JPH0334908Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、ICリードフレームの自動検査装
置に関する。

〔従来技術〕

従来、メツキ処理されたICリードフレームの
検査の内、シミ、疵、光沢、変形等の外観検査は
仕上げ行程にて目視検査により行われていたが、
目視検査の精度は検査者の経験、疲労等の各種要
因により影響されるためバラついて一定せず改善
が望まれていた。一方、近年の各種光学機器の発
達は、例えば「省力と自動化」〔昭和60年７月号、
(株)オーム社発行〕の第43，44頁に示される如き外
観検査装置を開発する迄に至りこの結果上記外観
検査の自動化が可能となつた。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、近年のように電子技術が高度化
してICが多用されICリードフレームの需要も増
加するとICリードフレーム製造の効率向上は勿
論、各種表面処理を施して完成したICリードフ
レームの仕上げ行程に於ける検査の効率向上が全
体的なICリードフレームの製造に於いて極めて
重要なものとなつてきた。

そこでこの考案は以上の点を考慮して為された
もので、ICリードフレームの検査を効率良く自
動的に行えるICリードフレームの自動検査装置
を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため、外観検査装置に加
えて形状検査装置を検査ラインに設け、検査ライ
ンの入側には予め複数枚積重ね状態としたICリ
ードフレームを１枚当て検査ライン上に移載する
ローデイング装置を、そして検査ラインの出側に
は外観検査装置又は形状検査装置のいずれかの信
号により良品・不良品としてのICリードフレー
ムを検査ライン上から取出す良品・不良品取出装
置を、各々配したICリードフレームの自動検査
装置であつて、外観検査装置は、検査対象として
のICリードフレームに光を照射する照射手段と、
照射された光の反射光よりICリードフレームの
画像を得る検査用テレビカメラを少なくとも備
え、該検査用テレビカメラにて得られる画像と基
準画像とを比較・解析してICリードフレームの
パターン形状及びメツキの外観状態を検知し、形
状検査装置は、一対の導通性のケース、一対の導
電性の接触子、及びケースと接触子の電気的導通
性を検出する導通検出器を備えており且つ、各接
触子が、ICリードフレームの検査対象面の凹凸
形状に対応する凹凸形状とされた接触面を有して
おり、ケースにて正規形状のICリードフレーム
を挟持した場合に各接触子の接触面と正規形状の
ICリードフレームの検査対象面との間に微小間
隔ができるような状態で且つケースに対し絶縁状
態にして対応する各ケース内に固定されており、
そして、ケースにて挟持した検査対象ICリード
フレームについて許容以上の変形の有無をケース
と接触子の電気的導通性の有無により検知するも
のである。

〔作 用〕

そしてこの考案は前記の手段により、ローデイ
ング装置で検査ラインに移載されたICリードフ
レームは、外観検査装置、形状検査装置に順次搬
送される。外観検査装置ではICリードフレーム
に照射手段にて光を照射し、光の反射光を検査用
テレビカメラで捉えてICリードフレームの画像
を得、該画像と、予め記憶されているICリード
フレームの基準画像を比較・解析してパターン形
状及びメツキの外観状態を検知する。

形状検査装置では、一対のケース間にICリー
ドフレームを位置決めし両ケースで挟持する。若
し、変形のない正規形状のICリードフレームで
あれば各接触子の接触面との間に微小間隔が有り
接触せぬが、検査対象としてのICリードフレー
ムに所定の限界値を超える変形の有る場合はIC
リードフレームは接触子のいずれか一方に接触
し、ケースからICリードフレームを経て接触子
に至る経路が電気的に形成され電気的な導通とし
て検出される。この電気的な導通・非導通により
変形形状の有無を検知する。

これら検査装置を通過したICリードフレーム
は外観検査装置又は形状検査装置から検出される
信号にて不良品は不良品取出装置、良品は良品取
出装置より各々取出される。

〔実施例〕

以下、この考案の詳細を図面に基づいて説明す
る。第１図乃至第５図はこの考案の一実施例を示
す図である。

このICリードフレームの自動検査装置１は、
入側に配されたローデイング装置２と、ICリー
ドフレーム３〔以下、リードフレーム〕のパター
ン形状を検知する第１外観検査装置４と、リード
フレーム３の変形を検知する形状検査装置５と、
メツキの外観状態を検知する第２外観検査装置６
と、検査ライン７の出側に配され良品を検査ライ
ン７から取出す良品取出装置８と、検査ライン７
の出側に配され不良品を検査ライン７から取出す
不良品取出装置９からなる。

ローデイング装置２は、予め積まれたリードフ
レーム３を１枚毎に検査ライン７に移載するもの
で、載置台装置１０とチヤツク装置１１からな
る。載置台装置１０はリードフレーム３を載置
し、又適宜の手段により最上位のリードフレーム
３を検査ライン７と略同じ高さに保つもので、リ
ードフレーム３を載置しているテーブル１２を昇
降シリンダ１３にて昇降自在としている。チヤツ
ク装置１１はリードフレーム３を１枚毎に抱持す
るもので、図示せぬ駆動手段にて回転する送り用
ネジ１４にて検査ライン７の交差方向〔矢示Ａ方
向〕に移動自在な支持体１５と、コンパクトシリ
ンダ１６にて上下方向〔矢示Ｂ方向〕に移動自在
とされ、チヤツク爪１７を有するチヤツク爪部１
８からなる。

第１外観検査装置４は、検査対象としてのリー
ドフレーム３に光を照射する照射手段１９と、光
の反射光よりリードフレーム３のパターン形状の
画像を得る検査用テレビカメラ２０と、画像検査
器盤２１からなり、検査用テレビカメラ２０にて
得られる各IC部分Ｐ毎の画像と予め記憶されて
いる正規のリードフレーム３の基準画像を比較・
解析し、パターン形状を検知し良・不良を決定す
る。

形状検査装置５は、リードフレーム３を両面２
２側から挟持する一対のケース２３，２４と、両
ケース２３，２４内に各々絶縁状態で対応させて
設けられ且つリードフレーム３の変形を検出すべ
く配され導電性を有する、一対の接触子２５，２
６と、ケース２３，２４と接触子２５，２６とを
各々接続して電流の導通を検出する導通検出器２
７とからなる。

上側のケース２３と下側のケース２４は共に導
電性の材質にて箱形に形成されている。

接触子２５は上側のケース２３に絶縁板２８を
介して配され、その接触面２５ｆに凸部２９を有
し、接触子２６は下側のケース２４に絶縁板２８
を介して配され、その接触面２６ｆに凹部３０を
有する。接触子２５，２６は、アイランド部分３
１の形状と、リードフレーム３の変形の限界値を
考慮して形成され、変形のない正規形状のリード
フレーム３なら接触せぬようリードフレーム３の
両面２２とそれぞれの接触面２５ｆ，２６ｆとの
間に微小間隔Ｌ１を存在せしめるべく形成されて
いる。各接触子２５，２６の接触面２５ｆ，２６
ｆにおける平坦部３２迄の高さサイズｈ２は、上
下両側のケース２３，２４の高さサイズｈ３より
低くされ接触子２５，２６の各接触面２５ｆ，２
６ｆがリードフレーム３のインナリード３３、枠
部３４と接触せぬものとされている。

導通検出器２７は電線３５にてケース２３と接
触子２５〔ケース２４と接触子２６〕を接続しリ
ードフレーム３の変形で接触子２５，２６の一方
に接触して電気的経路を形成する場合、導通状態
を検出する。尚、この導通状態の検出に際して
は、上下両側のケース２３，２４に接続されてい
る側の極を、ケース２３，２４と接触状態にある
リードフレーム３を支持している回転ローラ６
２、ガイド６３のいずれかに接続して行うことも
可能である。

第２外観検査装置６は、第１外観検査装置４と
同様に照射手段１９と、検査用テレビカメラ２０
と、画像検査器盤２１からなり、各IC部分Ｐ毎
にメツキ対象部位３６の画像と予め記憶されてい
るメツキ対象部位３６の基準画像を比較・解析し
メツキの外観状態について検知して良・不良を決
定する。

良品取出装置８は、リードフレーム３搬送用の
回転ローラ３７と、回転ローラ３７を支持すると
共に検査ライン７の上下方向及び交差方向に図示
せぬ駆動手段により進退動自在とされ対向して配
されている側板３８と、リードフレーム３を収納
すべく配されている載置台装置３９とからなる。

回転ローラ３７は検査ライン７の長手方向〔矢
示Ｃ方向〕の両側に複数設けられモータ４０によ
り回転自在とされ、検査ライン７の交差方向に進
退動自在とされる。側板３８の下端は検査ライン
７側に向けて受部４１が折曲形成され、載置台装
置３９はリードフレーム３を載置すると共にリー
ドフレーム３の最上位と側板３８の受部４１上の
リードフレーム３との間隔Ｌ２を適宜の手段で一
定に保ち、リードフレーム３載置用のテーブル４
２を昇降シリンダ４３で昇降自在とする。テーブ
ル４２上にはリードフレーム３収納用の載台４４
が２個配されている。

検査ライン７と交差状態に横行シリンダ４５
と、ストツカー４６が配され、横行シリンダ４５
はテーブル４２を載台４４ごとレール４７上を移
動させてリードフレーム３の受止位置Ｄ迄引寄
せ、一方ストツカー４６はテーブル４２を格納
し、テーブル４２の交換を容易とするため駆動手
段４８により昇降自在にされており、新たなテー
ブル４２を、横行シリンダ４５相当高さ位置に移
動せしめる。

不良品取出装置９は、上記良品取出装置８と同
じ構成で、異なる点は第１，第２外観検査装置
４，６又は形状検査装置５のいずれかの信号によ
り不良品とされたリードフレーム３を検査ライン
７上から取出すことである。

尚、４９は機械制御電気盤で、良品取出装置８
又は不良品取出装置９を作動制御し、６１はカメ
ラセツト調整部である。そして６２は回転ローラ
で、後述のピンチローラ５４に対向して設けられ
た従動回転自在とされているもので、更に６３は
ガイドで、リードフレーム３搬送時のガイドとな
るものである。

次いで、このICリードフレームの自動検査装
置１による自動検査を説明する。

ローデイング装置２はチヤツク爪１７でリード
フレーム３を抱持し検査ライン７に１枚移載し、
載置台装置１０は最上位のリードフレーム３を検
査ライン７と略同じ高さに保つため昇降シリンダ
１３によりテーブル１２を僅かに上昇させる。

リードフレーム３はモータ４０よりベルト５０
を介して回転する回転ローラ５１の軸部５２上を
移動し、ストツパセンサ５３に接触するとリード
フレーム３の頭出しが行われる。次いでモータ４
０よりベルト５０を介して回転するピンチローラ
５４にリードフレーム３の一端が挟持され且つ他
端はリードフレーム３の移動に応じて従動回転す
る回転ローラ６２の軸部５２に載置された状態で
移動せしめられる。尚、第１外観検査装置４から
第２外観検査装置６迄のリードフレーム３の移動
は、一端がピンチローラ５４で挟持され他端は回
転ローラ６２の軸部５２に載置されそして更に全
体的に同期化して行われる。

第１外観検査装置４迄移動しストツパセンサ５
５に接触すると位置決めピン５６が上昇してリー
ドフレーム３のガイド孔５７に係入して初期位置
の設定が行われる。第１外観検査装置４では照射
手段１９でリードフレーム３に光を照射し反射光
を検査用テレビカメラ２０で捉えリードフレーム
３のIC部分Ｐ全体の画像を、各IC部分Ｐ毎に得、
該画像と基準画像を画像検査器盤２１で比較・解
析しパターン形状について検知し良・不良を決定
する。

次にリードフレーム３は形状検査装置５に至り
アイランド部分３１のセンターと接触子２５，２
６の各センターを合わせ、ケース２３，２４でリ
ードフレーム３を挟持する。リードフレーム３の
枠部３４は上下の両ケース２３，２４の当接面５
８と当接しインナーリード３３は接触子２５，２
６と非接触状態を保つ。

リードフレーム３に変形がなければ接触子２
５，２６の各接触面２５ｆ，２６ｆとの間には微
小間隔Ｌ１が各々有るため接触せぬが、限界以上
の変形が有る場合は凸部２９又は凹部３０に接触
し、ケース２３，２４から〔或いは回転ローラ６
２、ガイド６３から〕リードフレーム３を経て接
触子２５，２６に至る電気的な経路が形成され導
通検出器２７で検出される。枠部３４とアイラン
ド部分３１の双方に限界値以上の形状変化が有る
か否かが容易に精度良く同時に検出し得る。

更にリードフレーム３は第２外観検査装置６に
至り前記第１外観検査装置４同様位置決めピン５
６のガイド孔５７への係入でリードフレーム３の
初期位置設定を行い、反射光を検査用テレビカメ
ラ２０にて捉えリードフレーム３の各IC部分Ｐ
のメツキ対象部位３６の画像を間欠的に順次得て
該画像と基準画像を画像検査器盤２１にて比較・
解析しメツキの外観状態について検知し、良・不
良を決定する。ここでは外観状態の検査のため前
記第１外観検査装置４の検査用テレビカメラ２０
よりも分解能の高いものが採用され微細な検査を
行い得る。

第１，第２外観検査装置４，６、形状検査装置
５を通過し良品取出装置８に至つたリードフレー
ム３は、上記各検査装置４，５，６で不良、異常
の検出されない場合、ストツパ５９にて止められ
良品として取出される。この取出しは、回転ロー
ラ３７が交差方向に退動すると側板３８が下降
し、回転ローラ３７の退動でリードフレーム３は
下降し側板３８の受部４１で受止められ、受部４
１が更に下降すると側板３８は交差方向に開いて
リードフレーム３は載台４４上に位置決めされた
状態で落下して収納される。昇降シリンダ４３は
受部４１のリードフレーム３と載台４４上の最上
位のリードフレーム３との間隔Ｌ２を一定に維持
すべく僅かに下降する。

又、若し上記各検査装置４，５，６にて何らか
の不良又は異常が検出された場合、リードフレー
ム３は良品取出装置８を通過しストツパ５９にて
不良品取出装置９で止められ、良品取出装置８と
同様な操作により不良品が載台４４上に載置され
る。このようにリードフレーム３の外観検査及び
形状検査を連続的、自動的に効率よく行い得る。

上記検査を連続的に行い良品のリードフレーム
３を２個の載台４４の収納限度まで収納すると横
行シリンダ４５はテーブル４２を押してストツカ
ー４６に格納する。ストツカー４６は昇降動して
横行シリンダ４５とテーブル４２との係合を解除
し、新たなテーブル４２を横行シリンダ４５の係
止部６０に係合させ、横行シリンダ４５はテーブ
ル４２を以てリードフレーム３を収納すべく、そ
の受止位置迄引寄せる。

尚、第１，第２外観検査装置４，６及び形状検
査装置５の配置は図示の例に限定されず又第１，
第２外観検査装置４，６を一つにしても良い。

〔効 果〕

この考案に係るICリードフレームの自動検査
装置は以上説明した如き内容のものなので、 (イ) メツキ外観検査、全体的な形状検査を流れ作
業式に自動的に行うので、従来の目視検査は勿
論、前述の機械的検査と比較しても全体的な検
査精度と検査効率を向上でき、 (ロ) 検査対象としての画像と、予め記憶されてい
る基準画像を比較・解析して検出するので、
ICリードフレームのパターン形状及びメツキ
の外観状態の検査精度及び検査効率が向上で
き、 (ハ) 形状検査装置はICリードフレームの変形を
接触子による電気的な導通で検出するので、
ICリードフレームを傷めることなく形状変形
を簡易に精度良く効率的に検出でき、 (ニ) 上下両側のケースにてICリードフレームを
挟持して形状検査を行ので、アイランド部分と
ICリードフレームの形状の変化が同時に検査
でき、検査能率のより一層の向上が図れるとい
う効果があり、更に実施例によれば、 (ホ) ICリードフレームを、その端部をピンチロ
ーラにて挟持しつつ同期化してガイド内を搬送
させれば、検査対象部分の位置ズレを起こすこ
とがないという付随的な効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のICリードフレームの自動
検査装置の一実施例を示す概略斜視説明図、第２
図は第１図の概略工程説明図、第３図は外観検査
装置における検査対象範囲を示すICリードフレ
ームの概略平面図、第４図は形状検査装置の断面
図、そして第５図は第１図中矢示−線に沿う
良品取出し装置の作動状態を示す断面説明図であ
る。 １……ICリードフレームの自動検査装置、２
……ローデイング装置、３……ICリードフレー
ム、４……第１外観検査装置〔外観検査装置〕、
５…形状検査装置、６……第２外観検査装置〔外
観検査装置〕、７……検査ライン、８……良品取
出装置、９……不良品取出装置、１９……照射手
段、２０……検査用テレビカメラ、２２……両
面、２３，２４……ケース、２５，２６……接触
子、Ｌ１……微小間隔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 外観検査装置に加えて形状検査装置を検査ライ
   ンに設け、検査ラインの入側に予め複数枚積重ね
   状態としたICリードフレームを１枚あて検査ラ
   イン上に移載するローデイング装置を、そして検
   査ラインの出側には外観検査装置又は形状検査装
   置のいずれかの信号により良品・不良品としての
   ICリードフレームを検査ライン上から取り出す
   良品・不良品取出装置を、各々配したICリード
   フレームの自動検査装置であつて、 上記外観検査装置は、検査対象としてのICリ
   ードフレームに光を照射する照射手段と、照射さ
   れた光の反射光よりICリードフレームの画像を
   得る検査用テレビカメラを少なくとも備え、該検
   査用テレビカメラにて得られる画像と基準画像と
   を比較・解析してICリードフレームのパターン
   形状及びメツキの外観状態を検知し、 上記形状検査装置は、一対の導電性のケース、
   一対の導電性の接触子、及びケースと接触子の電
   気的導通性を検出する導通検出器を備えており且
   つ、各接触子が、ICリードフレームの検査対象
   面の凹凸形状に対応する凹凸形状とされた接触面
   を有しており、ケースにて正規形状のICリード
   フレームを挟持した場合に各接触子の接触面と正
   規形状のICリードフレームの検査対象面との間
   に微小間隔ができるような状態で且つケースに対
   し絶縁状態にして対応する各ケース内に固定され
   ており、そして、ケースにて挟持した検査対象
   ICリードフレームについて許容以上の変形の有
   無をケースと接触子の電気的導通性の有無により
   検知するものであることを特徴とするICリード
   フレームの自動検査装置。