JPS6234774A - 高精度平面研削法 - Google Patents

高精度平面研削法

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Publication number
JPS6234774A
JPS6234774A JP17240885A JP17240885A JPS6234774A JP S6234774 A JPS6234774 A JP S6234774A JP 17240885 A JP17240885 A JP 17240885A JP 17240885 A JP17240885 A JP 17240885A JP S6234774 A JPS6234774 A JP S6234774A
Authority
JP
Japan
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workpiece
surface plate
reference surface
grinding
height
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17240885A
Other languages
English (en)
Inventor
Michiyasu Ishida
石田 通泰
Takeshi Ishiwaki
石脇 健
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication of JPS6234774A publication Critical patent/JPS6234774A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〉 本発明は平面研削盤におけるワークの高精度平面研削法
に関する。
〈従来の技術及びその問題点) 従来、平面研削盤においては、高精度の平面の加工は機
械の送り機構の精度等の影響を受けるため、それ相当の
高精度の送り機構をもつ機械と作業者の経験と勘を必要
としている。
ところが送り機構の精度を上げるといっても限度があり
、更に熟練作業者の不足が相俟って高精度な平面を加工
することは困難であった。また送り機構の高精度化に伴
ない、機構の複雑化及びコストの高騰を招来していた。
本発明は、上記問題に鑑み、機械の送り機構が持ってい
るうねり等の再現性のある誤差要因を、自動的に補正し
、作業の熟練者でなくとも高精度の平面加工が出来る様
にすることを目的としている。
〈問題点を解決するための手段) 上記目的を達成する本発明は、 X、 Y、 Zの各軸
を数値制御出来る平面研削盤において、作業テーブル上
に載せることの出来る平面の基準となる基準定盤と、基
準定盤および加工ワーク表面の高さの測定器を備えると
ともに、制御盤にはx、Zの各位置における高さの測定
値を記録するメモリ及びメモリに記録した高さデータを
演算する装置を備え、基準定盤と加工ワークとの高さ測
定値の差を砥石の切込み補正量として研削することを特
徴とする。
く作 用〉 加工の基準となる基準定盤と加工ワークの、テーブル各
位置における高さを測定し、その差を砥石の切込み量と
して研削加工を実施する。
〈実施例〉 以下本発明の実施例を、図面を参照しつつ具体的に説明
する。
第1図は本方法を適用した平面研削盤を示す斜視図であ
り、第2図は砥石位置2=2oでのX軸各位置における
基準定盤3及び加工ワーク4の高さ測定値の例を示すデ
ータ図である。
作業手順は次のとおりである。
(1)  まず、砥石5の砥石ヘッド6に固定された測
定器1により、平面研削盤のテーブル2上に載せた基準
定盤3のテーブル各位置における高さを研削軌跡に沿い
測定し、メモリに記録する。基準定盤3はワーク加工位
置に置くものとする。なお、基準定盤3は正確に加工さ
れたワークでも良い。
(2)  次に、基準定盤3を取り除き、同位置に加工
ワーク4を取り付ける。
(3)加工ワーク4を一度研削し、 (1)と同様の方
法で加工ワーク4の高さを測定し、メモリに記録する。
(0次に、テーブル各位置における基準定盤3と加工ワ
ーク4の高さの測定データを比較し、その差をテーブル
各位置における砥石5の切込み量として再度研削する。
すなわち、第2図に示すように砥石位置Z=Zo、 X
 =Xoにおける砥石の切込み量をhl−hoとする。
同様にして他の位置における切込み量を求める。尚基準
定盤3の高さの測定例8は本来平面であれば一直線であ
る筈のものが1機械のうねり等で図のごとく測定された
ことを示す、この測定例8に加工ワーク4を近ずけるこ
とを本方法の特徴とする。
(5)場合によっては(3) 、(4)を繰り返し、基
準定盤3と加工ワーク4のテーブル各位置における高さ
の測定データの差がある許容範囲に入るまで繰り返し研
削加工する。この縁り返しである許容範囲に入らない場
合は、テーブル上の測定位置と研削位置のちがいであり
、この分を更に砥石切込補正量とする。
〈発明の効果〉 以上実施例とともに具体的に説明したように本発明によ
れば、テーブル各位置における基準定盤と加工ワークの
高さの測定データの差を砥石の切込量として制御するこ
とにより、基準定盤の平面を加工ワークに転写すること
が出来、高精度に平面を研削加工することが出来る。又
1機械が摩耗しても、或いは高精度でなくとも再現性の
よい機械を作れば高精度の平面研削ができ、更に、1つ
のワークを加工中温度が一定しておれば、即ち、恒温室
がなくとも高精度の平面研削が出来ることとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明を適用した平面研削盤を示す斜視図、第
2図は基準定盤及び加工ワークの高さ測定例を示すデー
タ図である。 図面中。 1は高さ測定器。 2はテーブル。 3は基準定盤。 4は加工ワーク。 5は砥石。 6は砥石ヘッド。 7は砥石の移動軌跡。 8は基準定盤3の高さの測定値例、 9は加工ワーク4の高さの測定値例である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 水平面内で互いに直交する2方向に移動するテーブル上
    の所定位置に加工基準となる基準定盤を置き、研削軌跡
    に沿い基準定盤の高さをテーブル外から測定し、 その後、テーブルから基準定盤を外して加工ワークを前
    記所定位置に置き、研削軌跡に沿い加工ワークの高さを
    テーブル外から測定し、更に研削軌跡に沿う各位置にお
    いて、基準定盤の高さ測定値と加工ワークの高さ測定値
    との差を砥石の切込み補正量として研削することを特徴
    とする高精度平面研削法。
JP17240885A 1985-08-07 1985-08-07 高精度平面研削法 Pending JPS6234774A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03256648A (ja) * 1990-03-02 1991-11-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 平面研削盤の加工補正方法
JP2008030172A (ja) * 2006-07-31 2008-02-14 Nagase Integrex Co Ltd 研削盤及び研削方法
US7802701B2 (en) 2005-01-14 2010-09-28 Rieke Corporation Up-lock seal for dispenser pump
JP2016002597A (ja) * 2014-06-13 2016-01-12 株式会社ディスコ 研削方法

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US7802701B2 (en) 2005-01-14 2010-09-28 Rieke Corporation Up-lock seal for dispenser pump
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