JPH0332725B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子線マイクロアナライザ等による
試料分析用測定データを使用して表示画面上に分
析結果をマツピング表示する装置に係り、詳しく
はマイクロコンピユータを使用して試料の分析結
果を表示する試料分析装置用カラーマツピング装
置に関する。

電子線マイクロアナライザは一般に、試料内に
いかなる元素がいかなる含有割合で存在するのか
等についての分析を行うために用いられるもの
で、あつて、その分析においては試料に電子線を
照射して試料内の元素の種類や元素の含有濃度に
対応する波長や強度を有するＸ線を発生させ、発
生したＸ線に基づき目的とする試料分析用測定デ
ータを得るものである。ところで、このよう電子
線マイクロアナライザにあつては、近年マイクロ
コンピユータを組込み、このマイクロコンピユー
タにおけるシステムプログラムにしたがつて、試
料を試料ステージにセツテイングする動作から試
料分析用測定データを用いて分析結果を表示画面
上にマツピング表示する動作までを行うようにし
たものがある。

ところが、従来では上記マイクロコピユータに
より、試料をのせた試料ステージを測定位置に移
動すること、試料を測定すること、測定による試
料分析用測定データをメモリに格納すること、表
示画面上に分析結果をカラーでマツピング表示す
るために、前記メモリに格納された測定データを
カラー表示用のコードデータに変換するデータ加
工等の一連の分析のための動作を時間的に直列的
に行うようにしている。このため、試料分析のた
めの測定を開始し、最終的に表示画面上に目的と
する試料分析結果をマツピング表示するのに非常
に長時間を要している。

一方、従来では上記試料分析用測定データによ
る分析結果を白黒でマツピング表示しており、分
析結果を即座に視覚で判断することが比較的困難
である。しかるに、視覚性を向上させるため分析
内容に応じて分析結果を赤や緑や黄等で色分けし
て表示させるためには上記マイクロコンピユータ
に余分なプログラムを組込まなければならなくな
り、したがつて分析開始から分析結果の表示まで
の時間が更に長くなるという大きな問題点があ
る。

本発明の目的は、上述に鑑み、試料分析用測定
データをその分析内容に個別的に対応して色付け
して分析結果を表示画面上にマツピング表示する
ことができる一方、試料分析用測定データを順
次、カラーモニターに送つて分析結果を表示画面
上に実時間で表示することができるようにするこ
とにより、視覚性に優れ、かつ極めて短時間で分
析結果を表示することができる試料分析装置用マ
ツピング装置を提供することである。

本発明の試料分析装置用カラーマツピング装置
は、上記目的を達成するため、試料に含まれる各
元素の含有量に応じた検出強度をもつた測定デー
タを各元素ごとに個別的に対応して格納する複数
のメモリを有するビデオ用メモリと、試料が所定
の分析箇所に位置するように試料ステージを駆動
する駆動回路に対して駆動指令信号を与える一
方、前記試料ステージの駆動に同期した格納タイ
ミングで前記複数のメモリに測定データが格納さ
れるよう当該複数のメモリに格納指令信号を与え
るプログラムが組み込まれるマイクロコンピユー
タと、前記複数のメモリの内、指示された表示チ
ヤンネルに対応するメモリから測定データを読出
し、読出した測定データを指示された表示条件に
したがつて色分けするカラーコントローラと、こ
のカラーコントローラで色分けされた測定データ
を当該色分けに対応する色信号に変換して前記試
料に含まれる元素の二次元分布像をマツピング表
示するカラーモニタとを備えている。

以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本発明の一実施例の構成図である。こ
の実施例の試料分析装置としての電子線マイクロ
アナライザからの電子線１により試料ステージ２
上の試料が照射される。この照射により、試料か
らは、試料に含まれている元素の種類に対応した
波長を有しかつ元素の濃度に比例した強さを有す
るＸ線３が発生し、そのＸ線(3)は分光結晶４で反
射され、更に図示しない検出器やパルス波高分析
回路を介して、周波数をカウントするスケーラ５
に入力される。そこで、上記のごとき分光結晶
を、試料表面から元素の種類に対応して散乱する
Ｘ線の各散乱位置に複数個配置するか、あるいは
分光結晶を各散乱位置に対応して移動させること
により複数種類の元素についての分析ができる。
試料ステージ２は、２次元直交座標系に関しＸ方
向についてはＸ方向試料ステージ駆動回路６によ
り、Ｙ方向についてはＹ方向試料ステージ駆動回
路７により駆動される。この駆動により、試料ス
テージ２におかれた試料は所定の分析のための測
定位置にセツトされる。

ビデオ用メモリ８は第２図に示すように複数の
メモリ例えば第１〜第５メモリ８１〜８５を有し
ている。これらの各メモリ８１〜８５には、スケ
ーラ５で得られた試料に含まれる各元素の含有量
に応じた検出強度をもつ測定データが各元素ごと
に個別的に対応して格納される。マイクロコンピ
ユータ９には、専用操作パネル１０に設けられた
各種操作部から操作信号線１１を介して操作信号
が入力される。マイクロコンピユータ９はその操
作信号に応答して試料ステージ駆動回路６，７が
所定の測定位置（或る一定の測定領域）に試料ス
テージを駆動するような当該試料ステージ駆動回
路６，７に指令信号線１２，１３を介して駆動指
令信号を与える。試料ステージ駆動回路６，７は
前記駆動指令信号に応答してその駆動気候１４，
１５により試料ステージ２を所定の測定位置に移
動させる。マイクロコンピユータ９はまた、スケ
ーラ５の動作を制御する制御信号を制御信号線１
６を介して当該スケーラ５に与える。マイクロコ
ンピユータ９はさらにまた、ビデオ用メモリ８内
の複数のメモリ８１〜８５に各元素ごとに個別的
に対応して試料分析用測定データが第１データ線
１７を介して格納されるよう、当該複数のメモリ
８１〜８５、指令信号線１８を介して格納指令信
号を与える。このように、マイクロコンピユータ
９は、専用操作パネル１０の操作部からの操作信
号により上述の動作を行うプログラムを有してい
る。

カラーコントローラ１９は、ビデオ用メモリ８
内の複数のメモリ８１〜８５の内、指示された表
示チヤンネル（全部で例えば５チヤンネル）に対
応するメモリから試料分析用測定データを第２デ
ータ線２０を介して読出し、読出した試料分析用
測定データを、指示された表示条件にしたがつて
色分けする。カラーモニタ２１は、第３データ線
２２を介して入力されてくるカラーコントローラ
１９からの試料分析用測定データを当該カラーコ
ントローラ１９での色分けに対応する色信号に変
換することにより分析結果を表示する。

次に、ビデオ用メモリ８とカラーコントローラ
１９とカラーモニタ２１とによる試料分析用測定
データの色分け動作とそれに対応した分析結果の
色表示を、第２図を参照しながら説明する。

第２図は、ビデオ用メモリ８とカラーコントロ
ーラ１９とカラーモニタ２１の内部回路の詳細図
である。第２図において、ビデオ用メモリ８内の
第１〜第５メモリ８１〜８５の各々のデータ入力
端子T₁〜T₅に試料ステージ２の駆動に同期した
格納タイミングで試料分析用測定データが入力さ
れる。一方、マイクロコンピユータ９からの格納
指令信号が、第１〜第５メモリ８１〜８５の各々
の指令信号入力端子C₁〜C₅に入力される。これ
により、各メモリ８１〜８５については、格納指
令信号が入力されたメモリのみがアクテイブとな
り、当該メモリ上の試料の分析箇所に対応する記
憶番地に検出元素の強度値をもつ測定データが格
納される。したがつて、第１〜第５メモリ８１〜
８５に各々、第１〜第５表示チヤンネルに対応し
て試料分析用測定データが入力されるようにすれ
ば、例えば第１メモリ８１にはスズSnについて
の測定データを第１表示チヤンネルとして格納さ
れることができ、また第２メモリ８２にはマンガ
ンMnについての測定データを第２表示チヤンネ
ルとして格納させることができる。

カラーコントローラ１９は、ビデオ用メモリ８
からの試料分析用測定データをラツチする測定デ
ータラツチ回路１９１を有している。この測定デ
ータクラツチ回路１９１には、図示しない表示チ
ヤンネル指示スイツチにより指示された表示チヤ
ンネルに対応する試料分析用測定データを格納し
ているメモリからの当該試料分析用測定データが
入力される。

カラーコントローラ１９はまた、試料分析用測
定データを各元素の検出強度に対応して色分けす
るため第１色表示選択回路１９２−１、第２色表
示選択回路１９２−２、…、第ｎ色表示選択回路
１９２−ｎと、第１基準データラツチ回路１９３
−１、第２基準データラツチ回路１９３−２、
…、第ｎ基準データラツチ回路１９３−ｎと、第
１デイジタルコンパレータ１９４−１、第２デイ
ジタルコンパレータ１９４−２、…、第ｎデイジ
タルコンパレータ１９４−ｎと、テンキー操作／
基準データ表示回路１９５とを有している。これ
らの回路において、第１色表示選択回路１９２−
１と、第１基準データラツチ回路１９３−１と、
第１デイジタルコンパレータ１９４−１と、分析
データラツチ回路１９１と、テンキー操作／基準
データ表示回路１９５との組合わせを中心に説明
する。なお、各測定データはカラーモニタの表示
画面上の各表示画素点（例えば100点×100点）に
表示される表示単位のデータである。

先ず、測定データラツチ回路１９１には例えば
第１表示チヤンネルとして第１メモリ８１に格納
されている測定データとしては例えば検出強度が
「1050」の値をもつならば、そのデータが入力さ
れる。一方、第１色表示選択回路１９２−１が例
えば試料分析用測定データを例えば赤色に色分け
するための回路であるとし、その測定値が
「1000」を越えたときにカラーモニタの表示画面
上のその測定データに対応する画素点を赤色で色
付けしたときは、第１色表示選択回路１９２−１
を動作させる一方、ネンキー操作／基準データ表
示回路１９５で「１」「０」「０」「０」のように
テンキーを操作する。そうすると、テンキー操
作／基準データ表示回路１９５には「1000」が表
示される一方、第１基準データラツチ回路１９３
−１に「1000」が入力される。ところで、第１デ
イジタルコンパレータ１９４−１は、測定データ
ラツチ回路１９１からの「1050」の測定データ値
と、第１基準データラツチ回路１９３−１からの
「1000」の基準データ値とを比較し、これにより
測定データ値が1000以上であるとする第１比較信
号を第１の出力端子O₁₁から出力する。即ち、こ
の比較信号はメモリから読出された測定データは
1000以上であるとして測定データを表示画素上の
１点において赤色に色付けする信号となる。次
に、測定データラツチ回路１９１に測定値が例え
ば「950」の測定データが入力されると、当然、
第１デイジタルコンパレータ１９４−１からは測
定データの方が1000以下であるとする第２比較信
号が第１出力端子O₁₂から出力される。即ち、第
２比較信号は、メモリから読出された測定データ
は1000以下であるとして赤色に色分けしない信号
となる。一方、第２基準データラツチ回路１９３
−２に、「900」の基準データが第２色表示選択回
路１９２−２を介して、テンキー操作／基準デー
タ表示回路１９５から入力されているとき、上記
「950」の測定データと「900」の基準データが第
２デイジタルコンパレータ１９４−２で比較され
る。その結果、第２デイジタルコンパレータ１９
４−２の第１出力端子O₂₁からは、メモリから読
出された測定データの値が「900」以上であると
する第３比較信号が出力される。したがつて、第
２色表示選択回路１９２−２を、例えば白色を選
択する回路であるとすれば、第３比較信号は、メ
モリから読出された測定データが「900」以上で
あるとして白色で色分けする信号となる。

このようにして、測定データラツチ回路１９１
に、対応するメモリ内の所定のアドレスに格納さ
れている測定データを順次読出して入力させてい
くことにより第１〜第ｎデイジタルコンパレータ
１９４−１〜１９４−ｎからは、順次測定データ
に対応する比較信号が出力される。カラーモニタ
ー２１は、カラーエンコーダ２１１を有してい
る。カラーコントローラ１９の第１〜第ｎデイジ
タルコンパレータ１９４−１〜１９４−ｎからの
各比較信号をそのカラーエンコーダ２１１の入力
端子T′₁〜T′nに選択的に入力させると、その比
較信号はカラーエンコーダ２１１内で色信号に変
換されるとともに、出力端子O′₁〜O′₃から、色信
号として出力される。カラーモニター２１では、
内部のカラーエンコーダ２１１からの色信号によ
り、メモリ内の各アドレスに個別的に対応する表
示画面上の個々の表示画素点に測定データが順次
色表示されていき、全体として見れば、その表示
チヤンネルにおける特製元素の検出強度に応じて
色分けされた二次元分布像がマツピング表示され
ることになる。

このようにして、この実施例では、試料ステー
ジ２を移動させ〔電子線１の方を移動させてもよ
い〕ながら試料から順次発生するＸ線を測定し、
その測定に基づくデータにより試料に含まれる元
素の二次元分布像を、その含有量に応じて色分け
してカラーモニタ２１に色表示することができ
る。

以上説明したように本発明によれば上述の構成
を有するので、試料分析用測定データをその分析
内容に個別的に対応する色にて表示画面上にマツ
ピング表示することができる一方、試料分析用測
定データを表示画面上に実時間表示することがで
き、したがつて視覚による分析結果の認識性に優
れ、かつ分析を非常に短時間で行うことができる
等の効果を発揮することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は
ビデオ用メモリとカラーコントローラと、カラー
モニタとの詳細図である。 ２……試料ステージ、８……ビデオ用メモリ、
９……マイクロコンピユータ、１９……カラーコ
ントローラ、２１……カラーモニタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 試料に含まれる各元素の含有量に応じた検出
   強度をもつ測定データを各元素ごとに個別的に対
   応して格納する複数のメモリを有するビデオ用メ
   モリと、 前記試料が所定の分析箇所に位置するように試
   料ステージを駆動する駆動回路に対して駆動指令
   信号を与える一方、前記試料ステージの駆動に同
   期した格納タイミングで前記複数のメモリに測定
   データが格納されるよう当該複数のメモリに格納
   指令信号を与えるプログラムが組み込まれるマイ
   クロコンピユータと、 前記複数のメモリの内、指示された表示チヤン
   ネルに対応するメモリから前記測定データを読出
   し、読出した測定データを指示された表示条件に
   したがつて色分けするカラーコントローラと、 このカラーコントローラで色分けされた測定デ
   ータを当該色分けに対応する色信号に変換して前
   記試料に含まれる元素の二次元分布像をマツピン
   グ表示するカラーモニタと、 を含むことを特徴とする試料分析装置用カラーマ
   ツピング装置。