JPH033259A - リードフレーム - Google Patents

リードフレーム

Info

Publication number
JPH033259A
JPH033259A JP13688089A JP13688089A JPH033259A JP H033259 A JPH033259 A JP H033259A JP 13688089 A JP13688089 A JP 13688089A JP 13688089 A JP13688089 A JP 13688089A JP H033259 A JPH033259 A JP H033259A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
brazing
roll
substrate material
substrate
lead frame
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP13688089A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0738430B2 (ja
Inventor
Toshiaki Fujita
敏明 藤田
Makoto Kawakami
誠 川上
Hiroshi Miura
博志 三浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Sumitomo Special Metals Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Special Metals Co Ltd filed Critical Sumitomo Special Metals Co Ltd
Priority to JP13688089A priority Critical patent/JPH0738430B2/ja
Publication of JPH033259A publication Critical patent/JPH033259A/ja
Publication of JPH0738430B2 publication Critical patent/JPH0738430B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 利用産業分野 この発明は、半導体パッケージの端子として用いられる
リードフレームに係り、一対のロールで圧接、圧延して
ろう材を凸状に圧接したトップレイクラッド材を素材と
し、プレス打ち抜き加工後の所要形状基板材の所定位置
に、凸状に圧接されたろう材を有し、基板材の薄板化に
伴う折曲げ強度を確保したリードフレームに関する。
背景技術 半導体パッケージの端子として用いられるリードフレー
ム材は、パッケージにろう付けするため、Agろうを予
め着設したものが使用される。
従来、微小なリードフレームをプレス加工により製造す
るための素材として、第9図a図に示す如き、基板材(
1)にAgろう(2)を埋火したインレイクラツド材(
7)が使用されていた。
すなわち、圧延により帯状の基板材(1)の中央溝部に
、同一平坦面となるようAgろう(2)を埋設した形状
を有し、これから所要形状に打ち抜き加工することによ
り、頭部にAgろう(2)を着設した所要のリードフレ
ーム材(8)が得られる(第9図す図参照)。
ところで、リードフレーム材の厚みは、現在0.25m
mが主流であるが、0.1〜0.15mmへとより薄板
化しつつある。
従って薄板化すると、前記のインレイクラツド材(7)
から得られたリードフレーム(9)は、第9図C図に示
す如く、フラットパッケージ(5)へのろう付は後に、
Agろう材(2)を着設していた部分に凹みができるこ
ととな−リ、特に折曲げ強度の点で不利となる。
例えば、第1図に示す如きクワッドタイプ等のフラット
パッケージ(5)用のリードフレーム(6)は、ろう付
は後に折曲げられるため、所要の折曲げ強度を確保する
必要があり、かかる用途に薄板化した従来のインレイク
ラツド材(7)を用いることはできない。
そこで、第2図a図に示す如き基板材(1)上にAgろ
う(2)を載せたトップレイクラッド材(3)を、b図
に示すリードフレーム材(4)に加工して用いると、四
〇図に示す如く、フラットパッケージ(5)にろう付け
した後の折曲げ時の強度に問題を生じないと考えられる
しかし、第2図aの如きリードフレーム用トップレイク
ラッド材(3)を、工業的に容易にかつ安定して供給す
ることができないため、第1図a図に示す如き所要形状
に打ち抜き加工した基板(1)の各リード毎にAgろう
(2)を仮止めして、b図の如く、パッケージ(5)に
ろう付けを実施していた。
発明の目的 この発明は、かかる現状に鑑み、工業的に簡単な工程で
かつ安定して供給でき、特に薄肉化し、基板材の所定位
置に少なくとも1条のろう材が凸状に圧接されたリード
フレームの提供を目的としている。
発明の概要 二の発明は、 ろう材の圧接予定側に平ロールを当接させ、前記ろう材
の圧接予定位置とは反対側に凹部溝を有するロールを用
いて基板材にろう材を圧接し、基板材の突条を形成した
中間素材を得た後、基板材の突条側に平ロールを当接さ
せ、ろう材が埋火している側に凹部溝を有するロールの
溝位置をろう釘位置に合せて、該中間素材を圧延し、基
板材の所定位置にろう材突条が圧接されたトップレイク
ラッド材に、プレス打ち抜き加工を施すか、ろう材が埋
火可能な凹部溝を有し両面が平坦面な帯状のダミー材を
用いて、該凹部溝にろう材を埋火させてダミー材とろう
材の圧接予定面に表面処理を施した基板材を一対の平ロ
ールで圧延した後、基板材に被着したダミー材が剥がさ
れ、基板材の所定位置にろう材突条が圧接されたトップ
レイクラッド材に、プレス打ち抜き加工を施すか、ある
いは、 基板材の上面にろう材を埋火圧接したインレイクラツド
材のろう材の圧接側に、ろう材が埋火可能な凹部溝を有
し両面が平坦面である帯状のダミー材を介して当接させ
る平ロール、あるいは凹部溝を有するロールと、前記ろ
う材の圧接面とは反対側に当接させる平ロールとで、該
溝位置をろう材位置に合せて圧延され、基板材の所定位
置にろう材突条が圧接されたトップレイクラッド材に、
プレス打ち抜き加工を施し、所要形状に打ち抜いた基板
材の所定位置に、凸状に圧接されたろう材を設けたこと
を特徴とするリードフレームである。
この発明において、リードフレームを得るための素材で
あるトップレイクラッド材とは、従来の基板材表面が平
坦でろう材が埋入したインレイタイプとは異なり、基板
材にろう材がストライプ状にクラッドされ、第4図b−
d図に示す如く、ろう材の一部又は全部が基板材面上に
露出したものをいう。
この発明において、クラッド母材となる基板材には、リ
ードフレーム材として使用されている42Ni−Fe系
など公知のいずれの材料も適用でき、突条に圧接する被
着材はAg、 Ag−Cu等のAgろうをはじめとする
公知のろう材を利用できる。
さらに、用途に応じては、多条の突条を圧接した基板材
が要求されるが、所要数の凹部溝を有するロールを用い
て、実施例の突条が1条の場合と同様に製造できる。ま
た、被着材にAu、 Ag−Cdなとの公知の接点材料
等を利用することもできる。
発明の図面に基づく開示 第1図aはこの発明によるリードフレーム材の斜視説明
図であり、同す図はリードフレームのフラットパッケー
ジへのろう付は状態を示すリードフレームとパッケージ
の斜視説明図である。
第2図aはトップレイクラッド材の断面説明図、同す図
はリードフレーム材の断面説明図、同C図はリードフレ
ームのろう付は状態を示す縦断説明図である。
第3図a、bはトップレイクラッド材の製造工程を示す
ロールと素材の説明図である。
第4図aは第3図aによる中間素材の縦断説明図であり
、同b−d図はこの発明によるAgろう突条の形状を示
すトップレイクラッド材の縦断説明図である。
第5図a−cは溝形状を示すロールの縦断説明図である
第6図a、b、dはトップレイクラッド材の製造工程を
示すロールと素材の説明図であり、同e、e図は得られ
たトップレイクラッド材の断面図である。
第7図a、c、dはトップレイクラッド材の製造工程を
示すロールと素材の説明図であり、同す、eは得られた
トップレイクラッド材の断面図である。
第8図は第7図Cにおけるインレイクラツド材と溝ロー
ルとの関係を示す縦断説明図である。
ここでは、第1図すに示す如く、フラットパッケージに
ろう付けしたリードフレーム(6)と、同a図に示す如
く、所要形状のリードフレーム(6)を足部で接続一体
化して多数並列し配置したリードフレーム材(4)とを
区別して記述するが、説明上の都合であり一般的な所謂
リードフレームとしては何らの差もない。
構成1 第1のトップレイクラッド材の製造方法は、圧接と圧延
の2工程からなり、まず、第3図a図に示す如く、所要
厚みの基板材(10)上の所定位置に所要幅のAgろう
材(11)を一対のロール(20X21)で圧接する。
基板材(10)上のAgろう材(11)の圧接予定側、
図で上ロールに平ロール(20)を当接させ、前記Ag
ろう材(11)圧接予定位置とは反対側、図で下ロール
に所要寸法の凹部溝(22)を有する溝ロール(21)
を用いて、所要の速度、圧下率で、基板材(10)にA
gろう材(11)を圧接し、基板材の上面にAgろう材
(14)を埋入し、下面にリードフレームの突条(13
)を形成した中間素材(12)を得る。
次ぎに、同す図に示す如く、中間素材(12)の突条(
13)側、図で下ロールに、平ロール(23)を用い、
Agろう材が埋入している側、図で上ロールに所要寸法
の凹部溝(25)を有する・溝ロール(24)を用いて
、該溝位置を埋入したAgろう位置に合せて、中間素材
(12)を所要速度、圧下率で圧延し、基板材の所定位
置にAgろう突条(16)を圧接したトップレイクラン
ド材(15)を得る。
得られたトップレイクラッド材(15)を、第1図a図
に示す如く、所要形状に打ち抜き加工することにより、
頭部にAgろう(2)を圧接した所要形状のリードフレ
ームを足部で接続一体化して多数並列し配置したリード
フレーム材(4)を容易に得ることができる。
前記圧接及び圧延工程にJりいて、ロール段数、速度、
圧下率などの圧接及び条件は、用いる基板材及び被着材
種類、寸法、厚みにより適宜選定され、溝ロール(21
X24)の凹部溝(22X25)寸法も同様に適宜選定
できる。
また、第4図a図に示す如く、トップレイクラッド材を
得るための中間素材(12)の突条(13)高さ(H)
と埋入したAgろう材(14)の埋入深さ(h)の関係
が、 h=uの場合は、  同す図の如く、トップレイクラッ
ド材(15)の表面上に着設面 を除く全面が露出しなAgろう 突条(16)が得られ、 h>Hの場合は、 同C図の如く、トップレイクラッド
材(15)の表面に一部が埋 入したAgろう突条(16)が得ら れ、 h<Hの場合は、  同d図の如く、トップレイクラッ
ド材(15)表面に突出する母 材突条の上にAgろう突条(16)が 圧接されたものが得られる。
また、少なくとも圧延時の溝ロールの幅はトップレイク
ラッド材のAgろう突条の幅となるため、所望幅に設定
する必要があり、溝幅、深さを圧接及び圧延共に同条件
とすることが望ましい。
さらに、溝ロールの溝幅及び深さと、中間素材(12)
の埋入したAgろう材(14)の埋入幅と突条(13)
の幅を適宜選定することにより、Agろう突条(16)
の高さを所望の高さに制御できる。なお、多条の突条を
圧接した基板材を製造する場合も、同様に被着材突条の
高さを制御できる。
従って、圧接する被着材厚み、圧接時の溝ロールの深さ
、幅、あるいはさらに圧延時の溝ロールの深さを上記の
所望の条件となるように適宜選定するとよい。
さらに、圧接強度の向上、歪取りのために、前述の如く
ロールを多段構成としたり、圧接予定面を清浄化し、ブ
ラッシングするなどの表面処理したり、得られた中間素
材(12)あるいは製品のトップレイクラッド材(15
)に熱処理を施すのもよい。
熱処理としては、500℃から用いたろう材の融点以下
の温度域、さらに650〜700℃が好ましく、0.5
〜5分間、水素中雰囲気の拡散焼鈍が好ましい。
また、前記トップレイクラッド材は、第5図a図に示す
如く溝ロール(21)の凹部溝(22)の底及びエツジ
部形状が鋭角な場合、Agろう突条の反対側に、中間素
材のときの突条の痕跡が残る場合があり、これを消すに
は、ブラッシング処理などの表面処理を施すほか、第5
図のす、c図の如く、凹部溝(22)の側面をテーパー
状としたり底及びエツジ部形状をなだらかにするとよい
。さらに、ロールには、鍛造鋼や超硬合金材を用いて焼
き付きを防止することが好ましい。
摂屋1 第2のトップレイクラッド材の製造方法は、第6図に示
す如く、一対の平ロール(20X23)を用いる圧延工
程からなり、まず、基板材(10)上のAgろう材(1
1)の圧接予定面、図で中央部にのみ表面処理を施す。
また、AgろうJrA’(11)の圧接予定面も同様に
表面処理することが望ましい。
ダミー材(30)は、基板材(10)と同様形状を有し
がつ同等以上の大きさを有する同材質あるいはより高硬
度の材質からなる帯材であり、一方面、図面で下面の中
央部に凹部溝(31)を設けである。
第6図a図に示す如く、−肘の平ロール(20X23)
間に、基板材(10)、Agろう材(11)、そしてダ
ミー材(30)を配して、所要の速度、圧下率で圧延を
施す。
この際、凹部溝(31)にはAgろう材(11)が嵌ま
り、一対の平ロール(20X23)の圧下刃を受けて変
形し、Agろう材(11)を圧下する。
例えば、一対の平ロール(20X23)を多段に設けて
、所要の圧延を行うことにより、ダミー材(30)と基
板材(10)が圧着して順次薄肉化してゆく。
b図に示す如く、Agろう材(11)と基板材(10)
が所要厚みになったところで圧延を、完了する。
その後、ダミー材(30)を剥がすことにより、基板材
の所定位置にAgろう突条(16)を圧接したトップレ
イクラッド材(17)を得る。
第6図d図に示す例は、a図と同様であるが、ダミー材
(32)幅を基板材(10)幅よりも狭くしたもので、
e図に示す如く、基板材(10)の中央に溝部を設け、
該溝部底面にAgろう突条(16)を圧接したトップレ
イクラッド材(17)を得ることができる。
得られたトップレイクラッド材(17)を、第1図a図
に示す如く、所要形状に打ち抜き加工することにより、
頭部にAgろう(2)を圧接した所要形状のリードフレ
ームを足部で接続一体化して多数並列し配置したリード
フレーム材(4)を容易に得ることができる。
侮屋】 第3のトップレイクラッド材の製造方法は、第7図に示
す如く、従来の製造方法で得られた所要寸法からなるイ
ンレイクラツド材(4o)を素材として用い一対の平ロ
ール(20)(23)にて圧延する工程からなる。
インレイクラツド材(4o)は、基板材(41)上面中
央にAgろう材(42)を圧接して埋火し、平坦面とな
っている。
ダミー材(30)は、基板材(41)と同様形状を有し
かつ同等以上の大きさを有する同材質あるいはより高硬
度の材質からなる帯材であり、一方面、図面で下面の中
央部に凹部溝(31)を設けである。
第7図a図に示す如く、一対の平ロール(20)(23
)間に、インレイクラツド材(4o)のAgろう材(4
2)とダミー材(30)の凹部溝(3υとを対向させて
、所要の速度、圧下率で圧延を施す。
なお、前記Agろう材(42)と凹部溝(31)との位
置合せはサイドロールを用いるなどの手段で容易に実施
できる。
一対の平ロール(20X23)の圧下とともに、凹部溝
(31)にAgろう材(42)が嵌まり変形する。
例えば、一対の平ロール(20X23)を多段に設けて
、所要の圧延を行うことにより、ダミー材(30)と基
板材(40)が圧着して順次薄肉化してゆき、基板材(
40)が所要厚みになったところで圧延を完了する。
その後、ダミー材(30)を剥がすことにより、b図に
示す如く、基板材(40)の所定位置にAgろう突条(
16)を圧接したトップレイクラッド材(18)を得る
0図に示すトップレイクラッド材の製造方法は、基板材
(41)の上面にAgろう材(42)を埋火圧接したイ
ンレイクランド材(40)を素材とし、Agろうの圧接
側に、図で上ロールに所要寸法の凹部溝(24)を有す
る溝ロール(25)を用い、前記Agろうの圧接面とは
反対側、図で下ロールに平ロール(23)を用い、該溝
位置を埋火したAgろう位置に合せて、インレイクラツ
ド材(40)を所要速度、圧下率で圧延し、b図に示す
如き基板材の所定位置にAgろう突条(16)を圧接し
たトップレイクラッド材(18)を得る。
d図に示すトップレイクラッド材の製造方法は、0図と
同様であるが、図で上ロールに所要寸法の凸部(27)
(27)間に凹部溝(28X29)を有する溝ロール(
26)を用い、また、下ロールに平ロール(23)を用
い、凹部溝(28)の中央に設けた凹部溝(29)位置
と埋火したAgろう位置を合せて圧延する。
これにより、e図に示す如く、基板材(41)の中央の
溝部に中央突条部を有し、中央突条部の上面にAgろう
突条(16)を圧接したトップレイクラッド材(18)
を得ることができる。また、溝ロール(26)と同様の
凹凸部を有するダミー材を用いても製造することができ
る。
第8図に示す如く、トップレイクラッド材を得るための
インレイクラツド材(4o)の埋火したAgろう材(4
2)の埋入深さ(h)とロール(24)の凹部溝(25
)深さ(Hりとの関係が、 h=H1の場合は、 第4図す図の如く、トップレイク
ラッド材(15)の表面上に着設 面を除く全面が露出しなAgろ う突条(16)が得られ、 h>Hlの場合は、 同C図の如く、トップレイクラッ
ド材(15)の表面に一部が埋 入したAgろう突条(16)が得ら れ、 h<Hlの場合は、 同d図の如く、トップレイクラッ
ド材(15)表面に突出する母 材突条の上にAgろう突条(16)が 圧接されたものが得られる。
さらに、ダミー材、溝ロールの溝幅及び深さと、インレ
イクラツド材(40)の埋入したAgろう材(42)の
幅とを適宜選定することにより、Agろう突条(16)
の高さを所望の高さに制御できる。なお、多条の突条を
圧接した基板材を製造する場合も、同様にAgろう等の
被着材突条の高さを制御できる。
得られたトップレイクラッド材(18)を、第1図a図
に示す如く、所要形状に打ち抜き加工することにより、
頭部にAgろう(2)を圧接した所要形状のリードフレ
ームを足部で接続一体化して多数並列し配置したリード
フレーム材(4)を容易に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図aはこの発明によるリードフレーム材の斜視説明
図であり、同す図はリードフレームのフラットパッケー
ジへのろう付は状態を示すリードフレームとパッケージ
の斜視説明図である。 第2図dはトップレイクラッド材の断面説明図、同す図
はリードフレーム材の断面説明図、同C図はリードフレ
ームのろう付は状態を示す縦断説明図である。 第3図a、bはトップレイクラッド材の製造工程を示す
ロールと素材の説明図である。 第4図aは第3図aによる中間素材の縦断説明図であり
、同b−d図はこの発明によるAgろう突条の形状を示
すトップレイクラッド材の縦断説明図である。 第5図a−cは溝形状を示すロールの縦断説明図であ−
る。 第6図a、b、dはトップレイクラッド材の製造工程を
示すロールと素材の説明図であり、同c、e図は得られ
たトップレイクラッド材の断面図である。 第7図a、c、dはトップレイクラッド材の製造工程を
示すロールと素材の説明図であり、同す、eは得られた
トップレイクラッド材の断面図である。 第8図は第7図Cにおけるインレイクラツド材と溝ロー
ルとの関係を示す縦断説明図である。 第9図aはインレイクラツド材の断面説明図、同す図は
リードフレーム材の断面説明図、同C図はリードフレー
ムのろう付は状態を示す縦断説明図である。 1.10.41・・・基板材、2・・・Agろう、3・
・・トップレイクラッド材、4・・・リードフレーム材
、5・・・フラットパッケージ、6・・・リードフレー
ム、7.40・・・インレイクラツド材、11・・・A
gろう材、12・・・中間素材、13・・・突条、14
.42・・・Agろう材、15.17.18・・・トッ
プレイクラッド材、16・・・Agろう突条、20.2
3・・・平ロール、21,24.26・・・溝ロール、
22,25,28,29・・・凹部溝、27・・・凸部
。 第1図 (Q) (b) 第2図 第9図 (C) 忙) 区 Oつ 第5図 (a) (b) (C) 第4図 第8図 (b) (C) (d) 第6図 (a) (d) とO 第7図 (α) (b) 6 (C) (d) (e) 16  18 凹会ガ′

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 ろう材の圧接予定側に平ロールを当接させ、前記ろう材
    の圧接予定位置とは反対側に凹部溝を有するロールを用
    いて基板材にろう材を圧接し、基板材の突条を形成した
    中間素材を得た後、基板材の突条側に平ロールを当接さ
    せ、ろう材が埋入している側に凹部溝を有するロールの
    溝位置をろう材位置に合せて、該中間素材を圧延し、基
    板材の所定位置にろう材突条が圧接されたトップレイク
    ラッド材に、プレス打ち抜き加工を施し、所要形状に打
    ち抜いた基板材の所定位置に、凸状に圧接されたろう材
    を設けたことを特徴とするリードフレーム。 2 ろう材が埋入可能な凹部溝を有し両面が平坦面な帯状の
    ダミー材を用いて、該凹部溝にろう材を埋入させてダミ
    ー材とろう材の圧接予定面に表面処理を施した基板材を
    一対の平ロールで圧延した後、基板材に被着したダミー
    材が剥がされ、基板材の所定位置にろう材突条が圧接さ
    れたトップレイクラッド材に、プレス打ち抜き加工を施
    し、所要形状に打ち抜いた基板材の所定位置に、凸状に
    圧接されたろう材を設けたことを特徴とするリードフレ
    ーム。 3 基板材の上面にろう材を埋入圧接したインレイクラッド
    材のろう材の圧接側に、ろう材が埋入可能な凹部溝を有
    し両面が平坦面である帯状のダミー材を介して当接させ
    る平ロール、あるいは凹部溝を有するロールと、前記ろ
    う材の圧接面とは反対側に当接させる平ロールとで、該
    溝位置をろう材位置に合せて圧延され、基板材の所定位
    置にろう材突条が圧接されたトップレイクラッド材に、
    プレス打ち抜き加工を施し、所要形状に打ち抜いた基板
    材の所定位置に、凸状に圧接されたろう材を設けたこと
    を特徴とするリードフレーム。
JP13688089A 1989-05-30 1989-05-30 リードフレーム Expired - Lifetime JPH0738430B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13688089A JPH0738430B2 (ja) 1989-05-30 1989-05-30 リードフレーム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13688089A JPH0738430B2 (ja) 1989-05-30 1989-05-30 リードフレーム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH033259A true JPH033259A (ja) 1991-01-09
JPH0738430B2 JPH0738430B2 (ja) 1995-04-26

Family

ID=15185701

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13688089A Expired - Lifetime JPH0738430B2 (ja) 1989-05-30 1989-05-30 リードフレーム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0738430B2 (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0738430B2 (ja) 1995-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4786545A (en) Circuit substrate and method for forming bumps on the circuit substrate
US5135155A (en) Thermocompression bonding in integrated circuit packaging
CA2024012C (en) Thermocompression bonding in integrated circuit packaging
JPH1131774A (ja) 金属板の切断装置
US6474532B2 (en) Apparatus for forming wire bonds from circuitry on a substrate to a semiconductor chip, and methods of forming semiconductor chip assemblies
EP0789392B1 (en) Bumpless method of attaching inner leads to semiconductor integrated circuits
US6527163B1 (en) Methods of making bondable contacts and a tool for making such contacts
JPH033259A (ja) リードフレーム
JP2606606B2 (ja) 半導体装置の製造方法
US6024274A (en) Method for tape automated bonding to composite bumps
JPH0649236B2 (ja) トップレイクラッド材の製造方法
JPH02268984A (ja) 異形クラッド材の製造方法
US5242569A (en) Thermocompression bonding in integrated circuit packaging
JPH02268986A (ja) トップレイクラッド材の製造方法
JP2978673B2 (ja) 半導体装置のボンディング装置
JP3007720B2 (ja) 半導体装置の製造方法及び該方法を実施する装置
US5120418A (en) Lead frame plating apparatus for thermocompression bonding
JPH05267385A (ja) ワイヤーボンディング装置
JPS6320189A (ja) アルミニウム−鉄・ニツケル合金−半田クラツド材およびこれを用いたic装置の製造方法
JPH03141655A (ja) プレス金型
JPH0748507B2 (ja) ワイヤボンデイング方法
JP2641547B2 (ja) インレイクラッド材の製造方法
JP2757644B2 (ja) フィルムキャリアテープ
JPS58180035A (ja) ボンデイング装置
JPS61276783A (ja) クラツド材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090426

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426

Year of fee payment: 15

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100426

Year of fee payment: 15