JPH0331073Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、フオトマスクブランク、透明導電膜
付基板等の被エツチング層を有する正方形状、長
方形状の基板上にレジスト膜を塗布する回転塗布
装置に関し、特に基板を保持し、かつ基板裏面に
レジストの糸状物の付着を防止する、保持部と、
他のところから保持部に基板を搬送する、又は保
持部から他のところに搬送する、搬送部とを備え
た回転塗布装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この装置としては第７図及び第８図に示
すものがあつた。なお、第７図は平面図、第８図
は正面図である。

この装置は、レジスト膜を塗布する、フオトマ
スクブランク等の正方形の基板１を保持する保持
部２と、この保持部２に基板１を搬送する、また
はレジスト膜を塗布した基板１を、基板収納容器
等に搬送する搬送部３とを備えている。

この保持部２は、円板状物からなり、その直径
が基板１の対角線の寸法よりも小さく、かつ基板
１を真空吸着するための真空吸着用穴４が形成さ
れている。また、保持部２には、この保持部２を
回転させる回転用軸５が付設されている。

また、搬送部３は、基板１の搬送中、基板１を
支持する棒状の支持部６と、この支持部６が基板
１の下方において保持部２方向に移動したとき、
その移動距離を検知する棒状の検知部７と、支持
部６と検知部７とを連結する連結部８と、この連
結部８を介して支持部６と検知部７とを第７図に
おいて矢印方向に移動させるための移動部９とを
備えたものである。そして、この搬送部３は、保
持部２を介して対向して一対設けられており、そ
の左右の搬送部３，３の移動は同期している。

次に、この回転塗布装置における、レジスト膜
塗布及び塗布後のレジスト膜付基板の搬送方法に
ついて説明する。なお、基板を保持部に搬送する
方法は、塗布後のレジスト膜付基板の搬送方法と
逆の工程であることから説明を省略する。

先ず、保持部２に搬送され真空吸着された基板
１上にレジストを滴下し、所望する回転数及び回
転時間で、保持部２を回転、すなわち基板１を回
転してレジスト膜を基板１の主表面１ａ（表面）
に塗布する。次に、搬送部３，３のそれぞれの支
持部６を基板１の下方において保持部２方向に、
それぞれの検知部７が保持部２の側面２ａに当接
するまで移動させる。次に側面２ａに検知部７が
当接した後、さらに移動させると移動部９を介し
て、この搬送部３，３を移動させるモータに負荷
がかかり、この負荷を検出したとき、搬送部３，
３の移動を停止させる。すなわち、第７図、第８
図に示すとおりとなる。次に、基板１の真空吸着
を解除し、左右の搬送部３，３のそれぞれの支持
部６を離間する方向、すなわち第７，８図におい
て左の搬送部３の支持部６は左方向、右の搬送部
３の支持部６は右方向に、支持部６が上昇したと
き基板１を支持できる程度に移動し、検知部７，
７を保持部２から離間する。次に、搬送部３，３
を上昇させ、それぞれの支持部６を基板１のもう
一方の主表面１ｂ（裏面）に当接し、さらに上昇
させて支持部６により基板１を支持して、例えば
基板収納容器等に搬送する。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、従来の回転塗布装置において、
その搬送部の支持部６が、保持部２から突出して
いる、基板１の角部１ｃの裏面１ｂに当接して支
持することを目的としたものであることから、保
持部２の直径は、基板１の主表面の対角線の寸法
よりも小さい寸法が要求され、そのために、第９
図に示すように基板１の裏面１ｂの角部には、剥
離してゴミとなる、レジストの糸状物１０が付着
してしまう問題点があつた。すなわち、保持部２
に基板１を保持し、回転したとき、保持部２から
外側の、基板１の部分（図で示す二点鎖線よりも
外側の部分）のみならず、二点鎖線の内側にも糸
状物１０が付着してしまう問題点があつた。これ
は、基板１が回転すると、基板１の保持部２から
外に出ている角部に対する空気抵抗が大きく、そ
の空気抵抗によつて、裏面１ｂの角部に、回転中
に基板１から飛散したレジストの糸状物１０が付
着する。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は前述した問題点を除去するためになさ
れたもので、その特徴は、レジスト膜を塗布する
基板を保持し、回転させる保持部と、前記基板を
搬送する搬送部とを具備する回転塗布装置におい
て、前記保持部が、その直径が前記基板の主表面
の対角線寸法以上の寸法である円板であり、かつ
前記保持部に前記基板を保持したとき、前記基板
の２側面により形成される角部近傍の下に位置
し、その位置から前記保持部の側面まで切り取ら
れた切欠部を有し、さらに前記搬送部が、前記切
欠部を通し、かつ搬送のときに前記基板を支持す
る支持部を備えている回転塗布装置である。

なお、本考案の望ましい態様は、前記切欠部
が、前記角部を形成する２側面のうち、前記基板
が回転する方向の後方の側面の下に設けられてい
ることである。

〔実施例〕

本考案の回転塗布装置の一実施例を第１図〜第
６図に基づいて詳細に説明する。なお、第１図は
平面図、第２図は正面図、第３図及び第４図はそ
れぞれ、第１図のX₁−X₁線断面図及びY₁−Y₁線
断面図であり、第５図及び第６図はそれぞれ、基
板に支持部が当接したときの、X₁−X₁線断面図
及びY₁−Y₁線断面図である。

本例の回転塗布装置は、主表面が４インチ×４
インチである、ガラス基板（厚さ0.09インチ）上
にクロム膜からなる遮光性膜を被着したフオトマ
スクブランクである基板２０を保持する保持部２
１と、基板２０を搬送する、一対の搬送部２２，
２２とを具備したものである。そして、保持部２
１の直径は、基板２０を保持部２１に保持したと
き、平面視、基板２０が保持部２１の円に内接す
るように、141.4mmであり、その厚さt₁は７mmで
ある。また、この保持部２１は、４個の切欠部２
１ａを有しており、この切欠部２１ａは、基板２
０を保持部２１に保持したとき、基板２０の角部
２０ｃを形成する２側面２０ａ，２０ｂのうち、
第１図に示す矢印方向に基板２０を回転したとき
の回転方向後方の側面２０ｂの下及び角部２０近
傍に形成されている。また、切欠部２１ａは、保
持部２１の側面２１ｂまで切り欠かれており、ま
た切欠部２１ａの幅寸法l₁は12mm、基板２０の側
面からの奥行寸法l₂は10mmである。さらに、保持
部２１には、基板２０を真空吸着するための真空
吸着用穴２１ｃが設けられており、また、保持部
２１を回転させる回転用軸２３が付設されてい
る。一方、搬送部２２は、基板２０を支持する、
直状の支持部２２ａとＬ字状の支持部２２ｂとを
備え、また支持部２２ａ，２２ｂが基板２０の下
方において保持部２１方向に移動したとき、その
移動距離を検知する棒状の検知部２２ｃと、支持
部２２ａ，２２ｂ及び検知部２２ｃとを連結する
連結部２２ｄと、これら支持部２２ａ，２２ｂ、
検知部２２ｃ、連結部２２ｄを、第１図の矢印
Ａ，Ｂで示す方向に移動させる移動部２２ｅとを
備えている。

さらに、第３図及び第４図に示すように、支持
部２２ａ，２２ｂのそれぞれの一端部は、段差を
設けており、その底面２２a₁，２２b₁は基板２０
を支持する面であり、支持部２２ａの段差の側面
２２a₂は基板２０の搬送において、基板２０を挾
持する面であり、一方支持部２２ｂの段差の側面
２２b₂は、後記する搬送方法において、基板２０
に支持部２２ｂを当接したとき、確実にその底面
２２b₁に当接させるための傾斜面である。なお、
支持部２２ａの一端から検知部２２ｃまでの長さ
寸法l₄は31mmであり、支持部２２ａ，２２ｂのそ
れぞれの幅寸法l₃は10mmで、検知部２２ｃが保持
部２１に当接したときの、支持部２２ａの一端か
ら基板２０の側面までの長さ寸法l₅は９mmであ
る。さらに、支持部２２ａ，２２ｂのそれぞれの
段差の底面２２a₁，２２b₁の長さ寸法l₆は10mmで
あり、段差寸法l₇は１mmである。また支持部２２
ａ，２２ｂの材質はポリアセタール樹脂である。

次に、本例における搬送方法について以下に述
べる。なお、レジスト膜の塗布方法は従来と同様
であることから説明を省略し、また基板２０を保
持部２１から取り外す搬送方法について述べる。

先ず、レジスト膜が基板２０上に塗布された
後、移動部２２ｅを介して、支持部２２ａ，２２
ｂ及び検知部２２ｃを基板２０側に移動させる。
なお、左右の搬送部２２，２２は同期している。
そして、検知部２２ｃが保持部２１の側面２１ｂ
に当接し、すなわち、搬送部２２の支持部２２
ａ，２２ｂの一端が、基板２０の下方及び切欠部
２１ａの下方に位置し、さらに移動させると、移
動部２２ｅを介して、この搬送部２２を移動させ
るモータに負荷がかかり、負荷検出手段によりこ
の負荷を検出し、搬送部２２の移動を停止する。
したがつて、第１図〜第４図に示すように、搬送
部２２の支持部２２ａ，２２ｂの一端の底面２２
a₁，２２b₁が基板２０の下方にくる。次に、搬送
部２２を基板２０から離れる方向、すなわち左の
搬送部２２は左方向、右の搬送部２２は右方向に
それぞれ0.5mm移動し、検知部２２ｃを保持部２
１から離間させる。次に、左右の搬送部２２，２
２を上昇し、基板２０に支持部２２ａ，２２ｂの
段差の底面２２a₁，２２b₁を当接し（第５図及び
第６図参照）、さらに搬送部２２を上昇させなが
ら、左右の搬送部２２，２２を基板２０側に移動
し、支持部２２ａの段差の側面２２a₂により基板
２０を挾持し、基板２０を支持部２２ａ，２２ｂ
によつて支持して上昇させる。なお、この基板２
０の上昇の前に、勿論基板２０の真空吸着は解除
しておく。

次に、支持部２２によつて支持された基板２０
を、例えば基板収納容器等に搬送する。

以上、本例においては、保持部２１に切欠部２
１ａを形成し、この切欠部２１ａに、搬送部２２
の支持部２２ａ，２２ｂを通して基板２０を支持
するようにしていることから、基板２０の対角線
の寸法よりも直径が大きい保持部２１を用いるこ
とができ、その結果基板２０の角部２０ｃが保持
部２１から突出することがないのでレジストの糸
状物が基板２０の裏面に付着することもなく、ま
た切欠部２１ａの形成されている位置が、回転方
向の後方側面の角部近傍であることから、その切
欠部２１ａを形成してもレジストの糸状物は基板
２０の裏面に付着しない。

本考案は前記実施例に限らず下記のものであつ
てもよい。

先ず、保持部の切欠部の位置は前記実施例のよ
うに、基板の各側面下方に設けずに、相対向する
２側面のそれぞれに２個設けてもよい。しかしな
がら、角部を形成する２側面の回転方向の前方方
向の側面に設けられた、切欠部のところの基板の
裏面にはレジストの糸状物が付着することもある
ので望ましくは前記実施例のような位置がよい。
また、前記実施例では支持部の一端に段差を形成
したが、なくてもよい。また、前記実施例の支持
部２２ｂの底面２２b₁を傾斜させてもよい。ま
た、切欠部の数は４個に限らず、４個以上であつ
てもよいが、レジストの糸状物の付着防止から、
基板の角部の数と同じ４個がよい。また切欠部の
形状は、支持部の形状を考慮して適宜決定すれば
よい。また、保持部には環状の基板載置用突起を
設けてもよい。また搬送部には凸状の検知部を設
けなくてもよい。このときは、例えば、搬送部の
基板方向への移動距離を予じめ定めておけばよ
い。さらに、保持部の直径は、基板が内接する寸
法でなくてもよく、基板の対角線の寸法以上であ
ればよい。

〔考案の効果〕

以上のとおり、本考案の回転塗布装置によれ
ば、基板の裏面にレジストの糸状物を付着させる
ことなく、レジスト膜を塗布し搬送することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第６図は本考案の回転塗布装置の一実
施例を示す図であり、第１図は平面図、第２図は
正面図、第３図は第１図のX₁−X₁線断面図、第
４図は第１図のY₁−Y₁線断面図、第５図及び第
６図はそれぞれ基板に支持部が当接したときの、
X₁−X₁線断面図及びY₁−Y₁線断面図である。第
７図及び第８図は従来の回転塗布装置を示す図で
あり、第７図は平面図、第８図は正面図である。
第９図は従来の回転塗布装置によつてレジスト膜
を塗布したときのレジストの糸状物を示す基板の
平面図である。 ２０……基板、２０ａ，２０ｂ……側面、２０
ｃ……角部、２１……保持部、２１ａ……切欠
部、２２……搬送部、２２ａ，２２ｂ……支持
部、２３……回転用軸。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レジスト膜を塗布する基板を保持し、回転さ
   せる保持部と、前記基板を搬送する搬送部とを
   具備する回転塗布装置において、前記保持部
   が、その直径が前記基板の主表面の対角線寸法
   以上の寸法である円板であり、かつ前記保持部
   に前記基板を保持したとき、前記基板の２側面
   により形成される角部近傍の下に位置し、その
   位置から前記保持部の側面まで切り取られた切
   欠部を有し、さらに前記搬送部が、前記切欠部
   を通し、かつ搬送のときに前記基板を支持する
   支持部を備えていることを特徴とする回転塗布
   装置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第(1)項記載におい
   て、前記切欠部が、前記角部を形成する２側面
   のうち、前記基板が回転する方向の後方の側面
   の下に設けられていることを特徴とする回転塗
   布装置。