JPH0639042B2 - テ−ブルの駆動装置 - Google Patents
テ−ブルの駆動装置Info
- Publication number
- JPH0639042B2 JPH0639042B2 JP4189785A JP4189785A JPH0639042B2 JP H0639042 B2 JPH0639042 B2 JP H0639042B2 JP 4189785 A JP4189785 A JP 4189785A JP 4189785 A JP4189785 A JP 4189785A JP H0639042 B2 JPH0639042 B2 JP H0639042B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- feed screw
- travel
- displacement
- drive device
- traveling direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q23/00—Arrangements for compensating for irregularities or wear, e.g. of ways, of setting mechanisms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は旋盤，マシニングセンタなどの工作機械におい
て、被削材または工具を搭載したテーブルが進行方向に
対して垂直な方向に運動誤差を発生するのを排除可能に
したテーブル駆動装置に関するものである。
て、被削材または工具を搭載したテーブルが進行方向に
対して垂直な方向に運動誤差を発生するのを排除可能に
したテーブル駆動装置に関するものである。
従来のテーブル駆動装置においては、１軸または多軸制
御により単純または複雑な形状をした被削物を面加工す
る場合、被削材または工具を搭載して送りねじにより駆
動されるテーブルが、前記送りねじの振回りに起因して
その進行方向に対して垂直な方向によたり現象を発生
し、これによつて被削材の加工面にうねりを生じて加工
精度を劣化させる問題が発生している。そこで、この対
策として、従来たとえば特開昭58−72761 号公報に記載
されている如く、機構的に送りねじの振回りを吸収する
手段が出願されている。しかるに前記の手段において
は、目的の機能を達成するために油静圧軸受を利用して
いるので、この油静圧軸受に高圧力の油を供給するため
の機器が必要となつて構成が複雑になる。またこれに加
えて前記の圧油供給機器は一般に高価であるので、製作
費が高価になる欠点を有する。
御により単純または複雑な形状をした被削物を面加工す
る場合、被削材または工具を搭載して送りねじにより駆
動されるテーブルが、前記送りねじの振回りに起因して
その進行方向に対して垂直な方向によたり現象を発生
し、これによつて被削材の加工面にうねりを生じて加工
精度を劣化させる問題が発生している。そこで、この対
策として、従来たとえば特開昭58−72761 号公報に記載
されている如く、機構的に送りねじの振回りを吸収する
手段が出願されている。しかるに前記の手段において
は、目的の機能を達成するために油静圧軸受を利用して
いるので、この油静圧軸受に高圧力の油を供給するため
の機器が必要となつて構成が複雑になる。またこれに加
えて前記の圧油供給機器は一般に高価であるので、製作
費が高価になる欠点を有する。
本発明は、テーブルを送りねじで駆動するときに発生す
るテーブルの進行方向と垂直な方向への運動誤差を排除
し、高精度な運動精度を有するテーブル駆動装置を提供
することを目的とする。
るテーブルの進行方向と垂直な方向への運動誤差を排除
し、高精度な運動精度を有するテーブル駆動装置を提供
することを目的とする。
本発明は前記の目的を達成するため、送りねじの回転に
より該送りねじと螺合するナットを介してテーブルを直
進移動させるテーブル駆動装置において、上面に前記テ
ーブルをその進行方向と垂直な方向に微小移動可能な隙
間を設けて搭載し、下面に前記送りねじと螺合するナッ
トを固着してテーブルとともに直進移動するテーブルベ
ースと、テーブルの進行方向と平行な仕上げ面を有する
基準器と、該基準器に対するテーブルの進行方向と垂直
な方向へのテーブルの変位を常時検出する前記テーブル
の進行方向前後位置に設けられた少なくとも２個の微小
変位計からなる検出手段と、前記テーブルを該テーブル
の進行方向に対して垂直な方向に微小移動させて位置補
正する前記テーブルベースとテーブルとの隙間に設置さ
れた２対４個のピエゾ素子からなる補正手段と、該補正
手段の２対４個のピエゾ素子を前記検出手段から得られ
る検出値に基づいて２対同時または１対ずつ個別に電圧
制御可能な制御回路とから構成したものである。
より該送りねじと螺合するナットを介してテーブルを直
進移動させるテーブル駆動装置において、上面に前記テ
ーブルをその進行方向と垂直な方向に微小移動可能な隙
間を設けて搭載し、下面に前記送りねじと螺合するナッ
トを固着してテーブルとともに直進移動するテーブルベ
ースと、テーブルの進行方向と平行な仕上げ面を有する
基準器と、該基準器に対するテーブルの進行方向と垂直
な方向へのテーブルの変位を常時検出する前記テーブル
の進行方向前後位置に設けられた少なくとも２個の微小
変位計からなる検出手段と、前記テーブルを該テーブル
の進行方向に対して垂直な方向に微小移動させて位置補
正する前記テーブルベースとテーブルとの隙間に設置さ
れた２対４個のピエゾ素子からなる補正手段と、該補正
手段の２対４個のピエゾ素子を前記検出手段から得られ
る検出値に基づいて２対同時または１対ずつ個別に電圧
制御可能な制御回路とから構成したものである。
以下、本発明の実施例を図に基づいて具体的に説明す
る。
る。
〔実施例１〕 第１図および第２図は、本実施例に係るテーブル駆動装
置の概略図で、第１図はその側面図、また第２図はその
上面図である。また第３図及び第４図は、夫々第１図及
び第２図における電圧分圧回路及びピエゾ素子の機能を
補足するための説明図である。
置の概略図で、第１図はその側面図、また第２図はその
上面図である。また第３図及び第４図は、夫々第１図及
び第２図における電圧分圧回路及びピエゾ素子の機能を
補足するための説明図である。
第１図及び第２図において、テーブルベース１はその一
部にナツト２を具備し、該ナツト２と接合された送りね
じ３の回転運動によつてＦ−Ｂ方向に直線的に駆動せし
められるようになつている。なお、前記送りねじ３は減
速機（図示せず）等を介して駆動モータ４に結合され、
該駆動モータ４により回転せしめられるようになつてい
る。また上記駆動モータ４には、モータ制御回路５と該
モータ制御回路５へ指令パルスを供給するための制御指
令回路６とが接続されている。
部にナツト２を具備し、該ナツト２と接合された送りね
じ３の回転運動によつてＦ−Ｂ方向に直線的に駆動せし
められるようになつている。なお、前記送りねじ３は減
速機（図示せず）等を介して駆動モータ４に結合され、
該駆動モータ４により回転せしめられるようになつてい
る。また上記駆動モータ４には、モータ制御回路５と該
モータ制御回路５へ指令パルスを供給するための制御指
令回路６とが接続されている。
他方、前記テーブルベース１には、被削材または工具
（図示せず）と微小変位計７a，７bとを搭載したテーブ
ル８が具備されており、該テーブル８の進行方向Ｆ−Ｂ
と垂直な方向（第２図中Ｌ−Ｒ方向で、Ｆ−Ｂ方向と直
角な水平方向）の両端部を、前記テーブル８をＬ−Ｒ方
向に微小量だけ移動せしめるためのピエゾ素子９a〜９d
で挾込み、更に前記テーブルベース１に組込んでい
る。
（図示せず）と微小変位計７a，７bとを搭載したテーブ
ル８が具備されており、該テーブル８の進行方向Ｆ−Ｂ
と垂直な方向（第２図中Ｌ−Ｒ方向で、Ｆ−Ｂ方向と直
角な水平方向）の両端部を、前記テーブル８をＬ−Ｒ方
向に微小量だけ移動せしめるためのピエゾ素子９a〜９d
で挾込み、更に前記テーブルベース１に組込んでい
る。
また、一面Ａの真直度をサブミクロン・オーダに仕上げ
られた基準器10は、その面Ａが前記テーブル８の進行方
向Ｆ−Ｂと平行になるように機械本体（図示せず）に設
置されている。さらに上記面Ａは前記微小変位計７a，
７bで常時計測するように形成されかつ上記微小変位計
７a，７bの計測結果を増幅し、両者の計測結果の平均を
算出して結果を出力するための平均化回路11が前記微小
変位計７a 及び７b に接続されかつ上記平均化回路11か
ら出力された電圧値を前記ピエゾ素子９a〜９d に分圧
供給するための電圧分圧回路12が接続されている。な
お、前記平均化回路11は駆動直前に平均値が“０”にな
るように前記制御指令回路６によりリセツトされるよう
になつている。
られた基準器10は、その面Ａが前記テーブル８の進行方
向Ｆ−Ｂと平行になるように機械本体（図示せず）に設
置されている。さらに上記面Ａは前記微小変位計７a，
７bで常時計測するように形成されかつ上記微小変位計
７a，７bの計測結果を増幅し、両者の計測結果の平均を
算出して結果を出力するための平均化回路11が前記微小
変位計７a 及び７b に接続されかつ上記平均化回路11か
ら出力された電圧値を前記ピエゾ素子９a〜９d に分圧
供給するための電圧分圧回路12が接続されている。な
お、前記平均化回路11は駆動直前に平均値が“０”にな
るように前記制御指令回路６によりリセツトされるよう
になつている。
ここで、 前記基準器10は、面Ａの真円度の経年劣化の少ないSi
O2（ガラス），Al2O３（酸化アルミニウム）などのセラ
ミツク材とすることが望ましく、更に計測面に傷が付く
のを防止するため、前記基準器10の面Ａ部に金属物質を
コーテイングし、前記微小変位計７a，７bは静電容量型
あるいは渦電流型等の非接触変位計とすることが望まし
い。また、被削材または工具は、前記微小変位計７a と
７b の中間位置に配置するのが望ましい。これは、もし
両微小変位計７a 及び７b の計測値δa及びδbに差が生
じた場合、両計測値の平均値（(δa＋δb)／２）と前記
中間位置の変位量とがほぼ一致するから、他の算出手順
が不要となるためである。
O2（ガラス），Al2O３（酸化アルミニウム）などのセラ
ミツク材とすることが望ましく、更に計測面に傷が付く
のを防止するため、前記基準器10の面Ａ部に金属物質を
コーテイングし、前記微小変位計７a，７bは静電容量型
あるいは渦電流型等の非接触変位計とすることが望まし
い。また、被削材または工具は、前記微小変位計７a と
７b の中間位置に配置するのが望ましい。これは、もし
両微小変位計７a 及び７b の計測値δa及びδbに差が生
じた場合、両計測値の平均値（(δa＋δb)／２）と前記
中間位置の変位量とがほぼ一致するから、他の算出手順
が不要となるためである。
前記電圧分圧回路12の機能を第３図により詳細に説明
する。前記平均化回路11からの入力電圧値ＶinがOVの
時、前記ピエゾ素子９a,b 及び9c，ｄへの出力電圧値Ｖ
out ab及びＶout cd、両者ともバイアスされた電圧値Ｖ
outBとなるよう調整されている。すなわち、 Ｖout ab＝Ｖout cd＝Ｖout B この点を基準に、前記入力電圧ＶinがOVより大きい場
合、前記出力電圧Ｖout ab 及びＶout cdは の関係が成立するように分圧する。また、逆に前記入力
電圧値ＶinがOVより小さい場合は次の関係が成立するよ
うに分圧する機能を有するものである。すなわち、 なぜなら、前述の如くテーブル８を微小量だけ移動せし
めるため前記テーブル８を第４図示する特性を有するピ
エゾ素子９ａ，９ｂと９ｃ，９ｄでサンドイツチする構
造としたため、例えば、前記ピエゾ素子９a 及び９b を
δだけ伸ばす場合は対向するピエゾ素子９c 及び９d を
δだけ縮める必要があるためである。
する。前記平均化回路11からの入力電圧値ＶinがOVの
時、前記ピエゾ素子９a,b 及び9c，ｄへの出力電圧値Ｖ
out ab及びＶout cd、両者ともバイアスされた電圧値Ｖ
outBとなるよう調整されている。すなわち、 Ｖout ab＝Ｖout cd＝Ｖout B この点を基準に、前記入力電圧ＶinがOVより大きい場
合、前記出力電圧Ｖout ab 及びＶout cdは の関係が成立するように分圧する。また、逆に前記入力
電圧値ＶinがOVより小さい場合は次の関係が成立するよ
うに分圧する機能を有するものである。すなわち、 なぜなら、前述の如くテーブル８を微小量だけ移動せし
めるため前記テーブル８を第４図示する特性を有するピ
エゾ素子９ａ，９ｂと９ｃ，９ｄでサンドイツチする構
造としたため、例えば、前記ピエゾ素子９a 及び９b を
δだけ伸ばす場合は対向するピエゾ素子９c 及び９d を
δだけ縮める必要があるためである。
なお、サンドイツチ構造とした理由は、前記テーブル８
の微小な移動を高剛性かつ高速に行わせるためである。
また、２対のピエゾ素子でテーブルを挾込むようにした
理由は、微小移動時のバランスを考慮したもので、バラ
ンスが取れれば１対でも十分であることは云う迄もな
い。
の微小な移動を高剛性かつ高速に行わせるためである。
また、２対のピエゾ素子でテーブルを挾込むようにした
理由は、微小移動時のバランスを考慮したもので、バラ
ンスが取れれば１対でも十分であることは云う迄もな
い。
今、テーブル８をＦ−Ｂ方向に移動すべく、制御指令回
路６から指令パルスが出力されると、モータ制御回路５
により駆動モータ４が駆動され、送りねじ３が回転する
と、前記ナツト２によつて前記送りねじ３の回転運動が
Ｆ−Ｂ方向への直線運動に変換され、結果として前記テ
ーブル８がＦ−Ｂ方向へ直線移動する。ところが、前記
送りねじ３の加工精度もしくは組立て精度によつて前記
送りねじ３の回転時に規則正しい振回り現象が生じる。
一般にこの種の動きを蛇行と云うが、その他の不規則な
動きを含めた によつて前記ナツト２，テーブルベース１，テーブル８
しいては被削材または工具をＬ−Ｒ方向に変位せしめら
れる。この時の変位量を前記基準器10との相対変位とし
て前記微小変位計７a 及び７b で計測し、前記平均化回
路11で両計測値の平均を算出し、前記電圧分圧回路12を
介して前記ピエゾ素子９a,９b 及び９c，９dが適切な方
向に相対して伸縮させて前記テーブル８を微小移動し、
前記よたり相当分が補正される。
路６から指令パルスが出力されると、モータ制御回路５
により駆動モータ４が駆動され、送りねじ３が回転する
と、前記ナツト２によつて前記送りねじ３の回転運動が
Ｆ−Ｂ方向への直線運動に変換され、結果として前記テ
ーブル８がＦ−Ｂ方向へ直線移動する。ところが、前記
送りねじ３の加工精度もしくは組立て精度によつて前記
送りねじ３の回転時に規則正しい振回り現象が生じる。
一般にこの種の動きを蛇行と云うが、その他の不規則な
動きを含めた によつて前記ナツト２，テーブルベース１，テーブル８
しいては被削材または工具をＬ−Ｒ方向に変位せしめら
れる。この時の変位量を前記基準器10との相対変位とし
て前記微小変位計７a 及び７b で計測し、前記平均化回
路11で両計測値の平均を算出し、前記電圧分圧回路12を
介して前記ピエゾ素子９a,９b 及び９c，９dが適切な方
向に相対して伸縮させて前記テーブル８を微小移動し、
前記よたり相当分が補正される。
上記した様に、本実施例によれば、テーブルの進行方向
と垂直な方向の変位を進行方向と平行に設置された基準
器の面との相対変位として常時計測し、この結果をピエ
ゾ素子を利用してテーブルベースに組込んだテーブルを
微小量移動することにより補正するようにしたため、送
りねじの規則的な振回りや不規則な現象に起因する運動
誤差を排除でき、高精度な運動精度を得ることができ
る。
と垂直な方向の変位を進行方向と平行に設置された基準
器の面との相対変位として常時計測し、この結果をピエ
ゾ素子を利用してテーブルベースに組込んだテーブルを
微小量移動することにより補正するようにしたため、送
りねじの規則的な振回りや不規則な現象に起因する運動
誤差を排除でき、高精度な運動精度を得ることができ
る。
〔実施例２〕 実施例１では、テーブル８と基準器10との相対的な変位
を計測するのに２個の微小変位計７a 及び７b を使用し
たが、このうち１個の微小変位計のみを使用し、被細材
または工具の近傍に配置して前記基準器１０との相対的
な変位を計測するようにすれば、より安価に構成できる
ばかりでなく、実施例１と同様の効果が得られる。
を計測するのに２個の微小変位計７a 及び７b を使用し
たが、このうち１個の微小変位計のみを使用し、被細材
または工具の近傍に配置して前記基準器１０との相対的
な変位を計測するようにすれば、より安価に構成できる
ばかりでなく、実施例１と同様の効果が得られる。
〔実施例３〕 第５図は、本発明の他の実施例を示したものである。実
施例１が２個の微小変位計７a，７bの計測値を平均し、
その結果を電圧分圧回路12により分圧して、ピエゾ素子
９a と９b また９c と９d を夫々同じ量だけ、かつ同じ
方向に同時に伸縮させていたのに対し、本実施例では微
小変位計７a 及び７b 毎の計測値を夫々第３図に示す機
能を有する電圧分圧回路12a 及び12b で分圧し、ピエゾ
素子９a〜９dを個別に伸縮するようにした。すなわち、
微小変位計７a の計測値は電圧分圧回路12a によりＶou
t a及びＶout cに分圧し、夫々ピエゾ素子９a 及び９c
と相反して駆動するようになつている。また、微小変位
計７b の計測値は電圧分圧回路12b によりＶout b及び
Ｖout dに分圧し、夫々ピエゾ素子９b 及び９d を相反
して駆動するように構成した。
施例１が２個の微小変位計７a，７bの計測値を平均し、
その結果を電圧分圧回路12により分圧して、ピエゾ素子
９a と９b また９c と９d を夫々同じ量だけ、かつ同じ
方向に同時に伸縮させていたのに対し、本実施例では微
小変位計７a 及び７b 毎の計測値を夫々第３図に示す機
能を有する電圧分圧回路12a 及び12b で分圧し、ピエゾ
素子９a〜９dを個別に伸縮するようにした。すなわち、
微小変位計７a の計測値は電圧分圧回路12a によりＶou
t a及びＶout cに分圧し、夫々ピエゾ素子９a 及び９c
と相反して駆動するようになつている。また、微小変位
計７b の計測値は電圧分圧回路12b によりＶout b及び
Ｖout dに分圧し、夫々ピエゾ素子９b 及び９d を相反
して駆動するように構成した。
この様にすることにより、２個の微小変位計が異なつた
計測値を示すような複雑な運動誤差形態を示す場合で
も、テーブルに搭載した被削材または工具を常に進行方
向と平行になるように補正制御でき、高精度な運動精度
を得ることができる。
計測値を示すような複雑な運動誤差形態を示す場合で
も、テーブルに搭載した被削材または工具を常に進行方
向と平行になるように補正制御でき、高精度な運動精度
を得ることができる。
以上説明したように、送りねじの回転を利用してテーブ
ルを直線移動する駆動装置において、進行方向と平行に
設置された基準器の面に対するテーブルの相対的な変位
を計測し、この結果をピエゾ素子を利用してテーブルを
微小量移動するようにしたものであるから、送りねじの
振回り等に起因するテーブルのよたりを排除でき、高精
度な運動精度が得られる効果を有し、かつ装置を安価に
構成できる効果を有するものである。
ルを直線移動する駆動装置において、進行方向と平行に
設置された基準器の面に対するテーブルの相対的な変位
を計測し、この結果をピエゾ素子を利用してテーブルを
微小量移動するようにしたものであるから、送りねじの
振回り等に起因するテーブルのよたりを排除でき、高精
度な運動精度が得られる効果を有し、かつ装置を安価に
構成できる効果を有するものである。
第１図及び第２図は、本発明の一実施例であるテーブル
駆動装置の概略図であり、第３図及び第４図は、夫々第
１図及び第２図における電圧分圧回路の機能説明図（第
３図）及びピエゾ素子の機能説明図（第４図）である。 第５図は、本発明の他の実施例におけるテーブル駆動装
置の概略である。 １……テーブルベース、２……ナツト、３……送りね
じ、４……駆動モータ、５……モータ制御回路、６……
制御指令回路、７a，７b……微小変位計、８……テーブ
ル、９a〜９d……ピエゾ素子、10……基準器、11……平
均化回路、１２，１２ａ，１２ｂ……電圧分圧回路。
駆動装置の概略図であり、第３図及び第４図は、夫々第
１図及び第２図における電圧分圧回路の機能説明図（第
３図）及びピエゾ素子の機能説明図（第４図）である。 第５図は、本発明の他の実施例におけるテーブル駆動装
置の概略である。 １……テーブルベース、２……ナツト、３……送りね
じ、４……駆動モータ、５……モータ制御回路、６……
制御指令回路、７a，７b……微小変位計、８……テーブ
ル、９a〜９d……ピエゾ素子、10……基準器、11……平
均化回路、１２，１２ａ，１２ｂ……電圧分圧回路。
Claims (1)
- 【請求項１】送りねじの回転により該送りねじと螺合す
るナットを介してテーブルを直進移動させるテーブルの
駆動装置において、上面に前記テーブルをその進行方向
と垂直な方向に微小移動可能な隙間を設けて搭載し、下
面に前記送りねじと螺合するナットを固着してテーブル
とともに直進移動するテーブルベースと、テーブルの進
行方向と平行な仕上げ面を有する基準器と、該基準器に
対するテーブルの進行方向と垂直な方向へのテーブルの
変位を常時検出する前記テーブルの進行方向前後位置に
設けられた少なくとも２個の微小変位計からなる検出手
段と、前記テーブルを該テーブルの進行方向に対して垂
直な方向に微小移動させて位置補正する前記テーブルベ
ースとテーブルとの隙間に設置された２対４個のピエゾ
素子からなる補正手段と、該補正手段の２対４個のピエ
ゾ素子を前記検出手段から得られる検出値に基づいて２
対同時または１対ずつ個別に電圧制御可能な制御回路と
から構成したことを特徴とするテーブルの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189785A JPH0639042B2 (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | テ−ブルの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4189785A JPH0639042B2 (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | テ−ブルの駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203253A JPS61203253A (ja) | 1986-09-09 |
| JPH0639042B2 true JPH0639042B2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=12621073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4189785A Expired - Lifetime JPH0639042B2 (ja) | 1985-03-05 | 1985-03-05 | テ−ブルの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639042B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06105346B2 (ja) | 1986-11-07 | 1994-12-21 | 富士写真フイルム株式会社 | ハロゲン化銀カラ−写真感光材料の処理方法 |
| JPS63191559A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Mazda Motor Corp | 研削盤のスイベル装置 |
| JP2529379Y2 (ja) * | 1989-09-07 | 1997-03-19 | 株式会社ユニシアジェックス | スロットルバルブ装置 |
| JPH0811354B2 (ja) * | 1989-11-27 | 1996-02-07 | オ−クマ株式会社 | 送りユニットの真直度補正装置 |
-
1985
- 1985-03-05 JP JP4189785A patent/JPH0639042B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61203253A (ja) | 1986-09-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5131166A (en) | Vertical/horizontal measuring apparatus and procedure for its use | |
| US6327788B1 (en) | Surface form measurement | |
| US6677691B2 (en) | Stage apparatus and method of using the same | |
| JPH06183561A (ja) | 移動ステージ装置 | |
| JPH0439011B2 (ja) | ||
| EP2017570A1 (en) | Shape measuring device and method with regulated scanning force based on monitoring the position of a resiliently mounted probe with several interferometers. | |
| JPH08115128A (ja) | パラレルリンク機構 | |
| JPH0639042B2 (ja) | テ−ブルの駆動装置 | |
| JP2002107142A (ja) | 歯車測定機 | |
| US6443818B1 (en) | Grinding machine | |
| JP2920426B2 (ja) | 真直度計測装置 | |
| US20070152391A1 (en) | Error corrected positioning stage | |
| JPH07246547A (ja) | 自動工作機械 | |
| JPH0329535B2 (ja) | ||
| JPS6314882B2 (ja) | ||
| JPH07218207A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| JP3027165B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2002032129A (ja) | 制御用センサと補正用センサを用いた移動ステージ機構と制御方法および制御装置 | |
| JP2539097B2 (ja) | 加工誤差補正方法及び工作機械 | |
| JPS60224010A (ja) | 自動三次元測定機 | |
| JPH02128111A (ja) | 精密移動装置 | |
| JPH01281848A (ja) | 精密切削装置 | |
| JPS60161056A (ja) | トレ−サヘツド | |
| JPS6073313A (ja) | ロボットの軌跡測定装置 | |
| JPH044168Y2 (ja) |