケイ素粉末
    と当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャ
    ーとの合計重量を基準として0.1重量%より多いよう
    な量である工程 (b)約500℃より低い温度において加圧下に上記均
    一混合物を所望の形状に成形して手で取扱うことの可能
    な未焼結体を得る工程 (c)1900℃よりも高い温度において不活性雰囲気
    中で上記の手で取扱うことの可能な未焼結体を焼結して
    密度が2.4g/cm^3より高い炭化ケイ素の焼結体
    を得る工程
  2. 【請求項2】前記ボロシロキサンのための架橋剤が架橋
    させるのに有効な量で更に存在している、請求項1記載
    の方法。
  3. 【請求項3】次の工程(i)及び(ii)を含む、手で
    取扱うことの可能な未焼結体を成形する方法。 (i)炭化ケイ素粉末と、プレセラミックボロシロキサ
    ンと、このボロシロキサンのための硬化剤とを含んでな
    る成分を混合して均一混合物とし、この際に、上記硬化
    剤が硬化のために有効な量で存在しており、そして上記
    プレセラミツクボロシロキサンの量が、 (a)上記混合物中のホウ素の量が上記炭化ケイ素粉末
    と当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャ
    ーとの合計重量を基準として0.08〜3重量%であり
    、そして (b)上記混合物の遊離炭素値が上記炭化ケイ素粉末と
    当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャー
    との合計重量を基準として0.1重量%より多いような
    量である工程 (ii)上記均一混合物を約500℃より低い温度にお
    いて加圧下に成形して所望の形状にする工程
  4. 【請求項4】前記ボロシロキサンのための架橋剤が架橋
    させるのに有効な量で更に存在している、請求項3記載
    の方法。
  5. 【請求項5】炭化ケイ素粉末と、プレセラミックボロシ
    ロキサンと、そしてこのボロシロキサンのための硬化剤
    とを含んでなる混合物であって、上記硬化剤が硬化のた
    めに有効な量で存在しており、そして上記プレセラミッ
    クボロシロキサンの量が、 (a)当該混合物中のホウ素の量が上記炭化ケイ素粉末
    と当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャ
    ーとの合計重量を基準として0.08〜3重量%であり
    、そして (b)当該混合物の遊離炭素値が上記炭化ケイ素粉末と
    当該プレセラミックボロシロキサンから得られるチャー
    との合計重量を基準として0.1重量%より多いような
    量である均一混合物。
  6. 【請求項6】前記ボロシロキサンのための架橋剤が架橋
    させるのに有効な量で更に存在している、請求項5記載
    の均一混合物。
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