JPH03293092A - 水中の溶存酸素の除去方法 - Google Patents

水中の溶存酸素の除去方法

Info

Publication number
JPH03293092A
JPH03293092A JP9304090A JP9304090A JPH03293092A JP H03293092 A JPH03293092 A JP H03293092A JP 9304090 A JP9304090 A JP 9304090A JP 9304090 A JP9304090 A JP 9304090A JP H03293092 A JPH03293092 A JP H03293092A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
water
hydrogen
dissolved oxygen
gas
treated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9304090A
Other languages
English (en)
Inventor
Takayuki Saito
孝行 斉藤
Yoko Iwase
岩瀬 葉子
Takeshi Nakajima
健 中島
Hiroyuki Shima
嶋 弘之
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ebara Corp
Ebara Research Co Ltd
Original Assignee
Ebara Corp
Ebara Research Co Ltd
Ebara Infilco Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp, Ebara Research Co Ltd, Ebara Infilco Co Ltd filed Critical Ebara Corp
Priority to JP9304090A priority Critical patent/JPH03293092A/ja
Publication of JPH03293092A publication Critical patent/JPH03293092A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Removal Of Specific Substances (AREA)
  • Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、水中の溶存酸素(以下DOと称す)を除去す
る方法に係り、特にパラジウムを担持した触媒樹脂の充
填層に、水素を溶解させた被処理水を通水するDoの除
去方法に関するものである。
本発明は、電子工業の洗浄用水、ボイラ給水、食品工業
のプロセス用水及び洗浄用水等に利用できる。
〔従来の技術〕
水中の溶存酸素の除去する方法として、従来より加熱脱
気、真空脱気、N2ガスパージ等の物理的方法と、還元
剤を添加する化学的方法とがある。加熱脱気は、ガスの
水への溶解度が高温では低くなることを利用し、蒸気と
水とを直接接触させて加熱することにより、DOを除去
する方法である。
真空脱気法としては、ラシヒリング等を充填した脱気塔
内を真空状態にして脱気を行う方法、および疎水性膜を
介して脱気を行う膜脱気法とがある。
また、N2ガスを水中に曝気し、水中のN2ガス分圧を
高めることで、02ガスの分圧を小さくし、水中から0
.ガスをパージする方法もある。
化学的方法には、例えば、ヒドラジン(N2H4)また
は亜硫酸ナトリウム(Na2SOs)等の還元剤を水に
添加して化学反応でDoを除去する方法がある。
しかし、これら従来のDoの除去方法では、設備が大規
模になる、多量のN、ガスが必要となる、不純物が増加
する等の問題点があった。
その他のDo除去処理として、第2図に示すような、水
に水素を溶解し、パラジウムを担持した触媒樹脂の充填
層に通水する事によってDOを除去する方法がある。
〔発明が解決しようとする課題〕
前記の水に水素を溶解し、パラジウムを担持した樹脂の
充填層に通水する事によってDoを除去する方法におい
て、今までは水に水素を溶解するには、散気ノズルある
いはエゼクタ−等のごとく、水素を直接水に導入してい
る。このため、微少量の水素を安定して水に添加するた
めに、複雑な制御を行うか、或は水素を大過剰に添加す
る等の必要があった。
更に、水素が気泡として水に分散するため、水素の水へ
の溶解効率が低く、大部分の気泡状態の水素をガス分離
塔で分離し、系外で燃焼させる等の処理を行う必要があ
った。更に直接水素を水に添加するため、水素ガス中の
不純物も水へ分散或は溶解する危険性がある。
そこで、本発明は、上記のような問題点を解決し、簡単
な操作で、しかも効率よく、水素のみを被処理水中に溶
解することのできる溶存酸素の除去方法を提供すること
を目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、本発明では、被処理水に水
素を溶解し、パラジウムを担持した触媒樹脂の充填層に
通水することにより、水中の溶存酸素を除去する方法に
おいて、被処理水中への水素の溶解を、ガス透過膜を介
して一方に被処理水を通水し、他方を水素ガスで加圧す
ることにより行うことを特徴とする水中の溶存酸素の除
去方法としたものである。
前記の溶存酸素の除去方法において、ガス透過膜は、水
素、酸素、窒素等のガスを透過し、水を透過しない膜で
あり、シリコンゴム系、ポリエチレン及びポリプロピレ
ン等のポリオレフィン系、ポリ四弗化エチレン系、ポリ
スルホン系、ポリエーテルスルホン系、ポリウレタン系
から選ばれた多孔質の疎水性膜を用いるのがよい。
即ち本発明は、従来の水に水素を溶解する方法が、複雑
な制御を行ったり(特開平2−9494号公報)、或は
制御を行なわず、水素をあらかじめ大過剰に添加する等
の問題点を有したのに対し、水素の水への溶解効率を高
め、かつ一定量の水素を容易に溶解せしめる手段を提供
したものである。
〔作 用〕
従来の水素の溶解方法は、散気ノズル或はエゼクタ−で
代表されるように、水素を水中に直接導入するた島、水
素は水に気泡として分散する。従って、水素の水への添
加量と溶解量は一致せず、溶解効率は水素をいかに微小
な気泡で添加するのかが重要となる。
このため水素の添加量を制御する上で、溶解効率が問題
となり、水素の添加方式の違いで制御変数は大きく異な
ってくる。
本発明は、ガス透過膜を介して一方に被処理水を通水し
、他方を水素ガスで加圧することにより、水素は分圧差
で水に溶解し、気泡を生じることはない。
ガス透過膜は、例示した疎水性の素材で構成されており
、孔径20μm以下の気孔があり、−船釣には0.01
〜1μmの孔径のものが広く用いられている。
使用する膜の材質及び接液面積等で、水素の水への溶解
量はほぼ決定されるため、所要量の水素を安定かつ容易
に溶解制御することが可能となり、水素の供給量は水へ
の溶解量とほぼ等しくなる。従って、ガス分離塔は必要
としない。
〔実施例〕
以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発
明はこれに限定されない。
実施例1 第1図は本発明に用いる装置の一例を示す工程図である
第1図において、DOを4.6 mg/ 1含む純水を
原水1として501/hで水素溶解器5に導入し、ガス
透過膜6を介して、水素2を0.5 kg/cm”で加
圧して水に溶解した(約7 N−mg10+in)のち
、パラジウム担持樹脂3を充填した樹脂カラム7に通水
した。ガス透過膜6はポリオレフィン系の中空糸(膜面
積0.4 m2)を用いた。この時の処理水4のDOは
35μg/ 1であった。
比較例1 実施例1と同様の原水を用い、第2図に示したように原
水1を水素溶解・分離塔10に50J/hで導入した。
水素溶解・分離塔10の底部より、散気ノズル9で水素
2を吹き込み、過剰の水素を気液分離したのち、樹脂カ
ラム3に通水した。
水素の吹き込み量が、30 N−Wll、/winで処
理水4のDOは35μg/Ilとなり、15 N−d/
minで40μg/l、10 N−m17/minで6
5ttg/lであった。
〔発明の効果〕
上記のように、本発明によれば、 1)水素ガスを水に安定かつ容易に溶解することができ
極めて制御が簡便となる。
2)溶解効率がほぼ100%となるため、必要水素量は
理論必要量に若干過剰に加算した量で良く、経済的であ
る。
3)ガス分離塔等の設備を必要せず、小型化が容易であ
る。
4)ガス透過膜を介して水素を添加するため、水素ガス
中の不純物で水を汚染することがない。
等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に用いる装置の一例を示す工程図であ
り、第2図は、従来例を示す工程図である。 1・・・原水、2・・・水素、3・・・パラジウム担持
樹脂層、4−・・処理水、5・・・水素溶解器、6−・
・ガス透過膜、7・・・樹脂カラム、8・・・ナイロン
ネット入り多孔板、9・・・散気ノズル、10・・・水
素溶解・分離塔、11・・・排ガス、12・・・ガス抜
きバルブ

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、被処理水に水素を溶解し、パラジウムを担持した触
    媒樹脂の充填層に通水することにより、水中の溶存酸素
    を除去する方法において、被処理水中への水素の溶解を
    、ガス透過膜を介して一方に被処理水を通水し、他方を
    水素ガスで加圧することにより行うことを特徴とする水
    中の溶存酸素の除去方法。 2、ガス透過膜が、水素、酸素、窒素等のガスを透過し
    、水を透過しない膜であり、シリコンゴム系、ポリエチ
    レン及びポリプロピレン等のポリオレフィン系、ポリ四
    弗化エチレン系、ポリスルホン系、ポリエーテルスルホ
    ン系、ポリウレタン系から選ばれた多孔質の疎水性膜で
    ある請求項1記載の水中の溶存酸素の除去方法。
JP9304090A 1990-04-10 1990-04-10 水中の溶存酸素の除去方法 Pending JPH03293092A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9304090A JPH03293092A (ja) 1990-04-10 1990-04-10 水中の溶存酸素の除去方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9304090A JPH03293092A (ja) 1990-04-10 1990-04-10 水中の溶存酸素の除去方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03293092A true JPH03293092A (ja) 1991-12-24

Family

ID=14071388

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9304090A Pending JPH03293092A (ja) 1990-04-10 1990-04-10 水中の溶存酸素の除去方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03293092A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010017633A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Japan Organo Co Ltd 水素溶解水の製造装置及びこれを用いた製造方法ならびに電子部品又は電子部品の製造器具用の洗浄装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5631432A (en) * 1979-08-21 1981-03-30 Ebara Infilco Co Ltd Process for dissolving gas into liquid
JPS58174285A (ja) * 1982-04-02 1983-10-13 Kowa Kagaku Kogyo Kk 給水の脱酸素方法及びその装置
JPS614528A (ja) * 1984-06-15 1986-01-10 Arubatsuku Service Kk 水溶性ガスの高純度溶液の製造装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5631432A (en) * 1979-08-21 1981-03-30 Ebara Infilco Co Ltd Process for dissolving gas into liquid
JPS58174285A (ja) * 1982-04-02 1983-10-13 Kowa Kagaku Kogyo Kk 給水の脱酸素方法及びその装置
JPS614528A (ja) * 1984-06-15 1986-01-10 Arubatsuku Service Kk 水溶性ガスの高純度溶液の製造装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010017633A (ja) * 2008-07-09 2010-01-28 Japan Organo Co Ltd 水素溶解水の製造装置及びこれを用いた製造方法ならびに電子部品又は電子部品の製造器具用の洗浄装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2872521B2 (ja) 二段階膜分離乾燥方法及び装置
JP3765354B2 (ja) 水素含有超純水の製造方法
JP5072062B2 (ja) 水素ガス溶解洗浄水の製造方法、製造装置及び洗浄装置
JPH0623379A (ja) 水浄化方法および装置
JPH05192658A (ja) 逆浸透により水を精製しそして脱ガスするためのシステム
US5662878A (en) Process for the production of hydrogen peroxide
GB2283015A (en) Membrane reactor for the removal of dissolved oxygen from water
JP2003071254A (ja) 分離膜の逆洗方法
JP2557346B2 (ja) 水処理装置
JP4756327B2 (ja) 窒素ガス溶解水の製造方法
JPH03293092A (ja) 水中の溶存酸素の除去方法
JP4151088B2 (ja) 水素含有超純水の供給装置
JPH03278882A (ja) 水中の溶存酸素の除去方法および装置
JP3224037B2 (ja) 脱酸素装置
JPS6143088B2 (ja)
JP2877923B2 (ja) 液体中の溶存ガス除去方法
JPH03154601A (ja) 水中の溶存酸素の除去方法
JPH0217994A (ja) 超純水製造装置
JPH0813353B2 (ja) 純水の製造装置
JP3662337B2 (ja) 溶存炭酸ガスの除去方法
JP3009789B2 (ja) 水中の溶存酸素除去方法
JP2002307080A (ja) 超純水製造装置
JP4379147B2 (ja) 水処理装置及び水処理方法
JP2519122B2 (ja) 液体中の溶存酸素の除去方法及び装置
JPH04267993A (ja) 純水又は超純水の溶存酸素の除去方法