JPH0334249A

JPH0334249A - 電子線マイクロアナライザー

Info

Publication number: JPH0334249A
Application number: JP1167509A
Authority: JP
Inventors: Yuji Mori; 森　優治
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 1989-06-29
Filing date: 1989-06-29
Publication date: 1991-02-14
Anticipated expiration: 2013-08-20
Also published as: JP2787924B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野）本発明は、電子線マイクロアナライザーに関する。

（従来の技術〉電子線マイクロアナライザーは電子線で励起された試料
から放出されるＸ線によって元素の定性分析或は濃度分
布データを、また、励起された試料から放出される２次
電子から試料表面形状のデータを得て、これらのデータ
をＣＲＴに表示しているが、２次電子線像或はＸ＆ｌに
よる元素マツピング像の上で目視上特異な箇所或は特徴
的な線に沿ってＸ線による詳細分析を行うような場合、
従来、これらの２種のデータの表示方法としては、２次
電子による試料面の形状情報を走査型電子顕微鏡像とし
てＣＲＴに表示し、Ｘ線データは２次電子による走査型
電子ｗＡＦｌ＆鏡とは別の画面（ＣＲＴ）によって、輝
度変調或はＹ軸変調を行い、Ｘ線強度を明るさ或はグラ
フの高さで表現して画面表示したりして、両データを別
々に表示しているが、これらの両データを別々に観察し
ていたのでは、両データの相互の位置関係を直観的に知
ることができず、両データ間の位置関係が不正確になる
と云う問題があり、両データが１画面に同時に見える方
が望ましい、そこで、２次電子線像とＸ線による元素分
布像を一つのＣＲＴｉ１面に重畳して表示する方法もあ
るが、重畳すれば、２次電子ａｍ、Ｘ線像何れもが不鮮
明になり、観察しにくくなると云う問題があった。

（発明が解決しようとする課題）本発明は、試料面の形状或は元素分布の全体像と指定箇
所の元素濃度表示を１画面に同時に行えるようにして、
しかも、−目で分析結果が明瞭に把握できるようにする
ことを目的とする。

（２！題を解決するための手段〉電子線マイクロアナライザーにおいて、２次電子線像を
画面表示する手段と、分析元素及び同画面上でＸ線分析
箇所或は分析線を指定する手段と、試料面上の上記指定
箇所或は線上で指定された元素につきＸ線分析を行うＸ
線分光手段と、Ｘ線検出信号強度を表示画面上で任意基
点からの垂直方向距離のデータに変換し、上記２次電子
線ｌｆｉ上の指定箇所或は指定線の各点を基点として２
次電子線像に重ねて表示させる手段を設けた。

（作用）電子線により励起された試料から放出された２次電子線
像により試料の表面形状を表示することができ、励起さ
れた試料から放出された特性Ｘ線から試料の元素濃度を
測定することができる０本発明は、両方の測定データを
同時に同一画面に表示させることにより、−目で試料面
の形状とか元素分布と、特定点或は線上の詳細分析の結
果および位置関係が把握できる。その際２次電子像は試
料面の映像で、Ｘ線データはグラフ表示であり、両方の
データ表示様式が異なっているから、両画偵を視覚上区
別して見ることが容易であり、明障さを失わず２種の画
像を見ることができ、試料面の全体像の上で分析を行っ
た箇所に、分析結果をグラフ表示するので、表示グラフ
の位置関係が一目で正確に把握できる。

（実施例）第１図に本発明の一実施例を示す、第１図において、Ｓ
は試料、１は電子銃、２は電子銃１から放射された電子
を収束させる収束レンズ、３は電子線の絞り、４は走査
コイル、５は対物レンズ、６は試料を移動させるＸ、Ｙ
駆動ステージ、７は走査信号発生器、８は走査信号増幅
器、９は分光結晶、１０はＸ線検出器、１１は波高分析
器、１２は２次電子検出器である。１３はフレームメモ
リでＸ線データを記憶し、１４はフレームメモリで２次
電子線データを記憶する。１５はパソコンである。１６
はＸ、Ｙ駆動ステージ６をｉｔ／Ｉ御するステージコン
トローラ、１７はキーボードで測定元素の指定及び表示
方法の指定を行う、１８はマウスで分析位置の指定を行
う、１９はＣＲＴで測定データを表示する。

測定動作について説明する。先ず、試料Ｓの測定範囲を
電子線で走査して、２次電子を２次電子検出器１２で検
出して、検出信号をフレームメモリ１４に記憶させる。

記憶させた２次電子検出データを呼び出して、２次電子
線像をＣＲＴ１９に表示する。ＣＲＴ１９に表示された
２次電子線像上で、Ｘ＆１分析を行う分析位置をマウス
１８を用いて指定し、キーボードでその分析位置で測定
する分析元素を指定する０分析位置データは画面上の指
定点におけるＸ、Ｙ走査信号の値を座標データとしたも
ので、パソコン１５に取込まれる。但し、指定する位置
及び分析元素は複数でも良い。

上記指定を行った後、Ｘ＆１分析動作をスタートさせる
。パソコンは上記座標データに基づき、ステージコント
ローラ１６を駆動し、試料面上の分析位置をＸ線分光器
の焦点に位置させ、Ｘ線を分光検出し、検出した信号強
度に対応する高さの柱や棒のグラフのイメージデータを
作成し、２次電子像の上記指定した分析位置をグラフ起
点として上記イメージデータを映像信号に重ね、第２図
に示すように、ＣＲＴ１９上で指定された２次電子線像
上に指定元素の濃度を表示する。表示する柱や棒のグラ
フは、第４図に示すように、指定した元素の数に応じて
、複数本表示しても良い、また、第３図に示すように、
２次電子線像の代わりに成る元素のＸ線マツピング像を
バックに指定点における他元素の濃度を棒グラフで表示
しても良い。

第３図の例では１．マツピング像はコンピュータグラフ
ィックにより斜視図として表示されている、また、柱や
棒グラフの上方に濃度を数字で表示することも可能であ
る。また、試料面の２次電子像の上で２点を指定し、そ
の２点を結ぶ線に沿い、Ｘ線による線分析を行って、そ
の結果を第５図のように曲線グラフで表示させることも
可能である。

（発明の効果）本発明によれば、試料面の形状或は元素分布の全体像と
指定箇所の濃度表示が１画面で同時にできるようになっ
たことで、両データの位置関係が一目で正確に把握でき
、分析結果を正確に把握できるようになった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の楕或図、第２図は本発明の
ＣＲＴ表示例１、第３図は本発明のＣＲＴ表示ＩＭ２、
第４図は本発明のＣＲＴ表示例３、第５図は本発明のＣ
ＲＴ表示ｆＭ４である。Ｓ・・・試料、１・・・電子銃、２・・・収束レンズ、
３・・・絞り、４・・・走査コイル、５・・・対物レン
ズ、６・・・Ｘ。Ｙ駆動ステージ、７・・・走査信号発生器、８・・・走
査信号増幅器、９・・・分光結晶、１０・・・Ｘ線検出
器、１１・・・波高分析器、１２・・・２次電子検出器
、１３１４・・フレームメモリ、１５・・・パンコン、
１６・・・ステージコントローラ、１７・・・キーボー
ド、１８・・・マウス、１９・・ＣＲＴ。

Claims

【特許請求の範囲】

２次電子線像を画面表示する手段と、分析元素及び同画
面上でＸ線分析箇所或は分析線を指定する手段と、試料
面上の上記指定箇所或は線上で指定された元素につきＸ
線分析を行うＸ線分光手段と、Ｘ線検出信号強度を表示
画面上で任意基点からの垂直方向距離のデータに変換し
、上記２次電子線像上の指定箇所或は指定線上の各点を
基点として２次電子線像に重ねて表示させる手段を設け
たことを特徴とする電子線マイクロアナライザー。