JPH03292782A - 固体レーザ発振器 - Google Patents
固体レーザ発振器Info
- Publication number
- JPH03292782A JPH03292782A JP2093903A JP9390390A JPH03292782A JP H03292782 A JPH03292782 A JP H03292782A JP 2093903 A JP2093903 A JP 2093903A JP 9390390 A JP9390390 A JP 9390390A JP H03292782 A JPH03292782 A JP H03292782A
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- JP
- Japan
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- polarized light
- light component
- component
- output mirror
- laser
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、電子部品や精密機器の加工装置、あるいは計
測、分析機器等に使用される連続励起の固体レーザ発振
器に関する。
測、分析機器等に使用される連続励起の固体レーザ発振
器に関する。
（従来の技術）
近年、連続励起の固体レーザ発振器は電子部品、特にＩ
ＣやＩＣデバイス等の微細加工に広く用いられている。
ＣやＩＣデバイス等の微細加工に広く用いられている。
また、生産への実用には生産性を高めるために発振出力
のレーザ光を、ハーフミラ−により多分岐して同時に複
数のレーザ加工を行なうことが行なわれている。その場
合、特にハーフミラ−における分岐精度を高めるために
、直線偏光のレーザ発振器が使用されている。
のレーザ光を、ハーフミラ−により多分岐して同時に複
数のレーザ加工を行なうことが行なわれている。その場
合、特にハーフミラ−における分岐精度を高めるために
、直線偏光のレーザ発振器が使用されている。
第２図は、そのような従来の直線偏光の連続励起固体レ
ーザ発振器の概略を示す図である。レーザ媒質１は励起
ランプ２が発する光によりレーザ光３が励起されて、そ
のレーザ光３は全反射ミラー４と出力ミラー５との間を
往復する間に１次第に増幅されて安定点に達し、全反射
ミラー４と出力ミラー５との間を往復するレーザ光３の
一部が、出力ミラー５を透過して、加工等の実用に供せ
られる。６はブリュースタープレートでレーザ共振器内
でレーザ光３とブリュースター角を保って設置されてい
る。これによりレーザ光３を構成するＳ偏光成分の約１
５％のＳ偏光成分７が反射され、それによりＳ偏光成分
の発振が抑制されることになり、残るＰ偏光成分のみで
発振する。その結果、出力ミラー５から出力されるレー
ザ光はＰ偏光成分８のみの直線偏光となる。
ーザ発振器の概略を示す図である。レーザ媒質１は励起
ランプ２が発する光によりレーザ光３が励起されて、そ
のレーザ光３は全反射ミラー４と出力ミラー５との間を
往復する間に１次第に増幅されて安定点に達し、全反射
ミラー４と出力ミラー５との間を往復するレーザ光３の
一部が、出力ミラー５を透過して、加工等の実用に供せ
られる。６はブリュースタープレートでレーザ共振器内
でレーザ光３とブリュースター角を保って設置されてい
る。これによりレーザ光３を構成するＳ偏光成分の約１
５％のＳ偏光成分７が反射され、それによりＳ偏光成分
の発振が抑制されることになり、残るＰ偏光成分のみで
発振する。その結果、出力ミラー５から出力されるレー
ザ光はＰ偏光成分８のみの直線偏光となる。
（発明が解決しようとする課題）
従来の固体レーザ発振器は上記のように構成され、Ｓ偏
光成分に損失を与えてＰ偏光成分のみを出射する構成で
あるから、無偏光のレーザ発振と比較すると出力は半減
され５したがってレーザ光を多分岐して複数の仕事を行
なわせるような、高出力の固体レーザ光が必要な場合に
は極めて不都合であった。
光成分に損失を与えてＰ偏光成分のみを出射する構成で
あるから、無偏光のレーザ発振と比較すると出力は半減
され５したがってレーザ光を多分岐して複数の仕事を行
なわせるような、高出力の固体レーザ光が必要な場合に
は極めて不都合であった。
本発明は従来の上述した固体レーザ発振器の問題点に鑑
み、無偏光のレーザ光と比較して大きな出力低下がない
、直線偏光の固体レーザ発振器の提供を目的とする。
み、無偏光のレーザ光と比較して大きな出力低下がない
、直線偏光の固体レーザ発振器の提供を目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は上記の目的を、直線偏光連続励起の固体レーザ
共振器内に、レーザ光をＰ偏光成分とＳ偏光成分に分離
するための偏光子を配置し、上記偏光成分にそれぞれ対
応する第１．第２の出力ミラーを透過して、レーザ光の
Ｐ偏光成分およびＳ偏光成分をそれぞれ取り出す構成と
して達成する。
共振器内に、レーザ光をＰ偏光成分とＳ偏光成分に分離
するための偏光子を配置し、上記偏光成分にそれぞれ対
応する第１．第２の出力ミラーを透過して、レーザ光の
Ｐ偏光成分およびＳ偏光成分をそれぞれ取り出す構成と
して達成する。
（作 用）
上記の構成による本発明によれば、レーザ光をＰ偏光成
分及びＳ偏光成分に分け、それぞれの偏光成分の一部を
第１．第２の出力ミラーから取り出すと共に、残るレー
ザ光を再びレーザ共振器内に戻すから、特定の偏光成分
がバランス良く発振し、無偏光の発振出力と比較して出
力の大きな低下がない、直線偏光のレーザ光が発生する
二とになり、本発明のレーザ発振器出力を多分岐加工等
に用いれば大きな利益が得られる。
分及びＳ偏光成分に分け、それぞれの偏光成分の一部を
第１．第２の出力ミラーから取り出すと共に、残るレー
ザ光を再びレーザ共振器内に戻すから、特定の偏光成分
がバランス良く発振し、無偏光の発振出力と比較して出
力の大きな低下がない、直線偏光のレーザ光が発生する
二とになり、本発明のレーザ発振器出力を多分岐加工等
に用いれば大きな利益が得られる。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図は本発明の一実施例の固体レーザ発振器の構成を
示すブロック図で、第２図に用いたと同じ、または同等
の機能の部位には同じ符号を用いており、レーザ媒質１
は励起ランプ２の光により励起され、発生するレーザ光
３は全反射ミラー４と、第１の出力ミラー９および第２
の出力ミラー１０との間を往復しながら増幅される。１
１はレーデ光３のＳ偏光成分１２を反射する偏光子であ
り、この偏光子１１によって反射されるＳ偏光成分１２
は第１の出力ミラー９に導かれ、Ｓ偏光成分１２の一部
は、第１の出力ミラー９を透過して共振器外に取り出さ
れ実用に供される。
示すブロック図で、第２図に用いたと同じ、または同等
の機能の部位には同じ符号を用いており、レーザ媒質１
は励起ランプ２の光により励起され、発生するレーザ光
３は全反射ミラー４と、第１の出力ミラー９および第２
の出力ミラー１０との間を往復しながら増幅される。１
１はレーデ光３のＳ偏光成分１２を反射する偏光子であ
り、この偏光子１１によって反射されるＳ偏光成分１２
は第１の出力ミラー９に導かれ、Ｓ偏光成分１２の一部
は、第１の出力ミラー９を透過して共振器外に取り出さ
れ実用に供される。
また、偏光子１１を透過するレーザ光３のＰ偏光成分１
３は、第２の出力ミラー１０に向い、その一部は出力ミ
ラー１０を透過して共振器外に取り出され実用に供され
る。
３は、第２の出力ミラー１０に向い、その一部は出力ミ
ラー１０を透過して共振器外に取り出され実用に供され
る。
本発明は以上のように、レーザ光をＳ偏光成分、および
Ｐ偏光成分に分光する偏光子１１と、それぞれの偏光成
分に対応する第１．第２の出力ミラー９．１０を設ける
ことによって、ＰおよびＳ双方の偏光成分での発振を可
能にし、ＰおよびＳそれぞれの偏光成分が加工出力とし
て無駄なく利用可能になる。
Ｐ偏光成分に分光する偏光子１１と、それぞれの偏光成
分に対応する第１．第２の出力ミラー９．１０を設ける
ことによって、ＰおよびＳ双方の偏光成分での発振を可
能にし、ＰおよびＳそれぞれの偏光成分が加工出力とし
て無駄なく利用可能になる。
（発明の効果）
以上説明して明らかなように本発明は、レーザ共振器の
内部に、レーザ光をＰ偏光成分およびＳ偏光成分に分光
する偏光子を設け、かつ、それぞれの偏光成分に対応す
る第１．第２の出力ミラーを配置する構成によって、出
力が無偏光発振の場合と比較して大きな低下を生じない
直線偏光の固体レーザ装置であり、レーザ光出力はＰ偏
光成分およびＳ偏光成分として別々にとりだせるから、
本発明を複数のレーザ加工に用いるとき大きな効果が得
られる。
内部に、レーザ光をＰ偏光成分およびＳ偏光成分に分光
する偏光子を設け、かつ、それぞれの偏光成分に対応す
る第１．第２の出力ミラーを配置する構成によって、出
力が無偏光発振の場合と比較して大きな低下を生じない
直線偏光の固体レーザ装置であり、レーザ光出力はＰ偏
光成分およびＳ偏光成分として別々にとりだせるから、
本発明を複数のレーザ加工に用いるとき大きな効果が得
られる。
第１図は本発明の一実施例の固体レーザ発振器を示す図
、第２図は従来の固体レーザ発振器の構成を示す図であ
る。 ■ ・ レーザ媒質、 ２ 励起ランプ、３− レー
ザ光、 ４ ・全反射ミラー５．９．１０ 出力ミ
ラー、 ６ ブリュスタープレート、 ７．１２
８偏光酸分、８，１３ ・ Ｐ偏光成分、 １１・・
偏光子。
、第２図は従来の固体レーザ発振器の構成を示す図であ
る。 ■ ・ レーザ媒質、 ２ 励起ランプ、３− レー
ザ光、 ４ ・全反射ミラー５．９．１０ 出力ミ
ラー、 ６ ブリュスタープレート、 ７．１２
８偏光酸分、８，１３ ・ Ｐ偏光成分、 １１・・
偏光子。
Claims (1)
- 直線偏光連続励起の固体レーザ共振器内に、レーザ光を
Ｐ偏光成分とＳ偏光成分に分離するための偏光子を配置
し、上記偏光成分にそれぞれ対応する第１、第２の出力
ミラーを透過して、レーザ光のＰ偏光成分およびＳ偏光
成分をそれぞれ取り出す構成としたことを特徴とする固
体レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9390390A JP2660761B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 固体レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9390390A JP2660761B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 固体レーザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03292782A true JPH03292782A (ja) | 1991-12-24 |
| JP2660761B2 JP2660761B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=14095443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9390390A Expired - Lifetime JP2660761B2 (ja) | 1990-04-11 | 1990-04-11 | 固体レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2660761B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173246A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Fujifilm Corp | 光音響画像化装置 |
-
1990
- 1990-04-11 JP JP9390390A patent/JP2660761B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012173246A (ja) * | 2011-02-24 | 2012-09-10 | Fujifilm Corp | 光音響画像化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2660761B2 (ja) | 1997-10-08 |
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