JPH032917U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH032917U JPH032917U JP6408989U JP6408989U JPH032917U JP H032917 U JPH032917 U JP H032917U JP 6408989 U JP6408989 U JP 6408989U JP 6408989 U JP6408989 U JP 6408989U JP H032917 U JPH032917 U JP H032917U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotating member
- magnetic bearing
- rotating
- support
- intermediate member
- Prior art date
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- Granted
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- 238000013016 damping Methods 0.000 claims 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Description
第1図は本考案による磁気軸受装置の縦断面図
、第2図は磁気軸受装置を採用したターボ分子ポ
ンプの縦断面図、第3図は第1図の拡大断面図、
第4図は磁気軸受装置の等価回路を示す構造略図
、第5図は0リングの変位−復元力の特性の一例
の説明図である。 4…ロータシヤフト、5…ターボ翼、10…上
部磁気軸受装置、22…中間部材、23…磁気軸
受、31…0リング、33…ダンパー部材。
、第2図は磁気軸受装置を採用したターボ分子ポ
ンプの縦断面図、第3図は第1図の拡大断面図、
第4図は磁気軸受装置の等価回路を示す構造略図
、第5図は0リングの変位−復元力の特性の一例
の説明図である。 4…ロータシヤフト、5…ターボ翼、10…上
部磁気軸受装置、22…中間部材、23…磁気軸
受、31…0リング、33…ダンパー部材。
Claims (1)
- 支持部材と回転部材との間に回転部材に対して
略同軸に揺動自在な中間部材を設け、この中間部
材と回転部材との間に磁気軸受を設けて回転部材
を回転可能に軸支する一方、上記回転部材の径方
向にその弾性力を及ぼす弾性部材を支持部材と中
間部材との間に設け、上記支持部材と中間部材と
の間に、振動を減衰し得るシリコーンゲル製の環
状をなすダンパー部材を介設したことを特徴とす
る磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989064089U JP2515923Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989064089U JP2515923Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH032917U true JPH032917U (ja) | 1991-01-11 |
| JP2515923Y2 JP2515923Y2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=31594717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989064089U Expired - Lifetime JP2515923Y2 (ja) | 1989-06-01 | 1989-06-01 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2515923Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS6424726U (ja) * | 1987-08-03 | 1989-02-10 |
-
1989
- 1989-06-01 JP JP1989064089U patent/JP2515923Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993995A (ja) * | 1982-10-23 | 1984-05-30 | アルツ−ル・フアイフエル・ヴア−クウムテクニツク・ヴエツツラ−・ゲ−エムベ−ハ− | ポンプ |
| JPS6424726U (ja) * | 1987-08-03 | 1989-02-10 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2515923Y2 (ja) | 1996-11-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |