JPH0333066Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） この考案は、半導体製造工程において用いる自
動ウエハ移替え装置に関するものである。

（従来の技術） ウエハを熱処理する場合には、キヤリア内のウ
エハを石英ボートに移し替えるが、この移し替え
には、自動ウエハ移替え機が用いられる。

周知のように、この移替え機は、キヤリア内で
突き上げられているウエハをチヤツクで挾持し、
石英ボート上の移替え位置に運んだ後チヤツクを
開いてウエハを石英ボートのウエハ溝に収容せし
めるものであるが、通常、キヤリアには、25枚の
ウエハしか入らないので、100枚のウエハが入る
石英ボートを満たすには複数回の移し替え操作が
必要となる。

従来は、第１キヤリア内のウエハを石英ボート
に移し替えた後、オペレータが第１キヤリア内に
あつたウエハの枚数を駆動制御装置に入力し、こ
の装置によりコントロールしながら該移替え機を
次の移替え位置まで移動せしめて次の移し替えを
行つている。

（考案が解決しようとする課題） 従来例の自動ウエハ移替え機は、石英ボートへ
ウエハを移し替える時には、制御装置に入力され
たウエハ枚数のデータがその移替え位置にウエハ
が無いという前提のもとで移し替えを行つてい
る。

そのため、オペレータが自動化の初期入力にお
いてウエハの枚数を誤つて、例えば25枚を24枚と
入力すると、最後の１枚の上にウエハを重ね置い
てしまうので、ウエハの破損事故が生じる。そこ
で、ウエハチヤツク下部のウエハを検出するた
め、センサを用いることが考えられる。しかしウ
エハ移し替え装置には特殊な事情があり、ただ単
にセンサを設けるだけでは誤判を生じ、ウエハの
重ね置き事故が発生する。

この考案は、上記事情に鑑み、キヤリア内のウ
エハを石英ボートに移し替える場合に、ウエハの
重ね置きを防止することを目的とする。

〔考案の構成〕

（課題を解決するための手段） この考案は、摺動可能な基台に、昇降可能なウ
エハチヤツクを設けた自動ウエハ移し替え装置に
おいて、前記基台に、ウエハ検出用光センサを設
け、該光センサの光軸がウエハボートの周面に衝
突し、かつ、その衝突点が前記ウエハチヤツクの
最先端のウエハからウエハボート内の隣接するウ
エハの対向面間の間隔の範囲内で該ウエハボート
のウエハ側に位置するようにするとともに該セン
サに移し替え駆動制御手段を接続したことを特徴
とする自動ウエハ移し替え装置である。

（作用） 位置調整機構によりウエハ検出用センサの位置
を調整した後、キヤリア内の複数枚のウエハをウ
エハチヤツクで挾持し、チヤツクを石英ボートに
沿つて移動させ、移替え位置までウエハチヤツク
を運ぶ。

この時、ウエハ検出用センサが作動している
が、移替え位置の石英ボートにウエハが存在する
と、発光部の光は、ウエハに当たつて反射し、そ
の反射光は、受光部に入つて、駆動制御装置を作
動させ、チヤツクの移動を停止させる。

（実施例） この考案の一実施例を添付図面により説明する
が、同一図面符号は、その名称も機能も同一であ
る。

自動ウエハ移替え機１の基台２には、昇降機構
を介して開閉自在なウエハチヤツク３と、パルス
モータ４に連結したボールねじＢと、重ね置き防
止装置５が設けられている。

重ね置き防止装置５は、第２図に示すようにウ
エハ検出用センサ６と該センサ６の位置を調整す
る位置調整機構７とを備えている。

ウエハ検出用センサ６は、この例では発光部９
と受光部１０とを備えた反射型センサであり、固
定プレート８に設けられている。

センサ６の位置決めは、位置調整機構７を用い
て行われる。

位置調整機構７は、上下方向調整長穴１１及び
ねじ１２と、左右方向調整送りねじ１５と、左右
方向固定ねじ１６とを備えている。

発光部９は、その光軸Ｌが石英ボート上のウエ
ハ１４の中心と一致するように調整すると、ウエ
ハ１４の位置検出は、より正確なものになる。

センサ６は、発光部９の光軸Ｌとウエハチヤツ
ク３の最先端のウエハ１４ａとの間隔t₁が例えば
３／３２インチ（約2.38mm）になるように左右方向送
りねじ１５で調整される。

これは、第３図に示す様に、石英ボート１３の
ウエハ溝のピツチ間隔t₂が、3/16インチであり例
えば、ウエハ溝２０ａにウエハ１４ａを置いた場
合、間隔t₂の約半分、即ち、3/32インチ離れた位
置で、ウエハ溝２０ａの位置にウエハ１４ｂが有
るか無いかを検出し移し替えを行う。次にこのウ
エハ１４を移し替えている時ウエハ１４ｂとウエ
ハ１４ｃとの間にセンサ６の光軸Ｌが位置するこ
とになり次のウエハ溝のウエハ１４の誤検出を防
止することができる。

センサ６の受光部１０は、パルスモータ４を制
御する駆動制御装置Ｃと電気的に接続されてい
る。

次に、この実施例の作動について説明する。

オペレータがキーボードＫを操作し移し替えを
行うキヤリア数とウエハ枚数を入力し自動移替え
装置を始動させると、パルスモータ４を駆動し
て、ボールねじＢを回転させ移替え機１をテーブ
ル２１上の第１のキヤリア２２まで移動させる。

そこで、第１キヤリア２２内のウエハ25枚を図
示しない突き上げ機構により突き上げ、このウエ
ハをウエハチヤツク３で挾持すると、上記突き上
げ機構が下がりパルスモータ４が前記と逆方向に
回転し、移替え機１をウエハチヤツク下部にある
石英ボート１３の移替え位置Ｗまで移動させる。

この移替え機１の移動は、移替え位置近傍まで
は、高速にして時間を短縮し、それ以後は、低速
にして、急停止できるようにしてある。

この時、センサ６の発光部９の出射光は、移替
え位置Ｗに向かつて照射されているが、ウエハ１
４がないため、その光は直進し受光部１０に入ら
ない。

従つて、ウエハチヤツク３下部の移替え位置Ｗ
にウエハが存在しないことが確認され、ウエハの
移し替えは、設定どうり行われる。

即ち、ウエハチヤツク３は、下降してウエハ１
４を石英ボート１３のウエハ溝２０に収容した
後、そのウエハ１４を開放して上昇すると共にウ
エハ移替え機１は、高速で第２キヤリア２３まで
移動する。

次に、先にオペレータが、キーボードＫを操作
し第１キヤリア２２に25枚入つていたウエハの枚
数を誤認し、例えば24枚と入力していたとする
と、パルスモータ４は、その指示にしたがいウエ
ハ移替え機１を移替え位置まで移動せんとする
が、移し替え予定のウエハ溝２０ａにウエハ１４
ｂが入つているので、センサ６の発光部９の光り
はウエハの周面にあたつて反射し、その反射光は
受光部１０に入る。

受光部１０に反射光が入ると重ね置き防止装置
５で検出され、この検出信号により駆動制御装置
Ｃが駆動してパルスモータ４を停止させると共に
アラームを発生させる。

次に、オペレータが、ウエハ１４ｂをピンセツ
ト等で取り出し、スタートスイツチ（図示せず）
を押すと、パルスモータ４は、再び駆動して移替
え機１を次の移替え位置Ｗまで移動させると共
に、前回の要領でウエハの移し替えが行われる。

このようにして、キヤリア内のウエハを石英ボ
ート１３に移し替え、石英ボート１３のウエハ溝
全部にウエハを収容する。

この考案は、上記実施例に限定されるものでは
なく、例えば、重ね置き防止装置５のウエハ検出
用センサを、反射型の代わりに、発光部と受光部
とが同一直線上で対向する所謂透過型センサを用
いてもよいことは勿論である。

〔考案の効果〕

この考案は、以上のように構成したので、所定
のウエハ移替え位置にウエハが存在していると、
ウエハ検出用センサにより検出され、所定のウエ
ハ移し替え作業が停止するので、ウエハの重ね置
きは完全に防止することが出来るという顕著な効
果がある。又、ウエハ検出用センサの光軸がウエ
ハボートのウエハの周面に衝突し、かつ、その衝
突点が前記ウエハチヤツクの最先端のウエハから
ウエハボート内の隣接するウエハの対向面間の間
隔の範囲内で該ウエハボートのウエハ側に位置す
るようにしたので、ウエハ検出用光センサはウエ
ハチヤツクの最先端のウエハから前記ウエハ対向
面間の間隔の範囲内でウエハボートに収容されて
いる最後端のウエハを検出するとともに移し替え
後は光軸が前記最後端のウエハの周面に衝突しな
い。

従つて、移し替えるべき位置にウエハがあるか
否かを正確に検出することができるとともにウエ
ハ移し替え後に誤検出することがない。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第４図はこの考案の実施例を示す図
で、第１図はその斜視図、第２図は第１図の重ね
置き防止装置を示す拡大斜視図、第３図〜第４図
は使用状態を示す図である。 １……移替え機、２……基台、３……ウエハチ
ヤツク、５……重ね置き防止装置、６………ウエ
ハ検出用センサ、７……位置調整機構、Ｗ……移
替え位置。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 摺動可能な基台に、昇降可能なウエハチヤツク
   を設けた自動ウエハ移し替え装置において、前記
   基台に、ウエハ検出用光センサを設け、該光セン
   サの光軸が、ウエハボートのウエハの周面に衝突
   し、かつ、その衝突点が前記ウエハチヤツクの最
   先端のウエハからウエハボート内の隣接するウエ
   ハの対向面間の間隔の範囲内で該ウエハボートの
   ウエハ側に位置するようにするとともに該センサ
   に移し替え駆動制御手段を接続したことを特徴と
   する自動ウエハ移替え装置。