JPH04143647A - 湿度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、湿度に対応して素子の電気的特性が変化する
ことにより湿度を検出する湿度センサに関する。

［従来の技術］ 近年、湿度計測、湿度制御を必要とする分野が増加し、
温度センサの重要性が認められるようになった。

湿度に対応して素子の電気的特性が変化することにより
湿度を検出する湿度センサには、電解質系、金属系、高
分子系、セラミックス系等があり、それぞれいろいろな
系が研究されているが、現在実用化されているものは、
高分子系およびセラミックス系の湿度センサである。い
ずれも、素子に対する水の吸脱着により、素子の抵抗値
または静電容量が変化する性質を利用したものである。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来の湿度センサは、抵抗値が高いため、精度
の良い湿度計を製造するためには、高度な回路技術およ
び実装技術を必要とした。

そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、抵抗値が低く、高精度で信頼性
が高い湿度センサを提供するところにある。

［課題を解決するための手段］ 本発明の温度センサは、シリカとリチウム塩の混合物の
熱処理生成物を感湿体として用いることを特徴とする。

［実施例１］ シリカ１０ｇと塩化リチウム１０ｇを混合し、プレス成
形した後、５００°Ｃで１時間熱処理した。

得られた熱処理生成物から一辺が５ｍｍの立方体を切り
出し、電極を付け、第１図に示すような温度センサを作
成した。第１図において、１は感湿体、２は電極、３は
リード線である。本湿度センサの感湿特性を第２図に示
す。第２図より、本発明の湿度センサは、抵抗値が低く
、しかも温度によって特性が変化しないので、高精度で
、かつ使いやすいことがわかる０本湿度センサを６０°
Ｃ９０％の恒温恒湿槽中に１０００時間放置後、特性を
測定したところ、第２図と測定誤差の範囲内で同様であ
った。したがって、本温度センサは、耐久性、信頼性が
高いことがわかる。

［発明の効果コ 以上述べたように本発明の温度センサは、シリカとリチ
ウム塩の混合物の熱処理生成物を感温体として用いるの
で、抵抗値が低く、しかも温度によって特性が変化しな
いので、高度な回路技術および実装技術は必要なく、高
精度で、かつ使いやすい。また、信頼性も高い。したが
って、低コスト、高精度な湿度センサとして、温度計測
、湿度制御を必要とする分野に広く応用することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の湿度センサの斜視図。 １・・・感湿体 ２・・・電極 ３・・・リード線 第２図は、本発明の湿度センサの感湿特性図。 以上 出願人　セイコーエプソン株式会社

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　シリカとリチウム塩の混合物の熱処理生成物を感湿体
   として用いることを特徴とする湿度センサ。