JPH0329535B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0329535B2 JPH0329535B2 JP60265055A JP26505585A JPH0329535B2 JP H0329535 B2 JPH0329535 B2 JP H0329535B2 JP 60265055 A JP60265055 A JP 60265055A JP 26505585 A JP26505585 A JP 26505585A JP H0329535 B2 JPH0329535 B2 JP H0329535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- bed
- workpiece
- reference plane
- inclination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、例えばシリコンダイオード上に構成
された微小電極の面を基板と平行に加工する場合
などのように、基準面を有する被加工物を該基準
面と平行に加工する工作機械に関するものであ
る。
された微小電極の面を基板と平行に加工する場合
などのように、基準面を有する被加工物を該基準
面と平行に加工する工作機械に関するものであ
る。
［従来技術］
従来、被加工物の微小部分を、該被加工物の基
準面と平行に加工する工作機械において、上記の
平行度を向上させるには、基準面の精度を上げる
ことと、加工面の精度を上げることとの両面にお
いて、それぞれ個別に工夫されていた。
準面と平行に加工する工作機械において、上記の
平行度を向上させるには、基準面の精度を上げる
ことと、加工面の精度を上げることとの両面にお
いて、それぞれ個別に工夫されていた。
［発明が解決しようとする問題点］
基準面の精度と加工面の精度とを極限的に向上
させても誤差を完全に零とすることほ現段階の技
術では不可能である。
させても誤差を完全に零とすることほ現段階の技
術では不可能である。
而して、「基準面に対する加工面の平行度」と
いう観点から見れば、基準面誤差と加工面誤差と
が相加されて現われることになる。上記の相加と
はベクトル和の意味であるから、偶然に打ち消さ
れることもあり、重なり合つて大きくなることも
ある。しかし、品質管理の面からこれを見ると
き、偶然に打ち消し合うことは期待できず、最悪
に重なり合う場合を想定して対処しなければなら
ない。
いう観点から見れば、基準面誤差と加工面誤差と
が相加されて現われることになる。上記の相加と
はベクトル和の意味であるから、偶然に打ち消さ
れることもあり、重なり合つて大きくなることも
ある。しかし、品質管理の面からこれを見ると
き、偶然に打ち消し合うことは期待できず、最悪
に重なり合う場合を想定して対処しなければなら
ない。
本発明は上述の事情に鑑みて為されたもので、
被加工物の表面に実際の基準面が有る場合、工作
機械のカツタを支承する主軸の軸心を、テーブル
に対してではなく被加工物の基準面に対して所定
の姿勢（一般には垂直）ならしめ、基準面誤差の
相加を防止し得る補正機能を備えた工作機械を提
供しようとするものである。上記の「表面に実際
の基準面が有る場合」の実際の基準面とは、設計
図面上で想定した基準面ではなく、実在する部材
の表面にあつて、加工上の基準とされる面の意で
ある。ただし、本発明の装置を適用すると、前記
実際の基準面を設計上の基準面に一致させるよう
に制御することも可能となる。
被加工物の表面に実際の基準面が有る場合、工作
機械のカツタを支承する主軸の軸心を、テーブル
に対してではなく被加工物の基準面に対して所定
の姿勢（一般には垂直）ならしめ、基準面誤差の
相加を防止し得る補正機能を備えた工作機械を提
供しようとするものである。上記の「表面に実際
の基準面が有る場合」の実際の基準面とは、設計
図面上で想定した基準面ではなく、実在する部材
の表面にあつて、加工上の基準とされる面の意で
ある。ただし、本発明の装置を適用すると、前記
実際の基準面を設計上の基準面に一致させるよう
に制御することも可能となる。
［問題点を解決するための手段］
上記の目的を達成するため、本発明の工作機械
は、ベツドと、 上記ベツドの一端に設定された加工位置に配置
され、回転駆動される主軸にカツタを保持させた
加工部と、 前記ベツドの他の一端に設定された計測位置に
配置され、少なくとも３個の計測センサが所定の
間隔で配置された計測部と、 前記ベツドに形成された案内面に沿つて、前記
加工位置と計測位置との間を往復移動するように
配置され、被加工物を載置する載置面の傾斜を補
正するため、前記少なくとも３個の計測センサに
対応する少なくとも３個の微小変位手段を備えた
テーブルと、 を具備していることを特徴とする。
は、ベツドと、 上記ベツドの一端に設定された加工位置に配置
され、回転駆動される主軸にカツタを保持させた
加工部と、 前記ベツドの他の一端に設定された計測位置に
配置され、少なくとも３個の計測センサが所定の
間隔で配置された計測部と、 前記ベツドに形成された案内面に沿つて、前記
加工位置と計測位置との間を往復移動するように
配置され、被加工物を載置する載置面の傾斜を補
正するため、前記少なくとも３個の計測センサに
対応する少なくとも３個の微小変位手段を備えた
テーブルと、 を具備していることを特徴とする。
［作 用］
上記の構成によれば、テーブルに被加工物を載
置して測定部に移動させ、 該測定部で、少なくとも３個のセンサによつて
基準面の傾斜方向と傾斜角とを実測し、 少なくとも３個の微小変位手段によつてテーブ
ル上の被加工物の姿勢を補正して、基準面と加工
面とを平行ならしめ、 該テーブルを加工部に移動させて加工（仕上加
工）を行うことにより、 加工精度に関する平行度に、実際の基準面の誤
差が混入しなくなる。
置して測定部に移動させ、 該測定部で、少なくとも３個のセンサによつて
基準面の傾斜方向と傾斜角とを実測し、 少なくとも３個の微小変位手段によつてテーブ
ル上の被加工物の姿勢を補正して、基準面と加工
面とを平行ならしめ、 該テーブルを加工部に移動させて加工（仕上加
工）を行うことにより、 加工精度に関する平行度に、実際の基準面の誤
差が混入しなくなる。
［実施例］
第１図は本発明を適用してテーブルの傾斜を補
正できるように構成した工作機械の一例の正面
図、第２図は第１図に示した部付近の部分破断
詳細図である。
正できるように構成した工作機械の一例の正面
図、第２図は第１図に示した部付近の部分破断
詳細図である。
本図に示した実施例において、左半部は加工部
であり、右半部は計測部である。ただし、テーブ
ル８、及びテーブルベース７は矢印Ａ、Ｂの如く
ベツド１の案内面１２上を駆動され、加工部と計
測部との間を往復移動する。実線で描いた８は加
工部におけるテーブル位置、鎖線で描いた８′は
計測部におけるテーブル位置を表わしている。
であり、右半部は計測部である。ただし、テーブ
ル８、及びテーブルベース７は矢印Ａ、Ｂの如く
ベツド１の案内面１２上を駆動され、加工部と計
測部との間を往復移動する。実線で描いた８は加
工部におけるテーブル位置、鎖線で描いた８′は
計測部におけるテーブル位置を表わしている。
ベツド１上に加工部のコラム２を設置し、案内
面１６を介して主軸頭３を支承する。主軸４は主
軸モータ６によつて回転駆動される構造であつ
て、その先端にカツタ５を取り付けてある。
面１６を介して主軸頭３を支承する。主軸４は主
軸モータ６によつて回転駆動される構造であつ
て、その先端にカツタ５を取り付けてある。
本実施例において主軸４は垂直に配設してあ
り、カツタ５の刃先は水平面内で回転する。この
水平面が本例における加工面であつて、主軸頭３
の上下動に伴つて上下に平行移動する。９は、テ
ーブル８上に固着した被加工物である。
り、カツタ５の刃先は水平面内で回転する。この
水平面が本例における加工面であつて、主軸頭３
の上下動に伴つて上下に平行移動する。９は、テ
ーブル８上に固着した被加工物である。
一方、ベツド１上に計測用のコラム１１を設置
し、計測ヘツド１０を支承する。この計測ヘツド
１０に、３個の微小変位計測センサ１３を設け
る。
し、計測ヘツド１０を支承する。この計測ヘツド
１０に、３個の微小変位計測センサ１３を設け
る。
本発明の工作機械におけるテーブルには少なく
とも３個の計測センサが配置されているので、テ
ーブル８′上の被加工物９′表面の基準面の傾斜を
測定することができる。
とも３個の計測センサが配置されているので、テ
ーブル８′上の被加工物９′表面の基準面の傾斜を
測定することができる。
本実施例においては、所定間隔で配置された３
個の微小変位計測センサ１３により、基準面の法
線のベクトルを測定するように構成してある。
個の微小変位計測センサ１３により、基準面の法
線のベクトルを測定するように構成してある。
第２図に示すごとく、テーブルベース７とテー
ブル８との間にピエゾアクチユエータ１４を介し
てボルト１５で緊定してある。上記のピエゾアク
チユエータ１４に電圧を印加すると、該ピエゾア
クチユエータ１４は上下方向に伸縮し、ボルト１
５を弾性的に伸縮させる。このようなピエゾアク
チユエータ１４を複数個介装設置することによ
り、テーブルベース７に対するテーブル８の傾斜
を（傾斜方向および傾斜角）を任意に制御でき
る。本例においては３個のピエゾアクチユエータ
１４を設けてある。
ブル８との間にピエゾアクチユエータ１４を介し
てボルト１５で緊定してある。上記のピエゾアク
チユエータ１４に電圧を印加すると、該ピエゾア
クチユエータ１４は上下方向に伸縮し、ボルト１
５を弾性的に伸縮させる。このようなピエゾアク
チユエータ１４を複数個介装設置することによ
り、テーブルベース７に対するテーブル８の傾斜
を（傾斜方向および傾斜角）を任意に制御でき
る。本例においては３個のピエゾアクチユエータ
１４を設けてある。
本発明を実施する際、計測センサ１３とピエゾ
アクチユエータ１４とを同数（ただし、それぞれ
３個以上）とし、互いに相似関係をなすように配
設すると制御が容易である。
アクチユエータ１４とを同数（ただし、それぞれ
３個以上）とし、互いに相似関係をなすように配
設すると制御が容易である。
また、ピエゾアクチユエータ１４に代えて、楔
部材と、これを駆動するDCモータ及び伝動用部
材を設けて、テーブル８の傾斜を制御するように
構成することもできる。
部材と、これを駆動するDCモータ及び伝動用部
材を設けて、テーブル８の傾斜を制御するように
構成することもできる。
以上のように構成した本例の工作機械によつて
ワーク（被加工物９）の表面の大部分を形成して
いる面を基準として特定の微小部分（例えば電極
面）を、前記の基準面と平行に、カツタ５で切削
する一例のフロー図を第３図に示す。
ワーク（被加工物９）の表面の大部分を形成して
いる面を基準として特定の微小部分（例えば電極
面）を、前記の基準面と平行に、カツタ５で切削
する一例のフロー図を第３図に示す。
ステツプａで加工を開始すると、まず、テーブ
ル８にワーク（被加工物９）をセツトする（ステ
ツプｂ）。上記のテーブル８を矢印Ｂの如く計測
部に移動させて８′位置とし（ステツプｃ）、ワー
ク表面の法線ベクトルを測定する（ステツプｄ）
即ち、ワーク表面の大部分を占めている基準面の
傾斜方向と傾斜角とを測定する。
ル８にワーク（被加工物９）をセツトする（ステ
ツプｂ）。上記のテーブル８を矢印Ｂの如く計測
部に移動させて８′位置とし（ステツプｃ）、ワー
ク表面の法線ベクトルを測定する（ステツプｄ）
即ち、ワーク表面の大部分を占めている基準面の
傾斜方向と傾斜角とを測定する。
次いでテーブル８を矢印Ａの如く加工部に移動
させ（ステツプｅ）、先ず荒加工を行う（ステツ
プｆ）。
させ（ステツプｅ）、先ず荒加工を行う（ステツ
プｆ）。
荒加工の後、再びテーブル８を計測部へ移して
（ステツプｇ）、精度チエツクを行い（ステツプ
ｈ）、ここで検査基準に合格した場合を除き基準
面の法線ベクトルを測定して（ステツプｉ）、ピ
エゾアクチユエータ１４（第２図）を作動せしめ
てテーブル８′の傾斜を修正し（ステツプｊ）、該
テーブルを加工部へ移動させて（ステツプｋ）、
仕上加工を行う（ステツプｌ）。
（ステツプｇ）、精度チエツクを行い（ステツプ
ｈ）、ここで検査基準に合格した場合を除き基準
面の法線ベクトルを測定して（ステツプｉ）、ピ
エゾアクチユエータ１４（第２図）を作動せしめ
てテーブル８′の傾斜を修正し（ステツプｊ）、該
テーブルを加工部へ移動させて（ステツプｋ）、
仕上加工を行う（ステツプｌ）。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明を適用すると、被
加工物の表面に実際の基準面が有る場合、工作機
械のカツタを支承する主軸の軸心を、テーブルに
対してではなく被加工物の基準面に対して所定の
姿勢（一般には垂直）ならしめ、基準面誤差の相
加を防止し得るという優れた実用的効果を奏す
る。
加工物の表面に実際の基準面が有る場合、工作機
械のカツタを支承する主軸の軸心を、テーブルに
対してではなく被加工物の基準面に対して所定の
姿勢（一般には垂直）ならしめ、基準面誤差の相
加を防止し得るという優れた実用的効果を奏す
る。
第１図は本発明を適用してテーブルの傾斜を補
正できるように構成した工作機械の一例の正面
図、第２図は第１図に示した部付近の部分破断
詳細図である。第３図は上記実施例の使用例を示
すフロー図である。 ７……テーブルベース、８……テーブル、９…
…被加工物、１３……微小変位計測センサ。
正できるように構成した工作機械の一例の正面
図、第２図は第１図に示した部付近の部分破断
詳細図である。第３図は上記実施例の使用例を示
すフロー図である。 ７……テーブルベース、８……テーブル、９…
…被加工物、１３……微小変位計測センサ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ベツドと、 上記ベツドの一端に設定された加工位置に配置
され、回転駆動される主軸にカツタを保持させた
加工部と、 前記ベツドの他の一端に設定された計測位置に
配置され、少なくとも３個の計測センサが所定の
間隔で配置された計測部と、 前記ベツドに形成された案内面に沿つて、前記
加工位置と計測位置との間を往復移動するように
配置され、被加工物を載置する載置面の傾斜を補
正するため、前記少なくとも３個の計測センサに
対応する少なくとも３個の微小変位手段を備えた
テーブルと、 を具備していることを特徴とする、テーブルの傾
斜補正型工作機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26505585A JPS62124842A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | テ−ブルの傾斜補正型工作機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26505585A JPS62124842A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | テ−ブルの傾斜補正型工作機械 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62124842A JPS62124842A (ja) | 1987-06-06 |
| JPH0329535B2 true JPH0329535B2 (ja) | 1991-04-24 |
Family
ID=17411951
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26505585A Granted JPS62124842A (ja) | 1985-11-27 | 1985-11-27 | テ−ブルの傾斜補正型工作機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62124842A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4335980C2 (de) * | 1993-10-21 | 1998-09-10 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Positionieren einer Werkstückhalterung |
| JP2000176761A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-27 | Fanuc Ltd | 垂直軸直動機構 |
| JP2000288873A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-17 | Fuji Seiki Kk | ワーク姿勢調整装置及びワーク姿勢調整方法 |
| JP4530479B2 (ja) * | 2000-05-24 | 2010-08-25 | 弘 江田 | 精密加工装置 |
| JP2002127003A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Hiroshi Eda | 姿勢制御装置付精密加工装置及び姿勢制御方法 |
| JP4339732B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2009-10-07 | 株式会社タムラ製作所 | 精密研削装置および精密研削方法 |
| JP5341165B2 (ja) * | 2011-11-08 | 2013-11-13 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置及びガントリ型ステージ装置及びステージ装置の制御方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61158138A (ja) * | 1984-12-28 | 1986-07-17 | Nec Kansai Ltd | ウエハ表面の突起物除去装置 |
-
1985
- 1985-11-27 JP JP26505585A patent/JPS62124842A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62124842A (ja) | 1987-06-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |