JPH0331310B2 - - Google Patents
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- JPH0331310B2 JPH0331310B2 JP58231109A JP23110983A JPH0331310B2 JP H0331310 B2 JPH0331310 B2 JP H0331310B2 JP 58231109 A JP58231109 A JP 58231109A JP 23110983 A JP23110983 A JP 23110983A JP H0331310 B2 JPH0331310 B2 JP H0331310B2
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- JP
- Japan
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- scanning
- beam diameter
- switching device
- optical path
- half mirror
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/144—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using partially transparent surfaces without spectral selectivity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/145—Beam splitting or combining systems operating by reflection only having sequential partially reflecting surfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/024—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/04—Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa
- H04N1/0402—Scanning different formats; Scanning with different densities of dots per unit length, e.g. different numbers of dots per inch (dpi); Conversion of scanning standards
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- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Fax Reproducing Arrangements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、画像走査記録装置の走査線数の選
択に応じて走査ビームの光束径を切換える装置に
関するものである。
択に応じて走査ビームの光束径を切換える装置に
関するものである。
製版過程において、原稿からカメラを用いた写
真方式によつて作成される版材焼付け用の２次原
稿もしくは印刷版は原稿画像のコントラストをそ
のまま再現したり、そのデイテールを強調するた
めに行う修正に多大の手数を要することから、こ
のような修正が電子回路の操作によつて容易に所
望どおりなされる画像走査記録装置（以下スキヤ
ナという）が用いられるようになつた。
真方式によつて作成される版材焼付け用の２次原
稿もしくは印刷版は原稿画像のコントラストをそ
のまま再現したり、そのデイテールを強調するた
めに行う修正に多大の手数を要することから、こ
のような修正が電子回路の操作によつて容易に所
望どおりなされる画像走査記録装置（以下スキヤ
ナという）が用いられるようになつた。
従来この種のスキヤナは、とくに機械的平面方
式のものでは処理スピードをあげることが困難と
されていたのであるが、ポリゴンミラー走査やガ
ルバノ・ミラー走査を採用することによつてこの
難点が解決され、その使用がひろがるに伴つて前
記した調子再現とデイテール強調の利点を生か
し、これまで新聞用２次原稿の作成に主として用
いられてきた比較的粗線スクリーン用のほかに、
より精細な走査線数のものが、グラフイツク化の
傾向が進むにつれて要望されている。
式のものでは処理スピードをあげることが困難と
されていたのであるが、ポリゴンミラー走査やガ
ルバノ・ミラー走査を採用することによつてこの
難点が解決され、その使用がひろがるに伴つて前
記した調子再現とデイテール強調の利点を生か
し、これまで新聞用２次原稿の作成に主として用
いられてきた比較的粗線スクリーン用のほかに、
より精細な走査線数のものが、グラフイツク化の
傾向が進むにつれて要望されている。
この発明は、前記した要望に応えるべく、走査
線数の粗密の選択に応じて最適の走査ビームの光
束径を切換え的に変化させることのできる装置を
提供することを目的とするものである。
線数の粗密の選択に応じて最適の走査ビームの光
束径を切換え的に変化させることのできる装置を
提供することを目的とするものである。
以下、この発明にかかるビーム径切換装置を画
像走査記録装置に適用した実施例について図面を
参照しながら詳細に説明する。
像走査記録装置に適用した実施例について図面を
参照しながら詳細に説明する。
第１図はこの実施例の全体構成を模式的に示し
た斜視図であり、第２図は走査ビームの光束径を
切換え的に変化させるようにした光学系の説明図
である。
た斜視図であり、第２図は走査ビームの光束径を
切換え的に変化させるようにした光学系の説明図
である。
一般に走査ビームの光源にレーザ発生装置を使
用した場合における対物レンズ（投影レンズ）か
ら投影面に投光されるビームの光束径について
は、対物レンズへ入射される平行集束ビームの直
径をＤ、焦点面において最大限絞られた光ビーム
の光束径、すなわち投影面上の結像スポツトの直
径をd0とすると、d0＝４／π・ｆ・λ／Ｄ……(イ)なる
関 係が成立する。ここにｆは対物レンズの焦点距
離、λはレーザ光の波長である。
用した場合における対物レンズ（投影レンズ）か
ら投影面に投光されるビームの光束径について
は、対物レンズへ入射される平行集束ビームの直
径をＤ、焦点面において最大限絞られた光ビーム
の光束径、すなわち投影面上の結像スポツトの直
径をd0とすると、d0＝４／π・ｆ・λ／Ｄ……(イ)なる
関 係が成立する。ここにｆは対物レンズの焦点距
離、λはレーザ光の波長である。
第２図に示すように光束径Ｄの平行集束ビーム
を、鉛直な中心支軸のまわりに平面反射鏡を揺動
させるようにしたガルバノ・ミラー１５によつて
偏向させ、投影面１７上の結像スポツトを移動さ
せればビーム走査がなされるのであるから(イ)式か
らわかるとおり、ｆ、λをそれぞれ小さくし、Ｄ
を大きくすればより精細なビームによる走査が可
能となり、走査線数をますことによつて記録画像
の解像力の向上をもたらすことができる。
を、鉛直な中心支軸のまわりに平面反射鏡を揺動
させるようにしたガルバノ・ミラー１５によつて
偏向させ、投影面１７上の結像スポツトを移動さ
せればビーム走査がなされるのであるから(イ)式か
らわかるとおり、ｆ、λをそれぞれ小さくし、Ｄ
を大きくすればより精細なビームによる走査が可
能となり、走査線数をますことによつて記録画像
の解像力の向上をもたらすことができる。
記録画像の解像力に直接関係する記録用走査ビ
ームに着目すると、投影面１７は感材フイルムで
あり、たとえば波長が488nｍとかなり短い青色
光のアルゴンレーザを用いることによつてλは小
さくされており、一方ｆは、要求される記録幅
（生走査方向における走査幅）とガルバノ・ミラ
ーの揺動角度との関係から、ある程度の大きさが
必要で、あまり小さくはできず、残されたＤを大
きくするために、倍率の大きなビームエキスパン
ダ１３を設け、対物レンズ１６に入射される平行
集束ビームの直径を大きくしているのである。
ームに着目すると、投影面１７は感材フイルムで
あり、たとえば波長が488nｍとかなり短い青色
光のアルゴンレーザを用いることによつてλは小
さくされており、一方ｆは、要求される記録幅
（生走査方向における走査幅）とガルバノ・ミラ
ーの揺動角度との関係から、ある程度の大きさが
必要で、あまり小さくはできず、残されたＤを大
きくするために、倍率の大きなビームエキスパン
ダ１３を設け、対物レンズ１６に入射される平行
集束ビームの直径を大きくしているのである。
この実施例装置は、例えば倍率15倍のビームエ
キスパンダ１３の手前にさらに倍率２倍のビーム
エキスパンダ１２を付加することによつて、アル
ゴンレーザ発生装置１１から投射されたレーザ光
はビームエキスパンダ１２，１３入射前において
は0.63mm程度の光束径をもつ平行集束ビームであ
つたものが対物レンズ１６入射前ではその約30倍
の19mm直径の平行集束ビームとなり、結像スポツ
トの直径d0が、細くされているのである。そして
ビームエキスパンダ１２の前後にハーフミラ２
８，２９を介在させるとともに１対の反射鏡３
０，３０′を設けることによつてアルゴンレーザ
ビームをバイパスさせ直接ビームエキスパンダ１
３に入射せしめるようにし、さらにこれら２つの
光路を、ロータリソレノイド３１によつて作動す
るシヤツター３２により切換えできるようにされ
ている。したがつてこの装置では、光束径が19mm
と9.5mmの２つの記録用光ビームがえられ、前記
の記録用光ビームでの走査では1500L／インチ、
後者のそれでは750L／インチとそれぞれスキヤ
ン線数を必要に応じて使い分けができるようにさ
れている。
キスパンダ１３の手前にさらに倍率２倍のビーム
エキスパンダ１２を付加することによつて、アル
ゴンレーザ発生装置１１から投射されたレーザ光
はビームエキスパンダ１２，１３入射前において
は0.63mm程度の光束径をもつ平行集束ビームであ
つたものが対物レンズ１６入射前ではその約30倍
の19mm直径の平行集束ビームとなり、結像スポツ
トの直径d0が、細くされているのである。そして
ビームエキスパンダ１２の前後にハーフミラ２
８，２９を介在させるとともに１対の反射鏡３
０，３０′を設けることによつてアルゴンレーザ
ビームをバイパスさせ直接ビームエキスパンダ１
３に入射せしめるようにし、さらにこれら２つの
光路を、ロータリソレノイド３１によつて作動す
るシヤツター３２により切換えできるようにされ
ている。したがつてこの装置では、光束径が19mm
と9.5mmの２つの記録用光ビームがえられ、前記
の記録用光ビームでの走査では1500L／インチ、
後者のそれでは750L／インチとそれぞれスキヤ
ン線数を必要に応じて使い分けができるようにさ
れている。
この実施例装置においては、第１図に示すよう
に、ガルバノ・ミラー１５が鉛直な中心支軸に保
持され、この支軸を矢印で示す時計方向および反
時計方向に一定角度だけ高速にて揺動させるガル
バノ・ミラー装置１８によつてビームを偏向させ
ビーム走査をそれぞれ行わせる３つの光ビーム用
の光学系、すなわち前記した記録（焼付）用光学
系Ｒと、原稿画像ピツクアツプ用光学系Ｓと、走
査位置検出用光学系Ｇとを有している。
に、ガルバノ・ミラー１５が鉛直な中心支軸に保
持され、この支軸を矢印で示す時計方向および反
時計方向に一定角度だけ高速にて揺動させるガル
バノ・ミラー装置１８によつてビームを偏向させ
ビーム走査をそれぞれ行わせる３つの光ビーム用
の光学系、すなわち前記した記録（焼付）用光学
系Ｒと、原稿画像ピツクアツプ用光学系Ｓと、走
査位置検出用光学系Ｇとを有している。
記録用光学系Ｒは、光源、すなわちアルゴンレ
ーザ発生装置１１、これから射出されるレーザビ
ームをレンズ（図示せず）により絞つて音響光学
変調器（以下AOMと略記する）２２に入射せし
め、AOM２２から出力される変調光は図示しな
い光学装置により平行集束ビームとされて、この
発明にかかる走査ビーム径切換装置に入射する。
この発明にかかる走査ビーム径切換装置はこの実
施例においては上述した平行集束ビームを２分割
するハーフミラー２８と、このハーフミラー２８
からの反射光軸（以下バイパス光路という）上に
配置された全反射ミラー３０，３０′と、ハーフ
ミラー２８を透過する光軸（以下直進光路とい
う）上に配置されたビームエキスパンダ１２と、
バイパス光路を直進光路に一致せしめるハーフミ
ラー２９と、両光路を択一的に遮断せしめるシヤ
ツター装置３２とから構成されている。AOM２
２からのビームはハーフミラー２８により透過光
と反射光とに２分割され、透過光はビームエキス
パンダ１２によつてその光束径が２倍に拡大さ
れ、ついでハーフミラー２９を透過して、第２の
ビームエキスパンダ１３にとおされ、さらにその
光束径を15倍に拡大し、記録用平行集束ビームと
して反射鏡１４に投射するようにされている。一
方ハーフミラー２８によつて反射された平行集束
レーザビームはそのままの光束径を保つて、一対
の反射鏡３０，３０′によつて形成されるバイパ
ス光路を経て、ハーフミラー２９により前記直進
光路に合流し、第２のビームエキスパンダ１３に
とおされ、第１のビームエキスパンダ１２をとお
された場合の丁度1/2の光束径の記録用平行集束
ビームとして反射鏡１４に投射されるようになつ
ている。この記録用ビーム光学系Ｒにおいては、
ハーフミラー２８とビームエキスパンダ１２との
間にロータリソレノイド３１で作動するシヤツタ
ー３２が設けられているので、図示のようにシヤ
ツター３２が直進光路を遮断している場合にはバ
イパス光路をへて、前記したとおり平行集束レー
ザビームがそのままの光束径にてビームエキスパ
ンダ１３に投射され、シヤツター３２がバイパス
光路を遮断する場合には平行集束レーザビーム
は、その光束径が30倍に拡大されて反射鏡１４に
投射されることとなり、ガルバノ・ミラー１５を
へて対物レンズ１６に入射せしめられる記録用平
行集束ビームの光束径を２通りに、何ら光軸の調
整を要することなく容易に切換えられるようにさ
れている。
ーザ発生装置１１、これから射出されるレーザビ
ームをレンズ（図示せず）により絞つて音響光学
変調器（以下AOMと略記する）２２に入射せし
め、AOM２２から出力される変調光は図示しな
い光学装置により平行集束ビームとされて、この
発明にかかる走査ビーム径切換装置に入射する。
この発明にかかる走査ビーム径切換装置はこの実
施例においては上述した平行集束ビームを２分割
するハーフミラー２８と、このハーフミラー２８
からの反射光軸（以下バイパス光路という）上に
配置された全反射ミラー３０，３０′と、ハーフ
ミラー２８を透過する光軸（以下直進光路とい
う）上に配置されたビームエキスパンダ１２と、
バイパス光路を直進光路に一致せしめるハーフミ
ラー２９と、両光路を択一的に遮断せしめるシヤ
ツター装置３２とから構成されている。AOM２
２からのビームはハーフミラー２８により透過光
と反射光とに２分割され、透過光はビームエキス
パンダ１２によつてその光束径が２倍に拡大さ
れ、ついでハーフミラー２９を透過して、第２の
ビームエキスパンダ１３にとおされ、さらにその
光束径を15倍に拡大し、記録用平行集束ビームと
して反射鏡１４に投射するようにされている。一
方ハーフミラー２８によつて反射された平行集束
レーザビームはそのままの光束径を保つて、一対
の反射鏡３０，３０′によつて形成されるバイパ
ス光路を経て、ハーフミラー２９により前記直進
光路に合流し、第２のビームエキスパンダ１３に
とおされ、第１のビームエキスパンダ１２をとお
された場合の丁度1/2の光束径の記録用平行集束
ビームとして反射鏡１４に投射されるようになつ
ている。この記録用ビーム光学系Ｒにおいては、
ハーフミラー２８とビームエキスパンダ１２との
間にロータリソレノイド３１で作動するシヤツタ
ー３２が設けられているので、図示のようにシヤ
ツター３２が直進光路を遮断している場合にはバ
イパス光路をへて、前記したとおり平行集束レー
ザビームがそのままの光束径にてビームエキスパ
ンダ１３に投射され、シヤツター３２がバイパス
光路を遮断する場合には平行集束レーザビーム
は、その光束径が30倍に拡大されて反射鏡１４に
投射されることとなり、ガルバノ・ミラー１５を
へて対物レンズ１６に入射せしめられる記録用平
行集束ビームの光束径を２通りに、何ら光軸の調
整を要することなく容易に切換えられるようにさ
れている。
反射鏡１４によつて反射された記録用ビームＲ
は、基台（図示せず）に平行、いいかえれば水平
面内においてガルバノ・ミラー１５の中心に投射
され、その揺動によつて偏向され、主走査方向の
記録用集束ビームとなつて対物レンズ１６に投射
される。ガルバノ・ミラー１５からの走査ビーム
は対物レンズ１６によつて光束径を十分に絞つた
走査ビームとして、焦点面に位置する記録フイル
ム１７上を走査するようにされている。
は、基台（図示せず）に平行、いいかえれば水平
面内においてガルバノ・ミラー１５の中心に投射
され、その揺動によつて偏向され、主走査方向の
記録用集束ビームとなつて対物レンズ１６に投射
される。ガルバノ・ミラー１５からの走査ビーム
は対物レンズ１６によつて光束径を十分に絞つた
走査ビームとして、焦点面に位置する記録フイル
ム１７上を走査するようにされている。
原稿画像ピツクアツプ用光学系Ｓおよび走査位
置検出用光学系Ｇは各々レーザ発生装置（図示せ
ず）から所定の光学装置（図示せず）を介してビ
ームエキスパンダ４３，５３に入射され、さらに
各ビームエキスパンダ４３，５３からのビームは
ミラー４４，５４によりガルバノ・ミラー１５の
中心に投射されている。なおレーザ発生装置につ
いては単一のレーザ発生装置からそのビームを３
本の光学系に分岐するようにしてもよいし、また
各光学系Ｒ，Ｓ，Ｇ用に別個の発生装置を用意し
てもよい。またガルバノ・ミラー１５の中心に入
射する各光学系Ｒ，Ｓ，Ｇは図示したところから
明らかなように、各光学系相互の干渉をさけるた
め記録用光学系Ｒに対し他の２光学系Ｓ，Ｇは
各々若干の角度をもつて設定されている。そして
原稿画像ピツクアツプ用のビームＳは図示のよう
に対物レンズ１６およびミラー４５を介して対物
レンズ１６の焦点面上に配置された原稿１９を走
査するようにされている。
置検出用光学系Ｇは各々レーザ発生装置（図示せ
ず）から所定の光学装置（図示せず）を介してビ
ームエキスパンダ４３，５３に入射され、さらに
各ビームエキスパンダ４３，５３からのビームは
ミラー４４，５４によりガルバノ・ミラー１５の
中心に投射されている。なおレーザ発生装置につ
いては単一のレーザ発生装置からそのビームを３
本の光学系に分岐するようにしてもよいし、また
各光学系Ｒ，Ｓ，Ｇ用に別個の発生装置を用意し
てもよい。またガルバノ・ミラー１５の中心に入
射する各光学系Ｒ，Ｓ，Ｇは図示したところから
明らかなように、各光学系相互の干渉をさけるた
め記録用光学系Ｒに対し他の２光学系Ｓ，Ｇは
各々若干の角度をもつて設定されている。そして
原稿画像ピツクアツプ用のビームＳは図示のよう
に対物レンズ１６およびミラー４５を介して対物
レンズ１６の焦点面上に配置された原稿１９を走
査するようにされている。
ところで、原稿１９のわずか上方にその主走査
方向にそわして水平に配設される反射鏡４６，４
６′はそれぞれの内側面が、長軸を鉛直方向より
副走査方向とは反対側に傾斜させた楕円曲面のそ
れぞれ一部を形成する凹曲面とされ、かつその１
つの焦点が画像原稿面に位置するようにされてい
るものである。したがつて画像原稿１９面からの
ピツクアツプ用走査ビームの反射光はいずれも反
射鏡４６，４６′のもう一つの焦点線上に集中す
ることとなる。そしてピツクアツプ用走査ビーム
と干渉しないように、前記焦点線にそつて、たと
えば多数のフオトダイオードまたはリニア形の
CCDアレイ素子を連続して配設して形成した受
光素子板４７が設けられており、この受光素子板
４７に集中して受光される原稿画像の濃淡に対応
する反射光量は、個々の受光素子によつてそれに
比例した電気信号に変換されて、電子回路（図示
せず）に入力されるようになつている。
方向にそわして水平に配設される反射鏡４６，４
６′はそれぞれの内側面が、長軸を鉛直方向より
副走査方向とは反対側に傾斜させた楕円曲面のそ
れぞれ一部を形成する凹曲面とされ、かつその１
つの焦点が画像原稿面に位置するようにされてい
るものである。したがつて画像原稿１９面からの
ピツクアツプ用走査ビームの反射光はいずれも反
射鏡４６，４６′のもう一つの焦点線上に集中す
ることとなる。そしてピツクアツプ用走査ビーム
と干渉しないように、前記焦点線にそつて、たと
えば多数のフオトダイオードまたはリニア形の
CCDアレイ素子を連続して配設して形成した受
光素子板４７が設けられており、この受光素子板
４７に集中して受光される原稿画像の濃淡に対応
する反射光量は、個々の受光素子によつてそれに
比例した電気信号に変換されて、電子回路（図示
せず）に入力されるようになつている。
前記電子回路にはデイテールの強調などのプロ
グラムが予めインプツトされているので、それに
したがつて個々の受光素子から入力された画像情
報に処理が加えられ、記録用ビーム光学系の
AOM２２を駆動する信号とされて電子回路から
AOM２２に出力されるようになつている。
グラムが予めインプツトされているので、それに
したがつて個々の受光素子から入力された画像情
報に処理が加えられ、記録用ビーム光学系の
AOM２２を駆動する信号とされて電子回路から
AOM２２に出力されるようになつている。
またガルバノ・ミラー１５により反射される位
置検出用ビームＧは図示のように対物レンズ１６
およびミラー５５を介してグレーテイング５６に
入射するようにされている。
置検出用ビームＧは図示のように対物レンズ１６
およびミラー５５を介してグレーテイング５６に
入射するようにされている。
この場合、対物レンズ１６からグレーテイング
５６までの光路長さが対物レンズ１６の焦点距離
にほぼ等しくなるようにされているので、十分に
絞られた光束によつてグレーテイング５６の走査
がなされることとなる。そして記録幅と同等の幅
をもつグレーテイング５６の背面には、個々の受
光素子がグレーテイング５６の隙間にあわせて多
数配列された受光素子板５７が設けられ、走査ビ
ームを個々の受光素子が順番にキヤツチするごと
にそれを電気信号として前記した電子回路へ入力
するようにされている。
５６までの光路長さが対物レンズ１６の焦点距離
にほぼ等しくなるようにされているので、十分に
絞られた光束によつてグレーテイング５６の走査
がなされることとなる。そして記録幅と同等の幅
をもつグレーテイング５６の背面には、個々の受
光素子がグレーテイング５６の隙間にあわせて多
数配列された受光素子板５７が設けられ、走査ビ
ームを個々の受光素子が順番にキヤツチするごと
にそれを電気信号として前記した電子回路へ入力
するようにされている。
この発明にかかる走査ビーム径切換装置が組込
まれた画像走査記録装置は以上説明したように構
成されているので、シヤツターによりバイパス光
路を遮断し、記録用ビームを２つのビームエキス
パンダによつてその光束を最大限に拡大し、平行
集束ビームとして走査を行わせるときには、たと
えば1500L／インチの密なスキヤン線数がえら
れ、画像の解像力を高めることができ、これによ
つて精密な線数を必要とする印刷版、もしくは２
次原稿の作成を容易になしうる。それとともに、
シヤツターにより本来の光路を遮断し、記録用ビ
ームを１つのビームエキスパンダのみによつてそ
の光束を拡大し、平行集束ビームとして走査を行
わせるときにはたとえば750L／インチの粗なス
キヤン線数がえられ新聞用などの印刷版もしくは
２次原稿の作成をすみやかに行うことができる。
そしてこのようにシヤツターの切換え動作のみに
よつて記録用ビームの光束径を交換することがで
きるため、非常に厄介な作業である光軸調整を切
換え時に行うことなく、１つの装置を必要に応じ
て２様に容易に使い分けることができるという大
きな効果を奏するものである。
まれた画像走査記録装置は以上説明したように構
成されているので、シヤツターによりバイパス光
路を遮断し、記録用ビームを２つのビームエキス
パンダによつてその光束を最大限に拡大し、平行
集束ビームとして走査を行わせるときには、たと
えば1500L／インチの密なスキヤン線数がえら
れ、画像の解像力を高めることができ、これによ
つて精密な線数を必要とする印刷版、もしくは２
次原稿の作成を容易になしうる。それとともに、
シヤツターにより本来の光路を遮断し、記録用ビ
ームを１つのビームエキスパンダのみによつてそ
の光束を拡大し、平行集束ビームとして走査を行
わせるときにはたとえば750L／インチの粗なス
キヤン線数がえられ新聞用などの印刷版もしくは
２次原稿の作成をすみやかに行うことができる。
そしてこのようにシヤツターの切換え動作のみに
よつて記録用ビームの光束径を交換することがで
きるため、非常に厄介な作業である光軸調整を切
換え時に行うことなく、１つの装置を必要に応じ
て２様に容易に使い分けることができるという大
きな効果を奏するものである。
なお上述の実施例においては、この発明にかか
る走査ビーム径切換装置を記録用光学系Ｒに適用
した場合について説明したが、他の光学系Ｓ，Ｇ
についても適用できるものであることはいうまで
もない。
る走査ビーム径切換装置を記録用光学系Ｒに適用
した場合について説明したが、他の光学系Ｓ，Ｇ
についても適用できるものであることはいうまで
もない。
また上述の実施例においては、レーザ発生装置
からのビームを２本に分岐してそれぞれをシヤツ
ター装置により択一的に遮断するようにしている
が、バイパス光路を複数設定するようにしてもよ
い。
からのビームを２本に分岐してそれぞれをシヤツ
ター装置により択一的に遮断するようにしている
が、バイパス光路を複数設定するようにしてもよ
い。
第１図はこの発明にかかる実施例装置が組込ま
れた画像走査記録装置全体の構成を模式的に示し
た斜視図であり、第２図は走査ビームの光束径を
切換え的に変化させるようにした光学系の説明図
である。 １１……レーザ発生装置、１２，１３……ビー
ムエキスパンダ、１５……ガルバノ・ミラー、１
６……対物レンズ、１７……感材、１８……ガル
バノ・ミラー装置、１９……画像原稿、２０……
感材送出し装置、２２……音響光学変調器、２
８，２９……ハーフミラ、３０，３０′……反射
鏡、３１……ロータリソレノイド、３２……シヤ
ツター、４３，５３……ビームエキスパンダ、５
６……グレーテイング、Ｒ……記録用ビーム、Ｓ
……原稿画像ピツクアツプ用ビーム、Ｇ……走査
位置検出用ビーム。
れた画像走査記録装置全体の構成を模式的に示し
た斜視図であり、第２図は走査ビームの光束径を
切換え的に変化させるようにした光学系の説明図
である。 １１……レーザ発生装置、１２，１３……ビー
ムエキスパンダ、１５……ガルバノ・ミラー、１
６……対物レンズ、１７……感材、１８……ガル
バノ・ミラー装置、１９……画像原稿、２０……
感材送出し装置、２２……音響光学変調器、２
８，２９……ハーフミラ、３０，３０′……反射
鏡、３１……ロータリソレノイド、３２……シヤ
ツター、４３，５３……ビームエキスパンダ、５
６……グレーテイング、Ｒ……記録用ビーム、Ｓ
……原稿画像ピツクアツプ用ビーム、Ｇ……走査
位置検出用ビーム。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 原稿を光電走査して画像情報を得、該画像情
報を演算処理し、該演算結果に基づいて原稿に対
応した画像を記録走査するようにした画像走査記
録装置において、走査光発生装置からのビームを
少なくとも２本の光路に分岐せしめるビーム分岐
手段と、前記各光路の少なくともひとつの光路上
に配置されたビーム径変更手段と、前記各光路を
単一の光路とするビーム整合手段と、前記各光路
のうちいずれか所望のひとつの光路のみにビーム
を通すシヤツター手段とからなり、走査線数の選
択に応じて走査ビーム径を切り換えるようにした
ことを特徴とする走査ビーム径切換装置。 ２ 走査光発生装置がガスレーザである特許請求
の範囲第１項記載の走査ビーム径切換装置。 ３ ビーム分岐手段がハーフミラーであり、走査
光発生装置からのビームを前記ハーフミラーによ
り反射して形成される少なくとも１本のバイパス
光路と前記ハーフミラーを透過して形成される直
進光路とに分岐するようにした特許請求の範囲第
１項記載の走査ビーム径切換装置。 ４ ビーム径変更手段がビームエキスパンダであ
る特許請求の範囲第１項記載の走査ビーム径切換
装置。 ５ ビーム整合手段がビーム分岐手段により分岐
された各光路のうちいずれかひとつの光路上に配
置されたハーフミラーである特許請求の範囲第１
項記載の走査ビーム径切換装置。 ６ シヤツター手段がビーム分岐手段とビーム整
合手段との間の各光路上に配置された特許請求の
範囲第１項記載の走査ビーム径切換装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58231109A JPS60123160A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 走査ビーム径切換装置 |
| US06/675,706 US4642701A (en) | 1983-12-06 | 1984-11-28 | Device of switching a scanning beam diameter |
| GB08430241A GB2151109B (en) | 1983-12-06 | 1984-11-30 | Apparatus for and a method of changing a beam diameter |
| DE19843443758 DE3443758A1 (de) | 1983-12-06 | 1984-11-30 | Vorrichtung zum umschalten des strahldurchmessers eines abtastlichtstrahles |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58231109A JPS60123160A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 走査ビーム径切換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60123160A JPS60123160A (ja) | 1985-07-01 |
| JPH0331310B2 true JPH0331310B2 (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=16918438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58231109A Granted JPS60123160A (ja) | 1983-12-06 | 1983-12-06 | 走査ビーム径切換装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4642701A (ja) |
| JP (1) | JPS60123160A (ja) |
| DE (1) | DE3443758A1 (ja) |
| GB (1) | GB2151109B (ja) |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61277261A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Toshiba Corp | レ−ザプリンタ |
| JPS61277255A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Toshiba Corp | レ−ザプリンタ |
| US4763134A (en) * | 1985-08-29 | 1988-08-09 | Konishiroku Photo Industry Co. | Laser recording apparatus having variable recording magnification and beam intensity control |
| JPH0782156B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1995-09-06 | 株式会社日立製作所 | 記録光学系 |
| US4803497A (en) * | 1987-08-31 | 1989-02-07 | Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh | Laser diode output power stabilization in a laser imagesetter |
| JPH04104216A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-06 | Hitachi Koki Co Ltd | 光走査装置 |
| JP3990472B2 (ja) * | 1996-08-19 | 2007-10-10 | 富士フイルム株式会社 | ビーム径制御方法および装置 |
| US6605797B1 (en) | 1999-07-16 | 2003-08-12 | Troitski | Laser-computer graphics system for generating portrait and 3-D sculpture reproductions inside optically transparent material |
| US6417485B1 (en) | 2000-05-30 | 2002-07-09 | Igor Troitski | Method and laser system controlling breakdown process development and space structure of laser radiation for production of high quality laser-induced damage images |
| US6768080B2 (en) * | 2001-12-17 | 2004-07-27 | Troitski | Method for production of laser-induced damage images with special characteristics by creating damages of special space shape |
| US6727460B2 (en) | 2002-02-14 | 2004-04-27 | Troitski | System for high-speed production of high quality laser-induced damage images inside transparent materials |
| JP2005353259A (ja) * | 2004-05-14 | 2005-12-22 | Sony Corp | 光ピックアップ、光ディスク装置及び光学倍率調整方法 |
| US9164397B2 (en) * | 2010-08-03 | 2015-10-20 | Kla-Tencor Corporation | Optics symmetrization for metrology |
| CN107092166B (zh) * | 2016-02-18 | 2019-01-29 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 曝光系统、曝光装置及曝光方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3657473A (en) * | 1970-05-15 | 1972-04-18 | Zenith Radio Corp | Holographic image recording and reproducing system |
| US4060323A (en) * | 1974-07-10 | 1977-11-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Image information handling method and device |
| US4476474A (en) * | 1981-04-02 | 1984-10-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Dot recording apparatus |
| JPS5817442A (ja) * | 1981-07-24 | 1983-02-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像走査記録装置における連続階調露光方法およびその装置 |
| JPS58141078A (ja) * | 1982-02-16 | 1983-08-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 画像走査記録方法及び装置 |
| JPS59146016A (ja) * | 1983-02-08 | 1984-08-21 | Hitachi Ltd | レ−ザビ−ム走査装置 |
-
1983
- 1983-12-06 JP JP58231109A patent/JPS60123160A/ja active Granted
-
1984
- 1984-11-28 US US06/675,706 patent/US4642701A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-11-30 DE DE19843443758 patent/DE3443758A1/de active Granted
- 1984-11-30 GB GB08430241A patent/GB2151109B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3443758C2 (ja) | 1989-04-27 |
| DE3443758A1 (de) | 1985-07-18 |
| GB2151109B (en) | 1987-06-17 |
| JPS60123160A (ja) | 1985-07-01 |
| GB2151109A (en) | 1985-07-10 |
| GB8430241D0 (en) | 1985-01-09 |
| US4642701A (en) | 1987-02-10 |
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