JPH03295458A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPH03295458A JPH03295458A JP9786490A JP9786490A JPH03295458A JP H03295458 A JPH03295458 A JP H03295458A JP 9786490 A JP9786490 A JP 9786490A JP 9786490 A JP9786490 A JP 9786490A JP H03295458 A JPH03295458 A JP H03295458A
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- Japan
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- silver
- humidity sensor
- humidity
- soln
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- Prior art date
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- GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N sodium;9,10-dioxoanthracene-2-sulfonic acid Chemical compound [Na+].C1=CC=C2C(=O)C3=CC(S(=O)(=O)O)=CC=C3C(=O)C2=C1 GGCZERPQGJTIQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。
［従来の技術］
近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度センサの重要性が認められるようになった。
湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値の低い湿度センサを提供
するところにある。
の目的とするところは、抵抗値の低い湿度センサを提供
するところにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の湿度センサは、銀塩の溶液を多孔質体に含浸し
た後、熱処理することを特徴とする。
た後、熱処理することを特徴とする。
銀塩は熱処理すると分解して銀になる。銀塩の溶液を多
孔質体に含浸した後、熱処理すると、多孔質体中に銀粒
子を分散させることができ、抵抗値の低い湿度センサを
得ることができる。
孔質体に含浸した後、熱処理すると、多孔質体中に銀粒
子を分散させることができ、抵抗値の低い湿度センサを
得ることができる。
［実施例１］
硝酸銀８ｇをエタノール５０％水溶液１００ｍ１に溶解
し、硝酸銀エタノール水溶液を作製した。
し、硝酸銀エタノール水溶液を作製した。
−辺が５ｍｍの立方体状の多孔質アルミナを、この硝酸
銀エタノール水溶液中に浸種し、硝酸銀エタノール水溶
液を多孔質アルミナ中に含浸した。
銀エタノール水溶液中に浸種し、硝酸銀エタノール水溶
液を多孔質アルミナ中に含浸した。
この試料を８００℃で５時間熱処理した後、電極を付け
、湿度センサを作製した。
、湿度センサを作製した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第１図に
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である１本湿度センサの感湿特性を第２図に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
示す。第１図において、１は感湿体、２は電極、３はリ
ード線である１本湿度センサの感湿特性を第２図に示す
。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、
使いやすいことがわかる。
［実施例２］
硝酸銀３４ｇを水１００ｍ１に溶解し、硝酸銀水溶液を
作製した。Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極、多孔質シリカ膜をこの
順に形成したアルミナ基板を、この硝酸銀水溶液中に浸
種し、硝酸銀水溶液を多孔質シリカ膜中に含浸した。こ
の試料を５００°Ｃで３０分間熱処理することにより、
湿度センサを作製した。
作製した。Ｐｔ−Ｐｄ櫛形電極、多孔質シリカ膜をこの
順に形成したアルミナ基板を、この硝酸銀水溶液中に浸
種し、硝酸銀水溶液を多孔質シリカ膜中に含浸した。こ
の試料を５００°Ｃで３０分間熱処理することにより、
湿度センサを作製した。
このようにして作製した湿度センサの斜視図を第３図に
示す。第３図において、１は感湿膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使い
やすいことがわかる。
示す。第３図において、１は感湿膜、２は電極、４は基
板である。本湿度センサの感湿特性を第４図に示す。第
４図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く、使い
やすいことがわかる。
［発明の効果］
以上述べたように本発明の湿度センサは、銀塩の溶液を
多孔質体に含浸した後、熱処理するので、抵抗値が低い
ため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使い
やすい。したがって、低コスト、高精度な湿度センサと
して、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用
することができ
多孔質体に含浸した後、熱処理するので、抵抗値が低い
ため、高度な回路技術および実装技術は必要なく、使い
やすい。したがって、低コスト、高精度な湿度センサと
して、湿度計測、湿度制御を必要とする分野に広く応用
することができ
第１図、第３図は、本発明の湿度センサの斜視図。
１・・・感湿体または感湿膜
２・・・電極
３・・ ・リード線
４・・・基板
第２図、第４図は、本発明の湿度センサの感湿特性図。
以上
第 １図
Claims (1)
- 銀塩の溶液を多孔質体に含浸した後、熱処理することを
特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9786490A JPH03295458A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9786490A JPH03295458A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03295458A true JPH03295458A (ja) | 1991-12-26 |
Family
ID=14203623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9786490A Pending JPH03295458A (ja) | 1990-04-13 | 1990-04-13 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03295458A (ja) |
-
1990
- 1990-04-13 JP JP9786490A patent/JPH03295458A/ja active Pending
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