JPH0332378A - 微小移動装置 - Google Patents
微小移動装置Info
- Publication number
- JPH0332378A JPH0332378A JP1167874A JP16787489A JPH0332378A JP H0332378 A JPH0332378 A JP H0332378A JP 1167874 A JP1167874 A JP 1167874A JP 16787489 A JP16787489 A JP 16787489A JP H0332378 A JPH0332378 A JP H0332378A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- drive
- detection
- movement
- moving table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、平行バネを利用した微小移動装置に関するも
のである。
のである。
［従来技術］
従来、平行バネを利用した微小移動装置においては、装
置全体を固定する基台と、試料等が載せられる移動台と
を平行バネを介して連結し、その平行バネの撓みにより
移動台を移動させるようにしていた。
置全体を固定する基台と、試料等が載せられる移動台と
を平行バネを介して連結し、その平行バネの撓みにより
移動台を移動させるようにしていた。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、かかる微小移動装置を駆動するには外部
に駆動要素を必要とし、微小移動装置の移動状態を検出
するには外部に検出要素を設けなければならず、構造が
複雑で移動精度を高めることが困難であった。
に駆動要素を必要とし、微小移動装置の移動状態を検出
するには外部に検出要素を設けなければならず、構造が
複雑で移動精度を高めることが困難であった。
本発明は、」二連した問題点を解決するためになされた
ものであり、その目的とするところは平行バネに圧電素
子を使用することにより高精度であり、且つ簡易な構成
で安価な微小移動装置を提供することにある。
ものであり、その目的とするところは平行バネに圧電素
子を使用することにより高精度であり、且つ簡易な構成
で安価な微小移動装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
この目的を達成するために本発明の微小移動装置は、移
動台を駆動する駆動用圧電素子と、移動台の移動状態を
検出する検出用圧電素子とよりなる平行バネを基台と移
動台との間に介在させている。
動台を駆動する駆動用圧電素子と、移動台の移動状態を
検出する検出用圧電素子とよりなる平行バネを基台と移
動台との間に介在させている。
［作用］
上記の構成を有する本発明において、駆動用圧電素子と
検出用圧電素子は移動台の案内役を果たしつつ、駆動用
圧電素子は移動台を駆動し、検出用圧電素子は移動部の
移動状態を検出する。そして、その移動量は検出用圧電
素子の歪量検知信号によりフィードバックされて、駆動
用圧電素子に指令信号が送られることにより微細高精度
に制御される。
検出用圧電素子は移動台の案内役を果たしつつ、駆動用
圧電素子は移動台を駆動し、検出用圧電素子は移動部の
移動状態を検出する。そして、その移動量は検出用圧電
素子の歪量検知信号によりフィードバックされて、駆動
用圧電素子に指令信号が送られることにより微細高精度
に制御される。
［実施例］
以下、本発明を具体化した一実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
最初に第１図を参照して微小移動装置の構成を説明する
と、微小移動装置全体を固定するための基台１があり、
基台１．にはバイモルフ型である駆動用圧電素子２と検
出用圧電素子３が取り付けられている。駆動用圧電素子
２と検出用圧電素子３を案内として移動台４が設けられ
ている。検出用圧電素子３から駆動装置５へは検出信号
６が送られ、駆動装置らから駆動用圧電素子２へは駆動
信号７が伝送される。又、駆動装置５には指令信号８が
与えられる。
と、微小移動装置全体を固定するための基台１があり、
基台１．にはバイモルフ型である駆動用圧電素子２と検
出用圧電素子３が取り付けられている。駆動用圧電素子
２と検出用圧電素子３を案内として移動台４が設けられ
ている。検出用圧電素子３から駆動装置５へは検出信号
６が送られ、駆動装置らから駆動用圧電素子２へは駆動
信号７が伝送される。又、駆動装置５には指令信号８が
与えられる。
次に、第１図を参照して本実施例の微小移動装置の動作
を説明する。移動台４の移動量を指令信号８として駆動
装置５に与えると、駆動装置５は検出用圧電素子３から
の検出信号６をフィードバック信号として駆動用圧電索
子２に駆動信号７を退出する。移動台４は駆動用圧電素
子２に駆動され設定された量だけ移動する。検出用圧電
素子３の検出感度は、長さを４Ｏｎ＋＋＋＋、厚さを１
ｍｎ＋、圧電定数を３４０ Ｘ １０”ｍ＋Ｉｌ／ Ｖ
とすると、約１肩／Ｖと高感度であり、同様に駆動用圧
電素子２は高分解能なアクチュエータであるので、高精
度の位置決めが可能で且つ構成が簡易な微小移動装置と
なっている。
を説明する。移動台４の移動量を指令信号８として駆動
装置５に与えると、駆動装置５は検出用圧電素子３から
の検出信号６をフィードバック信号として駆動用圧電索
子２に駆動信号７を退出する。移動台４は駆動用圧電素
子２に駆動され設定された量だけ移動する。検出用圧電
素子３の検出感度は、長さを４Ｏｎ＋＋＋＋、厚さを１
ｍｎ＋、圧電定数を３４０ Ｘ １０”ｍ＋Ｉｌ／ Ｖ
とすると、約１肩／Ｖと高感度であり、同様に駆動用圧
電素子２は高分解能なアクチュエータであるので、高精
度の位置決めが可能で且つ構成が簡易な微小移動装置と
なっている。
本発明は以上詳述した実施例に限定されるものではなく
、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加え
ることができる。
、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加え
ることができる。
例えば、第２図のように２次元移動に展開したり、３次
元移動とすることも可能である。即ち、第２図は２次元
移動の場合に、基台９の一側にＸ軸駆動用圧電素子板１
０とＸ軸検出用圧電素子板１１とを平行に延設し、該両
圧電素子板１０．１１の先端に中間移動台１２を設け、
該中間移動台１２には前記両圧電素子板１０．１１の延
設方向と直交する方向にＹ軸駆動用圧電素子板１３とＹ
軸検出用圧電素子板１４とを平行に延設し、その先端に
移動台１５を設けたものであり、この例ではＸ軸駆動用
圧電素子板１０とＹ軸駆動用圧電素子板１３とを制御す
ることにより移動台１５をＸＹ方向に移動制御できるも
のである。また、第３図のように駆動要素でも検出要素
でもない板バネ１６を加えてもよい。
元移動とすることも可能である。即ち、第２図は２次元
移動の場合に、基台９の一側にＸ軸駆動用圧電素子板１
０とＸ軸検出用圧電素子板１１とを平行に延設し、該両
圧電素子板１０．１１の先端に中間移動台１２を設け、
該中間移動台１２には前記両圧電素子板１０．１１の延
設方向と直交する方向にＹ軸駆動用圧電素子板１３とＹ
軸検出用圧電素子板１４とを平行に延設し、その先端に
移動台１５を設けたものであり、この例ではＸ軸駆動用
圧電素子板１０とＹ軸駆動用圧電素子板１３とを制御す
ることにより移動台１５をＸＹ方向に移動制御できるも
のである。また、第３図のように駆動要素でも検出要素
でもない板バネ１６を加えてもよい。
［発明の効果］
以上詳述したことから明らかなように、本発明によれば
、移動台を駆動する駆動用圧電素子と移動台の移動状態
を検出する検出用圧電素子とから平行バネが構成されて
いるので、高精度な位置決めが可能で、簡易な構造によ
り小型で安価なものとすることができる。
、移動台を駆動する駆動用圧電素子と移動台の移動状態
を検出する検出用圧電素子とから平行バネが構成されて
いるので、高精度な位置決めが可能で、簡易な構造によ
り小型で安価なものとすることができる。
第１図から第３図までは本発明を具体化した実施例を示
すもので、第１図は、第１の実施例の概略構成図、第２
図は、第２の実施例の概略構成図、第３図は、第３の実
施例の概略構成図である。 図中、１は基台、２は駆動用圧電素子、３は検出用圧電
素子、４は移動台、１０はＸ軸駆動用圧電素子、１］は
Ｘ軸検出用圧電素子、１３はＹ軸駆動用圧電素子、１４
はＹ軸検出用圧電素子である。
すもので、第１図は、第１の実施例の概略構成図、第２
図は、第２の実施例の概略構成図、第３図は、第３の実
施例の概略構成図である。 図中、１は基台、２は駆動用圧電素子、３は検出用圧電
素子、４は移動台、１０はＸ軸駆動用圧電素子、１］は
Ｘ軸検出用圧電素子、１３はＹ軸駆動用圧電素子、１４
はＹ軸検出用圧電素子である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、基台と移動台とを平行バネを介して連結している微
小移動装置において、 前記平行バネが前記移動台を駆動する駆動用圧電素子と
、移動台の移動状態を検出する検出用圧電素子とにより
構成されることを特徴とする微小移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167874A JPH0332378A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 微小移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1167874A JPH0332378A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 微小移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332378A true JPH0332378A (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=15857679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1167874A Pending JPH0332378A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | 微小移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332378A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207573A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Sony Corp | 電子機器のコネクタ装置及びコネクタ装置取付方法 |
| JP2008079492A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-04-03 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータを用いた駆動装置及びこれを搭載した電子機器 |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP1167874A patent/JPH0332378A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007207573A (ja) * | 2006-02-01 | 2007-08-16 | Sony Corp | 電子機器のコネクタ装置及びコネクタ装置取付方法 |
| JP2008079492A (ja) * | 2006-08-22 | 2008-04-03 | Seiko Instruments Inc | 圧電アクチュエータを用いた駆動装置及びこれを搭載した電子機器 |
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