JPH0332725B2 - - Google Patents
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- JPH0332725B2 JPH0332725B2 JP57074200A JP7420082A JPH0332725B2 JP H0332725 B2 JPH0332725 B2 JP H0332725B2 JP 57074200 A JP57074200 A JP 57074200A JP 7420082 A JP7420082 A JP 7420082A JP H0332725 B2 JPH0332725 B2 JP H0332725B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D7/00—Indicating measured values
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Indicating Measured Values (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Controls And Circuits For Display Device (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電子線マイクロアナライザ等による
試料分析用測定データを使用して表示画面上に分
析結果をマツピング表示する装置に係り、詳しく
はマイクロコンピユータを使用して試料の分析結
果を表示する試料分析装置用カラーマツピング装
置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a device that maps and displays analysis results on a display screen using measurement data for sample analysis by an electron beam microanalyzer, and more specifically, the present invention relates to a device that maps and displays analysis results on a display screen using measurement data for sample analysis by an electron beam microanalyzer, etc. The present invention relates to a color mapping device for a sample analyzer that displays analysis results.
電子線マイクロアナライザは一般に、試料内に
いかなる元素がいかなる含有割合で存在するのか
等についての分析を行うために用いられるもの
で、あつて、その分析においては試料に電子線を
照射して試料内の元素の種類や元素の含有濃度に
対応する波長や強度を有するＸ線を発生させ、発
生したＸ線に基づき目的とする試料分析用測定デ
ータを得るものである。ところで、このよう電子
線マイクロアナライザにあつては、近年マイクロ
コンピユータを組込み、このマイクロコンピユー
タにおけるシステムプログラムにしたがつて、試
料を試料ステージにセツテイングする動作から試
料分析用測定データを用いて分析結果を表示画面
上にマツピング表示する動作までを行うようにし
たものがある。 An electron beam microanalyzer is generally used to analyze what elements are present in a sample and in what proportion. This method generates X-rays having a wavelength and intensity corresponding to the type of element and the concentration of the element, and obtains measurement data for target sample analysis based on the generated X-rays. Incidentally, in recent years, such electron beam microanalyzers have been equipped with microcomputers, and according to the system program in this microcomputer, the analysis results are obtained from the operation of setting the sample on the sample stage to the measurement data for sample analysis. Some devices even perform mapping display operations on the display screen.
ところが、従来では上記マイクロコピユータに
より、試料をのせた試料ステージを測定位置に移
動すること、試料を測定すること、測定による試
料分析用測定データをメモリに格納すること、表
示画面上に分析結果をカラーでマツピング表示す
るために、前記メモリに格納された測定データを
カラー表示用のコードデータに変換するデータ加
工等の一連の分析のための動作を時間的に直列的
に行うようにしている。このため、試料分析のた
めの測定を開始し、最終的に表示画面上に目的と
する試料分析結果をマツピング表示するのに非常
に長時間を要している。 However, in the past, the microcopyter described above was used to move the sample stage with the sample placed on it to the measurement position, measure the sample, store the measured data for sample analysis in memory, and display the analysis results on the display screen. In order to map and display in color, a series of analysis operations such as data processing to convert the measurement data stored in the memory into code data for color display are performed serially in time. . For this reason, it takes a very long time to start measurement for sample analysis and to finally map and display the desired sample analysis results on the display screen.
一方、従来では上記試料分析用測定データによ
る分析結果を白黒でマツピング表示しており、分
析結果を即座に視覚で判断することが比較的困難
である。しかるに、視覚性を向上させるため分析
内容に応じて分析結果を赤や緑や黄等で色分けし
て表示させるためには上記マイクロコンピユータ
に余分なプログラムを組込まなければならなくな
り、したがつて分析開始から分析結果の表示まで
の時間が更に長くなるという大きな問題点があ
る。 On the other hand, conventionally, the analysis results based on the sample analysis measurement data are displayed in black and white mapping, making it relatively difficult to immediately visually judge the analysis results. However, in order to display the analysis results in colors such as red, green, and yellow according to the content of the analysis in order to improve visibility, it is necessary to install an extra program into the microcomputer, which makes it difficult to start the analysis. A major problem is that it takes a longer time to display the analysis results.
本発明の目的は、上述に鑑み、試料分析用測定
データをその分析内容に個別的に対応して色付け
して分析結果を表示画面上にマツピング表示する
ことができる一方、試料分析用測定データを順
次、カラーモニターに送つて分析結果を表示画面
上に実時間で表示することができるようにするこ
とにより、視覚性に優れ、かつ極めて短時間で分
析結果を表示することができる試料分析装置用マ
ツピング装置を提供することである。 In view of the above, it is an object of the present invention to color the measurement data for sample analysis individually corresponding to the content of the analysis and to map and display the analysis results on the display screen. For sample analyzers that can display analysis results in a very short time with excellent visibility by sequentially sending the analysis results to a color monitor and displaying them in real time on the display screen. An object of the present invention is to provide a mapping device.
本発明の試料分析装置用カラーマツピング装置
は、上記目的を達成するため、試料に含まれる各
元素の含有量に応じた検出強度をもつた測定デー
タを各元素ごとに個別的に対応して格納する複数
のメモリを有するビデオ用メモリと、試料が所定
の分析箇所に位置するように試料ステージを駆動
する駆動回路に対して駆動指令信号を与える一
方、前記試料ステージの駆動に同期した格納タイ
ミングで前記複数のメモリに測定データが格納さ
れるよう当該複数のメモリに格納指令信号を与え
るプログラムが組み込まれるマイクロコンピユー
タと、前記複数のメモリの内、指示された表示チ
ヤンネルに対応するメモリから測定データを読出
し、読出した測定データを指示された表示条件に
したがつて色分けするカラーコントローラと、こ
のカラーコントローラで色分けされた測定データ
を当該色分けに対応する色信号に変換して前記試
料に含まれる元素の二次元分布像をマツピング表
示するカラーモニタとを備えている。 In order to achieve the above object, the color mapping device for a sample analyzer of the present invention individually corresponds to measurement data for each element with a detection intensity corresponding to the content of each element contained in the sample. A drive command signal is supplied to a video memory having a plurality of memories for storing the sample, and a drive circuit that drives the sample stage so that the sample is positioned at a predetermined analysis location, and storage timing is synchronized with the drive of the sample stage. a microcomputer in which a program is installed that gives a storage command signal to the plurality of memories so that the measurement data is stored in the plurality of memories; a color controller that reads out the measured data and color-codes the read-out measurement data according to specified display conditions; and a color controller that converts the color-coded measurement data into a color signal corresponding to the color-coded color to display the elements contained in the sample. The system is equipped with a color monitor that maps and displays a two-dimensional distribution image.
以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings.
第１図は本発明の一実施例の構成図である。こ
の実施例の試料分析装置としての電子線マイクロ
アナライザからの電子線１により試料ステージ２
上の試料が照射される。この照射により、試料か
らは、試料に含まれている元素の種類に対応した
波長を有しかつ元素の濃度に比例した強さを有す
るＸ線３が発生し、そのＸ線(3)は分光結晶４で反
射され、更に図示しない検出器やパルス波高分析
回路を介して、周波数をカウントするスケーラ５
に入力される。そこで、上記のごとき分光結晶
を、試料表面から元素の種類に対応して散乱する
Ｘ線の各散乱位置に複数個配置するか、あるいは
分光結晶を各散乱位置に対応して移動させること
により複数種類の元素についての分析ができる。
試料ステージ２は、２次元直交座標系に関しＸ方
向についてはＸ方向試料ステージ駆動回路６によ
り、Ｙ方向についてはＹ方向試料ステージ駆動回
路７により駆動される。この駆動により、試料ス
テージ２におかれた試料は所定の分析のための測
定位置にセツトされる。 FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention. The electron beam 1 from the electron beam microanalyzer serving as the sample analysis device of this embodiment
The upper sample is irradiated. As a result of this irradiation, X-rays 3 are generated from the sample, having a wavelength corresponding to the type of element contained in the sample and an intensity proportional to the concentration of the element. A scaler 5 that counts the frequency reflected by the crystal 4 and further passes through a detector and a pulse height analysis circuit (not shown).
is input. Therefore, by placing multiple spectroscopic crystals as described above at each scattering position of the X-rays scattered from the sample surface depending on the type of element, or by moving the spectroscopic crystals corresponding to each scattering position, multiple spectroscopic crystals can be used. Can analyze various types of elements.
The sample stage 2 is driven in the X direction by an X-direction sample stage drive circuit 6 and in the Y direction by a Y-direction sample stage drive circuit 7 in the two-dimensional orthogonal coordinate system. By this driving, the sample placed on the sample stage 2 is set at a measurement position for a predetermined analysis.
ビデオ用メモリ８は第２図に示すように複数の
メモリ例えば第１〜第５メモリ８１〜８５を有し
ている。これらの各メモリ８１〜８５には、スケ
ーラ５で得られた試料に含まれる各元素の含有量
に応じた検出強度をもつ測定データが各元素ごと
に個別的に対応して格納される。マイクロコンピ
ユータ９には、専用操作パネル１０に設けられた
各種操作部から操作信号線１１を介して操作信号
が入力される。マイクロコンピユータ９はその操
作信号に応答して試料ステージ駆動回路６，７が
所定の測定位置（或る一定の測定領域）に試料ス
テージを駆動するような当該試料ステージ駆動回
路６，７に指令信号線１２，１３を介して駆動指
令信号を与える。試料ステージ駆動回路６，７は
前記駆動指令信号に応答してその駆動気候１４，
１５により試料ステージ２を所定の測定位置に移
動させる。マイクロコンピユータ９はまた、スケ
ーラ５の動作を制御する制御信号を制御信号線１
６を介して当該スケーラ５に与える。マイクロコ
ンピユータ９はさらにまた、ビデオ用メモリ８内
の複数のメモリ８１〜８５に各元素ごとに個別的
に対応して試料分析用測定データが第１データ線
１７を介して格納されるよう、当該複数のメモリ
８１〜８５、指令信号線１８を介して格納指令信
号を与える。このように、マイクロコンピユータ
９は、専用操作パネル１０の操作部からの操作信
号により上述の動作を行うプログラムを有してい
る。 The video memory 8 has a plurality of memories, for example, first to fifth memories 81 to 85, as shown in FIG. In each of these memories 81 to 85, measurement data having a detection intensity corresponding to the content of each element contained in the sample obtained by the scaler 5 is stored individually for each element. Operation signals are input to the microcomputer 9 from various operation units provided on a dedicated operation panel 10 via operation signal lines 11 . In response to the operation signal, the microcomputer 9 sends command signals to the sample stage drive circuits 6 and 7 so that the sample stage drive circuits 6 and 7 drive the sample stage to a predetermined measurement position (certain measurement area). Drive command signals are provided via lines 12 and 13. The sample stage drive circuits 6, 7 adjust their drive climates 14, 7 in response to the drive command signal.
15 moves the sample stage 2 to a predetermined measurement position. The microcomputer 9 also sends control signals for controlling the operation of the scaler 5 to the control signal line 1.
6 to the scaler 5. The microcomputer 9 furthermore stores the measurement data for sample analysis in the plurality of memories 81 to 85 in the video memory 8 via the first data line 17 corresponding to each element individually. A storage command signal is given via a plurality of memories 81 to 85 and a command signal line 18. In this way, the microcomputer 9 has a program that performs the above-described operations based on operation signals from the operation section of the dedicated operation panel 10.
カラーコントローラ１９は、ビデオ用メモリ８
内の複数のメモリ８１〜８５の内、指示された表
示チヤンネル（全部で例えば５チヤンネル）に対
応するメモリから試料分析用測定データを第２デ
ータ線２０を介して読出し、読出した試料分析用
測定データを、指示された表示条件にしたがつて
色分けする。カラーモニタ２１は、第３データ線
２２を介して入力されてくるカラーコントローラ
１９からの試料分析用測定データを当該カラーコ
ントローラ１９での色分けに対応する色信号に変
換することにより分析結果を表示する。 The color controller 19 has a video memory 8
The measurement data for sample analysis is read out from the memory corresponding to the designated display channel (for example, 5 channels in total) among the plurality of memories 81 to 85 in the memory via the second data line 20, and the read measurement data for sample analysis is read out. Color-code data according to specified display conditions. The color monitor 21 displays analysis results by converting measurement data for sample analysis from the color controller 19 input via the third data line 22 into color signals corresponding to the color classification by the color controller 19. .
次に、ビデオ用メモリ８とカラーコントローラ
１９とカラーモニタ２１とによる試料分析用測定
データの色分け動作とそれに対応した分析結果の
色表示を、第２図を参照しながら説明する。 Next, the operation of color-coding measurement data for sample analysis by the video memory 8, color controller 19, and color monitor 21 and the color display of the analysis results corresponding thereto will be explained with reference to FIG.
第２図は、ビデオ用メモリ８とカラーコントロ
ーラ１９とカラーモニタ２１の内部回路の詳細図
である。第２図において、ビデオ用メモリ８内の
第１〜第５メモリ８１〜８５の各々のデータ入力
端子T1〜T5に試料ステージ２の駆動に同期した
格納タイミングで試料分析用測定データが入力さ
れる。一方、マイクロコンピユータ９からの格納
指令信号が、第１〜第５メモリ８１〜８５の各々
の指令信号入力端子C1〜C5に入力される。これ
により、各メモリ８１〜８５については、格納指
令信号が入力されたメモリのみがアクテイブとな
り、当該メモリ上の試料の分析箇所に対応する記
憶番地に検出元素の強度値をもつ測定データが格
納される。したがつて、第１〜第５メモリ８１〜
８５に各々、第１〜第５表示チヤンネルに対応し
て試料分析用測定データが入力されるようにすれ
ば、例えば第１メモリ８１にはスズSnについて
の測定データを第１表示チヤンネルとして格納さ
れることができ、また第２メモリ８２にはマンガ
ンMnについての測定データを第２表示チヤンネ
ルとして格納させることができる。 FIG. 2 is a detailed diagram of the internal circuits of the video memory 8, color controller 19, and color monitor 21. In FIG. 2, measurement data for sample analysis is input to data input terminals T 1 to T 5 of the first to fifth memories 81 to 85 in the video memory 8 at a storage timing synchronized with the drive of the sample stage 2. be done. On the other hand, a storage command signal from the microcomputer 9 is input to the command signal input terminals C 1 to C 5 of the first to fifth memories 81 to 85, respectively. As a result, among the memories 81 to 85, only the memory to which the storage command signal is input becomes active, and the measurement data having the intensity value of the detected element is stored in the memory address corresponding to the analysis location of the sample on the memory. Ru. Therefore, the first to fifth memories 81 to
If measurement data for sample analysis is inputted into the first memory 85 in correspondence with the first to fifth display channels, for example, the first memory 81 may store measurement data regarding tin Sn as the first display channel. The second memory 82 can also store measurement data regarding manganese Mn as a second display channel.
カラーコントローラ１９は、ビデオ用メモリ８
からの試料分析用測定データをラツチする測定デ
ータラツチ回路１９１を有している。この測定デ
ータクラツチ回路１９１には、図示しない表示チ
ヤンネル指示スイツチにより指示された表示チヤ
ンネルに対応する試料分析用測定データを格納し
ているメモリからの当該試料分析用測定データが
入力される。 The color controller 19 has a video memory 8
It has a measurement data latch circuit 191 that latches the measurement data for sample analysis from. This measurement data clutch circuit 191 receives sample analysis measurement data from a memory storing sample analysis measurement data corresponding to a display channel designated by a display channel designation switch (not shown).
カラーコントローラ１９はまた、試料分析用測
定データを各元素の検出強度に対応して色分けす
るため第１色表示選択回路１９２−１、第２色表
示選択回路１９２−２、…、第ｎ色表示選択回路
１９２−ｎと、第１基準データラツチ回路１９３
−１、第２基準データラツチ回路１９３−２、
…、第ｎ基準データラツチ回路１９３−ｎと、第
１デイジタルコンパレータ１９４−１、第２デイ
ジタルコンパレータ１９４−２、…、第ｎデイジ
タルコンパレータ１９４−ｎと、テンキー操作／
基準データ表示回路１９５とを有している。これ
らの回路において、第１色表示選択回路１９２−
１と、第１基準データラツチ回路１９３−１と、
第１デイジタルコンパレータ１９４−１と、分析
データラツチ回路１９１と、テンキー操作／基準
データ表示回路１９５との組合わせを中心に説明
する。なお、各測定データはカラーモニタの表示
画面上の各表示画素点（例えば100点×100点）に
表示される表示単位のデータである。 The color controller 19 also includes a first color display selection circuit 192-1, a second color display selection circuit 192-2, . Selection circuit 192-n and first reference data latch circuit 193
-1, second reference data latch circuit 193-2,
..., the n-th reference data latch circuit 193-n, the first digital comparator 194-1, the second digital comparator 194-2, ..., the n-th digital comparator 194-n, and the numeric keypad operation/
and a reference data display circuit 195. In these circuits, the first color display selection circuit 192-
1, a first reference data latch circuit 193-1,
The combination of the first digital comparator 194-1, the analysis data latch circuit 191, and the numeric keypad operation/reference data display circuit 195 will be mainly described. Note that each measurement data is data in display units displayed at each display pixel point (for example, 100 points x 100 points) on the display screen of the color monitor.
先ず、測定データラツチ回路１９１には例えば
第１表示チヤンネルとして第１メモリ８１に格納
されている測定データとしては例えば検出強度が
「1050」の値をもつならば、そのデータが入力さ
れる。一方、第１色表示選択回路１９２−１が例
えば試料分析用測定データを例えば赤色に色分け
するための回路であるとし、その測定値が
「1000」を越えたときにカラーモニタの表示画面
上のその測定データに対応する画素点を赤色で色
付けしたときは、第１色表示選択回路１９２−１
を動作させる一方、ネンキー操作／基準データ表
示回路１９５で「１」「０」「０」「０」のように
テンキーを操作する。そうすると、テンキー操
作／基準データ表示回路１９５には「1000」が表
示される一方、第１基準データラツチ回路１９３
−１に「1000」が入力される。ところで、第１デ
イジタルコンパレータ１９４−１は、測定データ
ラツチ回路１９１からの「1050」の測定データ値
と、第１基準データラツチ回路１９３−１からの
「1000」の基準データ値とを比較し、これにより
測定データ値が1000以上であるとする第１比較信
号を第１の出力端子O11から出力する。即ち、こ
の比較信号はメモリから読出された測定データは
1000以上であるとして測定データを表示画素上の
１点において赤色に色付けする信号となる。次
に、測定データラツチ回路１９１に測定値が例え
ば「950」の測定データが入力されると、当然、
第１デイジタルコンパレータ１９４−１からは測
定データの方が1000以下であるとする第２比較信
号が第１出力端子O12から出力される。即ち、第
２比較信号は、メモリから読出された測定データ
は1000以下であるとして赤色に色分けしない信号
となる。一方、第２基準データラツチ回路１９３
−２に、「900」の基準データが第２色表示選択回
路１９２−２を介して、テンキー操作／基準デー
タ表示回路１９５から入力されているとき、上記
「950」の測定データと「900」の基準データが第
２デイジタルコンパレータ１９４−２で比較され
る。その結果、第２デイジタルコンパレータ１９
４−２の第１出力端子O21からは、メモリから読
出された測定データの値が「900」以上であると
する第３比較信号が出力される。したがつて、第
２色表示選択回路１９２−２を、例えば白色を選
択する回路であるとすれば、第３比較信号は、メ
モリから読出された測定データが「900」以上で
あるとして白色で色分けする信号となる。 First, the measurement data stored in the first memory 81 as the first display channel, for example, if the detection intensity has a value of "1050", is input to the measurement data latch circuit 191. On the other hand, suppose that the first color display selection circuit 192-1 is a circuit for color-coding measurement data for sample analysis into red, for example, and when the measurement value exceeds "1000", the When the pixel point corresponding to the measurement data is colored red, the first color display selection circuit 192-1
While operating the numerical keypad, the numerical keypad operation/reference data display circuit 195 operates the numerical keys such as "1", "0", "0", and "0". Then, "1000" is displayed on the numeric keypad operation/reference data display circuit 195, while the first reference data latch circuit 193
“1000” is input to -1. By the way, the first digital comparator 194-1 compares the measured data value of "1050" from the measured data latch circuit 191 and the reference data value of "1000" from the first reference data latch circuit 193-1. A first comparison signal indicating that the measured data value is 1000 or more is output from the first output terminal O11 . In other words, this comparison signal indicates that the measurement data read from the memory is
If the value is 1000 or more, it becomes a signal that colors the measurement data red at one point on the display pixel. Next, when measurement data with a measurement value of, for example, "950" is input to the measurement data latch circuit 191, naturally,
The first digital comparator 194-1 outputs a second comparison signal indicating that the measured data is less than 1000 from the first output terminal O12 . That is, the second comparison signal is a signal that is not colored red because the measurement data read out from the memory is less than 1000. On the other hand, the second reference data latch circuit 193
-2, when the reference data of "900" is input from the numeric keypad operation/reference data display circuit 195 via the second color display selection circuit 192-2, the measurement data of "950" and "900" are input. The reference data is compared by the second digital comparator 194-2. As a result, the second digital comparator 19
A third comparison signal indicating that the value of the measurement data read from the memory is "900" or more is output from the first output terminal O21 of 4-2. Therefore, if the second color display selection circuit 192-2 is a circuit that selects white, for example, the third comparison signal will be white if the measurement data read from the memory is "900" or more. It becomes a color-coded signal.
このようにして、測定データラツチ回路１９１
に、対応するメモリ内の所定のアドレスに格納さ
れている測定データを順次読出して入力させてい
くことにより第１〜第ｎデイジタルコンパレータ
１９４−１〜１９４−ｎからは、順次測定データ
に対応する比較信号が出力される。カラーモニタ
ー２１は、カラーエンコーダ２１１を有してい
る。カラーコントローラ１９の第１〜第ｎデイジ
タルコンパレータ１９４−１〜１９４−ｎからの
各比較信号をそのカラーエンコーダ２１１の入力
端子T′1〜T′nに選択的に入力させると、その比
較信号はカラーエンコーダ２１１内で色信号に変
換されるとともに、出力端子O′1〜O′3から、色信
号として出力される。カラーモニター２１では、
内部のカラーエンコーダ２１１からの色信号によ
り、メモリ内の各アドレスに個別的に対応する表
示画面上の個々の表示画素点に測定データが順次
色表示されていき、全体として見れば、その表示
チヤンネルにおける特製元素の検出強度に応じて
色分けされた二次元分布像がマツピング表示され
ることになる。 In this way, the measurement data latch circuit 191
The first to n-th digital comparators 194-1 to 194-n sequentially correspond to the measured data by sequentially reading out and inputting the measured data stored at a predetermined address in the corresponding memory. A comparison signal is output. The color monitor 21 has a color encoder 211. When each comparison signal from the first to n-th digital comparators 194-1 to 194-n of the color controller 19 is selectively inputted to the input terminals T' 1 to T'n of the color encoder 211, the comparison signal becomes The signals are converted into color signals within the color encoder 211 and output as color signals from output terminals O' 1 to O' 3 . On color monitor 21,
Based on the color signal from the internal color encoder 211, measurement data is sequentially displayed in color at individual display pixel points on the display screen that individually correspond to each address in the memory, and when viewed as a whole, the display channel A two-dimensional distribution image that is color-coded according to the detection intensity of the special element in the map will be displayed.
このようにして、この実施例では、試料ステー
ジ２を移動させ〔電子線１の方を移動させてもよ
い〕ながら試料から順次発生するＸ線を測定し、
その測定に基づくデータにより試料に含まれる元
素の二次元分布像を、その含有量に応じて色分け
してカラーモニタ２１に色表示することができ
る。 In this way, in this example, the X-rays sequentially generated from the sample are measured while the sample stage 2 is moved (the electron beam 1 may also be moved).
Based on the data based on the measurement, a two-dimensional distribution image of the elements contained in the sample can be displayed on the color monitor 21 in different colors according to their contents.
以上説明したように本発明によれば上述の構成
を有するので、試料分析用測定データをその分析
内容に個別的に対応する色にて表示画面上にマツ
ピング表示することができる一方、試料分析用測
定データを表示画面上に実時間表示することがで
き、したがつて視覚による分析結果の認識性に優
れ、かつ分析を非常に短時間で行うことができる
等の効果を発揮することができる。 As explained above, since the present invention has the above-mentioned configuration, measurement data for sample analysis can be mapped and displayed on the display screen in colors that individually correspond to the content of the analysis. Measured data can be displayed on the display screen in real time, and therefore the analysis results can be visually recognized easily and the analysis can be performed in a very short time.
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は
ビデオ用メモリとカラーコントローラと、カラー
モニタとの詳細図である。
２……試料ステージ、８……ビデオ用メモリ、
９……マイクロコンピユータ、１９……カラーコ
ントローラ、２１……カラーモニタ。
FIG. 1 is a block diagram of an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a detailed diagram of a video memory, a color controller, and a color monitor. 2...Sample stage, 8...Video memory,
9...Microcomputer, 19...Color controller, 21...Color monitor.
Claims (1)
強度をもつ測定データを各元素ごとに個別的に対
応して格納する複数のメモリを有するビデオ用メ
モリと、 前記試料が所定の分析箇所に位置するように試
料ステージを駆動する駆動回路に対して駆動指令
信号を与える一方、前記試料ステージの駆動に同
期した格納タイミングで前記複数のメモリに測定
データが格納されるよう当該複数のメモリに格納
指令信号を与えるプログラムが組み込まれるマイ
クロコンピユータと、 前記複数のメモリの内、指示された表示チヤン
ネルに対応するメモリから前記測定データを読出
し、読出した測定データを指示された表示条件に
したがつて色分けするカラーコントローラと、 このカラーコントローラで色分けされた測定デ
ータを当該色分けに対応する色信号に変換して前
記試料に含まれる元素の二次元分布像をマツピン
グ表示するカラーモニタと、 を含むことを特徴とする試料分析装置用カラーマ
ツピング装置。[Scope of Claims] 1. A video memory having a plurality of memories that store measurement data having a detection intensity corresponding to the content of each element contained in the sample, individually corresponding to each element, and the sample. A drive command signal is given to a drive circuit that drives the sample stage so that the sample stage is located at a predetermined analysis location, while measurement data is stored in the plurality of memories at a storage timing synchronized with the drive of the sample stage. a microcomputer incorporating a program that gives a storage command signal to the plurality of memories; and a microcomputer that reads the measurement data from a memory corresponding to a designated display channel among the plurality of memories, and displays the read measurement data in the designated display channel. a color controller that colors according to conditions; and a color monitor that converts measurement data color-coded by the color controller into color signals corresponding to the color-coded color and displays a two-dimensional distribution image of elements contained in the sample by mapping. A color mapping device for a sample analyzer, comprising: .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57074200A JPS58190716A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Color mapping device for sample analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57074200A JPS58190716A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Color mapping device for sample analyzer |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58190716A JPS58190716A (en) | 1983-11-07 |
| JPH0332725B2 true JPH0332725B2 (en) | 1991-05-14 |
Family
ID=13540299
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57074200A Granted JPS58190716A (en) | 1982-04-30 | 1982-04-30 | Color mapping device for sample analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58190716A (en) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2524256Y2 (en) * | 1986-12-29 | 1997-01-29 | 株式会社島津製作所 | Electron beam micro analyzer |
| JPS6445047A (en) * | 1987-08-14 | 1989-02-17 | Nippon Telegraph & Telephone | Measuring device for cathode luminesence |
| JPH0749415Y2 (en) * | 1988-12-07 | 1995-11-13 | セイコー電子工業株式会社 | Mapping analyzer device |
| GB201102614D0 (en) * | 2011-02-15 | 2011-03-30 | Oxford Instr Nanotechnology Tools Ltd | Material identification using multiple images |
-
1982
- 1982-04-30 JP JP57074200A patent/JPS58190716A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58190716A (en) | 1983-11-07 |
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