JPH0332561A - 研削加工方法 - Google Patents

研削加工方法

Info

Publication number
JPH0332561A
JPH0332561A JP1164695A JP16469589A JPH0332561A JP H0332561 A JPH0332561 A JP H0332561A JP 1164695 A JP1164695 A JP 1164695A JP 16469589 A JP16469589 A JP 16469589A JP H0332561 A JPH0332561 A JP H0332561A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
jig
grindstone
tool
grinding machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1164695A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2748569B2 (ja
Inventor
Akira Hara
章 原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP16469589A priority Critical patent/JP2748569B2/ja
Publication of JPH0332561A publication Critical patent/JPH0332561A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2748569B2 publication Critical patent/JP2748569B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は横型ロータリー形平面研削盤などにおける砥石
と被加工物の位置決め及び被加工物の厚みを高精度に加
工を行なう機能を備えた研削加工機の研削加工方法に関
するものである。
従来の技術 小型の横軸ロータリー形平面研削盤では、高精度の位置
決め装置を備えたものはほとんど見られず、前に加工し
た被加工物の寸法と工具の位置から工具の切込量を決定
し、テーブルの送り機構を用いて工具の切込みを行なっ
ている。このため被加工物の機械への取付は状態や砥石
の摩耗状態などによって加工精度が左右されるという問
題があった。
従来の一例について説明する。第2図は従来の工具・被
加工物の位置決め方法を示すものである。
第2図において、1は砥石である。2は被加工物を貼付
は固定する治具である。3は被加工物である。4は砥石
1と被加工物貼付治具3間の距離を計測する計測装置で
ある。
以上のように構成された研削加工機において以下その動
作について説明する。
加工を開始する前に砥石1.被加工物貼付治具2の回転
を停止させ、計測装置4で砥石1と被加工物貼付治具2
の間の距離を計測し、その数値を基準に被加工物3を研
削加工する。
発明が解決しようとする課題 しかしながら上記のような構成では加工中の砥石摩耗、
加工熱による機械系の熱伸縮により被加工物の厚みを高
精度に加工できないという問題を有していた。
本発明は上記問題点に鑑み、被加工物の厚みを高精度に
加工するものである。
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明の研削加工機は、平
面状工具と被加工物が貼付けされた被加工物取付治具と
が対向して配置された研削加工機において、平面状工具
と被加工物貼付治具間に非接触計測器を配置し、平面状
工具と被加工物貼付治具間距離を計測し、位置決めする
ものである。
作用 上記した構成によって、加工中の砥石摩耗、加工熱によ
る機械系の熱伸縮をリアルタイムで計測することが可能
となり被加工物を高精度に加工できることとなる。
実施例 以下本発明の一実施例の研削加工機について図面を参照
しながら説明する。
第1図は本発明の実施例における研削加工機の砥石と被
加工物貼付治具の位置決め方法を示すものである。図に
おいて、5は砥石である。6は被加工物を貼付固定する
治具である。7は被加工物である68はエアーマイクロ
等の非接触計測装置である。
以上のように構成された研削加工機において以下第1図
を用いてその動作を説明する。
砥石5.被加工物貼付治具6を回転させながら被加工物
貼付治具6を砥石5側へ送る事により被加工物7が研削
加工される。この際、非接触計測器8で砥石5.被加工
物貼付治具6の間の距離をリアルタイムで計測し、被加
工物7の砥石方向への送り量にフィードバックする事に
より、加工中の砥石摩耗、加工熱による機械系の熱伸縮
をキャンセルすることができる。
発明の効果 以上のように本発明は、平面状工具と被加工物が貼付け
された被加工物取付治具とが対向して配置された研削加
工機において、平面状工具と被加工物貼付治具間に非接
触計測器を配置して被加工物加工中にリアルタイムで平
面状工具と被加工物貼付治具間距離を計測し、この計測
値にもとづき被加工物の平面状工具への送り量を制御す
ることにより、加工中の砥石摩耗、加工熱による機械系
の熱伸縮による悪影響を防止することが可能となり、被
加工物を高精度に加工できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の詳細な説明図、第2図は従来の一例を
示す説明図である。 5・・・・・・砥石、6・・・・・・被加工物貼付治具
、7・・・・・・被加工物、8・・・・・・非接触計測
装置。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  平面状工具と、被加工物が貼付けされた被加工物取付
    治具とが対向して配置された研削加工機において、平面
    状工具と被加工物貼付治具間に非接触計測器を配置して
    被加工物加工中に平面状工具と被加工物貼付治具間距離
    を計測し、この計測値にもとづき被加工物の平面状工具
    への送り量を制御することを特徴とする研削加工方法。
JP16469589A 1989-06-27 1989-06-27 研削加工方法 Expired - Fee Related JP2748569B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16469589A JP2748569B2 (ja) 1989-06-27 1989-06-27 研削加工方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16469589A JP2748569B2 (ja) 1989-06-27 1989-06-27 研削加工方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0332561A true JPH0332561A (ja) 1991-02-13
JP2748569B2 JP2748569B2 (ja) 1998-05-06

Family

ID=15798113

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16469589A Expired - Fee Related JP2748569B2 (ja) 1989-06-27 1989-06-27 研削加工方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2748569B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131355A (ja) * 2009-12-25 2011-07-07 Jtekt Corp ワークの研削方法及び研削盤

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106181771B (zh) * 2016-08-25 2018-06-29 上海理工大学 外圆切入式磨削工件圆度误差实时计算方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011131355A (ja) * 2009-12-25 2011-07-07 Jtekt Corp ワークの研削方法及び研削盤

Also Published As

Publication number Publication date
JP2748569B2 (ja) 1998-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5567199A (en) Workpiece holder for rotary grinding machines for grinding semiconductor wafers, and method of positioning the workpiece holder
JP4441823B2 (ja) 面取り砥石のツルーイング方法及び面取り装置
US4551950A (en) Truing apparatus for a grinding wheel with rounded corners
JPS62173170A (ja) 砥石車のツル−イング装置
US5083401A (en) Method of polishing
JPH0332561A (ja) 研削加工方法
JPS63102872A (ja) 研削方法
EP0241468B1 (en) A grinding machine workhead fitted with a dressing tool
Li et al. On-machine self-calibration method for compensation during precision fabrication of 900-mm-diameter zerodur aspheric mirror
JPS62264858A (ja) 平面研削方法
JPH10249676A (ja) 数値制御工作機械によるワークの加工方法
JPH0641090B2 (ja) 舞刃の研磨法
JPS6260223B2 (ja)
JP2001162426A (ja) 曲面切削装置及び曲面切削方法
JP3921758B2 (ja) 精密溝加工装置
JPS59219152A (ja) 研磨加工機
JPS6234774A (ja) 高精度平面研削法
JPS6331877Y2 (ja)
JPH02224970A (ja) 平面研削盤
JPS59219155A (ja) 研磨加工機
JP2594118Y2 (ja) 研削加工装置
JPS63221973A (ja) 研磨加工機
JP3537580B2 (ja) 数値制御付フライス盤の主軸の保持具取付用テーパー面の研削方法
JPH0523970A (ja) ツルーイング・ドレツシング方法およびその装置
SU1178566A1 (ru) Способ плоского шлифовани

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees