JPH03290713A - サーボ回路 - Google Patents
サーボ回路Info
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- JPH03290713A JPH03290713A JP9178690A JP9178690A JPH03290713A JP H03290713 A JPH03290713 A JP H03290713A JP 9178690 A JP9178690 A JP 9178690A JP 9178690 A JP9178690 A JP 9178690A JP H03290713 A JPH03290713 A JP H03290713A
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- JP
- Japan
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- disturbance
- circuit
- frequency band
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明はサーボ回路に係わり、特に振動等によリサーボ
が容易に外れないようにできる光デイスクプレーヤ等に
おけるサーボ回路に関する。
が容易に外れないようにできる光デイスクプレーヤ等に
おけるサーボ回路に関する。
〈従来技術〉
ＣＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＬＤ等のディスクを記録媒体とす
る光デイスクプレーヤでは、フォーカスサーボ回路によ
り、光ピツクアップにおける対物レンズの位置と合焦点
値Ｗ（焦点がディスク反射面に合致する対物レンズの位
置）間の距離に応じたエラー信号ＦＥを発生し、該エラ
ー信号に基づいて対物レンズを移動させて合焦点値ｌ
（ＦＥ＝Ｏ）に安定するようにフォーカスサーボ制御を
行っている。
る光デイスクプレーヤでは、フォーカスサーボ回路によ
り、光ピツクアップにおける対物レンズの位置と合焦点
値Ｗ（焦点がディスク反射面に合致する対物レンズの位
置）間の距離に応じたエラー信号ＦＥを発生し、該エラ
ー信号に基づいて対物レンズを移動させて合焦点値ｌ
（ＦＥ＝Ｏ）に安定するようにフォーカスサーボ制御を
行っている。
第６図はかかる従来のフォーカスサーボ回路の構成図で
あり、１は光ピツクアップ（図示せず）に搭載されてい
る４分割型のフォダイオード、２は４分割フォトダイオ
ードユのうち、第１、第３フォトダイオードＡ、Ｃの合
成電流■１を電圧Ｖ工に変換するＩ−Ｖ変換器、３は第
２、第４フォトダイオードＢ、Ｄの合成電流１□を電圧
Ｖ２に変換するＩ−Ｖ変換器、４は電圧Ｖ、、Ｖ２の差
であるフォーカスエラー信号ＦＥを発生する減算回路、
５は光ピツクアップの低域特性を補償するために設けら
れ、エラー信号ＦＥの低域成分を持ち上げる低域ブース
ト回路、６はエラー信号に含まれる高域成分の位相を補
償する高域位相補償回路、７は高域位相補償回路出力に
基づいてフォーカスアクチュエータ８を駈動して対物レ
ンズと合焦点位置間の距離を制御するアクチュエータド
ライバである。
あり、１は光ピツクアップ（図示せず）に搭載されてい
る４分割型のフォダイオード、２は４分割フォトダイオ
ードユのうち、第１、第３フォトダイオードＡ、Ｃの合
成電流■１を電圧Ｖ工に変換するＩ−Ｖ変換器、３は第
２、第４フォトダイオードＢ、Ｄの合成電流１□を電圧
Ｖ２に変換するＩ−Ｖ変換器、４は電圧Ｖ、、Ｖ２の差
であるフォーカスエラー信号ＦＥを発生する減算回路、
５は光ピツクアップの低域特性を補償するために設けら
れ、エラー信号ＦＥの低域成分を持ち上げる低域ブース
ト回路、６はエラー信号に含まれる高域成分の位相を補
償する高域位相補償回路、７は高域位相補償回路出力に
基づいてフォーカスアクチュエータ８を駈動して対物レ
ンズと合焦点位置間の距離を制御するアクチュエータド
ライバである。
〈発明が解決しようとする問題点〉
ところで、従来の低域ブースト回路５における低域ブー
スト量は常に一定である。このため、装置外部からの振
動に起因して外乱が発生し、該外乱がサーボ回路による
抑圧量を越えるとサーボが外れてしまうという問題があ
った。
スト量は常に一定である。このため、装置外部からの振
動に起因して外乱が発生し、該外乱がサーボ回路による
抑圧量を越えるとサーボが外れてしまうという問題があ
った。
従って、本発明の目的は外乱に基づいて低域ブースト回
路の低域ブースト量を制御し、これにより振動等の外乱
に対する抑圧量を大きくして容易にサーボ外れを生しな
いようにできるサーボ回路を提供することである。
路の低域ブースト量を制御し、これにより振動等の外乱
に対する抑圧量を大きくして容易にサーボ外れを生しな
いようにできるサーボ回路を提供することである。
く課題を解決するための手段〉
上記課題は本発明においては、目標位置に対する位置偏
差に応じたエラー信号を発生するエラー信号発生回路と
、該エラー信号の低域をブーストするＦＩＲ型低域ブー
スト回路と、エラー信号に含まれる複数の周波数帯域に
おける外乱成分を検出する検出部と、外乱の各周波数帯
域成分の値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路の係数
を決定する係数決定部とにより達成される。
差に応じたエラー信号を発生するエラー信号発生回路と
、該エラー信号の低域をブーストするＦＩＲ型低域ブー
スト回路と、エラー信号に含まれる複数の周波数帯域に
おける外乱成分を検出する検出部と、外乱の各周波数帯
域成分の値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路の係数
を決定する係数決定部とにより達成される。
〈作用〉
目標位置に対する位置偏差に応じたエラー信号に含まれ
る外乱の複数の周波数帯域における成分（振動等に起因
する）を検出し、各周波数帯域における外乱成分の値に
基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路の係数を決定し、Ｆ
ＩＲ型低域ブースト回路の低域ブースト量を外乱の大き
さに基づいて制御する。
る外乱の複数の周波数帯域における成分（振動等に起因
する）を検出し、各周波数帯域における外乱成分の値に
基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路の係数を決定し、Ｆ
ＩＲ型低域ブースト回路の低域ブースト量を外乱の大き
さに基づいて制御する。
〈実施例〉
第１図は本発明に係わるフォーカスサーボ回路のブロッ
ク図であり、１１はコンパクトディスク、１２は光ピツ
クアップであり、対物レンズ１２ａや対物レンズの位置
を移動させるフォーカスアクチュエータ１２ｂ、４分割
のフォトダイオード（図示せず）等を有している。１３
は４分割フォトダイオードのうち、第１、第３フオトダ
イオードの合成電流１．及び第２、第４フオトダイオー
ドの合成電流■２をそれぞれ電圧Ｖ１．Ｖ２に変換する
Ｉ−Ｖ変換器、１４は電圧Ｖ、、Ｖ２の差を演算してフ
ォーカスエラー信号ＦＥを出力するエラー信号生成部、
１５はエラー信号の低域成分をブー°ストするＦＩＲ型
デジタルフィルタ構成の低域ブースト回路（Ｆ Ｉ Ｒ
型低域ブースト回路という）１６はＦＩＲ型低域ブース
ト回路出力の高域における位相を補償する高域位相補償
回路、１７はアクチュエータトライバである。
ク図であり、１１はコンパクトディスク、１２は光ピツ
クアップであり、対物レンズ１２ａや対物レンズの位置
を移動させるフォーカスアクチュエータ１２ｂ、４分割
のフォトダイオード（図示せず）等を有している。１３
は４分割フォトダイオードのうち、第１、第３フオトダ
イオードの合成電流１．及び第２、第４フオトダイオー
ドの合成電流■２をそれぞれ電圧Ｖ１．Ｖ２に変換する
Ｉ−Ｖ変換器、１４は電圧Ｖ、、Ｖ２の差を演算してフ
ォーカスエラー信号ＦＥを出力するエラー信号生成部、
１５はエラー信号の低域成分をブー°ストするＦＩＲ型
デジタルフィルタ構成の低域ブースト回路（Ｆ Ｉ Ｒ
型低域ブースト回路という）１６はＦＩＲ型低域ブース
ト回路出力の高域における位相を補償する高域位相補償
回路、１７はアクチュエータトライバである。
１８はフォーカスエラー信号ＦＨの複数の周波数帯域に
おける成分を検出する周波数帯域成分検出部であり、周
波数帯域毎にバントパスフィルタＢＰＦ１．ＢＰＦ２．
・・ＢＰＦＴＩが設けられ、順次図示しない切換ス
イッチで各バンドパスフィルタ出力が次段のＡＤ変換器
に入力されるようになっている。尚、フォーカスエラー
信号ＦＥの各周波数帯域成分は振動等の外乱に起因して
生しるものであり、従って、各バンドパスフィルタ出力
は外乱の各周波数帯域成分とみなせる。
おける成分を検出する周波数帯域成分検出部であり、周
波数帯域毎にバントパスフィルタＢＰＦ１．ＢＰＦ２．
・・ＢＰＦＴＩが設けられ、順次図示しない切換ス
イッチで各バンドパスフィルタ出力が次段のＡＤ変換器
に入力されるようになっている。尚、フォーカスエラー
信号ＦＥの各周波数帯域成分は振動等の外乱に起因して
生しるものであり、従って、各バンドパスフィルタ出力
は外乱の各周波数帯域成分とみなせる。
１９は係数決定部であり、周波数帯域成分検出部１８か
ら順次入力される外乱の各周波数帯域成分をデジタルに
変換するＡＤ変換器１９ａと、外乱の各周波数帯域成分
の信号値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路１５の係
数を決定してブースト量を制御するマイコン構成のシス
テムコントローラ１９ｂを有している。
ら順次入力される外乱の各周波数帯域成分をデジタルに
変換するＡＤ変換器１９ａと、外乱の各周波数帯域成分
の信号値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路１５の係
数を決定してブースト量を制御するマイコン構成のシス
テムコントローラ１９ｂを有している。
ＦＩＲ型低域ブースト回路１５は、例えば第２図に示す
ように、１サンプリング時間の遅延回路ＤＥＬと、乗算
器ＭＵＬと、係数決定部１９から入力される係数ａ１
（ｉ＝１．２． ・・）を記憶する係数記憶部ＣＥＭ
と、加算器ＡＤＤとで構成され、次式 ％式％（１） で表される信号ｙｎを出力する。尚、ＦＩＲ型デジタル
フィルタ回路１６の位相特性は平坦であり、ゲイン特性
のみ係数ａ１を変えることにより変化させることができ
、一般にその周波数・ゲイン特性は第３図に示すように
低域において盛り上がり低域をブーストするようになっ
ている。
ように、１サンプリング時間の遅延回路ＤＥＬと、乗算
器ＭＵＬと、係数決定部１９から入力される係数ａ１
（ｉ＝１．２． ・・）を記憶する係数記憶部ＣＥＭ
と、加算器ＡＤＤとで構成され、次式 ％式％（１） で表される信号ｙｎを出力する。尚、ＦＩＲ型デジタル
フィルタ回路１６の位相特性は平坦であり、ゲイン特性
のみ係数ａ１を変えることにより変化させることができ
、一般にその周波数・ゲイン特性は第３図に示すように
低域において盛り上がり低域をブーストするようになっ
ている。
フォーカスエラー信号ＦＥは目標位置と現在位置との偏
差に応じた値になり、一定速度で対物レンズを遠方から
、目標位置を通過させてディスク面に向かって移動させ
るとフォーカスエラー信号波形は第４図に示すように目
標位置の前後近傍で逆Ｓ字カーブを示す。尚、逆Ｓ字カ
ーブの傾斜部とエラー電圧ゼロレベルの交点Ｃにおいて
対物レンズは目標位置（合焦点位置）に位置する。
差に応じた値になり、一定速度で対物レンズを遠方から
、目標位置を通過させてディスク面に向かって移動させ
るとフォーカスエラー信号波形は第４図に示すように目
標位置の前後近傍で逆Ｓ字カーブを示す。尚、逆Ｓ字カ
ーブの傾斜部とエラー電圧ゼロレベルの交点Ｃにおいて
対物レンズは目標位置（合焦点位置）に位置する。
このエラー信号波形から明らかなように、対物レンズが
合焦点位置からリニア範囲ＬＮＲを超えて外れると、換
言すれば交点Ｃからピーク点までの時間をｔ、移動速度
をＶとすると、対物レンズが合焦点位置からＶ−ｔの距
離以上はずれると、サーボ不可能となって、もはや対物
レンズを目標位置に位置させることができなくなる。例
えば、車載用のＣＤプレーヤ等において外部から振動が
加えられてリニア範囲を超えると、サーボ不可能となっ
て、もはや対物レンズを目標位置に位置させることがで
きなくなる。
合焦点位置からリニア範囲ＬＮＲを超えて外れると、換
言すれば交点Ｃからピーク点までの時間をｔ、移動速度
をＶとすると、対物レンズが合焦点位置からＶ−ｔの距
離以上はずれると、サーボ不可能となって、もはや対物
レンズを目標位置に位置させることができなくなる。例
えば、車載用のＣＤプレーヤ等において外部から振動が
加えられてリニア範囲を超えると、サーボ不可能となっ
て、もはや対物レンズを目標位置に位置させることがで
きなくなる。
以下、第１図の全体的動作を説明する。尚、はじめに、
本発明方法の概略を説明すると、まずフォーカスエラー
信号ＦＥに含まれる外乱の各周波数帯域成分を検出し、
各周波数帯域成分が一定振幅（フォーカスサーボのリニ
アリティ範囲）以内であるかどうかチエツクし、一定振
幅以上となった場合にはＦＩＲ型低域ブースト回路１５
をコントロールし、一定振幅以上となった帯域（外乱の
周波数成分）のブースト量を上げ、これにより外乱に対
する抑圧量を増大し、振動で容易にサーボ外れが生じな
いようにする。
本発明方法の概略を説明すると、まずフォーカスエラー
信号ＦＥに含まれる外乱の各周波数帯域成分を検出し、
各周波数帯域成分が一定振幅（フォーカスサーボのリニ
アリティ範囲）以内であるかどうかチエツクし、一定振
幅以上となった場合にはＦＩＲ型低域ブースト回路１５
をコントロールし、一定振幅以上となった帯域（外乱の
周波数成分）のブースト量を上げ、これにより外乱に対
する抑圧量を増大し、振動で容易にサーボ外れが生じな
いようにする。
さて、ＣＤプレーヤに振動が加えられると、対物レンズ
の位置が振動し、フォーカスエラー信号ＦＥに該振動成
分（外乱成分）が含まれるようになる。周波数帯域成分
検出部１８のバンドパスフィルタＢＰＦ１．ＢＰＦ２．
・−ＢＰＦｎはこのエラー信号ＦＥに含まれる外乱
の各周波数成分を検出し、順次図示しない切換スイッチ
を介して出力する。
の位置が振動し、フォーカスエラー信号ＦＥに該振動成
分（外乱成分）が含まれるようになる。周波数帯域成分
検出部１８のバンドパスフィルタＢＰＦ１．ＢＰＦ２．
・−ＢＰＦｎはこのエラー信号ＦＥに含まれる外乱
の各周波数成分を検出し、順次図示しない切換スイッチ
を介して出力する。
ＡＤ変換器１９ａは各バンドパスフィルタ出力（外乱の
各周波数帯域成分）をデジタルに変換し、システムコン
トローラ１９ｂは外乱の各周波数帯域成分の値に基づい
て係数決定処理を行い、得られた係数ａｉ（１＝１１２
＋ ” ’）をＦＩＲ型低域ブースト回路１５に入力
する。
各周波数帯域成分）をデジタルに変換し、システムコン
トローラ１９ｂは外乱の各周波数帯域成分の値に基づい
て係数決定処理を行い、得られた係数ａｉ（１＝１１２
＋ ” ’）をＦＩＲ型低域ブースト回路１５に入力
する。
ＦＩＲ型低域ブースト回路１５は入力された係数ａＩ（
ｉ＝１．２． ・・）に基づいてエラー信号ＦＥに（
１）式の計算を施して後段の位相補償回路１６に入力す
る。換言すれば、ＦＩＲ型低域ブスト回路１５は外乱の
周波数帯域成分が一定値より大きくなった時、該周波数
帯域のブースト量を上げるように周波数ゲイン特性を変
更する。この結果、振動により容易にサーボ外れが生じ
ないようにできる。
ｉ＝１．２． ・・）に基づいてエラー信号ＦＥに（
１）式の計算を施して後段の位相補償回路１６に入力す
る。換言すれば、ＦＩＲ型低域ブスト回路１５は外乱の
周波数帯域成分が一定値より大きくなった時、該周波数
帯域のブースト量を上げるように周波数ゲイン特性を変
更する。この結果、振動により容易にサーボ外れが生じ
ないようにできる。
システムコントローラ１９ｂによる係数決定処理は以下
のように行われる。但し、周波数帯域成分検出部１８は
周波数ｆ工、ｆ２（ｆ□〈ｆ２）の２つの外乱成分を通
過させるものとし、又、予め、ＦＩＲ型低域ブースト回
路１５の周波数・ゲイン特性がそれぞれ第５図（ａ）〜
（ｄ）となるような係数ａｉ（ｉ＝＝１．２、・・）を
４組決定してメモリに記憶しておく。システムコントロ
ーラ１９ｂは周波数ｆ、、ｆ２の外乱成分と一定振幅を
比較し、（１）周波数ｆ１．ｆ２の外乱成分が共に一定
振幅以下の場合には、第５図（ａ）の特性に対応する係
数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路に入力し、（２
）周波数ｆ２の外乱成分のみが一定振幅以上の場合には
、第５図（ｂ）の特性に対応する係数を選択してＦＩＲ
型低域ブースト回路に入力し、（３）周波数ｆ、の外乱
成分のみが一定振幅以上の場合には、第５図（ｃ）の特
性に対応する係数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路
に入力し、（４）周波数ｆ１．ｆ、の外乱成分が共に一
定振幅以上の場合には、第５図（ｄ）の特性に対応する
係数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路に入力する。
のように行われる。但し、周波数帯域成分検出部１８は
周波数ｆ工、ｆ２（ｆ□〈ｆ２）の２つの外乱成分を通
過させるものとし、又、予め、ＦＩＲ型低域ブースト回
路１５の周波数・ゲイン特性がそれぞれ第５図（ａ）〜
（ｄ）となるような係数ａｉ（ｉ＝＝１．２、・・）を
４組決定してメモリに記憶しておく。システムコントロ
ーラ１９ｂは周波数ｆ、、ｆ２の外乱成分と一定振幅を
比較し、（１）周波数ｆ１．ｆ２の外乱成分が共に一定
振幅以下の場合には、第５図（ａ）の特性に対応する係
数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路に入力し、（２
）周波数ｆ２の外乱成分のみが一定振幅以上の場合には
、第５図（ｂ）の特性に対応する係数を選択してＦＩＲ
型低域ブースト回路に入力し、（３）周波数ｆ、の外乱
成分のみが一定振幅以上の場合には、第５図（ｃ）の特
性に対応する係数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路
に入力し、（４）周波数ｆ１．ｆ、の外乱成分が共に一
定振幅以上の場合には、第５図（ｄ）の特性に対応する
係数を選択してＦＩＲ型低域ブースト回路に入力する。
以上ではフォーカスサーボに本発明を適用した場合につ
いて説明したが、トラッキングサーボ、スピンドルサー
ボ等にも適用できるものである。
いて説明したが、トラッキングサーボ、スピンドルサー
ボ等にも適用できるものである。
〈発明の効果〉
以上本発明によれば、目標位置に対する位置偏差に応じ
たエラー信号を発生し、該エラー信号に含まれる複数の
周波数帯域における外乱成分を検出し、各周波数帯域に
おける外乱成分の値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回
路の係数を決定し、ＦＩＲ型低域ブースト回路の低域ブ
ースト量を外乱に基づいて制御して該外乱に対する抑圧
量を増大させるように構成したから、振動等の外乱によ
り容易にサーボ外れを生じないようにでき、特に頻繁に
振動が加えられる車載用ＣＤプレーヤに適用して好適で
ある。
たエラー信号を発生し、該エラー信号に含まれる複数の
周波数帯域における外乱成分を検出し、各周波数帯域に
おける外乱成分の値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回
路の係数を決定し、ＦＩＲ型低域ブースト回路の低域ブ
ースト量を外乱に基づいて制御して該外乱に対する抑圧
量を増大させるように構成したから、振動等の外乱によ
り容易にサーボ外れを生じないようにでき、特に頻繁に
振動が加えられる車載用ＣＤプレーヤに適用して好適で
ある。
第１図は本発明に係わるフォーカスサーボ回路のブロッ
ク図、 第２図はＦＩＲ型低域ブースト回路の構成図。 第３図はＦＩＲ型低域ブースト回路の周波数・ゲイン特
性図、 第４図はフォーカスエラー信号の波形図、第５図は係数
決定処理の説明図、 第６図は従来のサーボ回路の説明図である。 １４・・エラー信号生成回路 １５・・ＦＩＲ型低域フィルタ １８・・周波数帯域成分検出部 １９・・係数決定部
ク図、 第２図はＦＩＲ型低域ブースト回路の構成図。 第３図はＦＩＲ型低域ブースト回路の周波数・ゲイン特
性図、 第４図はフォーカスエラー信号の波形図、第５図は係数
決定処理の説明図、 第６図は従来のサーボ回路の説明図である。 １４・・エラー信号生成回路 １５・・ＦＩＲ型低域フィルタ １８・・周波数帯域成分検出部 １９・・係数決定部
Claims (1)
- 目標位置に対する位置偏差に応じたエラー信号を発生す
るエラー信号発生回路と、該エラー信号の低域成分をブ
ーストするＦＩＲ型デジタルフィルタ構成のブースト回
路と、該ＦＩＲ型低域ブースト回路出力における位相を
補償する位相補償回路と、位相補償回路出力により制御
対象の位置を目標位置に向けて移動させるサーボドライ
バと、前記エラー信号に含まれる外乱の複数の周波数帯
域における成分を検出する検出部と、外乱の各周波数帯
域成分の値に基づいてＦＩＲ型低域ブースト回路の係数
を変えてブースト量をコントロールする係数決定部を有
することを特徴とするサーボ回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2091786A JPH0816849B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | サーボ回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2091786A JPH0816849B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | サーボ回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03290713A true JPH03290713A (ja) | 1991-12-20 |
| JPH0816849B2 JPH0816849B2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=14036285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2091786A Expired - Fee Related JPH0816849B2 (ja) | 1990-04-06 | 1990-04-06 | サーボ回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0816849B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007294958A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-08 | Asml Netherlands Bv | 改善されたフィードフォワードデータを取得する方法、その方法を実行するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
-
1990
- 1990-04-06 JP JP2091786A patent/JPH0816849B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007294958A (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-08 | Asml Netherlands Bv | 改善されたフィードフォワードデータを取得する方法、その方法を実行するリソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0816849B2 (ja) | 1996-02-21 |
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