JPH0332538A - ユニバーサルチャックテーブル - Google Patents
ユニバーサルチャックテーブルInfo
- Publication number
- JPH0332538A JPH0332538A JP16583689A JP16583689A JPH0332538A JP H0332538 A JPH0332538 A JP H0332538A JP 16583689 A JP16583689 A JP 16583689A JP 16583689 A JP16583689 A JP 16583689A JP H0332538 A JPH0332538 A JP H0332538A
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- JP
- Japan
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- suction
- partition
- ring
- shaped
- suction area
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野１
本発明は、サイズの異なる半導体ウェーハ等の被加工物
を選択的に載置し、該被加工物のサイズに夫々対応して
適切にバキューム手段により吸着保持させ、その表面を
例えば研磨加工（グラインダー）又は研削加工を行うた
めのユニバーサルチャックテーブルに関するものである
。
を選択的に載置し、該被加工物のサイズに夫々対応して
適切にバキューム手段により吸着保持させ、その表面を
例えば研磨加工（グラインダー）又は研削加工を行うた
めのユニバーサルチャックテーブルに関するものである
。
この種のチャックテーブルとしては、例えば特開昭６１
−１８２７３８号公報に開示された構成のものが従来例
として周知である。この従来例におけるチャック機構の
構成は、被加工物のサイズに対応したテーブル、即ちポ
ーラスセラミックが同心円状に複数段配設され、各ポー
ラスセラミックの隣設部に接着剤を介してリング状の仕
切り部が表面に存在する構成になっている。
−１８２７３８号公報に開示された構成のものが従来例
として周知である。この従来例におけるチャック機構の
構成は、被加工物のサイズに対応したテーブル、即ちポ
ーラスセラミックが同心円状に複数段配設され、各ポー
ラスセラミックの隣設部に接着剤を介してリング状の仕
切り部が表面に存在する構成になっている。
前記従来例においては、特にサイズの大きい被加工物を
載置吸着させてクラインダー加工を施した場合、テーブ
ル上に各サイズに対応するリング状の仕切り部が接着剤
を介して表出した構成になっているため、被加工物をバ
キュームにより吸羽保持し、且つその表面を適宜のグラ
インダーにより所定の押圧力をもって研磨した際に、そ
の押圧力と前記バキューム吸着とにより、被加工物が強
力にテーブル面上に押し付けられることになり、それに
よって前記仕切り部とテーブル面、即ちポーラスセラミ
ックとの間における段差及び材質の相違により、研磨さ
れた被加工物の表面に前記仕切り部の形状、即ち同心円
状の模様が写し出される。このような現象を一般に「転
写」と称され、その転写された模様が目視できるばかり
でなく、模様部分の段差が数ミクロンに及ぶことがある
。 従って、この種のフリーサイズ又はユニバーサルテーブ
ルにおいて、前記「転写１の問題が解決しなければなら
ない課題になっている。
載置吸着させてクラインダー加工を施した場合、テーブ
ル上に各サイズに対応するリング状の仕切り部が接着剤
を介して表出した構成になっているため、被加工物をバ
キュームにより吸羽保持し、且つその表面を適宜のグラ
インダーにより所定の押圧力をもって研磨した際に、そ
の押圧力と前記バキューム吸着とにより、被加工物が強
力にテーブル面上に押し付けられることになり、それに
よって前記仕切り部とテーブル面、即ちポーラスセラミ
ックとの間における段差及び材質の相違により、研磨さ
れた被加工物の表面に前記仕切り部の形状、即ち同心円
状の模様が写し出される。このような現象を一般に「転
写」と称され、その転写された模様が目視できるばかり
でなく、模様部分の段差が数ミクロンに及ぶことがある
。 従って、この種のフリーサイズ又はユニバーサルテーブ
ルにおいて、前記「転写１の問題が解決しなければなら
ない課題になっている。
前記従来例における課題を解決する具体的手段として本
発明は、サイズの異なる被処理物に対応してリング状の
仕切り部で吸引領域が複数に区画され、その仕切り部と
吸引領域とが一体焼結体で形成されたことを特徴とする
ユニバーサルチャックテーブルを提供するものであり、
更に具体的には、リング状の仕切り部を有し且つ通気性
を有づ−る吸引領域の上面に、細かいメツシュの粉末で
形成した表層部を設けて一体焼結し、吸引領域を形成す
る本体部は、表層部と、裏層部と、リング状の仕切り部
とを順次細かいメツシュの粉末で形成して一体焼結した
ことにより、被処理物がＵ、置吸着される表面が、一体
平面となり、それによって、被処理物に転写現象が全く
生じなくなるのである。
発明は、サイズの異なる被処理物に対応してリング状の
仕切り部で吸引領域が複数に区画され、その仕切り部と
吸引領域とが一体焼結体で形成されたことを特徴とする
ユニバーサルチャックテーブルを提供するものであり、
更に具体的には、リング状の仕切り部を有し且つ通気性
を有づ−る吸引領域の上面に、細かいメツシュの粉末で
形成した表層部を設けて一体焼結し、吸引領域を形成す
る本体部は、表層部と、裏層部と、リング状の仕切り部
とを順次細かいメツシュの粉末で形成して一体焼結した
ことにより、被処理物がＵ、置吸着される表面が、一体
平面となり、それによって、被処理物に転写現象が全く
生じなくなるのである。
次に本発明を図示の実施例により、更に詳しく説明する
と、１はチャックテーブル全体を示すものであり、該チ
ャックテーブルは円板状のフレーム部材２と、該フレー
ム部材に取付けて使用される吸引領域が区分され且つ表
層部３及び裏層部４からなる本体部４０で構成されてい
る。 前記円板状のフレーム部材２は、その上面に所定深さの
円形状の凹部５が形成され、上面周縁部にリング状部２
ａが形成される。前記凹部５の底部２ｂには、その中心
部に凹陥部６を設けると共に、該凹陥部を中心にして複
数のリング状の溝部７〜１０が同心円状に形成され、前
記凹陥部６には一個の吸気孔１１が設けられ、前記各溝
部には複数の吸気孔１２〜１５が夫々設けられている。 前記吸引領域が区分された本体部４０は、前記フレーム
部材２の凹部５内に嵌り込む円板状を呈する一体焼結体
であり、全体として通気性を有する材料で形成される。 そして、被加工物のサイズに対応して吸引領域が区分さ
れるように、複数のリング状の仕切り部１６〜１９が同
心円状に設けられ、これ等仕切り部１６〜１９は、・前
記リング状の溝部７〜１０間に対応するように設けられ
たものであり、例えば、仕切り部１６が凹陥部６と溝部
７との間に位置し、仕切り部１７が溝部７と溝部８との
間に位置するように、他の仕切り部１８．１９も順次こ
れに倣って形成されている。 この場合の本体部４０は、表層部３及び裏層部４も含め
て全体として通気性を右するものであるが、前記仕切り
部１６〜１９はほとんど通気性を有しないようになって
いる。例えば、各仕切り部を金属又はセラミック等の無
機質材料で形成し、他の部分も同様に金属又はセラミッ
ク等の無機質材料を使用し全体を一体焼結体として形成
するのである。 この場合に、使用される無機質材料は、これに限定され
るものではないが、前記仕切り部１６〜１９が＃６００
メツシュの例えばグリーンカーボンランダム粉末を用い
、表層部３は略＃１００メツシュの同様の粉末を使用し
、他の本体部４は＃３６メツシユの同様の粉末のものを
用いて全体を円板状に形成し、それを焼結することによ
り一体焼結体、謂ゆる全体が通気性を有するポーラス材
として形成される。つまり、焼結する前に、前記仕切り
部１６〜１９と、表層部３と裏層部４を粘土状又は泥土
状の内に一体に形成し、その表面を平坦にして１個の円
盤状に形成し、それを５００〜１２００℃の高温で焼結
することにより、実質的に仕切り部１６〜１９と表層部
３との間に段差の全く無いものが形成できるのである。 そして、前記仕切り部１６〜１９が最も細かいメツシュ
の粉末で形成されているので、焼結させても通気性が大
巾に抑制された構成になり、吸着のための仕切り機能が
充分発揮されるのである。 又、前記仕切り部１６〜１９のリング状の径は、被処理
物のサイズに対応させである。即ち、仕切り部１６は略
３インチにし、仕切り部１７は略４インチ、仕切り部１
８は略５インチ、仕切り部１９は略６インチにし、そし
て前記吸引領域の仕切り又は区分部材を含む本体部４０
の全体の直径を略８インチにし、全体の厚みを略５ｍに
形成するのである。このように形成することで、被処理
物のサイズが３〜８インチ迄のものが適宜選択的に載置
吸着できるものである。 前記フレーム部材２における底部２ｂに設けられた吸気
孔１１〜１５には、第３図に示したように、サクション
バイブ等の吸気手段２１〜２５が連設されており、各吸
気手段は夫々バルブ２６〜３◇を介して適宜の減圧手段
に接続されている。そして、前記バルブ２６〜３０を選
択的に開閉することで、被処理物のサイズに対応して吸
引領域が設定されるのである。つまり、バルブ２６のみ
を開にし、他のバルブ２７〜３０を閉にすると、吸引領
域ａの部分に吸着作用が生じ、これに対応する例えば３
インチのサイズの被処理物が吸着できる。この場合に、
吸引領１４ａはリング状の仕切り部１６によって仕切ら
れており、凹陥部６を介して減圧された吸引作用がその
仕切り部１Ｇ内の範囲において、その上方にある裏層部
４に作用し、それによって本体部４０における一定の領
域、即ち吸引領域ａの部分に吸着作用が生ずるようにな
るのである。本体部４０における吸引ｗ４域ａは、本体
部全体が通気性を有するため、その境界部分において多
少の拡がりを持つようになるが、その吸引にかかる範囲
は無視できるものである。 前記同様にして、例えば６インチのサイズの被処理物を
載置吸着させる場合には、バルブ２６〜２９を開にし、
バルブ３０を閉にした状態で吸引作用させると、吸引領
域ｉｄの範囲が吸引作用を行うこεになるのである。従
って、バルブ２６．２７を開にした場合には吸引領域ｂ
が吸引作用をして４インチの′ｌＩ処理物を吸着し、バ
ルブ２６．２７．２８を開にすると吸引Ｆｌ ｌｊｉ
Ｃが吸引作用をし５インチの被処理物を吸着し、全部の
バルブを間にすると吸引領域ｅが吸引作用をして８イン
チの被処理物を吸着するのであり、これ等を被処理物の
サイズによって適宜選択して切り替えれば良いのである
。この場合のバルブは、切り替えが簡単に行える電磁バ
ルブが好ましい。本発明において、吸引領域は表層部と
裏層部の２屑としたがこれに限定されるものではなく、
１層又は３層以上の多層としても良い。 又本体部を形成する材料としてグリーンカーボランダム
を使用したがアランダムその他のセラミックスを使用し
ても良いし、必要とあればアルミニウム等の金属を使用
しても良い。更に、仕切り部を通気性のないように形成
しても良い。 ［発明の効果１ 以上説明したように本発明に係るユニバーサルチャック
テーブルは、サイズの異なる被処理物に対応してリング
状の仕切り部で吸引領域が複数に区画され、その仕切り
部と吸引領域とが一体焼結体で形成された構成にしたこ
とにより、前記仕切り部が表面に露出していてもその表
面は一体平面となり、該テーブル上にサイズの異なる被
処理物を選択的に載置し安定して吸着保持できると共に
、被処理物上から所定の押圧力を加えて加工しても、仕
切り部の転写が全く生じないと云う優れた効果を奏する
。 又、リング状の仕切り部を有し且つ通気性を有する吸引
領域の上面に、細かいメツシュの粉末で形成した表層部
を設けて一体燐結したことにより、表面の平滑度が良好
になると共に、リング状の仕切り部をより細かいメツシ
ュの粉末を使用したことにより、区分された領域の吸着
保持機能が充分で、サイズの異なる被処理物であっても
、それに対応して安定した状態での保持が望めると云う
優れた効果を奏する。
と、１はチャックテーブル全体を示すものであり、該チ
ャックテーブルは円板状のフレーム部材２と、該フレー
ム部材に取付けて使用される吸引領域が区分され且つ表
層部３及び裏層部４からなる本体部４０で構成されてい
る。 前記円板状のフレーム部材２は、その上面に所定深さの
円形状の凹部５が形成され、上面周縁部にリング状部２
ａが形成される。前記凹部５の底部２ｂには、その中心
部に凹陥部６を設けると共に、該凹陥部を中心にして複
数のリング状の溝部７〜１０が同心円状に形成され、前
記凹陥部６には一個の吸気孔１１が設けられ、前記各溝
部には複数の吸気孔１２〜１５が夫々設けられている。 前記吸引領域が区分された本体部４０は、前記フレーム
部材２の凹部５内に嵌り込む円板状を呈する一体焼結体
であり、全体として通気性を有する材料で形成される。 そして、被加工物のサイズに対応して吸引領域が区分さ
れるように、複数のリング状の仕切り部１６〜１９が同
心円状に設けられ、これ等仕切り部１６〜１９は、・前
記リング状の溝部７〜１０間に対応するように設けられ
たものであり、例えば、仕切り部１６が凹陥部６と溝部
７との間に位置し、仕切り部１７が溝部７と溝部８との
間に位置するように、他の仕切り部１８．１９も順次こ
れに倣って形成されている。 この場合の本体部４０は、表層部３及び裏層部４も含め
て全体として通気性を右するものであるが、前記仕切り
部１６〜１９はほとんど通気性を有しないようになって
いる。例えば、各仕切り部を金属又はセラミック等の無
機質材料で形成し、他の部分も同様に金属又はセラミッ
ク等の無機質材料を使用し全体を一体焼結体として形成
するのである。 この場合に、使用される無機質材料は、これに限定され
るものではないが、前記仕切り部１６〜１９が＃６００
メツシュの例えばグリーンカーボンランダム粉末を用い
、表層部３は略＃１００メツシュの同様の粉末を使用し
、他の本体部４は＃３６メツシユの同様の粉末のものを
用いて全体を円板状に形成し、それを焼結することによ
り一体焼結体、謂ゆる全体が通気性を有するポーラス材
として形成される。つまり、焼結する前に、前記仕切り
部１６〜１９と、表層部３と裏層部４を粘土状又は泥土
状の内に一体に形成し、その表面を平坦にして１個の円
盤状に形成し、それを５００〜１２００℃の高温で焼結
することにより、実質的に仕切り部１６〜１９と表層部
３との間に段差の全く無いものが形成できるのである。 そして、前記仕切り部１６〜１９が最も細かいメツシュ
の粉末で形成されているので、焼結させても通気性が大
巾に抑制された構成になり、吸着のための仕切り機能が
充分発揮されるのである。 又、前記仕切り部１６〜１９のリング状の径は、被処理
物のサイズに対応させである。即ち、仕切り部１６は略
３インチにし、仕切り部１７は略４インチ、仕切り部１
８は略５インチ、仕切り部１９は略６インチにし、そし
て前記吸引領域の仕切り又は区分部材を含む本体部４０
の全体の直径を略８インチにし、全体の厚みを略５ｍに
形成するのである。このように形成することで、被処理
物のサイズが３〜８インチ迄のものが適宜選択的に載置
吸着できるものである。 前記フレーム部材２における底部２ｂに設けられた吸気
孔１１〜１５には、第３図に示したように、サクション
バイブ等の吸気手段２１〜２５が連設されており、各吸
気手段は夫々バルブ２６〜３◇を介して適宜の減圧手段
に接続されている。そして、前記バルブ２６〜３０を選
択的に開閉することで、被処理物のサイズに対応して吸
引領域が設定されるのである。つまり、バルブ２６のみ
を開にし、他のバルブ２７〜３０を閉にすると、吸引領
域ａの部分に吸着作用が生じ、これに対応する例えば３
インチのサイズの被処理物が吸着できる。この場合に、
吸引領１４ａはリング状の仕切り部１６によって仕切ら
れており、凹陥部６を介して減圧された吸引作用がその
仕切り部１Ｇ内の範囲において、その上方にある裏層部
４に作用し、それによって本体部４０における一定の領
域、即ち吸引領域ａの部分に吸着作用が生ずるようにな
るのである。本体部４０における吸引ｗ４域ａは、本体
部全体が通気性を有するため、その境界部分において多
少の拡がりを持つようになるが、その吸引にかかる範囲
は無視できるものである。 前記同様にして、例えば６インチのサイズの被処理物を
載置吸着させる場合には、バルブ２６〜２９を開にし、
バルブ３０を閉にした状態で吸引作用させると、吸引領
域ｉｄの範囲が吸引作用を行うこεになるのである。従
って、バルブ２６．２７を開にした場合には吸引領域ｂ
が吸引作用をして４インチの′ｌＩ処理物を吸着し、バ
ルブ２６．２７．２８を開にすると吸引Ｆｌ ｌｊｉ
Ｃが吸引作用をし５インチの被処理物を吸着し、全部の
バルブを間にすると吸引領域ｅが吸引作用をして８イン
チの被処理物を吸着するのであり、これ等を被処理物の
サイズによって適宜選択して切り替えれば良いのである
。この場合のバルブは、切り替えが簡単に行える電磁バ
ルブが好ましい。本発明において、吸引領域は表層部と
裏層部の２屑としたがこれに限定されるものではなく、
１層又は３層以上の多層としても良い。 又本体部を形成する材料としてグリーンカーボランダム
を使用したがアランダムその他のセラミックスを使用し
ても良いし、必要とあればアルミニウム等の金属を使用
しても良い。更に、仕切り部を通気性のないように形成
しても良い。 ［発明の効果１ 以上説明したように本発明に係るユニバーサルチャック
テーブルは、サイズの異なる被処理物に対応してリング
状の仕切り部で吸引領域が複数に区画され、その仕切り
部と吸引領域とが一体焼結体で形成された構成にしたこ
とにより、前記仕切り部が表面に露出していてもその表
面は一体平面となり、該テーブル上にサイズの異なる被
処理物を選択的に載置し安定して吸着保持できると共に
、被処理物上から所定の押圧力を加えて加工しても、仕
切り部の転写が全く生じないと云う優れた効果を奏する
。 又、リング状の仕切り部を有し且つ通気性を有する吸引
領域の上面に、細かいメツシュの粉末で形成した表層部
を設けて一体燐結したことにより、表面の平滑度が良好
になると共に、リング状の仕切り部をより細かいメツシ
ュの粉末を使用したことにより、区分された領域の吸着
保持機能が充分で、サイズの異なる被処理物であっても
、それに対応して安定した状態での保持が望めると云う
優れた効果を奏する。
第１図は本発明に係るユニバーサルチャックテ−プルの
要部を分離して示した略示的斜視図、第２図は同チャッ
クテーブルの要部を断面で示した斜視図、第３図は同チ
ャックテーブルにおける吸着領域を理解するための説明
図である。 １・・・・・・ユニバーサルチャックテーブル２・・・
・・・フレーム部材 ２ａ・・・リング状部２ｂ・・・
底部 ３・・・・・・表層部４・・・・・・裏
層部 ４０・・・・・・表面部材の本体部５・・
・・・・円形状の凹部 ６・・・・・・凹陥部７〜１０
・・・・・・リング状の溝部 １１〜１５・・・・・・吸気孔 １６〜１９・・・・・・リング状の仕切り部２１〜２５
・・・・・・吸気手段 ２６〜３０・・・・・・バルブ
ａ−ｅ・・・・・・吸引領域
要部を分離して示した略示的斜視図、第２図は同チャッ
クテーブルの要部を断面で示した斜視図、第３図は同チ
ャックテーブルにおける吸着領域を理解するための説明
図である。 １・・・・・・ユニバーサルチャックテーブル２・・・
・・・フレーム部材 ２ａ・・・リング状部２ｂ・・・
底部 ３・・・・・・表層部４・・・・・・裏
層部 ４０・・・・・・表面部材の本体部５・・
・・・・円形状の凹部 ６・・・・・・凹陥部７〜１０
・・・・・・リング状の溝部 １１〜１５・・・・・・吸気孔 １６〜１９・・・・・・リング状の仕切り部２１〜２５
・・・・・・吸気手段 ２６〜３０・・・・・・バルブ
ａ−ｅ・・・・・・吸引領域
Claims (3)
- （１）サイズの異なる被処理物に対応してリング状の仕
切り部で吸引領域が複数に区画され、その仕切り部と吸
引領域とが一体焼結体で形成されたことを特徴とするユ
ニバーサルチャックテーブル。 - （２）リング状の仕切り部を有し且つ通気性を有する吸
引領域の上面に、細かいメッシュの粉末で形成した表層
部を設けて一体焼結した請求項（１）記載のユニバーサ
ルチャックテーブル。 - （３）吸引領域を形成する本体部は、裏層部と、表層部
と、リング状の仕切り部とを順次細かいメッシュの粉末
で形成して一体焼結した請求項（１）、（２）記載のユ
ニバーサルチャックテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16583689A JPH0332538A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | ユニバーサルチャックテーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16583689A JPH0332538A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | ユニバーサルチャックテーブル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332538A true JPH0332538A (ja) | 1991-02-13 |
Family
ID=15819925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16583689A Pending JPH0332538A (ja) | 1989-06-28 | 1989-06-28 | ユニバーサルチャックテーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332538A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0839376A (ja) * | 1994-07-29 | 1996-02-13 | Ckd Corp | 真空チャックの吸着板、真空チャック及び吸着板の製造方法 |
| KR20240024746A (ko) | 2022-08-17 | 2024-02-26 | 가부시기가이샤 디스코 | 척 테이블의 제조 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61182738A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Shibayama Kikai Kk | ウエハのフリ−サイズチヤツク機構 |
| JPS6325737U (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 |
-
1989
- 1989-06-28 JP JP16583689A patent/JPH0332538A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61182738A (ja) * | 1985-02-07 | 1986-08-15 | Shibayama Kikai Kk | ウエハのフリ−サイズチヤツク機構 |
| JPS6325737U (ja) * | 1986-08-04 | 1988-02-19 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0839376A (ja) * | 1994-07-29 | 1996-02-13 | Ckd Corp | 真空チャックの吸着板、真空チャック及び吸着板の製造方法 |
| KR20240024746A (ko) | 2022-08-17 | 2024-02-26 | 가부시기가이샤 디스코 | 척 테이블의 제조 방법 |
| US12605801B2 (en) | 2022-08-17 | 2026-04-21 | Disco Corporation | Chuck table manufacturing method |
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