JPH0333084U - - Google Patents
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- JPH0333084U JPH0333084U JP9425289U JP9425289U JPH0333084U JP H0333084 U JPH0333084 U JP H0333084U JP 9425289 U JP9425289 U JP 9425289U JP 9425289 U JP9425289 U JP 9425289U JP H0333084 U JPH0333084 U JP H0333084U
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Description
第１図はこの考案の一実施例の要部の構成説明
図、第２図は第１図の−線断面におけるフイ
ルタエレメントと検出回路との関係を示す説明図
、第３図は同実施例のバキユーム吸着装置を応用
した板材ローダの正面図、第４図は他の実施例に
おけるフイルタエレメントと検出回路との関係を
示す説明図である。 ５……バキユームパツド、１１……吸引路、１
３……真空発生源、１４……バルブ、１６……フ
イルタ、１７……フイルタケース、１８……フイ
ルタエレメント、１９，２０……検出電極、２２
……発光ダイオード、２４〜２６……検出電極、
２７，２８……発光ダイオード。
図、第２図は第１図の−線断面におけるフイ
ルタエレメントと検出回路との関係を示す説明図
、第３図は同実施例のバキユーム吸着装置を応用
した板材ローダの正面図、第４図は他の実施例に
おけるフイルタエレメントと検出回路との関係を
示す説明図である。 ５……バキユームパツド、１１……吸引路、１
３……真空発生源、１４……バルブ、１６……フ
イルタ、１７……フイルタケース、１８……フイ
ルタエレメント、１９，２０……検出電極、２２
……発光ダイオード、２４〜２６……検出電極、
２７，２８……発光ダイオード。
Claims (1)
- バキユームパツドの吸引路に、電気絶縁性のフ
イルタエレメントを有するフイルタを設け、前記
フイルタエレメントに互いに離れた複数の検出電
極を設けたバキユーム吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9425289U JPH0333084U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9425289U JPH0333084U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0333084U true JPH0333084U (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=31643593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9425289U Pending JPH0333084U (ja) | 1989-08-09 | 1989-08-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333084U (ja) |
-
1989
- 1989-08-09 JP JP9425289U patent/JPH0333084U/ja active Pending
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