JPH032990Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （考案の技術分野） 本考案は、弾性表面波共振子、弾性表面波フイ
ルタ等の弾性表面波装置に関するものである。

弾性表面波とは物体の表面付近にのみ歪エネル
ギーが集中して伝搬する弾性波のことである。

この弾性表面波の現象を利用した弾性表面波発
振器は高周波帯で安定度の高い発振器として通信
機器の分野あるいは温度や応力、圧力等を測定す
るセンサとして用いられつつある。

（従来技術） 従来、弾性表面波用電極を形成した圧電基板を
リード端子が貫通植設されたパツケージステム上
に接着材によつて接着し、前記弾性表面波用電極
と前記リード端子をワイヤーボンデイング方式で
接続し、気密キヤツプをパツケージステムに気密
封着して構成した。いわゆる気密封止構造のもの
が知られている。

パツケージステムと圧電基板との接着に使用す
る接着剤は、例えば接着剤の硬化過程における液
状から固体に変化する際の体積収縮によつて、圧
電基板に応力歪がかかるのを防止する観点から弾
性に富む樹脂を使用していた。

（従来技術の欠点） しかしながら、弾性に富む樹脂を使用する場
合、液状から固体へ加熱硬化させる工程におい
て、100℃〜200℃の雰囲気中で30分以上加熱硬化
させなくてはならず、また硬化時のガスの発生も
相俟つて弾性表面波用電極を構成する金属への経
時特性等に悪影響があつた。

また、圧電基板上に弾性表面波を励起させると
同時にバルク波が発生する。バルク波とは、弾性
表面波励起時に発生する圧電基板の厚み方向へ進
行する波のことである。該バルク波が前記圧電基
板底面に反射され、前記弾性表面波の伝播を乱す
という悪影響を防止するため、圧電基板底面を鏡
面加工と比較してやや荒く再研磨することでバル
ク波を乱反射させ、表面波の伝播に悪影響を及ぼ
さないように構成していた。しかし、前記再研磨
工程が必要となり工程数が増すという欠点を有し
ていた。

（考案の目的） 本考案は、上記事情に鑑みてなされたものであ
り、圧電基板、弾性表面波用電極を構成する金
属、圧電基板上部を伝播する弾性表面波に悪影響
を及ぼさない弾性表面波装置の提供を目的とする
ものである。

（考案の構成） 本考案は、パツケージステムと紫外線透過性の
圧電基板を接着する接着剤に紫外線硬化性樹脂を
用い、弾性表面波用電極を構成した圧電基板上部
から所定の間隔をもつてスリツトを設けたマスク
部材を介して、紫外線を照射することによりマス
キングされていない（スリツトの部分）圧電基板
直下の紫外線硬化性樹脂は紫外線が照射されるた
め硬化し、マスキングされている圧電基板直下の
紫外線硬化性樹脂は非硬化の状態に構成すること
を特徴としている。

（実施例） 本考案の実施例を図面とともに説明する。本実
施例ではマスク部材を弾性表面波用電極で兼用し
ている。

第１図において１はパツケージステム、２は紫
外線透過性圧電基板、３はリード端子、４は弾性
表面波用電極、６は紫外線硬化性樹脂である。

あらかじめ、リード端子３を植設したパツケー
ジステム１上にマスク部材兼用の弾性表面波用電
極４を構成した圧電基板２を紫外線硬化性樹脂６
を介して設置し、その後、紫外線照射装置により
圧電基板２の表面に直角に紫外線８を１〜２分間
照射する。

第２図に示されるごとく、弾性表面波用電極４
を構成していない圧電基板直下部分の紫外線硬化
性樹脂６は硬化し（６１で図示）、マスク部材と
なる弾性表面波用電極構成部の直下部分は紫外線
８が照射されないため硬化せず残る（６２で図
示）。そして、リード端子頭部３１と電極引出部
４１とをワイヤーボンデイング法により電極接続
し、その後気密キヤツプ（図示せず）にて気密封
止する。

ここで、本考案に使用する圧電基板は紫外線を
透過する水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リ
チウム等であつて、かつ圧電基板・裏面での紫外
線の乱反射を防ぐため必ず圧電基板表・裏面を鏡
面加工されたものに限定される。

例えば表、裏面を鏡面加工された水晶であると
波長約200nmまでの紫外線を透過させるため、一
般に使用される紫外線照射装置（300nm〜400nm
の紫外線を照射）により、充分水晶板を介して紫
外線硬化性樹脂を硬化させることができる。尚、
紫外線照射後すぐに金属性の気密キヤツプにて気
密封止するので、非硬化部が硬化していく恐れは
ない。

本実施例では、マスク部材を弾性表面波用電極
にて兼用した例を示したが、第３図に示される如
く圧電基板上部にマスク部材７を介して紫外線を
照射してもよい。

（効果等） 本考案によれば、接着剤硬化時、高熱にする必
要がないため弾性表面波用電極や圧電基板に熱に
よる歪発生等の悪影響を及ぼさず、またガスの発
生もないのでガスが前記弾性表面波用電極に付着
し、経時特性に悪影響を及ぼすこともない。

また、樹脂硬化時間が２分以内と非常に短いた
め、大幅な接着工程時間の短縮が実現できる。

さらに、第２図に示される如く、接着部断面の
樹脂が硬化層、非硬化層が交互に存在するので、
バルク波を乱反射させるため弾性表面波の伝播に
悪影響を与えない。

また、前記樹脂硬化層は若干収縮しているが、
非硬化層は収縮していないので圧電基板に伝わる
接着剤の収縮による歪が非硬化層で緩和されるた
め、圧電基板の破損等の事故は発生しなくなつ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例を示す図、第２図は
第１図のＡ−Ａ断面図、第３図は他の実施例を示
す図である。 １……パツケージステム、２……圧電基板、３
……リード端子、４……弾性表面波用電極、５…
…ワイヤー、６……紫外線硬化性樹脂、７……マ
スク部材、７１……スリツト、８……紫外線。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 表面に弾性表面波用電極を構成した圧電基板
   をパツケージステム上に接着剤にて接着してな
   る弾性表面波装置であつて、前記接着剤に紫外
   線硬化性樹脂を使用し、所定の間隔にスリツト
   を設けたマスク部材並びに前記圧電基板を介し
   て紫外線を照射することにより、前記紫外線硬
   化性樹脂を所定の間隔をもつて部分的に硬化さ
   せることを特徴とする弾性表面波装置。 (2) 実用新案登録請求範囲第１項において、マス
   ク部材を弾性表面波用電極が兼用することを特
   徴とする弾性表面波装置。