JPS5830129A - 精密平面移動装置 - Google Patents
精密平面移動装置Info
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- JPS5830129A JPS5830129A JP56127789A JP12778981A JPS5830129A JP S5830129 A JPS5830129 A JP S5830129A JP 56127789 A JP56127789 A JP 56127789A JP 12778981 A JP12778981 A JP 12778981A JP S5830129 A JPS5830129 A JP S5830129A
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- Japan
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- block
- movement
- displacement mechanism
- rack
- fine adjustment
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
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- Electron Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体ウェハなどの試料をのせたテーブルを
、平面上で高精ｆＫ移動位置決めする精密平面移動装置
に関する。
、平面上で高精ｆＫ移動位置決めする精密平面移動装置
に関する。
半導体集積回路の微細化にょシ、１−以下のパターンを
形成することが要求されている。この度めＫＦｉ高精度
の露光装置が必要とされるがこの露ｙｔｉｉｔＫ不可欠
のものが高精度の移動、位置決め装置である。従って、
従来より高精度の移動、位置決め装置が提案されて来た
が、これ勢はテーブルの粗送シ機構と微少送り機構とが
別々であ夛、構造が複雑で、かつ大汲である欠点を有し
ていた。ｊ！ｔｃ％粗送）機構では高精度の位置決めは
できず、微少送）機構では高精度位置決めが可能であっ
ても、その微少送ル量が極めて小さい欠点を有してい友
。まえ、微少送り機構は一般には粗送〕機構上に載置さ
れる構造のものが多く、従って装置全体が高ぐなシ取Ｉ
ＩｋＫ不便である欠点を有してい友。
形成することが要求されている。この度めＫＦｉ高精度
の露光装置が必要とされるがこの露ｙｔｉｉｔＫ不可欠
のものが高精度の移動、位置決め装置である。従って、
従来より高精度の移動、位置決め装置が提案されて来た
が、これ勢はテーブルの粗送シ機構と微少送り機構とが
別々であ夛、構造が複雑で、かつ大汲である欠点を有し
ていた。ｊ！ｔｃ％粗送）機構では高精度の位置決めは
できず、微少送）機構では高精度位置決めが可能であっ
ても、その微少送ル量が極めて小さい欠点を有してい友
。まえ、微少送り機構は一般には粗送〕機構上に載置さ
れる構造のものが多く、従って装置全体が高ぐなシ取Ｉ
ＩｋＫ不便である欠点を有してい友。
第１図にこれ等の欠点を有する従来技術の移動装置の一
例を示す。
例を示す。
基本的構造としては示矢Ｘ方向およびＹ方向に１１動す
る２つの粗動テーブル１と、その粗動テーブル１に載架
され、同じく示矢Ｘ方向およびＹ方向に微動する２つの
微動テーブル２から構成されている。すなわち、基板に
形成される２本の直線軸受案内７には粗動Ｘテーブル３
が載架されてＡる。そして、この粗動Ｘテーブル３は、
基板上に設置されたサーボモータ５およびボールネジ６
Ｉ／ｃより直線軸受案内７に沿って示矢Ｘ方向に粗送シ
される。粗動Ｘテーブル３の上面には２本の直線軸受案
内７・が形成され、この直線軸受案内７′にけ粗動Ｙテ
ーブル４が載架されている。粗動Ｙテーブル４け、粗動
Ｘテーブル上に設置されたサーボモータ５′およびボー
ルネジ６′によシ直線軸受案内７′に沿って示矢Ｙ方向
Ｆｃ＠送シされる。
る２つの粗動テーブル１と、その粗動テーブル１に載架
され、同じく示矢Ｘ方向およびＹ方向に微動する２つの
微動テーブル２から構成されている。すなわち、基板に
形成される２本の直線軸受案内７には粗動Ｘテーブル３
が載架されてＡる。そして、この粗動Ｘテーブル３は、
基板上に設置されたサーボモータ５およびボールネジ６
Ｉ／ｃより直線軸受案内７に沿って示矢Ｘ方向に粗送シ
される。粗動Ｘテーブル３の上面には２本の直線軸受案
内７・が形成され、この直線軸受案内７′にけ粗動Ｙテ
ーブル４が載架されている。粗動Ｙテーブル４け、粗動
Ｘテーブル上に設置されたサーボモータ５′およびボー
ルネジ６′によシ直線軸受案内７′に沿って示矢Ｙ方向
Ｆｃ＠送シされる。
粗動Ｙテーブル４の上面側には微動Ｘテーブル８が配設
され、この微動Ｘテーブル８と粗動Ｙテーブル４とには
、示矢Ｘ方向に自由ｆをもつ平行板バネ１１が跨設され
ている。截動Ｙテーブル９は微動Ｘテーブル８の上面側
に配設され１、微動Ｙテーブル９と微動Ｘテーブル８と
には。
され、この微動Ｘテーブル８と粗動Ｙテーブル４とには
、示矢Ｘ方向に自由ｆをもつ平行板バネ１１が跨設され
ている。截動Ｙテーブル９は微動Ｘテーブル８の上面側
に配設され１、微動Ｙテーブル９と微動Ｘテーブル８と
には。
示矢Ｙ方向に自由ＩＩＬｆ：もつ平行板バネ１１′が跨
設されている。微動Ｙテーブル９の上面には試料１０、
たとえば半導体ウニへなどが載置される。
設されている。微動Ｙテーブル９の上面には試料１０、
たとえば半導体ウニへなどが載置される。
微動Ｘテーブル８および微動Ｙテーブル９の移動方向に
直交する端ｉ１には、磁性体ブロック１２が取着してい
る。そして、この磁性体ブロック１２に対峙する位置に
は、間隙ルを介して電磁石１５１？よび１３′が配設さ
れてｂる。なお、電磁石１３および１５′は粗動Ｙテー
ブル上に取着されている。微動Ｘテーブル８および微動
Ｙｆ−ｊｋｇは、電磁石１５および１３′と磁性体ブロ
ック１２の間に生ずる電磁力と平行板バネ１１および１
１′のバネ力との釣合う位置に微小移動する仁とができ
る。
直交する端ｉ１には、磁性体ブロック１２が取着してい
る。そして、この磁性体ブロック１２に対峙する位置に
は、間隙ルを介して電磁石１５１？よび１３′が配設さ
れてｂる。なお、電磁石１３および１５′は粗動Ｙテー
ブル上に取着されている。微動Ｘテーブル８および微動
Ｙｆ−ｊｋｇは、電磁石１５および１３′と磁性体ブロ
ック１２の間に生ずる電磁力と平行板バネ１１および１
１′のバネ力との釣合う位置に微小移動する仁とができ
る。
微動Ｙテーブル９のＸおよびＹ方向の面側には光学ミラ
ー１５が取着してｂる。この光学ミラー１５には、たと
えばレーザ光１６によるレーザ干渉−長器１７が係合し
ている。そして、この検知信号は、コントロー−ｙ１４
に入力される。
ー１５が取着してｂる。この光学ミラー１５には、たと
えばレーザ光１６によるレーザ干渉−長器１７が係合し
ている。そして、この検知信号は、コントロー−ｙ１４
に入力される。
さて、目標移動量がコントローラ１４に与えられると、
まづサーボモータ５および５Ｉが作動し、ボールネジ６
および６゛によシ粗動Ｘテーブル３および粗動Ｙテーブ
ル４を移動し、目標値のわづか手前の位置で停止する。
まづサーボモータ５および５Ｉが作動し、ボールネジ６
および６゛によシ粗動Ｘテーブル３および粗動Ｙテーブ
ル４を移動し、目標値のわづか手前の位置で停止する。
次に、光学ミラー１５とレーザ光１６を用い九し−ザ干
渉側長器によ）、目標値と測定値との差をコントローラ
ー４にフィードバックしながら、微動Ｘテーブル８およ
び微動Ｙテーブル９の電磁石１５および１３′の入力を
制御し、定位Ｒまでテーブルを移動する。
渉側長器によ）、目標値と測定値との差をコントローラ
ー４にフィードバックしながら、微動Ｘテーブル８およ
び微動Ｙテーブル９の電磁石１５および１３′の入力を
制御し、定位Ｒまでテーブルを移動する。
これによって目標値に対し±α１声の精度で位置決めす
ることができる。
ることができる。
以上のごとく、粗動送りと微動送シとを組合せた構造と
しなければならな込理由として、粗動テーブルのみでは
士Ｊ７にないし±１０μ篇程度０位置決め精度しか保証
できず、微動テーブルのみでは１移動速度がおそく、か
つ、そのストロークが小さ＾九めである。従って、粗動
テーブルと微動テーブルとの二段重ね構造となり、前記
し友ごとく構造が複雑となる。そして、微動テーブルｔ
ＩＲ架するため粗動テーブルの鰯性ヲ高める必要があシ
、試料のわシには不必要な大型のものとなる欠点を有し
てい友。更に、前記のごとく、二段重ね構造となる丸め
全体が高くなシ、取扱が不便になるのみならず、重心位
置が粗動テーブルの駆動軸から遠ざかシ、粗動テーブル
誤差が拡大されると共に、外部からの振動等の影響が受
は易くなるため、高精度位置決めが困難となる欠点を有
していた。
しなければならな込理由として、粗動テーブルのみでは
士Ｊ７にないし±１０μ篇程度０位置決め精度しか保証
できず、微動テーブルのみでは１移動速度がおそく、か
つ、そのストロークが小さ＾九めである。従って、粗動
テーブルと微動テーブルとの二段重ね構造となり、前記
し友ごとく構造が複雑となる。そして、微動テーブルｔ
ＩＲ架するため粗動テーブルの鰯性ヲ高める必要があシ
、試料のわシには不必要な大型のものとなる欠点を有し
てい友。更に、前記のごとく、二段重ね構造となる丸め
全体が高くなシ、取扱が不便になるのみならず、重心位
置が粗動テーブルの駆動軸から遠ざかシ、粗動テーブル
誤差が拡大されると共に、外部からの振動等の影響が受
は易くなるため、高精度位置決めが困難となる欠点を有
していた。
本発明は、以上の欠点を解消するもので、その目的は、
構造簡単で、小形であ〕、高速かつ容易に高精密移動位
置決めが可能であると共和、安価である精密平面移動装
置を提供するにある。
構造簡単で、小形であ〕、高速かつ容易に高精密移動位
置決めが可能であると共和、安価である精密平面移動装
置を提供するにある。
本発明は、以上の目的を達成するために、粗動テーブル
と微動テーブルとを分離せず一体化し、直線軸受案内に
沿ってＸおよびＹ方向に移動する第１および第２のテー
ブルのみの構造とした口また、この第１および第２のテ
ーブルを駆動する駆動装置とそれぞれのテーブルとの間
に、該テーブルに着脱自在であるブロックを設け、着時
において、テーブルに粗動送シを与えるようＫＬ九もの
である。そして、前記ブロック内にテーブルを微動送シ
する微少変位機構を設け、前記ブロックがテーブルから
離脱し、定位置に固定され良状態で、前記敬少変位機構
を制御し、前記の同一の直線軸受案内に沿ってテーブル
に歓動送シを与え位置決めする構成を有する精密平面移
動装置ｔ−特徴とし次ものであるＯ以下、本発明の実施
例を図に基づ＾て説明するＯ 第２図において、示矢Ｘ方同に動くＸテーブル１８は基
板２２上に形成される軸受７に載架されている。この軸
受７は、静圧空気軸受又は、摺動時の摩擦やスティック
・スリップ（つｔ、ｂ、物体を面上ですべらす時、途中
でひっかかったシ、滑ったシすることを繰返す現象）の
非常に少な込軸受を用いた直線軸受案内から構成される
。
と微動テーブルとを分離せず一体化し、直線軸受案内に
沿ってＸおよびＹ方向に移動する第１および第２のテー
ブルのみの構造とした口また、この第１および第２のテ
ーブルを駆動する駆動装置とそれぞれのテーブルとの間
に、該テーブルに着脱自在であるブロックを設け、着時
において、テーブルに粗動送シを与えるようＫＬ九もの
である。そして、前記ブロック内にテーブルを微動送シ
する微少変位機構を設け、前記ブロックがテーブルから
離脱し、定位置に固定され良状態で、前記敬少変位機構
を制御し、前記の同一の直線軸受案内に沿ってテーブル
に歓動送シを与え位置決めする構成を有する精密平面移
動装置ｔ−特徴とし次ものであるＯ以下、本発明の実施
例を図に基づ＾て説明するＯ 第２図において、示矢Ｘ方同に動くＸテーブル１８は基
板２２上に形成される軸受７に載架されている。この軸
受７は、静圧空気軸受又は、摺動時の摩擦やスティック
・スリップ（つｔ、ｂ、物体を面上ですべらす時、途中
でひっかかったシ、滑ったシすることを繰返す現象）の
非常に少な込軸受を用いた直線軸受案内から構成される
。
試料１０を載置する試料テーブル１９は、Ｘテーブル上
に形成される直線軸受案内７′上に載架され、示矢Ｙ方
向に移動する。
に形成される直線軸受案内７′上に載架され、示矢Ｙ方
向に移動する。
基板２２にはサーボモータ５が取着され、サーボモータ
５にはボールネジ６が接続しているＯこのボールネジ６
にはナツト３１を介してブロック２０が螺合し、ブロッ
ク２０は基板２２上に取着し友ガイドプレート２５に沿
い、ボールネジ６の回転によりてＸ方向に移動するよう
になっている。
５にはボールネジ６が接続しているＯこのボールネジ６
にはナツト３１を介してブロック２０が螺合し、ブロッ
ク２０は基板２２上に取着し友ガイドプレート２５に沿
い、ボールネジ６の回転によりてＸ方向に移動するよう
になっている。
回や止め機構はブロック２０に取着し、ブロック２０が
ガイドプレート２５に沿って円滑に移動し得るようにし
ている。また、１μツク２０は、第３図に示すごとく、
固定手段、たとえば真９チヤツク２７により、適宜の位
置において、ガイドプレート２５に固着されるようにな
っている。
ガイドプレート２５に沿って円滑に移動し得るようにし
ている。また、１μツク２０は、第３図に示すごとく、
固定手段、たとえば真９チヤツク２７により、適宜の位
置において、ガイドプレート２５に固着されるようにな
っている。
ブロック２０は、更に、Ｘテーブル１８に着脱し得るよ
うになっている。すなわち、第３図に示すごとく真空チ
ャック２８によりＸテーブル１８に吸着する構造を有し
ている。従って、真空チャ、り２７が作動せず、真空チ
ャック２８が作動している状ＩＩにおいては、Ｘテーブ
ル１８は、ポールネジ６０回転によシ、ブロック２０１
＆：介してＸ方向に移動し得るよう罠なっている。ま九
、ブロック２０とＸテーブル１８との間には引張シコイ
ルパネ２５が張架されている。これによシ、ブロック２
０とＸテーブル１８とは、互に当接する向きに付勢され
ている・ プ薗ツク２０内には、直進製微少変位機構２１が配設さ
れている。この直進製微少変位機構２１は、電歪素子中
磁歪素子を構成要素とし、これ勢に加わる電圧中電流の
変化によシ厘進方向に伸縮するもので、入力に対し線形
的に伸縮し、クリープやヒステリシスの少ないものであ
る。これ等にヨーｚ ”ｔ”±α１μ罵の位置決めが可
能である。更に、複数の電歪素子を雫いて交互に電圧の
引加順序を変えるものではｌ１０１μ票以下の分解能で
ステップ微動を行うことも可能である。
うになっている。すなわち、第３図に示すごとく真空チ
ャック２８によりＸテーブル１８に吸着する構造を有し
ている。従って、真空チャ、り２７が作動せず、真空チ
ャック２８が作動している状ＩＩにおいては、Ｘテーブ
ル１８は、ポールネジ６０回転によシ、ブロック２０１
＆：介してＸ方向に移動し得るよう罠なっている。ま九
、ブロック２０とＸテーブル１８との間には引張シコイ
ルパネ２５が張架されている。これによシ、ブロック２
０とＸテーブル１８とは、互に当接する向きに付勢され
ている・ プ薗ツク２０内には、直進製微少変位機構２１が配設さ
れている。この直進製微少変位機構２１は、電歪素子中
磁歪素子を構成要素とし、これ勢に加わる電圧中電流の
変化によシ厘進方向に伸縮するもので、入力に対し線形
的に伸縮し、クリープやヒステリシスの少ないものであ
る。これ等にヨーｚ ”ｔ”±α１μ罵の位置決めが可
能である。更に、複数の電歪素子を雫いて交互に電圧の
引加順序を変えるものではｌ１０１μ票以下の分解能で
ステップ微動を行うことも可能である。
同様に、試料テーブル１９側にもブロック２０′、直進
製微少変位機構２１、ガイドプレート２５′、回〕止め
機構２４′、引張シコイルバネ２５、サーボモータ５＃
、ボールネジ６′等が配設されている。これ等により試
料テーブル１９は、Ｘテーブル１Ｂを基としてＹ方向に
粗動、微動しうるように構成されている。
製微少変位機構２１、ガイドプレート２５′、回〕止め
機構２４′、引張シコイルバネ２５、サーボモータ５＃
、ボールネジ６′等が配設されている。これ等により試
料テーブル１９は、Ｘテーブル１Ｂを基としてＹ方向に
粗動、微動しうるように構成されている。
試料テーブル１９上には、光学ンラー１５が取着し、レ
ーザ光１６、レーザ干渉測長！！１７によシ、Ｘ方向お
よびＹ方向の位置信号がコントローラ１４に入力される
。コント筒−２１４は、本装置の全体を制御するもので
、サーボモータ５．５’、真空チャック２７．２８ 、
直進型微少変位機構２１等を適宜制御する。
ーザ光１６、レーザ干渉測長！！１７によシ、Ｘ方向お
よびＹ方向の位置信号がコントローラ１４に入力される
。コント筒−２１４は、本装置の全体を制御するもので
、サーボモータ５．５’、真空チャック２７．２８ 、
直進型微少変位機構２１等を適宜制御する。
次に、第５図によブチ−プルの位置制御方法ｔ−ａ嘱す
る。まず、目標値Ｌ（第５図（句）がコントロー９１４
に与えられ石と、サーボモータ５とボールネジ６によ〕
、Ｘテーブル１８は目標位置２６のノＸだけ手前のＸ１
位置まで移動して停止する。このときまでは真空チャッ
ク２日は作動状態にある。反対に真空チャック２７はＯ
ＦＦの状態にある。以上が粗動過多であシ、通常位置決
め精度は士数μ襲ないし±１０μ隅程度である。従って
ΔＸの値は、目標位置２６から最大限１０μ篤となる。
る。まず、目標値Ｌ（第５図（句）がコントロー９１４
に与えられ石と、サーボモータ５とボールネジ６によ〕
、Ｘテーブル１８は目標位置２６のノＸだけ手前のＸ１
位置まで移動して停止する。このときまでは真空チャッ
ク２日は作動状態にある。反対に真空チャック２７はＯ
ＦＦの状態にある。以上が粗動過多であシ、通常位置決
め精度は士数μ襲ないし±１０μ隅程度である。従って
ΔＸの値は、目標位置２６から最大限１０μ篤となる。
Ｘテーブル１８が停止すると、まず、真空パルプ２９が
ＯＦＦされ、Ｘテーブル１８とブロック２０との結合が
解除される。従って、Ｘテーブル１８とブロック２０と
は、引張シコイルバネ２５の引張り力のみで結合される
ことに々る。
ＯＦＦされ、Ｘテーブル１８とブロック２０との結合が
解除される。従って、Ｘテーブル１８とブロック２０と
は、引張シコイルバネ２５の引張り力のみで結合される
ことに々る。
Ｘテーブル１８の前記停止に伴って、真空パルプ５０が
ＯＮとなシ、ブロック２０は真９チヤツク２７により、
ガイドプレート２５に固着する。従って、サーボモータ
５０回転によってＸテーブル１８は移動しなくなる。こ
の丸め、ボールネジ６とナツト３１とのバックラッシ轟
量や、サーボモータ５のドリフト量等はＸテーブル１８
の移動に影響を与えな匹。
ＯＮとなシ、ブロック２０は真９チヤツク２７により、
ガイドプレート２５に固着する。従って、サーボモータ
５０回転によってＸテーブル１８は移動しなくなる。こ
の丸め、ボールネジ６とナツト３１とのバックラッシ轟
量や、サーボモータ５のドリフト量等はＸテーブル１８
の移動に影響を与えな匹。
目標位置２６からの位置ずれΔＸの補正には、１［迩型
微少変位機構２１が用いられる。これによって±α１μ
簿以下の高ｆｌ密の位置決めができる。
微少変位機構２１が用いられる。これによって±α１μ
簿以下の高ｆｌ密の位置決めができる。
ｉ［重量微少変位機構２１は、Ｘテーブル１８と微少隙
間Ｓｔ隔てて配設される（第３図（ａ））。この微少隙
間Ｓは、粗動時に、Ｘテーブル１８の慣性力により直進
型微少変位機構２１が破損することを防ぐためのもので
ある。
間Ｓｔ隔てて配設される（第３図（ａ））。この微少隙
間Ｓは、粗動時に、Ｘテーブル１８の慣性力により直進
型微少変位機構２１が破損することを防ぐためのもので
ある。
Ｘテーブル１８の位置ずれ４ｘは、レーザ干渉副長器１
７によシ検知され、この信号が前記し九ごとくコントロ
ー９１４に送られ、コントは一う１４によシ厘進製微少
変位機構に移動指示が与えられて補正が行なわれる。こ
の場合、引張シコイルバネ２５によ）Ｘテーブル１８は
プロ、り２０＠に引張られているため、正確な位置決め
が可能となる。
７によシ検知され、この信号が前記し九ごとくコントロ
ー９１４に送られ、コントは一う１４によシ厘進製微少
変位機構に移動指示が与えられて補正が行なわれる。こ
の場合、引張シコイルバネ２５によ）Ｘテーブル１８は
プロ、り２０＠に引張られているため、正確な位置決め
が可能となる。
同様のことが試料テーブル１９についても行なわれる。
従って、試料１０は、ＸおよびＹ方向において、正確な
位置決めされる。
位置決めされる。
本実施例によれば、粗動テーブル上に微動テーブルを載
架する必要がないため、構造が簡単とな夛、小形化が図
れる。そして、装置全体の高さｔ低く押えることができ
、重心が低く、装置の剛性金高く保つことができ、高精
密の位置決めが可能となる。更に、微細送夛についても
、シンプルでかつコンパクトの直進型微少変位機構を用
い、確実、迅速かつ、容易に精密位置決めができる。
架する必要がないため、構造が簡単とな夛、小形化が図
れる。そして、装置全体の高さｔ低く押えることができ
、重心が低く、装置の剛性金高く保つことができ、高精
密の位置決めが可能となる。更に、微細送夛についても
、シンプルでかつコンパクトの直進型微少変位機構を用
い、確実、迅速かつ、容易に精密位置決めができる。
本実例では、位置ずれ値の検出にレーザ光を用いたが、
これに限定するものではない。又、真空チャックを着脱
および固定手段に用い九が、特に限定するものでもない
。
これに限定するものではない。又、真空チャックを着脱
および固定手段に用い九が、特に限定するものでもない
。
以上の説明によって明らかのごとく、本発明によれば、
構造簡単で、小形でＩｌ）り、高速かつ、容易に高精密
移動位置決めができ、かつ、安価である効果を上げるこ
とができる。
構造簡単で、小形でＩｌ）り、高速かつ、容易に高精密
移動位置決めができ、かつ、安価である効果を上げるこ
とができる。
＃１１図は従来の平面移動装置の構成を示し几斜視図、
第２図は本発明の実施例を示す斜視図。 第３図は実施例のテーブル位置制御方法を説明する説明
図である。 ５．５′・・・サーボモータ ６．６′・・・ボール
ネジ７．７′・・・直線軸受案内 １０・・・試料１
４・・・コントローラ １５・・・光学ミラー１６
・・・レーザ光・ １７・・・レーザ干渉１１＆
器１８・・・Ｘテーブル １９・・・試料テーブ
ル２０・・・ブロック ２１・・・直進型微
少変位機構２ト・・ガイドプレート ２４・・・回如
止め機構２５・・・引張夛コイルバネ ２７．２８・・
・真空チャック２？、 ５０・・・真空パルプ ５１
・・・ナット第１旧 率Ｚ肥
第２図は本発明の実施例を示す斜視図。 第３図は実施例のテーブル位置制御方法を説明する説明
図である。 ５．５′・・・サーボモータ ６．６′・・・ボール
ネジ７．７′・・・直線軸受案内 １０・・・試料１
４・・・コントローラ １５・・・光学ミラー１６
・・・レーザ光・ １７・・・レーザ干渉１１＆
器１８・・・Ｘテーブル １９・・・試料テーブ
ル２０・・・ブロック ２１・・・直進型微
少変位機構２ト・・ガイドプレート ２４・・・回如
止め機構２５・・・引張夛コイルバネ ２７．２８・・
・真空チャック２？、 ５０・・・真空パルプ ５１
・・・ナット第１旧 率Ｚ肥
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １１１！板上の直線軸受案内に載架される第１のテーブ
ルと、この第１のテーブル上に形成される直線軸受案内
に載架され、前記第１のテーブルと直交する向きに移動
可能な第２のテーブルと、前記第１および第２のテーブ
ルのそれぞれに、着脱自在に係合し、吸着時において、
テーブル駆動装置の送夛をそれぞれのテーブルに伝える
ブロックと、このブロックに配設され、前記ブロックと
前記テーブルとの離脱時におｈて、前記テーブルに微少
送シを与える微少変位機構と、咳微少変位機構の作動時
において、前記ブロックを定位置に固定する固定手段と
、前記ブロックと前記テーブルとの間Ｋｉｊｌ架される
バネと、前記ブロックとテーブルとの着脱および該ブロ
ックの前記固定手段の動作を制御すると共に、前記テー
ブル駆動装置の動作を制御する制御装置と。 前記テーブルの位置を光学的に測定すゐ測定装置と、こ
の測定装置の信号によシ、前記微少変位機構の動作を制
御する制御表とを備え、前記第１および＃！２のテーブ
ルの粗動および微動送シを同一の前記直線軸受案内によ
って行なうようにしたことを特徴とする精密平面移動装
置。 λ 前記微少変位機構が、電歪素子（ピエゾ素子）の電
圧制御によって微動量を制御する微動伸縮機構から構成
され友ものであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項に記載の精密平面移動装置。 五 前記微少変位機構が、磁歪素子の電流制御によって
微動量を制御する微動伸縮機構から構成されたものであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の精密
平面移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56127789A JPS5830129A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 精密平面移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56127789A JPS5830129A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 精密平面移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830129A true JPS5830129A (ja) | 1983-02-22 |
| JPH0434166B2 JPH0434166B2 (ja) | 1992-06-05 |
Family
ID=14968713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56127789A Granted JPS5830129A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 精密平面移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830129A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60140408A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-25 | Hitachi Ltd | 外観検査装置 |
| JPS60256667A (ja) * | 1984-05-31 | 1985-12-18 | Canon Inc | ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構 |
| JPS6165427A (ja) * | 1984-09-07 | 1986-04-04 | Toshiba Corp | 移動ステ−ジ装置 |
| JPS6320848A (ja) * | 1986-07-15 | 1988-01-28 | Canon Inc | 位置決め装置 |
| JPS63152786A (ja) * | 1986-12-15 | 1988-06-25 | 積水化学工業株式会社 | 繊維補強熱可塑性樹脂管及びその製造方法 |
| KR100432133B1 (ko) * | 2002-03-20 | 2004-05-22 | 한국항공우주연구원 | 기계식 6자유도 소형 카트 |
| US6841399B2 (en) | 2002-01-24 | 2005-01-11 | Renesas Technology Corp. | Method of manufacturing mask and method of manufacturing semiconductor integrated circuit device |
| JP2007256561A (ja) * | 2006-03-23 | 2007-10-04 | Pentax Corp | ステージ装置のロック機構 |
| CN103645742A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 宝电电子(张家港)有限公司 | 一种灯管灯条位置校准装置及校准方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5287584A (en) * | 1976-01-16 | 1977-07-21 | Hitachi Ltd | Fine positioning apparatus |
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-
1981
- 1981-08-17 JP JP56127789A patent/JPS5830129A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN103645742A (zh) * | 2013-11-28 | 2014-03-19 | 宝电电子(张家港)有限公司 | 一种灯管灯条位置校准装置及校准方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0434166B2 (ja) | 1992-06-05 |
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