JPH0334481A - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0334481A JPH0334481A JP16668389A JP16668389A JPH0334481A JP H0334481 A JPH0334481 A JP H0334481A JP 16668389 A JP16668389 A JP 16668389A JP 16668389 A JP16668389 A JP 16668389A JP H0334481 A JPH0334481 A JP H0334481A
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- JP
- Japan
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- ray
- rays
- gas laser
- laser
- laser medium
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は予備電離方式としてＸ線を用いるガスレーザ装
置に関する。
置に関する。
従来の発明には、特開昭６１−１６８２７７号公報、あ
るいは、特開昭６２−１１１４８９号公報、特開昭６３
−９６９７５号公報に記載のように、電離装置として主
放電電極の側方にアーク放電電極を具備し、予備電離放
射として紫外光を用いた装置があり、紫外光を反射体を
用いて集光させたり、あるいは、レーザ媒質中を多重回
往復させたりして、予備電離の高効率化を図るものもあ
る。しかし、紫外光はＸ線に比べ、レーザ媒質中の有効
電離距離が短く、又、アーク放電がレーザ媒質を劣化さ
せる原因となる。このため、横方向励起型高気圧ガスレ
ーザではＸ線予備電離方式が前述の問題点を解決する方
式として有望視されている。
るいは、特開昭６２−１１１４８９号公報、特開昭６３
−９６９７５号公報に記載のように、電離装置として主
放電電極の側方にアーク放電電極を具備し、予備電離放
射として紫外光を用いた装置があり、紫外光を反射体を
用いて集光させたり、あるいは、レーザ媒質中を多重回
往復させたりして、予備電離の高効率化を図るものもあ
る。しかし、紫外光はＸ線に比べ、レーザ媒質中の有効
電離距離が短く、又、アーク放電がレーザ媒質を劣化さ
せる原因となる。このため、横方向励起型高気圧ガスレ
ーザではＸ線予備電離方式が前述の問題点を解決する方
式として有望視されている。
（発明が解決しようとする課題〕
Ｘ線予備電離方式に関する上記従来技術では。
Ｘ線が高い透過能力をもつため、Ｘ線エネルギの０．１
％以下のエネルギしか電離に寄与せず、電離効率の向上
という点で考慮がされていない。そのため、予備電離用
ｘｉ発生装置に多大な電気入力を必要としていた。
％以下のエネルギしか電離に寄与せず、電離効率の向上
という点で考慮がされていない。そのため、予備電離用
ｘｉ発生装置に多大な電気入力を必要としていた。
本発明の目的はＸ線発生装置に必要な電気入力を低減し
、Ｘ線発生装置を含めたレーザシステムの発振効率の向
上を図ることにある。
、Ｘ線発生装置を含めたレーザシステムの発振効率の向
上を図ることにある。
上記目的は、Ｘ線の反射体を用いてレーザ媒質をＸ線で
多重回照射し、電離に寄与するＸ線線量の割合を増大す
ることにより達成される。
多重回照射し、電離に寄与するＸ線線量の割合を増大す
ることにより達成される。
Ｘ線の反射体には、Ｘ線レーザ用のモリブデンミラー等
を用いる。
を用いる。
〔作用〕
Ｘ線の反射体は、レーザ媒質が封入されているレーザ管
内のｘａが外部へ散逸することを防ぐ。
内のｘａが外部へ散逸することを防ぐ。
それによって、レーザ媒質はＸ線で多重回照射されるよ
うになるので、電離に寄与するＸ線の割合を増すことが
できる。ななわち、今まで無駄にしていたＸＢを利用す
ることにより、電離効率を向上させる。
うになるので、電離に寄与するＸ線の割合を増すことが
できる。ななわち、今まで無駄にしていたＸＢを利用す
ることにより、電離効率を向上させる。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。第１
図はＸ線予備電離ガスレーザ装置の要部斜視図である。
図はＸ線予備電離ガスレーザ装置の要部斜視図である。
Ｘ線は装置の上部より主電極ｌを透過し、レーザ媒質を
照射する。レーザ媒質を透過したＸ線はＸ線反射体で構
成された主電極２で反射される。Ｘ＃１反射体４はＸ線
の入射部分とレーザ媒質の循環路を妨げないように放電
領域の周囲に形成される。本実施例によればＸ線は放電
領域内のレーザ媒質を多重回照射するため、予備電離効
率向上の効果がある。レーザ媒質は熱交換器を通して除
熱された後、再び、放電領域に戻される。３は循環路の
整流器であり、５，６はレーザ共振器を構成するミラー
である。尚、主電極１、および２はチャン型と呼ばれる
凸面形状をしているため、Ｘ線は様々な方向に反射され
、反射体４に閉じ込められるが、反射体の反射率が低い
場合は、主電極２にはＸ線を透過する材質を用いた方が
効率がよい。
照射する。レーザ媒質を透過したＸ線はＸ線反射体で構
成された主電極２で反射される。Ｘ＃１反射体４はＸ線
の入射部分とレーザ媒質の循環路を妨げないように放電
領域の周囲に形成される。本実施例によればＸ線は放電
領域内のレーザ媒質を多重回照射するため、予備電離効
率向上の効果がある。レーザ媒質は熱交換器を通して除
熱された後、再び、放電領域に戻される。３は循環路の
整流器であり、５，６はレーザ共振器を構成するミラー
である。尚、主電極１、および２はチャン型と呼ばれる
凸面形状をしているため、Ｘ線は様々な方向に反射され
、反射体４に閉じ込められるが、反射体の反射率が低い
場合は、主電極２にはＸ線を透過する材質を用いた方が
効率がよい。
Ｘ線予備電離方式ではＸ線の透過能力が高いため、Ｘｉ
発生装置をレーザ媒質が封入されているレーザ管から分
離し、レーザ媒質の劣化を防ぐことができる０本実施例
は上記レーザ管に必要なＸ線透過窓を主電極対のどちら
か一方のｆｆｉ極とした場合の例であるが、この方法に
よれば、主放電の電界が形成される方向にＸ線照射が行
われる。電界方向における予備電離電子数密度の非均一
性は主電極間のグロー放電の形成に影響を与えない。
発生装置をレーザ媒質が封入されているレーザ管から分
離し、レーザ媒質の劣化を防ぐことができる０本実施例
は上記レーザ管に必要なＸ線透過窓を主電極対のどちら
か一方のｆｆｉ極とした場合の例であるが、この方法に
よれば、主放電の電界が形成される方向にＸ線照射が行
われる。電界方向における予備電離電子数密度の非均一
性は主電極間のグロー放電の形成に影響を与えない。
よって、本実施例によれば、主電極幅全体にわたる均一
なグロー放電を得ることができる。
なグロー放電を得ることができる。
本発明の他の実施例を第２図、第３図および第４図を用
いて説明する。
いて説明する。
第２図はレーザ媒質を循環させる必要のない場合のＸ線
予備電離ガスレーザ装置の要部断面図である。Ｘ線反射
体４はＸ線の入射部分を除いて、レーザ媒質の周囲に形
成される。主電極１はＸ線を透過する材質で構成し、主
電極２はＸ線を反射する材質か、又は、反射率の低い場
合はＸ線を透過する材質で構成する。
予備電離ガスレーザ装置の要部断面図である。Ｘ線反射
体４はＸ線の入射部分を除いて、レーザ媒質の周囲に形
成される。主電極１はＸ線を透過する材質で構成し、主
電極２はＸ線を反射する材質か、又は、反射率の低い場
合はＸ線を透過する材質で構成する。
第３図は主電極１とは別にＸ線透過窓７を設けた場合の
Ｘ線予備電離ガスレーザ装置の要部断面図である。Ｘ線
反射体４はＸ線の入射部分を除いて、レーザ媒質の周囲
に形成される。主電極１゜２はＸ線を透過する材質で構
成する。
Ｘ線予備電離ガスレーザ装置の要部断面図である。Ｘ線
反射体４はＸ線の入射部分を除いて、レーザ媒質の周囲
に形成される。主電極１゜２はＸ線を透過する材質で構
成する。
第４図はＸ線発生装置８をレーザ管内に設置した場合の
Ｘ線予備電離ガスレーザ装置の要部斜視図である。Ｘ線
反射体４はレーザ媒質の周囲に形成される。尚、本実施
例の場合、Ｘ線反射体の断面は楕円とし、その焦点位置
にＸｍ発生装置８を配置した構成が特に効果的である。
Ｘ線予備電離ガスレーザ装置の要部斜視図である。Ｘ線
反射体４はレーザ媒質の周囲に形成される。尚、本実施
例の場合、Ｘ線反射体の断面は楕円とし、その焦点位置
にＸｍ発生装置８を配置した構成が特に効果的である。
主電極１，２はＸ線を透過する材質で構成する。
Ｘ線反射体４としてモリブデンミラーを用いるとき、反
射率を向上させるため表面にコーティングを施してもよ
い。
射率を向上させるため表面にコーティングを施してもよ
い。
本発明によれば、予備電離の均一性に優れ、かつ、レー
ザ媒質の劣化の少ないＸ＃！予備電離方式において、そ
の電離効率を向上させることにより、Ｘ線発生装−置に
必要な電気入力を低減し、レーザシステム全体の発振効
率を向上させることができる。
ザ媒質の劣化の少ないＸ＃！予備電離方式において、そ
の電離効率を向上させることにより、Ｘ線発生装−置に
必要な電気入力を低減し、レーザシステム全体の発振効
率を向上させることができる。
第１図は本発明の一実施例のＸ線予備Ｗ１離ガスレーザ
装置の要部斜視図、第２図は本発明の他の実施例の要部
断面図、第３図、第４図は本発明の、さらに、他の要部
断面図である。 １．２・・・主放電電極、３・・・レーザ媒質＠環用整
流器、４・・・Ｘ線反射体、５・・・レーザ共振器出力
鏡、６・・・レーザ共振器反射鏡、７・・・Ｘ線透過窓
、８・・・第 図 第 刃 し−ヂ媒舊
装置の要部斜視図、第２図は本発明の他の実施例の要部
断面図、第３図、第４図は本発明の、さらに、他の要部
断面図である。 １．２・・・主放電電極、３・・・レーザ媒質＠環用整
流器、４・・・Ｘ線反射体、５・・・レーザ共振器出力
鏡、６・・・レーザ共振器反射鏡、７・・・Ｘ線透過窓
、８・・・第 図 第 刃 し−ヂ媒舊
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｘ線を用いてレーザ媒質を電離するガスレーザ装置
において、 前記レーザ媒質におけるＸ線量を増大させるため、前記
レーザ媒質を電離する領域の周囲にＸ線反射体を設けた
ことを特徴とするガスレーザ装置。 ２、請求項１に記載のガスレーザ装置において、前記レ
ーザ媒質を封入するためのレーザ管にＸ線を透過させる
ための窓部を設け、外部から前記レーザ媒質をＸ線で照
射し、前記窓部を除いて前記Ｘ線反射体を設けたことを
特徴とするガスレーザ装置。 ３、請求項２に記載のガスレーザ装置において、放電電
極対の一方が前記窓部となり、前記窓部を除いて前記Ｘ
線反射体を設けたことを特徴とするガスレーザ装置。 ４、請求項２に記載のガスレーザ装置において、前記放
電電極対の一方が前記窓部となり、他方が前記Ｘ線反射
体となることを特徴とするガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16668389A JPH0334481A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16668389A JPH0334481A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0334481A true JPH0334481A (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=15835800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16668389A Pending JPH0334481A (ja) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0334481A (ja) |
-
1989
- 1989-06-30 JP JP16668389A patent/JPH0334481A/ja active Pending
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