JPS63259949A - Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 - Google Patents
Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法Info
- Publication number
- JPS63259949A JPS63259949A JP62094715A JP9471587A JPS63259949A JP S63259949 A JPS63259949 A JP S63259949A JP 62094715 A JP62094715 A JP 62094715A JP 9471587 A JP9471587 A JP 9471587A JP S63259949 A JPS63259949 A JP S63259949A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intensity value
- characteristic
- average
- ray intensity
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は試料表面の各画素における各元素の特性Ｘ線強
度値データを取得し、試料を分析する試料分析装置に関
する。
度値データを取得し、試料を分析する試料分析装置に関
する。
［従来の技術］
試料表面を多数の画素に分割し、これら画素に電子線を
順次照射し、各画素（Ｘ、 ’ｌ／）から発生した各元
素１，２、…、ｎ（ｎ≧２）の特性Ｘ線を検出すること
が行なわれている。このような装置においては、これら
検出した各元素１．２．・・・。
順次照射し、各画素（Ｘ、 ’ｌ／）から発生した各元
素１，２、…、ｎ（ｎ≧２）の特性Ｘ線を検出すること
が行なわれている。このような装置においては、これら
検出した各元素１．２．・・・。
ｎ（ｎ≧２）に関する特性Ｘ線強度値データを一旦記憶
装置に記憶した後、操作者の指示に基づいて任意の元素
ｉの特性Ｘ線強度値データを読み出し、表示装置上に展
開するようにしている。
装置に記憶した後、操作者の指示に基づいて任意の元素
ｉの特性Ｘ線強度値データを読み出し、表示装置上に展
開するようにしている。
［発明が解決しようとする問題点］
このような装置によって、ある元素ｉの特性Ｘ線強度値
をｎ値化してカラーマツピング像として観察している場
合には、観察画面中の任意の位置で任意の大きさの領域
における任意の元素ｊの平均重量濃度を知ることができ
れば、この部分についての知見を深める上で極めて有益
である。
をｎ値化してカラーマツピング像として観察している場
合には、観察画面中の任意の位置で任意の大きさの領域
における任意の元素ｊの平均重量濃度を知ることができ
れば、この部分についての知見を深める上で極めて有益
である。
本発明はこのような点に鑑みてなされたもので、任意に
選ばれたある元素ｉの特性Ｘ線強度分布像を観察して、
その分布像中の任意の位置で任意の大きさの領域を指定
し、この領域に存在する任意の元素の平均１ｆｆ［１度
を求めて表示することのできる試料分析装置を提供する
ことを目的としている。
選ばれたある元素ｉの特性Ｘ線強度分布像を観察して、
その分布像中の任意の位置で任意の大きさの領域を指定
し、この領域に存在する任意の元素の平均１ｆｆ［１度
を求めて表示することのできる試料分析装置を提供する
ことを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
そのため本発明は、試料の二次元平面上の各画素（ｘ、
ｙ）に関する各元素１，２、…、ｎ（ｎ≧２〉の特性Ｘ
線の強度値データＩ−１（Ｘ、 Ｖ）。
ｙ）に関する各元素１，２、…、ｎ（ｎ≧２〉の特性Ｘ
線の強度値データＩ−１（Ｘ、 Ｖ）。
１２ （ｘ、ｙ）、−、Ｉｎ ’（ｘ、Ｙ）を取得す
るための分析手段と、該分析手段より得られたデータを
記憶するための手段と、該記憶装置に記憶された前記デ
ータの中から任意の元素ｉ（ｉは１゜２、・・・、ｎの
いずれか）の特性Ｘ線強度値データ１ｉ （ｘ、ｙ）
を読み出しこのデータ値に応じたカラーで元素ｉの分布
像を表示するための手段と、該表示装置の画面における
任意の位置で任意の大きさの領ＶｉＳを指示するための
手段と、前記各元素のうちの任意の元素ｊ（ｊは１，２
、…、ｎのいずれか）について該指示された領域Ｓに含
まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求める
ための手段と、請求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ
）ｓを元素ｊの重量濃度値Ｗ（ｊ）ｓに変換するための
手段と、請求められた重ｆ１１度値を表示するための手
段を備えたことを特徴としている。
るための分析手段と、該分析手段より得られたデータを
記憶するための手段と、該記憶装置に記憶された前記デ
ータの中から任意の元素ｉ（ｉは１゜２、・・・、ｎの
いずれか）の特性Ｘ線強度値データ１ｉ （ｘ、ｙ）
を読み出しこのデータ値に応じたカラーで元素ｉの分布
像を表示するための手段と、該表示装置の画面における
任意の位置で任意の大きさの領ＶｉＳを指示するための
手段と、前記各元素のうちの任意の元素ｊ（ｊは１，２
、…、ｎのいずれか）について該指示された領域Ｓに含
まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求める
ための手段と、請求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ
）ｓを元素ｊの重量濃度値Ｗ（ｊ）ｓに変換するための
手段と、請求められた重ｆ１１度値を表示するための手
段を備えたことを特徴としている。
［実施例］
以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。
第１図は本発明の一実施例の要部を示すための図、第２
図は本発明の一実施例の全体を示ずシステム構成図であ
る。
図は本発明の一実施例の全体を示ずシステム構成図であ
る。
第２図において、１はＸ線マイクロアナライザ（以下Ｘ
ＭＡと略記する）であり、２は試料、ＥＢは電子線、Ｒ
１，Ｒ２，Ｒ３は分光結晶、ＤＩ。
ＭＡと略記する）であり、２は試料、ＥＢは電子線、Ｒ
１，Ｒ２，Ｒ３は分光結晶、ＤＩ。
０２、Ｄ３はＸ線検出器、ＴＩ 、 Ｔ２ 、 Ｔ３
Ｇ；ＥＸ線計数器、３はＣＰＵ、４は記憶装置、５はカ
ラーグラフィックディスプレイ、６はデジタイザあるい
はマウス等のポインティング装置、７はキーボード、８
はパスラインである。前記分光結晶Ｒ１、Ｒ２，Ｒ３は
各々元素１，２．３（７）特性Ｘ線を選択できるように
設定されている。又、前記ボインティング装置６は操作
者の指示に従って、カラーグラフィックディスプレイ５
の画面中の任意の位置、大きさ及び形状を有する領域を
指示するためのものである。
Ｇ；ＥＸ線計数器、３はＣＰＵ、４は記憶装置、５はカ
ラーグラフィックディスプレイ、６はデジタイザあるい
はマウス等のポインティング装置、７はキーボード、８
はパスラインである。前記分光結晶Ｒ１、Ｒ２，Ｒ３は
各々元素１，２．３（７）特性Ｘ線を選択できるように
設定されている。又、前記ボインティング装置６は操作
者の指示に従って、カラーグラフィックディスプレイ５
の画面中の任意の位置、大きさ及び形状を有する領域を
指示するためのものである。
第１図において、９はＸ線強度値データ記憶部、１０は
書き込み読み出し制御部、１１は領域指定部、１２は平
均強度値計算部、１３は濃度値への変換部、１４は表示
制御部、１５はレベル分は処理部、１６は色分は処理部
、１７はマツピング元素指定部、１８は平均８１度値算
出元素指定部である。前記記憶部＠４には第１図に示す
ように、Ｘ線強度値データ記憶部９が設けられており、
このＸ線強度値データ記憶部には更に各元素１，２゜３
に対応して１両面画像記憶領域ＡＩ 、 Ａ２ 、 Ａ
３設けられている。各１画面画像記憶領域は前記電子１
ｉ１ＥＢによる試料走査領域中の各画素（Ｘ。
書き込み読み出し制御部、１１は領域指定部、１２は平
均強度値計算部、１３は濃度値への変換部、１４は表示
制御部、１５はレベル分は処理部、１６は色分は処理部
、１７はマツピング元素指定部、１８は平均８１度値算
出元素指定部である。前記記憶部＠４には第１図に示す
ように、Ｘ線強度値データ記憶部９が設けられており、
このＸ線強度値データ記憶部には更に各元素１，２゜３
に対応して１両面画像記憶領域ＡＩ 、 Ａ２ 、 Ａ
３設けられている。各１画面画像記憶領域は前記電子１
ｉ１ＥＢによる試料走査領域中の各画素（Ｘ。
ｙ）の各々について所定深さの記憶ｆＡ域を有している
。
。
このような構成において、電子線ＥＢを試料に照射した
状態において、試料２の水平移動機構を稼働させて試料
２を二次元的に移動させる。その結果、試料２の客画素
（ｘ、ｙ）に電子線ＥＢが順次照射される。この電子線
ＥＢの照射によって試料２の各画素（ｘ、ｙ）から発生
した特性Ｘ線のうち、元素１．２．３の特性Ｘ線は各々
前記分光結晶Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を介してＸ線検出器ＤＩ
。
状態において、試料２の水平移動機構を稼働させて試料
２を二次元的に移動させる。その結果、試料２の客画素
（ｘ、ｙ）に電子線ＥＢが順次照射される。この電子線
ＥＢの照射によって試料２の各画素（ｘ、ｙ）から発生
した特性Ｘ線のうち、元素１．２．３の特性Ｘ線は各々
前記分光結晶Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３を介してＸ線検出器ＤＩ
。
Ｄ２ 、Ｄ３によって検出される。従って、Ｘ線計数器
ＴＩ 、Ｔ２ 、Ｔ３より、各画素（ｘ、ｙ）における
各元素１，２．３の特性Ｘ線の計数値信号がパスライン
８を介して記憶装置４に送られる。
ＴＩ 、Ｔ２ 、Ｔ３より、各画素（ｘ、ｙ）における
各元素１，２．３の特性Ｘ線の計数値信号がパスライン
８を介して記憶装置４に送られる。
記憶装置４に送られた各画素（ｘ、ｙ）の元素１に関す
る特性Ｘ線強度値データは、前記ｘｉ強度値データ記憶
部９の画像記憶領域Ａ１の各画素（ｘ、ｙ）に対応した
記憶領域に記憶される。同様に元素２の特性Ｘ線強度値
データは画像記憶領域Ａ２に、又、元素３の特性Ｘ線強
度値データは画像記憶領域Ａ３に記憶される。そこで、
操作者がキーボード７により、元素１の特性Ｘｔａ強度
分布のカラーマツピング表示を指示すると、マツピング
元素指定部１７は書き込み読み出し制御部１０に元素１
の選択を指示する信号を送るため、書き込み読み出し制
御部１０はＸａ強度値データ記憶部９の画像記憶領域の
Ａ１に記憶されている全データを順次読み出し、レベル
分は処理部１５に送る。レベル分は処理部１５は送られ
てきたＸ線強度値データを複数の基準レベルと比較する
ことにより吊子化する。この基準レベルの個数は任意に
選択でき、又基準レベルの値も任意に設定できるように
なっている。この実施例に場合、４個の基準レベルを予
め設定したとすると、レベル分は処理部１５は送られて
来たＸ線強度値データをこれら基準レベルと比較するこ
とにより各基準レベルの内外に分類して５値化し、色分
は処理部１６に送る。色分は処理部１６においては、レ
ベル分は処理部１５より送られて来た５値化データに階
層値に応じた色相を割り当て、各々を割り当てられた色
相で表示するｌＣめの信号を表示制御部１４に送る。そ
の結果、カラーグラフィックディスプレイ５には、第３
図（ａ）に示すように元素１の特性Ｘ線強度分布を示す
カラーマツピング像が表示される。同様に操作者が元素
２の特性Ｘ線強度分布像の表示を指示すると、画像記憶
領域のＡ２に記憶されているデータに基づいて第３図（
ｂ）に示すような像がディスプレイ５に表示され、更に
操作者が元Ｔ１３の特性Ｘ線強度分布の表示を指示する
と、第３図（Ｃ）に示すような像がディスプレイ５に表
示される。このようなＸ線強度分布像のうち、例えば元
素３の特性Ｘ線強度分布像を観察している最中に、興味
のある領域が見つかり、この領域における任意の元素の
平均存在濃度値を知ろうとする際には、操作者はボイン
ティング装置６を操作し、領域指定部１１の制御に基づ
いてこの領域Ｓを第３図（ｄ）に示すように輝線Ｆで囲
む。このようにして領域の指定が終了した後、キーボー
ド７により指定した領域における例えば元素３の平均重
量濃度の表示を指示すると、平均濃度算出元素指定部１
８より画像記憶領域Ａ３のデータの選択を指示する信号
が田き込み読み出し制御部１０に送られる。このとき、
領域指定部１１からは指示された領域を表わす信号が書
き込み読み出し制御部ｉ＊１０に送られる。そのため、
書き込み読み出し制御部１０は、画像記憶領域Ａ３に記
憶されているデータのうち、前記領域Ｓに含まれる各画
素（Ｘ、ｌのＸ線強度値データのみを読み出して平均強
度値計算部１２に送る。平均強度値計算部１２において
は、送られてきたデータから以下の式で与えられる指示
領域Ｓに関するこのようにして領域Ｓに関する元素３の
平均強度値Ｍ（３）ｓが求められると、Ｍ（３）３を表
わすデータは濃度値への変換部１３に送られる。
る特性Ｘ線強度値データは、前記ｘｉ強度値データ記憶
部９の画像記憶領域Ａ１の各画素（ｘ、ｙ）に対応した
記憶領域に記憶される。同様に元素２の特性Ｘ線強度値
データは画像記憶領域Ａ２に、又、元素３の特性Ｘ線強
度値データは画像記憶領域Ａ３に記憶される。そこで、
操作者がキーボード７により、元素１の特性Ｘｔａ強度
分布のカラーマツピング表示を指示すると、マツピング
元素指定部１７は書き込み読み出し制御部１０に元素１
の選択を指示する信号を送るため、書き込み読み出し制
御部１０はＸａ強度値データ記憶部９の画像記憶領域の
Ａ１に記憶されている全データを順次読み出し、レベル
分は処理部１５に送る。レベル分は処理部１５は送られ
てきたＸ線強度値データを複数の基準レベルと比較する
ことにより吊子化する。この基準レベルの個数は任意に
選択でき、又基準レベルの値も任意に設定できるように
なっている。この実施例に場合、４個の基準レベルを予
め設定したとすると、レベル分は処理部１５は送られて
来たＸ線強度値データをこれら基準レベルと比較するこ
とにより各基準レベルの内外に分類して５値化し、色分
は処理部１６に送る。色分は処理部１６においては、レ
ベル分は処理部１５より送られて来た５値化データに階
層値に応じた色相を割り当て、各々を割り当てられた色
相で表示するｌＣめの信号を表示制御部１４に送る。そ
の結果、カラーグラフィックディスプレイ５には、第３
図（ａ）に示すように元素１の特性Ｘ線強度分布を示す
カラーマツピング像が表示される。同様に操作者が元素
２の特性Ｘ線強度分布像の表示を指示すると、画像記憶
領域のＡ２に記憶されているデータに基づいて第３図（
ｂ）に示すような像がディスプレイ５に表示され、更に
操作者が元Ｔ１３の特性Ｘ線強度分布の表示を指示する
と、第３図（Ｃ）に示すような像がディスプレイ５に表
示される。このようなＸ線強度分布像のうち、例えば元
素３の特性Ｘ線強度分布像を観察している最中に、興味
のある領域が見つかり、この領域における任意の元素の
平均存在濃度値を知ろうとする際には、操作者はボイン
ティング装置６を操作し、領域指定部１１の制御に基づ
いてこの領域Ｓを第３図（ｄ）に示すように輝線Ｆで囲
む。このようにして領域の指定が終了した後、キーボー
ド７により指定した領域における例えば元素３の平均重
量濃度の表示を指示すると、平均濃度算出元素指定部１
８より画像記憶領域Ａ３のデータの選択を指示する信号
が田き込み読み出し制御部１０に送られる。このとき、
領域指定部１１からは指示された領域を表わす信号が書
き込み読み出し制御部ｉ＊１０に送られる。そのため、
書き込み読み出し制御部１０は、画像記憶領域Ａ３に記
憶されているデータのうち、前記領域Ｓに含まれる各画
素（Ｘ、ｌのＸ線強度値データのみを読み出して平均強
度値計算部１２に送る。平均強度値計算部１２において
は、送られてきたデータから以下の式で与えられる指示
領域Ｓに関するこのようにして領域Ｓに関する元素３の
平均強度値Ｍ（３）ｓが求められると、Ｍ（３）３を表
わすデータは濃度値への変換部１３に送られる。
変換部１３は送られたＭ（３）ｓを表わすデータを横置
線法を用いて元素３の濃度値データＷ（３）ｓに変換す
る。変換部１３よりの８１度値データＷ（３）ｓは表示
制御部１４に送られ、表示制御部１４は濃度値データＷ
（３）ｓをディスプレイ５の表示画面の下部等に文字表
示したり、プリンタ等に打ち出す。
線法を用いて元素３の濃度値データＷ（３）ｓに変換す
る。変換部１３よりの８１度値データＷ（３）ｓは表示
制御部１４に送られ、表示制御部１４は濃度値データＷ
（３）ｓをディスプレイ５の表示画面の下部等に文字表
示したり、プリンタ等に打ち出す。
そこで、次に操作者が元素１に関する領域Ｓの平均濃度
値を知ろうとする際には、キーボード７により元素１を
指示すれば、平均濃度算出元素指定部１８より元素１を
指示する信号が新たに書き込み読み出し制御部１０に送
られるため、書き込み読み出し制御部は画像記４ＩＡ領
域Ａ１の領域Ｓに含まれる画素の特性Ｘ線強度値データ
のみを読み出して平均強度値計算部１２に送る。そのた
め、この場合には、ディスプレイ５上に領域Ｓに存在す
る元素１の平均濃度値を表示することができる。
値を知ろうとする際には、キーボード７により元素１を
指示すれば、平均濃度算出元素指定部１８より元素１を
指示する信号が新たに書き込み読み出し制御部１０に送
られるため、書き込み読み出し制御部は画像記４ＩＡ領
域Ａ１の領域Ｓに含まれる画素の特性Ｘ線強度値データ
のみを読み出して平均強度値計算部１２に送る。そのた
め、この場合には、ディスプレイ５上に領域Ｓに存在す
る元素１の平均濃度値を表示することができる。
このように上述した装置によれば、任意の元素の特性Ｘ
、線強度分布像を観察し、この像を観察することにより
興味のある領域を発見したら、この領域をボインティン
グ装置により指示すると、平均濃度値を算出しようとす
る元素の特性Ｘ線強度値データのうち指示領域のデータ
のみが読み出されてその平均強度値が求められ、この平
均強度値が重量濃度値に変換されるため、簡単でない濃
度値への変換を１回行なうだけで指示した元素の指示し
た領域における平均濃度値を求めて表示することができ
る。
、線強度分布像を観察し、この像を観察することにより
興味のある領域を発見したら、この領域をボインティン
グ装置により指示すると、平均濃度値を算出しようとす
る元素の特性Ｘ線強度値データのうち指示領域のデータ
のみが読み出されてその平均強度値が求められ、この平
均強度値が重量濃度値に変換されるため、簡単でない濃
度値への変換を１回行なうだけで指示した元素の指示し
た領域における平均濃度値を求めて表示することができ
る。
上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本発明は
変形して実施することができる。
変形して実施することができる。
例えば上述した実施例においては、ボインティング装置
により任意の位置及び大きさを有するだけでなく、任意
の形状を有する領域を指示するようにしたが、ディスプ
レイ５の画面上に第４図においてに１ 、に２ 、に３
で示すように大きさがステップ状に変えられ、且つ位置
が任意に変えられる矩形を表示し、この矩形の位置及び
大きさを指示することにより前記領域を指定するように
しても良い。
により任意の位置及び大きさを有するだけでなく、任意
の形状を有する領域を指示するようにしたが、ディスプ
レイ５の画面上に第４図においてに１ 、に２ 、に３
で示すように大きさがステップ状に変えられ、且つ位置
が任意に変えられる矩形を表示し、この矩形の位置及び
大きさを指示することにより前記領域を指定するように
しても良い。
又、上・述した実施例においては、説明を簡単にづるた
め、３種類の元素の特性Ｘ線を検出する場合を示したが
、３種類に限らず、より多くの元素の特性Ｘ線を検出し
て記憶装置に記憶させるようにしても良い。
め、３種類の元素の特性Ｘ線を検出する場合を示したが
、３種類に限らず、より多くの元素の特性Ｘ線を検出し
て記憶装置に記憶させるようにしても良い。
又、上述した実施例においては、平均強度値計算部より
のデータを濃度値に変換するため、横溝線法を利用した
が、定量分析法のＺＡＦ法やＢ＆Ａ法等を利用して変換
するようにしても良い。
のデータを濃度値に変換するため、横溝線法を利用した
が、定量分析法のＺＡＦ法やＢ＆Ａ法等を利用して変換
するようにしても良い。
又、非分散型Ｘ線分析器を用いて、各元素の特性Ｘ線強
度値データを取得する装置にも本発明は同様に適用でき
る。
度値データを取得する装置にも本発明は同様に適用でき
る。
更に又、上述した実施例においては、平均濃度値を算出
する元素を指示し、指示した元素の平均濃度値のみを表
示するようにしたが、１画面画像記憶領域Ａ１．Ａ２
、Ａ３・・・に記憶された元素の全てについて前記領域
Ｓにおける平均濃度値を求めて表示するようにしても良
い。
する元素を指示し、指示した元素の平均濃度値のみを表
示するようにしたが、１画面画像記憶領域Ａ１．Ａ２
、Ａ３・・・に記憶された元素の全てについて前記領域
Ｓにおける平均濃度値を求めて表示するようにしても良
い。
［発明の効果］
上述した説明から明らかなように本発明においては、任
意の元素の特性Ｘ線強度分布像中に任意の位置で任意の
大きさの領域Ｓを指示し、任意の元素ｊについて該指示
された領域Ｓに含まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ
（ｊ）ｓを求め、求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ
）ｓを元素ｊの＠最濃度値Ｗ（ｊ）ｓに変換して、この
重量濃度値を表示するようにしたため、各画素のＸ線強
度値を重ｆｆ１ｌ１１度値に変換しなくて済むため、簡
単に指定された領域Ｓにおける任意の元素の重ｆｆ１ｍ
度を求めて表示することができる。
意の元素の特性Ｘ線強度分布像中に任意の位置で任意の
大きさの領域Ｓを指示し、任意の元素ｊについて該指示
された領域Ｓに含まれる各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ
（ｊ）ｓを求め、求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ
）ｓを元素ｊの＠最濃度値Ｗ（ｊ）ｓに変換して、この
重量濃度値を表示するようにしたため、各画素のＸ線強
度値を重ｆｆ１ｌ１１度値に変換しなくて済むため、簡
単に指定された領域Ｓにおける任意の元素の重ｆｆ１ｍ
度を求めて表示することができる。
第１図は本発明の一実施例装置の腰部を示すための図、
第２図は本発明の一実施例のシステム構成を示すための
図、第３図はカラーグラフィックディスプレイに表示さ
れた画面中における任意領域の指示を説明するための図
、第４図は本発明の他の一実施例を示すための図である
。 １：Ｘ線マイクロアナライザ ２：試料 ＥＢ：電子線 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３：分光結晶 ＤＩ 、Ｄ２．Ｄ３ ：Ｘ線検出器 ＴＩ、Ｔ２．Ｔ３：Ｘ線計数器 ３：ＣＰＬＪ ４：記憶装置５：カラーグ
ラフィックディスプレイ ６：ボインティング装置 ７：キーボード ８：バスライン９：ＸＩ強度値
データ記憶部 １０：Ｉき込み読み出しυ制御部 １１：領域指定部 １２：平均強度値計算部 １３：１１度値への変換部 １４：表示制御部 １５ニレベル分は処理部１６二
色分は処理部 １７：マツピング元素指定部
第２図は本発明の一実施例のシステム構成を示すための
図、第３図はカラーグラフィックディスプレイに表示さ
れた画面中における任意領域の指示を説明するための図
、第４図は本発明の他の一実施例を示すための図である
。 １：Ｘ線マイクロアナライザ ２：試料 ＥＢ：電子線 Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３：分光結晶 ＤＩ 、Ｄ２．Ｄ３ ：Ｘ線検出器 ＴＩ、Ｔ２．Ｔ３：Ｘ線計数器 ３：ＣＰＬＪ ４：記憶装置５：カラーグ
ラフィックディスプレイ ６：ボインティング装置 ７：キーボード ８：バスライン９：ＸＩ強度値
データ記憶部 １０：Ｉき込み読み出しυ制御部 １１：領域指定部 １２：平均強度値計算部 １３：１１度値への変換部 １４：表示制御部 １５ニレベル分は処理部１６二
色分は処理部 １７：マツピング元素指定部
Claims (1)
- 試料の二次元平面上の各画素（ｘ、ｙ）に関する各元素
１、２、…、ｎ（ｎ≧２）の特性Ｘ線の強度値データＩ
１（ｘ、ｙ）、Ｉ２（ｘ、ｙ）、…、Ｉｎ（Ｘ、Ｙ）を
取得するための分析手段と、該分析手段より得られたデ
ータを記憶するための手段と、該記憶装置に記憶された
前記データの中から任意の元素ｉ（ｉは１、２、…、ｎ
のいずれか）の特性Ｘ線強度値データＩｉ（ｘ、ｙ）を
読み出しこのデータ値に応じたカラーで元素ｉの分布像
を表示するための手段と、該表示装置の画面における任
意の位置で任意の大きさの領域Ｓを指示するための手段
と、前記各元素のうちの任意の元素ｊ（ｊは１、２、…
、ｎのいずれか）について該指示された領域Ｓに含まれ
る各画素の平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓを求めるため
の手段と、該求められた平均特性Ｘ線強度値Ｍ（ｊ）ｓ
を元素ｊの重量濃度値Ｗ（ｊ）ｓに変換するための手段
と、該求められた重量濃度値を表示するための手段を備
えたことを特徴とする試料分析装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094715A JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
| US07/180,891 US4857731A (en) | 1987-04-17 | 1988-04-13 | Instrument for analyzing specimen |
| FR888805037A FR2614103B1 (fr) | 1987-04-17 | 1988-04-15 | Instrument pour l'analyse d'un echantillon |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62094715A JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63259949A true JPS63259949A (ja) | 1988-10-27 |
| JPH0646557B2 JPH0646557B2 (ja) | 1994-06-15 |
Family
ID=14117835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62094715A Expired - Lifetime JPH0646557B2 (ja) | 1987-04-17 | 1987-04-17 | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0646557B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02248847A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Horiba Ltd | 微小部ｘ線分析における三元素化合物の分析方法 |
| JPH0354441A (ja) * | 1989-07-21 | 1991-03-08 | Horiba Ltd | 微小部ｘ線分析における多元素化合物の分析方法 |
| JPH05126772A (ja) * | 1991-11-02 | 1993-05-21 | Horiba Ltd | 元素マツピング装置におけるマツピング像表示回路 |
| JP2009250867A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線分光器を備えるｘ線分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196446A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ−を用いた分析方法 |
| JPS6162849A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-31 | Nippon Steel Corp | 自動多機能分析装置の濃度線分析方式 |
-
1987
- 1987-04-17 JP JP62094715A patent/JPH0646557B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58196446A (ja) * | 1982-05-11 | 1983-11-15 | Jeol Ltd | Ｘ線マイクロアナライザ−を用いた分析方法 |
| JPS6162849A (ja) * | 1984-07-18 | 1986-03-31 | Nippon Steel Corp | 自動多機能分析装置の濃度線分析方式 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02248847A (ja) * | 1989-03-23 | 1990-10-04 | Horiba Ltd | 微小部ｘ線分析における三元素化合物の分析方法 |
| JPH0354441A (ja) * | 1989-07-21 | 1991-03-08 | Horiba Ltd | 微小部ｘ線分析における多元素化合物の分析方法 |
| JPH05126772A (ja) * | 1991-11-02 | 1993-05-21 | Horiba Ltd | 元素マツピング装置におけるマツピング像表示回路 |
| JP2009250867A (ja) * | 2008-04-09 | 2009-10-29 | Jeol Ltd | エネルギー分散型ｘ線分光器を備えるｘ線分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646557B2 (ja) | 1994-06-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4253154A (en) | Line scan and X-ray map enhancement of SEM X-ray data | |
| EP0011892B1 (en) | Automatic energy dispersive x-ray fluorescence analysing apparatus | |
| JP4003968B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP2011153858A5 (ja) | ||
| US4857731A (en) | Instrument for analyzing specimen | |
| US20100218140A1 (en) | Graphical user interface for multi-modal images at incremental angular displacements | |
| GB2209596A (en) | Spectrum display device for x-ray microanalyzer | |
| Attaelmanan et al. | A table‐top x‐ray microbeam scanning facility | |
| Fermin et al. | Colour thresholding and objective quantification in bioimaging | |
| JPH0646557B2 (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| JPS63259950A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| JP2900086B2 (ja) | 螢光ｘ線分析装置 | |
| JP3634955B2 (ja) | 電子プローブマイクロアナライザ | |
| JPH06231717A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザにおける試料分析方法 | |
| US10957513B2 (en) | Electron microscope and image processing method | |
| JP3503124B2 (ja) | 表面分析画像表示方法 | |
| US5745595A (en) | Surface analysis instrument and method of displaying images using information obtained by surface analysis | |
| Liu | Design and implementation of real time image acquisition and processing systems | |
| JP2000046768A (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JPH0334249A (ja) | 電子線マイクロアナライザー | |
| JP2002333974A (ja) | 画像処理方法および装置 | |
| JPH01243352A (ja) | Ｘ線マイクロアナライザー | |
| Kokubo et al. | Digital image processing: a path to better pictures | |
| JPH0153416B2 (ja) | ||
| Roehrig et al. | Software for CRT image quality evaluation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |