JPH03295415A - 光学式測定装置 - Google Patents
光学式測定装置Info
- Publication number
- JPH03295415A JPH03295415A JP9896590A JP9896590A JPH03295415A JP H03295415 A JPH03295415 A JP H03295415A JP 9896590 A JP9896590 A JP 9896590A JP 9896590 A JP9896590 A JP 9896590A JP H03295415 A JPH03295415 A JP H03295415A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scale
- housing
- receiving element
- light receiving
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 20
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は、メインスケールとインデックススケールの
相対移動の量を光学的に測定する光学式測定装置に関し
、特に光学式検出素子の配置に関する [従来の技術] 従来の光学式測定装置1bは第4図に示すように、ハウ
ジング4bに対してスライドするスライド検出ヘッド1
0bに、インデックススケール3b、発光素子5b、及
び受光素子6bが固定されていた。そうして、ハウジン
グ4bの外部に位置する被測定物(図示省略)とスライ
ド検出ヘッド10bを連結する連結部材11bに、通孔
24bが設けられ、発光素子5b及び受光素子6bから
のリード線20bが通孔24bに挿通されてハウジング
4bの外部に引出され、清算表小手段(図示省略)に接
続されていた。
相対移動の量を光学的に測定する光学式測定装置に関し
、特に光学式検出素子の配置に関する [従来の技術] 従来の光学式測定装置1bは第4図に示すように、ハウ
ジング4bに対してスライドするスライド検出ヘッド1
0bに、インデックススケール3b、発光素子5b、及
び受光素子6bが固定されていた。そうして、ハウジン
グ4bの外部に位置する被測定物(図示省略)とスライ
ド検出ヘッド10bを連結する連結部材11bに、通孔
24bが設けられ、発光素子5b及び受光素子6bから
のリード線20bが通孔24bに挿通されてハウジング
4bの外部に引出され、清算表小手段(図示省略)に接
続されていた。
[発明が解決しようとする課題]
光学式測定装置は、発光素子及び受動素子からのリード
線をハウジングの外部に引出す必要がある。
線をハウジングの外部に引出す必要がある。
従来の光学式測定装置1bでは、連結部材11bにリー
ド線20bを挿通させるための通孔24bを開設する必
要があり、連結部材11bの製造加工が難しいという問
題があった。殊に、装置全体或いは連結部材11bの小
型化を求める場合においては、連結部材11bの通孔2
4bを形成する部分の肉厚を薄くさせることとなり、問
題はより深刻であった。
ド線20bを挿通させるための通孔24bを開設する必
要があり、連結部材11bの製造加工が難しいという問
題があった。殊に、装置全体或いは連結部材11bの小
型化を求める場合においては、連結部材11bの通孔2
4bを形成する部分の肉厚を薄くさせることとなり、問
題はより深刻であった。
又、スライド検出ヘッド10bが移動すると、その移動
と共に演算表示手段に対してリード線20bの位置が移
動するので、リード線20bを移動可能に配置させる必
要があり、リード線20bの取扱いが煩雑であるという
問題があった。
と共に演算表示手段に対してリード線20bの位置が移
動するので、リード線20bを移動可能に配置させる必
要があり、リード線20bの取扱いが煩雑であるという
問題があった。
更に、例えば受光素子6bからの信号が微弱な際には受
光素子6bをリード線20bの間にプリアンプを介在さ
せるといったように、電子回路をスライド検出ヘッド1
0bもしくは連結部材1.1bに配設する場合、塵埃、
或いは水や油のミスト等の多い作業現場で用いるにはス
ライド検出ヘッド10bもしくは連結部材11bに電子
回路に対する防液・防塵の手段を設ける必要があるとい
う問題があった。殊に、スライド検出ヘッド10bのス
ライド方向と直交する方向の寸法を小さくしようとする
小型化を図る場合では、防塵・防液の手段の付設はより
一層難しく、問題はより深刻であった。
光素子6bをリード線20bの間にプリアンプを介在さ
せるといったように、電子回路をスライド検出ヘッド1
0bもしくは連結部材1.1bに配設する場合、塵埃、
或いは水や油のミスト等の多い作業現場で用いるにはス
ライド検出ヘッド10bもしくは連結部材11bに電子
回路に対する防液・防塵の手段を設ける必要があるとい
う問題があった。殊に、スライド検出ヘッド10bのス
ライド方向と直交する方向の寸法を小さくしようとする
小型化を図る場合では、防塵・防液の手段の付設はより
一層難しく、問題はより深刻であった。
この発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、
構成する部材の製造加工が簡単であって、又リード線の
取扱いが簡便であり、更には受光素子からの信号を処理
する電子回路を組込む場合にはその電子回路に係わる防
塵・防液の手段を特別に設ける必要のない光学式測定装
置を提供するものである。
構成する部材の製造加工が簡単であって、又リード線の
取扱いが簡便であり、更には受光素子からの信号を処理
する電子回路を組込む場合にはその電子回路に係わる防
塵・防液の手段を特別に設ける必要のない光学式測定装
置を提供するものである。
[課題を解決するための手段]
この発明は、ハウジングにメインスケールとインデック
ススケールを内設し、それらメインスケールとインデッ
クススケールとの相対移動の方向となるハウジングの内
壁側に発光素子及び受光素子を配設してなる光学式測定
装置である。
ススケールを内設し、それらメインスケールとインデッ
クススケールとの相対移動の方向となるハウジングの内
壁側に発光素子及び受光素子を配設してなる光学式測定
装置である。
その詳細な構成は、メインスケールと、そのメインスケ
ールと相対移動することによって共働してその移動距離
を測定するインデックススケールと、それらメインスケ
ールとインデックススケールのいずれか一方を内設固定
し、且つ他方を移動可能に内設するハウジングと、内設
固定されたスケールの長手方向端近傍のハウジング内壁
に配設される発光素子及び受光素子と、前記二つのスケ
ールのうち移動する側のスケールと共に移動し、且つ発
光素子の光を受けてメインスケール・インデックススケ
ール側に反射する第一のミラーと、前記二つのスケール
のうち移動する側のスケールと共に移動し、且つ第一の
ミラーで反射され、メインスケール・インデックススケ
ールを透過して来る光を受けて前記受動素子側に反射す
る第二のミラーと、前記受光素子からの信号に基づきメ
インスケールとインデックススケールとの相対移動の量
を演算表示する演算表示手段が備えられてなる光学式測
定装置である。
ールと相対移動することによって共働してその移動距離
を測定するインデックススケールと、それらメインスケ
ールとインデックススケールのいずれか一方を内設固定
し、且つ他方を移動可能に内設するハウジングと、内設
固定されたスケールの長手方向端近傍のハウジング内壁
に配設される発光素子及び受光素子と、前記二つのスケ
ールのうち移動する側のスケールと共に移動し、且つ発
光素子の光を受けてメインスケール・インデックススケ
ール側に反射する第一のミラーと、前記二つのスケール
のうち移動する側のスケールと共に移動し、且つ第一の
ミラーで反射され、メインスケール・インデックススケ
ールを透過して来る光を受けて前記受動素子側に反射す
る第二のミラーと、前記受光素子からの信号に基づきメ
インスケールとインデックススケールとの相対移動の量
を演算表示する演算表示手段が備えられてなる光学式測
定装置である。
[作用]
発光素子及び受光素子はハウジングの内壁側に配設され
ており、リード線はハウジングに開設した連結部材用の
開口、又は特別に開設した通孔を通してハウジングの外
部に引出すこさができる。
ており、リード線はハウジングに開設した連結部材用の
開口、又は特別に開設した通孔を通してハウジングの外
部に引出すこさができる。
[実施例コ
この発明を、第1〜3図に示す実施例に基づき詳述する
。しかし、この実施例によって、この発明が限定される
ものではない。
。しかし、この実施例によって、この発明が限定される
ものではない。
光学式測定装置lは第1〜2図に示すように、メインス
ケール2と、インデックススケール3と、ハウジング4
と、発光素子5と、受光素子6と、ミラー7及び8と、
演算表示手段9を備えて構成されている。
ケール2と、インデックススケール3と、ハウジング4
と、発光素子5と、受光素子6と、ミラー7及び8と、
演算表示手段9を備えて構成されている。
メインスケール2は、ハウジング4の内部に配設固定さ
れている。
れている。
インデックススケール3は、ハウジング4内に配設され
たスライド検出ヘッド10に固定されている。
たスライド検出ヘッド10に固定されている。
スライド検出ヘッド10はメインスケール2の長手方向
(矢印A方向)にスライド可能に設けられており、従っ
てインデックススケール3はメインスケール2に対して
相対移動可能となっている。
(矢印A方向)にスライド可能に設けられており、従っ
てインデックススケール3はメインスケール2に対して
相対移動可能となっている。
スライド検出ヘッド10には更に、メインスケール2及
びインデックススケール3を挟んでミラー7及び8が固
定されている。
びインデックススケール3を挟んでミラー7及び8が固
定されている。
ハウジング4は、筒状であって、底部にメインスケール
2の長手方向に沿って連結部材11が挿通する開口(図
示省略)が開設されたボデー12と、ボデー12の両端
を閉塞するブロック13及び14から構成されている。
2の長手方向に沿って連結部材11が挿通する開口(図
示省略)が開設されたボデー12と、ボデー12の両端
を閉塞するブロック13及び14から構成されている。
尚、ボデー12の開口に沿って、一対の防塵・防液1ル
ソプ15が、先端を突合せの状態で配設されている。
ソプ15が、先端を突合せの状態で配設されている。
発光素子5及び受光素子6は、それぞれ、ブロック13
に形成した凹所16及び17に配置されている。発光素
子5とミラー100間には、コリメータレンズ18が介
在されている。受光素子6からの信号を増幅するプリア
ンプ19が、凹所17に配設されている。発光素子5及
び受光素子6側と演算表示手段9は、ケーブル20によ
って接続されている。
に形成した凹所16及び17に配置されている。発光素
子5とミラー100間には、コリメータレンズ18が介
在されている。受光素子6からの信号を増幅するプリア
ンプ19が、凹所17に配設されている。発光素子5及
び受光素子6側と演算表示手段9は、ケーブル20によ
って接続されている。
連結部材11は、スライド検出ヘッド10と一体化され
、且つハウジング4に対して相対移動する被測定物(図
示省略)と連結してその相対移動の量を受取るものであ
る。21は被測定物と連結する連結部であり、22は移
動方向の断面形状が略紡錘形であって防塵・防液リップ
15を掻分ける掻分は首部である。
、且つハウジング4に対して相対移動する被測定物(図
示省略)と連結してその相対移動の量を受取るものであ
る。21は被測定物と連結する連結部であり、22は移
動方向の断面形状が略紡錘形であって防塵・防液リップ
15を掻分ける掻分は首部である。
演算表示手段9の前面は、表示操作パネル23になって
いる。
いる。
光学式測定装置1は、上述したように構成されている。
発光素子5は凹所16に、受光素子16及びプリアンプ
19は凹所17にぞれぞれ配設されており、スライド検
出ヘッド10の移動に拘わらずハウジング4に対して定
位置にあるから、発光素子5及び受光素子6からのリー
ド線(図示省略)の取扱いが煩雑になるという問題は生
じない。
19は凹所17にぞれぞれ配設されており、スライド検
出ヘッド10の移動に拘わらずハウジング4に対して定
位置にあるから、発光素子5及び受光素子6からのリー
ド線(図示省略)の取扱いが煩雑になるという問題は生
じない。
又、上記リード線のは4の外部への引出しはブロック1
3を通してケーブル20に直接に接続する構成が可能で
あり、連結部材11に通孔を開設する必要がないから連
結部材11の製造加工を簡便におこなうことができる。
3を通してケーブル20に直接に接続する構成が可能で
あり、連結部材11に通孔を開設する必要がないから連
結部材11の製造加工を簡便におこなうことができる。
しかも、連結部材11の掻分は首部22にリード線を挿
通するための通孔を開設する必要がないから、掻分は首
部22はスライド検出ヘッド10のスライド方向の断面
積を小さく形成することができる。掻分は首部 22は、断面積を小さく形成することにより、防塵・防
液リップ15との共働によってハウジング4内の防塵・
防液効果をより一層高めることかできる。
通するための通孔を開設する必要がないから、掻分は首
部22はスライド検出ヘッド10のスライド方向の断面
積を小さく形成することができる。掻分は首部 22は、断面積を小さく形成することにより、防塵・防
液リップ15との共働によってハウジング4内の防塵・
防液効果をより一層高めることかできる。
加えて、発光素子5及び受光素子6はスライド検出ヘッ
ド10に固定されておらずノ\ウジング4のブロック1
3に配設されているから、それらの素子からのリード線
とケーブル20の間に介在させるべきプリアンプ19は
ブロック13内に位置させることができている。従って
、プリアンプ19を従来のようにスライド検出ヘッド1
0もしくは連結部材11に配設する場合に比べ、塵埃、
水滴、油ミストからの影響を受けずに済むことにより、
プリアンプ19のための特別な防塵・防液の手段を必要
としない。又、例え影響を受ける場合であっても、影響
がより少ないということより簡便な防止手段で済ませる
ことができる。尚、ブロック13の大きさや形状は検出
能力や防塵・防液効果に影響されないから、その防塵・
防液の手段の付設に問題が生じるということはない。
ド10に固定されておらずノ\ウジング4のブロック1
3に配設されているから、それらの素子からのリード線
とケーブル20の間に介在させるべきプリアンプ19は
ブロック13内に位置させることができている。従って
、プリアンプ19を従来のようにスライド検出ヘッド1
0もしくは連結部材11に配設する場合に比べ、塵埃、
水滴、油ミストからの影響を受けずに済むことにより、
プリアンプ19のための特別な防塵・防液の手段を必要
としない。又、例え影響を受ける場合であっても、影響
がより少ないということより簡便な防止手段で済ませる
ことができる。尚、ブロック13の大きさや形状は検出
能力や防塵・防液効果に影響されないから、その防塵・
防液の手段の付設に問題が生じるということはない。
第3図に、この発明の他の実施例を示す。光学式測定装
置1aでは、発光素子5aと受光素子6aが対向する位
置に備えられている。つまり、ブロック14aの凹所1
6aに発光素子5a及びコリメータレンズ18aが配設
され、且つブロック1.3 aの凹所17aに受光素子
6aが配設されている。そうして、スライド検出ヘッド
10aにミラー7a及び8aが付設されていて、ミラー
7aは発光素子5aからの光をメインスケール2a・イ
ンデックススケール3a側に反射し、月つミラー8aは
メインスケール2a・インテ・ツクススケール3aを介
して来たミラー7aからの反射光を受光素子6a側に反
射する構成になっている。
置1aでは、発光素子5aと受光素子6aが対向する位
置に備えられている。つまり、ブロック14aの凹所1
6aに発光素子5a及びコリメータレンズ18aが配設
され、且つブロック1.3 aの凹所17aに受光素子
6aが配設されている。そうして、スライド検出ヘッド
10aにミラー7a及び8aが付設されていて、ミラー
7aは発光素子5aからの光をメインスケール2a・イ
ンデックススケール3a側に反射し、月つミラー8aは
メインスケール2a・インテ・ツクススケール3aを介
して来たミラー7aからの反射光を受光素子6a側に反
射する構成になっている。
光学式測定装置1aでは、発光素子5aからの光がミラ
ー7a、メインスケール2a、インデックススケール3
a、ミラー8aを介して受光素子6aに至る光路の長さ
が一定であるため、スライド検出ヘッド10aの位置、
つまりミラー7a。
ー7a、メインスケール2a、インデックススケール3
a、ミラー8aを介して受光素子6aに至る光路の長さ
が一定であるため、スライド検出ヘッド10aの位置、
つまりミラー7a。
8aの位置に拘わらず光の減衰が一定であることが期待
できる。
できる。
光学式測定装置1aは、光学式測定装置1について述べ
たと同じ効果が得られている。
たと同じ効果が得られている。
又、光学式測定装置1及び]、aでは発光素子からの光
はメインスケールを透過した後にインテ・ツクススケー
ルを透過する構成になっているが、インデックススケー
ルを透過した後にメインスケールを透過する構成であっ
てもよい。
はメインスケールを透過した後にインテ・ツクススケー
ルを透過する構成になっているが、インデックススケー
ルを透過した後にメインスケールを透過する構成であっ
てもよい。
光学式測定装置1及び1aでは光をそれぞれミラー7.
8及び7a、8aによって反射させているが、ここで言
うミラー7.8及び7a、8aとは例えばプリズムと言
った光を反射させる手段の全てを指すものである。
8及び7a、8aによって反射させているが、ここで言
うミラー7.8及び7a、8aとは例えばプリズムと言
った光を反射させる手段の全てを指すものである。
[発明の効果]
この発明は、メインスケールとインデックススケールに
透過光を与える発光素子、及びその透過光を受ける受光
素子を、そのメインスケールとインデックススケールを
内設し、メインスケールとインデックススケールは相対
移動する際に移動することのないハウジングの内壁側に
配設する構成としたことにより、移動側スケールと被測
定物を連結する連結部材の製造加工が簡便であって且つ
連結部材をハウジングに対して防塵・防液効果の高い形
状にすることができ、又発光素子及び受光素子からのリ
ード線の取扱いが簡便であり、更には発光素子及び受光
素子の近傍に電子回路を配設する場合においてはその電
子回路に対する防塵・防液が確保され易いという効果が
得られている。
透過光を与える発光素子、及びその透過光を受ける受光
素子を、そのメインスケールとインデックススケールを
内設し、メインスケールとインデックススケールは相対
移動する際に移動することのないハウジングの内壁側に
配設する構成としたことにより、移動側スケールと被測
定物を連結する連結部材の製造加工が簡便であって且つ
連結部材をハウジングに対して防塵・防液効果の高い形
状にすることができ、又発光素子及び受光素子からのリ
ード線の取扱いが簡便であり、更には発光素子及び受光
素子の近傍に電子回路を配設する場合においてはその電
子回路に対する防塵・防液が確保され易いという効果が
得られている。
第1図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第2図は第
1図のI−I断面図、第3図はこの発明の他の実施例を
示す第2図相当図、第4図は従来例を示す第2図相当図
である。 1・・・光学式測定装置、 2・・・メインスケール、3・・・インデックススケー
ル、4・・・ハウジング 5・・・発光素子、6・
・・受光素子、 7.8・・・ミラー9・・・演算
表示手段、 10・・・スライド検出ヘッド、 11・・・連結部材、 20・・・ケーブル。
1図のI−I断面図、第3図はこの発明の他の実施例を
示す第2図相当図、第4図は従来例を示す第2図相当図
である。 1・・・光学式測定装置、 2・・・メインスケール、3・・・インデックススケー
ル、4・・・ハウジング 5・・・発光素子、6・
・・受光素子、 7.8・・・ミラー9・・・演算
表示手段、 10・・・スライド検出ヘッド、 11・・・連結部材、 20・・・ケーブル。
Claims (1)
- 1、メインスケールと、そのメインスケールと相対移動
することによって共働してその移動距離を測定するイン
デックススケールと、それらメインスケールとインデッ
クススケールのいずれか一方を内設固定し、且つ他方を
移動可能に内設するハウジングと、内設固定されたスケ
ールの長手方向端近傍のハウジング内壁に配設される発
光素子及び受光素子と、前記二つのスケールのうち移動
する側のスケールと共に移動し、且つ発光素子の光を受
けてメインスケール・インデックススケール側に反射す
る第一のミラーと、前記二つのスケールのうち移動する
側のスケールと共に移動し、且つ第一のミラーで反射さ
れ、メインスケール・インデックススケールを透過して
来る光を受けて前記受動素子側に反射する第二のミラー
と、前記受光素子からの信号に基づきメインスケールと
インデックススケールとの相対移動の量を演算表示する
演算表示手段が備えられてなる光学式測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9896590A JPH03295415A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 光学式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9896590A JPH03295415A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 光学式測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295415A true JPH03295415A (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14233781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9896590A Pending JPH03295415A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 光学式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03295415A (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP9896590A patent/JPH03295415A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1060375B1 (en) | Optical pressure sensor | |
| ATE459038T1 (de) | Optisches eingabegerät zur messung von fingerbewegungen | |
| US4564294A (en) | Encapsulated photoelectric measuring system | |
| US9068822B2 (en) | Chromatic range sensor probe detachment sensor | |
| US4338722A (en) | Optoelectronic displacement sensor | |
| JPS6085302A (ja) | 2ビ−ムレ−ザ干渉計原理に基ずく長さ測定装置 | |
| JPH0628612U (ja) | 多軸測定器 | |
| JPS6166936A (ja) | 物理パラメータ測定用の光・電気・機械的装置 | |
| US4624570A (en) | Fiber optic displacement sensor | |
| JPH08114421A (ja) | 透明材料からなる物体の厚さの非接触型測定装置 | |
| JPH03295415A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JP4563600B2 (ja) | 光散乱測定プローブ | |
| GB2167863A (en) | Seal device in displacement measuring instrument | |
| JP2012093243A (ja) | 工具位置測定装置 | |
| US4605274A (en) | Cable connecting device | |
| DE19829513C2 (de) | Optische Vorrichtungen zur Abstandsmessung an schwer zugänglichen Stellen auf Basis des Triangulationssensorverfahrens | |
| JPH0712882Y2 (ja) | 測長装置 | |
| JP2987288B2 (ja) | 多層膜厚測定装置 | |
| HK1040286A1 (en) | Instrument for measuring light scattering | |
| JPS5861407A (ja) | 反射形光結合装置 | |
| JPH0332965Y2 (ja) | ||
| JPS644121B2 (ja) | ||
| JPS5881023A (ja) | 内視鏡用測長装置 | |
| JPH0650721Y2 (ja) | 測長装置 | |
| JP3434885B2 (ja) | 測長装置 |