JPH0339841U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0339841U JPH0339841U JP10092989U JP10092989U JPH0339841U JP H0339841 U JPH0339841 U JP H0339841U JP 10092989 U JP10092989 U JP 10092989U JP 10092989 U JP10092989 U JP 10092989U JP H0339841 U JPH0339841 U JP H0339841U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- source electrode
- via hole
- electrode portion
- recess
- semiconductor device
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
第１図ａ〜ｆは、本考案の半導体装置の製造方
法の一実施例を説明するための、工程順に示した
素子断面図、第２図ａ〜ｄは、従来の技術による
一例を説明するための工程順に示した素子断面図
である。 １……基板、１ａ……凹部、２，２ａ，２ｂ…
…フオトレジスト、３……ソース電極、４……バ
イアホール、５……バイアホールメタル。
法の一実施例を説明するための、工程順に示した
素子断面図、第２図ａ〜ｄは、従来の技術による
一例を説明するための工程順に示した素子断面図
である。 １……基板、１ａ……凹部、２，２ａ，２ｂ…
…フオトレジスト、３……ソース電極、４……バ
イアホール、５……バイアホールメタル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ソース電極部にバイアホール構造を有する半導
体装置において、 ソース電極部が、素子の表面側の凹部に形成さ
れ、裏面側に前記ソース電極に達するバイアホー
ルを有することを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092989U JPH0339841U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10092989U JPH0339841U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339841U true JPH0339841U (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=31649906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10092989U Pending JPH0339841U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339841U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001311999A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Seed:Kk | 戸外用投影装置及びその使用方法 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP10092989U patent/JPH0339841U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001311999A (ja) * | 2000-04-28 | 2001-11-09 | Seed:Kk | 戸外用投影装置及びその使用方法 |