JPH033313A - アツシヤー装置のクリーニング機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造プロセスで使用して好適なアッシ
ャ−装置のクリーニング機構に関するものである。

〔従来の技術〕

−Ｓに、アッシャ−装置は、ウェハローダからチャンバ
ー内にウェハを搬送し、このウェハに対し所要の処理を
施すウェハ処理装置として知られている。

ところで、この種の７ツシヤー装置としては、ウェハ処
理によってチャンバー内に塵埃が発生することから、従
来よりチャンバーの給気口と排気口を開閉するバルブお
よびチャンバー内を真空引きするポンプを有するクリー
ニング機構を備えたものが考えられている。すなわち、
このようなりリーニング機構が無いと、ウェハ処理時に
チャンバー内で舞い上がった塵埃がウェハの表面を汚染
し、ウェハ処理上の信頼性が低下してしまうからである
。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかるに、従来のアッシャ−装置のクリーニング機構に
おいては、バルブの開閉やポンプの運転・停止の各操作
を手動によって行うものであるため、ウェハのクリーニ
ングに多大の時間を費やし、ウェハの処理能力が低下す
るという不都合があった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ウェ
ハのクリーニング時間を短縮することができ、もってウ
ェハの処理能力を高めることができるアッシャ−装置の
クリーニング機構を提供するものである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るアッシャ−装置のクリーニング機構は、給
気口および排気口を有しその内部でウェハ処理が施され
るチャンバーと、このチャンバーに接続され給気口およ
び排気口を各々開閉する給気バルブと排気バルブを有す
る管路系と、この管路系に接続されチャンバー内を真空
引きするポンプと、このポンプおよび管路系に接続され
各バルブの開閉とポンプの運転・停止を制御するコント
ロール装置とを備えたものである。

〔作　用〕

本発明においては、コントロール装置によって給気バル
ブおよび排気バルブの開閉やポンプの運転・停止の操作
を自動的に行うことができる。

〔実施例〕 以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細に
説明する。

第１図は本発明に係るアッシャ−装置のクリーニング機
構を示す概略図である。同図において、符号１で示すも
のはウェハ挿抜口（図示せず）を有するウェハ処理用の
チャンバーで、周壁に内外に開口する給気口２と排気口
３が設けられており、内部には圧力を検出するセンサ（
図示せず）が収納されている。４は前記給気口２および
排気口３を各々開閉する給気バルブ５と排気バルブ６を
有する管路系で、前記チャンバー１に接続されている。

この管路系４には、前記チャンバー１内を真空引きする
ポンプ７および前記チャンバー１内にＮ２ガスを供給す
るボンベ８が接続されている。また、この管路系４には
、排気速度、給気速度を任意に設定可能なように流量調
整装置（図示せず）が設置されている。９はバルブコン
トローラ１０を有するコントロール装置で、前記管路系
４および前記チャンバー１に接続されており、前記各バ
ルブ５．６の開閉と前記ポンプ７の運転・停止を制御す
るように構成されている。１１はウェハ１２を搬送する
ローダで、前記チャンバー１の近傍に設けられ、かつ前
記コントロール装置９に接続されている。なお、１３お
よび１４はローダ通信線とチャンバー通信線である。

このように構成されたアッシャ−装置のクリーニング機
構においては、給気バルブ５および排気バルブ６の開閉
やポンプ７の運転・停止の操作をコントロール装置９に
よって自動的に行うことができ、ウェハ１１のクリーニ
ング時間を大幅に短縮することができる。

次に、本発明におけるクリーニング機構の真空引きにつ
いて説明する。

先ず、第１回目のウェハ処理が終了すると、ローダ１１
が作動してウェハ１１がチャンバー１内から外部に搬出
されるため、チャンバー１が密閉状態となる。この情報
はローダ通信線１３によってバルブコントローラ１１に
伝送されるため、排気バルブ６が開放してポンプ７でチ
ャンバー１内の真空引きが行われる。そして、チャンバ
ー１内が一定の真空圧１０′〜１０　’ｔｏｒｒになる
と、チャンバー通信線１４によってバルブコントローラ
１０に信号が伝送されるため、排気バルブ６が閉塞して
給気バルブ５が開放し、Ｎ２ガスがボンベ８によってチ
ャンバー１内に供給される。この後、チャンバー１内が
大気圧に戻ると、チャンバー通信線１４によって信号が
バルブコントローラ１０に伝送され、給気バルブ５が閉
塞して一連の動作が終了する。

ここで、２回の真空引きにつき、第２図のフローチャー
トを用いて説明する。

■・・・前ロフト処理が終わると、チャンバー１内は処
理時の発塵や搬送系からの発塵で汚損している。

■・・・真空引きスタート用の押釦（図示せず）をスイ
ッチＯＮすると真空引き運転が行われ、急激な気圧変化
によってチャンバー１内の塵埃は舞い上がる。

■・・・チャンバー１内の真空度を上げることにより、
舞い上がった塵埃はチャンバー１外に排出される。

■・・・真空引き運転が停止する。

■・・・チャンバー１内は高清浄な不活性ガスまたは空
気の供給によって大気化される。このとき、気圧の急変
や流入ガスの流速等によってチャンバー１内に付着する
塵埃が舞い上がる。

■・・・■、■の真空引き運転によってチャンバー１内
の残留塵埃が排出される。

■・・・真空引き運転を停止する。

■・・・チャンバー１内は大気化される。

このようにして、チャンバー１内が真空引きされる（同
図において符号■で次のロフト処理が始まる）。

この場合（２回の真空引き）、真空引きの無い場合と比
較してチャンバー１内の塵埃が著しく減少することが第
３図（実験結果）から理解できる。

なお、本実施例においては、２回の真空引きである場合
を示したが、本発明はこれに限定されるものではなく、
１回以上であればよく、その回数は適宜変更することが
できる。

また、本実施例においては、真空引きスタート用の押！
Ｄ（図示せず）によって前ロフト処理が終わった時から
次ロフト処理のスタート釦（図示せず）をスイッチＯＮ
するまで真空引きを繰り返すようにプラグラムを設定し
ているが、本発明は処理スタート用の押釦（図示せず）
によって真空引きとウェハ処理の動作が連続して運転（
シーケンス制御による運転）されるようにプログラムを
設定できることは勿論である。

さらに、本発明における真空引きの時間、排気速度およ
び給気速度は、真空引きの回数と同様に任意に設定する
ことができる。

因に、本発明においては、チャンバー１内の真空度が１
０　’ｔｏｒｒ　（ウェハ処理時と同様）であり、排気
速度が１０’ｔｏｒｒ（大気圧）から１０”　ｔｏｒｒ
まで到達するに３〜４分を要する程度であることが望ま
しい。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、給気口および排気
口を有しその内部でウェハ処理が施されるチャンバーと
、このチャンバーに接続され給気口および排気口を各々
開閉する給気バルブと排気バルブを有する管路系と、こ
の管路系に接続されチャンバー内を真空引きするポンプ
と、このポンプおよび管路系に接続され各バルブの開閉
とポンプの運転・停止を制御するコントロール装置とを
備えたので、コントロール装置によって給気バルブおよ
び排気バルブの開閉やポンプの運転・停止の操作を自動
的に行うことができる。したがって、ウェハのクリーニ
ング時間を確実に短縮することができるから、ウェハの
処理能力を高めることができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明に係るアッシャ−装置のクリーニング機
構を示す概略図、第２図は同じく本発明における真空引
きのフローチャート、第３図はクリーニング効果の比較
を示す図である。 １・・・・チャンバー、２・・・・給気口、３・・・・
排気口、４・・・・管路系、５・・・・給気バルブ、６
・・・・排気バルブ、７・・・・ポンプ、８・・・・ボ
ンベ、９・・・・コントロール”ＡＮ、１０・・・・バ
ルブコントローラ。 代　　理 人　大岩増雄 第 ３ 図 平成 年 月 日

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 給気口および排気口を有しその内部でウェハ処理が施さ
   れるチャンバーと、このチャンバーに接続され前記給気
   口および前記排気口を各々開閉する給気バルブと排気バ
   ルブを有する管路系と、この管路系に接続され前記チャ
   ンバー内を真空引きするポンプと、このポンプおよび前
   記管路系に接続され各バルブの開閉とポンプの運転・停
   止を制御するコントロール装置とを備えたことを特徴と
   するアッシャー装置のクリーニング機構。