JPS5818083U - 圧電振動子ポンプ - Google Patents

圧電振動子ポンプ

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JPS5818083U
JPS5818083U JP1981113602U JP11360281U JPS5818083U JP S5818083 U JPS5818083 U JP S5818083U JP 1981113602 U JP1981113602 U JP 1981113602U JP 11360281 U JP11360281 U JP 11360281U JP S5818083 U JPS5818083 U JP S5818083U
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JP
Japan
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piezoelectric
piezoelectric vibrator
pair
pump
vibrator pump
Prior art date
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JP1981113602U
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JPS6135747Y2 (ja
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成宮　宏
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図ａは従来の圧電振動子ポンプの断面図、第１図す
は従来の圧電振動子ポンプの平面図、第２図は従来の圧
電振動子の詳細を示す斜視図、第３図ａはこの考案の圧
電振動子ポンプの一実施例の構成を示す断面図、第３図
すはこの考案の圧電振動子ポンプの平面図、第４図はこ
の考案の圧電振動子ポンプに使用される圧電振動子の詳
細を示す斜視図である。 １・・・圧電振動子、１ａ・・・圧電素子、１ｂ・・・
金属板、ＩＣ−・・スリット、１ｄ・・・シールド、２
・・・リード線、３・・・本体壁、４・・・逆止弁、５
・・・ポンプ室、６・・・吸入口、７・・・吐出口。な
お、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 金属板に複数のスリットを設けるとともに各スリット間
    に囲まれた部分に交流電圧が印加される圧電素子を貼り
    付けて片持梁の集合体で構成され所定の間隔をもって対
    向して配設された１対の圧電振動子、この１対の圧電振
    動子の外周縁を保持して１対の圧電振動子とともにポン
    プ室を形成する本体壁を備えてなる圧電振動子ポンプ。
JP1981113602U 1981-07-30 1981-07-30 圧電振動子ポンプ Granted JPS5818083U (ja)

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JP1981113602U JPS5818083U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 圧電振動子ポンプ

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JP1981113602U JPS5818083U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 圧電振動子ポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5818083U true JPS5818083U (ja) 1983-02-03
JPS6135747Y2 JPS6135747Y2 (ja) 1986-10-17

Family

ID=29907898

Family Applications (1)

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JP1981113602U Granted JPS5818083U (ja) 1981-07-30 1981-07-30 圧電振動子ポンプ

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JP (1) JPS5818083U (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6017279A (ja) * 1983-07-11 1985-01-29 Tamagawa Seiki Kk 電歪振動子を用いる気体ポンプ
JPH0237187A (ja) * 1988-07-27 1990-02-07 Nippon Keiki Seisakusho:Kk 圧電ポンプ
JP2010249658A (ja) * 2009-04-15 2010-11-04 Tokkyokiki Corp 圧電型加速度センサ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6017279A (ja) * 1983-07-11 1985-01-29 Tamagawa Seiki Kk 電歪振動子を用いる気体ポンプ
JPH0237187A (ja) * 1988-07-27 1990-02-07 Nippon Keiki Seisakusho:Kk 圧電ポンプ
JP2010249658A (ja) * 2009-04-15 2010-11-04 Tokkyokiki Corp 圧電型加速度センサ

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JPS6135747Y2 (ja) 1986-10-17

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