JPH0333037Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は密閉室中の機器取付台作動装置に関
し、特に、例えば、真空室内に装着された分光分
析装置のグレーテイングまたはミラー等の駆動部
の機器取付台作動装置に関する。

(ロ) 従来技術 従来のこの種装置は第５図の如くなつていた。
即ち、円筒真空室１の壁に設けられた接続筒口１
ａの先端面が円筒室の中心軸線Ｏに相当するＸ軸
を中心とする円柱面１ｂとされ、これにＸ軸摺動
台１ｃが摺動自在に装架されていた。そしてこの
台１ｃの先端面はＹ軸を中心とする円柱面１ｄと
され、これにＹ軸摺動台１ｅが摺動自在に装架さ
れていた。更に、Ｘ軸摺動台１ｅに機器取付台支
持アーム１ｆがＺ軸回りに回転自在に装架されて
いた。従つて、３つの回転摺動部に対して高度な
シールを必要とするばかりでなく、摺動面の芯出
精度が悪く、加工や組立調整が困難であつた。

(ハ) 目的 本考案は上記欠点を除き、密閉室中への回転軸
の導入を避けて漏れの原因となる摺動面をなくし
た装置を堤供することを目的とする。

(ニ) 構成 この目的を達成するため、本考案の構成は次の
如くである。

密閉室１内の機器取付台１３を、該室の壁を貫
通して室外部から変位させるようにした密閉室中
の機器取付台作動装置において、 前記室壁に設けられた第１接続筒１ｂに固定さ
れてその内側を通つて前記室の略中央部まで張出
した支持筒２と、 該支持筒に回転自在に装架された第１フレーム
１１と、 該第１フレームに、その回転軸線Ｚに対し直交
する軸Ｘまわりに回転自在に装架された第２フレ
ーム１２と、 前記第１、第２フレームの１１，１２の回転軸
線の各々に対し一点で直交する軸Ｙまわりに回転
自在に装架されて機器が取付けられる第３フレー
ム１３と、 該第３フレームの背面から前記第２、第３フレ
ーム１１，１２の回転軸線が作る平面に対し大略
直角となるように張出して、前記支持筒２の内側
を通つて前記支持筒の室出口付近まで延びた第１
レバー２１と、 該第１レバーの先端を覆つて回転自在に支持す
る有底筒体２３ａとその先端と前記支持筒２の内
側との間に接続された可撓シール筒２３ｃとを持
つシール筒部２３と、 前記第１フレーム１１の側面から張り出して、
前記第２接続筒口１ｃを通つて容器外側にまで延
びた第２レバー２２と、 該第２レバーと前記第２接続筒口１ｃとの間を
シールするように少なくとも一部に可撓シール筒
２６ｂを持つシール筒部２６と、 前記第３フレーム１３をＸ軸回りに回動させる
ように、前記第１レバー２１に連結されたＸ軸作
動部３０と、 前記第２フレーム１２を第３フレーム１３と共
にＹ軸回りに回動させるように、前記第１レバー
２１に連結されたＹ軸作動部４０と、 前記第１フレーム１１をＺ軸回りに回動させる
ように、前記第２レバー２２に連結されたＺ軸作
動部５０とを含む。

(ホ) 実施例 以下、本考案の一実施例を図面にもとづき説明
する。第１図において、真空室１の円筒本体１ａ
の中心軸線Ｏ（後記Ｙ軸Ｙに相当する）に関して
90度を隔てた室壁に第１、第２接続円筒１ｂ，１
ｃが室外方に突設される。第１円筒１ｂの先端に
は、その内側を通つて室１の略中央部まで張り出
して支持円筒２が固定される。この円筒２の中心
軸線は軸線Ｏに直交するＺ軸Ｚに相当する。

さてここで、前記支持円筒２の先端部に、本考
案の最も重要な互いに直交する３軸回りに回動自
在な機器取付台１３が回転自在に装架されてい
る。即ち、支持円筒２に玉軸受３を介して第１フ
レーム１１が回転自在に取付けられる。該フレー
ム１１は、円筒２の中心軸線Ｚに対し直交する姿
勢で、かつ、円筒２の孔と連通する貫通孔１１ｃ
を持つ基板１１ａと、その周縁から直立したアー
ム１１ｂからなる。また第１フレーム１１に、そ
の回転軸線たるＺ軸に対し直交するＸ軸まわりに
回転自在となるように、アーム１１ｂに軸１２ｂ
を介して第２フレーム１２が装架される。第２フ
レームは円環状基部１２ａからなる。更に、第２
フレーム１２の内側には、各種機器（図示ではグ
レーテイングＡ）取付台たる第３フレーム１３が
軸１３ｂを介して回転自在に装架される。第３フ
レームは偏平容器状本体１３ａを持つ。しかし
て、第１、第２フレーム１１，１２の回転軸線
Ｚ，Ｘに対し一点で直交するＹ軸Ｙまわりに回転
自在になるように、第３フレーム１３の軸１３ｂ
が配置される。

これによつて、グレーテイングＡはＸ，Ｙ，Ｚ
の３軸回りに回動可能となる。

次に第３フレーム１３をＸ，Ｙ軸回りに回動さ
せるため、第１レバー２１が第３フレーム１３の
背面から突設される。このレバーは、第２、第３
フレームの回転軸線たるＸ，Ｙ軸が作る平面に対
し大略直角となるように張り出し、前記支持筒２
の内側を通つて室出口付近まで延びている。

第１レバー２１と支持筒２との間を密閉し、か
つ、第１レバー２１の僅かな回動を許すように、
シール筒部２３が設けられている。即ち、第１レ
バー２１の先端を覆つて、玉軸受２３ｂを介して
有底筒体２３ａが装着され、この筒体２３ａの先
端（室内方端）と支持筒２の内側との間に可撓シ
ール筒たるベロー２３ｃが接続される。筒体２３
ａの底外面から第１アーム２４が第１レバー２１
と一直線上となるように突設される。

次に、第１フレーム１１をＺ軸回りに僅かに回
動させるため、第２レバー２２が第１フレームの
側面から張り出して、第２接続筒口１ｃを通つて
容器外側にまで延びている。そして、前記と同様
にして、第２レバー２２に固定されたフランジ２
６ａとベロー２６ｂとでシール筒部２６が構成さ
れる。

また、第３フレーム１３をＹ軸回り、第２フレ
ーム１２をＸ軸回り、第１フレーム１１をＺ軸回
りに各々僅かに回動させるように、第１レバー２
１にＸ軸作動部３０、Ｙ軸作動部４０が第２レバ
ー２２のＺ軸作動部５０が連結される。

即ち、Ｘ軸作動部３０において、第１，２図の
図く、容器１に固定されたＸ軸台３１上にモータ
３２が設置され、それによつて進退されるＸ軸作
動ねじ棒３３の先端に後記Ｙ軸台４１が固定さ
れ、該Ｙ軸台４１はＸ軸台３１上に固定されたＸ
軸ガイド３４に沿つて摺動する。

同様にして、Ｙ軸作動部４０において、前記Ｙ
軸台４１上にモータ４２、作動棒４３が設けられ
る。そして作動棒４３の先端に固定された連結ブ
ロツク４５がＹ軸台４１に設けられたＹ軸ガイド
４４に沿つて摺動する。連結ブロツク４５は前記
第１アーム２４に球面軸受４６を介して連結され
る。

また、Ｚ軸作動部５０において、第１，３，
４，図の如く、容器１に固定されたブラケツト５
５に対し、Ｚ軸に平行な軸５６を介してＺ軸台５
１が僅かに回動自在に装架される。そして、この
台にモータ５２とそれにより進退されるＺ軸作動
ねじ棒５３が設けられる。ねじ棒５３の先端に固
定された連結ブロツク５７は第２レバー２２の先
端に球面軸受５８を介して連結されると共に、ブ
ロツク５７はＺ軸台５１に固定されたＺ軸ガイド
５４に沿つて摺動する。

なお、第１図において、１ｄ，１ｅはグレーテ
イングＡへの光線の入口および出口、１ｆはＺ軸
上に設けられた観察口である。

次に作動状態を説明する。グレーテイングＡを
Ｘ軸回りに僅かに回動させるには、Ｘ軸作動部３
０のモータ３２を起動させると、作動棒３３が僅
かに前進又は後退し、これによつてＹ軸台４１は
Ｙ軸方向に進退して、第１レバー２１を介して第
３フレーム１３はグレーデイングＡと共に第２フ
レーム１２の軸１２ｂを中心にＸ軸回りに僅かに
回動する。同様にして、Ｙ軸回りの回動もＹ軸作
動部４０によつて行なわれる。

次にＺ軸回りに回動させるには、Ｚ軸作動部５
０のモータ５２を起動すれば作動棒５３が前進又
は後退し、これによつてＺ軸台５１が軸５６回り
に揺動し、連結ブロツク５７はＺ軸を中心として
円弧軌道を画いて揺動し、第２レバー２２がＺ軸
回りに揺動し、第１フレーム１１は第２フレーム
１２と共にＺ軸回りに僅かに回動する。このと
き、第１レバー２１の回動はシール筒部２３の軸
受２３ｂによつて許される。

前記第１、第２レバー２１，２２の先端に対し
て連結ブロツク４５，５７が各々、球面軸受４６
および５８を介して結合されているので、作動棒
３３，４３および５３の直線往復運動に対して第
１，第２レバー２１，２２の揺動運動が許され
る。Ｚ軸台５１を軸５６を介して揺動自在とした
ことは、第２レバー２２の揺動振幅を広くするこ
とに役立つ。

本考案は、真空室のほか、大気圧より大なる圧
力に保たれた加圧室にも適用される。

(ヘ) 効果 本考案は以上の如く機器取付台を互いに直交す
る３軸回りに回動自在な構造で支持し、該台の
Ｘ，Ｙ軸回りの駆動とＺ軸回りの駆動の２つに分
け、各々をレバーの揺動によつて行なうようにし
た。しかも、レバーとそれが外部へ貫通する容器
内面との間に可撓シール筒を接続した。従つて、
揺動部分がなくなり、摩耗等による狂いが生じ
ず、真空中への回転の導入部がなくなり、この部
分からのもれがなくなつた。また、回転軸のシー
ルが不要になつたため、シール材による制限を受
けず、高温でベーキングが可能となつた。しかも
機器取付台はＸ，Ｙ，Ｚ軸の各々に独立して回動
可能であるから、回動角の電子計算機による演算
が干渉なしに行なわれ、自動制御が可能となつ
た。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す一部切欠正面
図、第２，３図は各々その−，−視側面
図、第４図は第３図の−視側面図、第５図は
従来の機器取付台作動装置の縦断面図である。 １……真空室、１ａ……円筒本体、１ｂ……第
１接続筒、１ｃ……第２接続筒、２……支持筒、
１１……第１フレーム、１２……第２フレーム、
１３……第３フレーム、２１……第１レバー、２
２……第２レバー、２３，２６……シール筒部、
３０……Ｘ軸作動部、４０……Ｙ軸作動部、５０
……Ｚ軸作動部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 密閉室１内の機器取付台１３を、該室の壁を
   貫通して室外部から変位させるようにした密閉
   室中の機器取付台作動装置において、前記室壁
   に設けられた第１接続筒口１ｂに固定されてそ
   の内側を通つて前記室の略中央部まで張出した
   支持筒２と、該支持筒に回転自在に装架された
   第１フレーム１１と、該第１フレームに、その
   回転軸線Ｚに対し直交する軸Ｘまわりに回転自
   在に装架された第２フレーム１２と、前記第
   １、第２フレーム１１，１２の回転軸線の各々
   に対し一点で直交する軸Ｙまわりに回転自在に
   装架されて機器が取付けられる第３フレーム１
   ３と、該第３フレームの背面から前記第２、第
   ３フレーム１２，１３の回転軸線が作る平面に
   対し大略直角となるように張出して、前記支持
   筒の室出口付近まで延びた第１レバー２１と、
   該第１レバーの先端を覆つて回転自在に支持す
   る有底筒体２３ａとその先端と前記支持筒２の
   内側との間に接続された可撓シール筒２３ｃと
   を持つシール筒部２３と、前記第１フレーム１
   １の側面から取り出して、前記第２接続筒口１
   ｃ通つて容器外側にまで延びた第２レバー２２
   と、該第２レバーと前記第２接続筒口１ｃとの
   間をシールするように少なくとも一部に可撓シ
   ール筒２６ｂを持つシール筒部２６と、前記第
   ３フレーム１３をＸ軸回りに回動させるよう
   に、前記第１レバー２１に連結されたＸ軸作動
   部３０と、前記第２フレーム１２を第３フレー
   ム１３と共にＹ軸回りに回動させるように、前
   記第１レバー２１に連結されたＹ軸作動部４０
   と、前記第１フレーム１１をＺ軸回りに回動さ
   せるように、前記第２レバー２２に連結された
   Ｚ軸作動部５０とを含むことを特徴とする密閉
   室中の機器取付台作動装置。 (2) 前記Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各作動部は、前
   記第１および第２レバーの先端に対して球面軸
   受を介して直線往復運動する作動棒が直接的又
   は間接的に結合されてなることを特徴とする実
   用新案登録請求の範囲第１項記載の密閉室中の
   機器取付台作動装置。