JPH0336898Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0336898Y2 JPH0336898Y2 JP16499383U JP16499383U JPH0336898Y2 JP H0336898 Y2 JPH0336898 Y2 JP H0336898Y2 JP 16499383 U JP16499383 U JP 16499383U JP 16499383 U JP16499383 U JP 16499383U JP H0336898 Y2 JPH0336898 Y2 JP H0336898Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semi
- light
- transparent mirror
- incident
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、マイケルソン型干渉計に関し、特
に、干渉光の利用効率の良いマイケルソン型干渉
計に関する。
に、干渉光の利用効率の良いマイケルソン型干渉
計に関する。
第１図は、一般的なマイケルソン型干渉計を示
しており、入射光束１は、半透明鏡２に45゜の角
度で入射し、該半透明鏡２によつて反射光３と透
過光４に分割される。該反射光と透過光は、夫々
固定鏡５、移動鏡６によつて反射された後、再び
該半透明鏡に入射して干渉光７が作成される。こ
のようなマイケルソン型干渉計では、固定鏡５と
移動鏡６によつて反射し、半透明鏡に入射する光
の半分は入射光束１側に出てしまうため、干渉光
の利用効率は50％となつてしまう。
しており、入射光束１は、半透明鏡２に45゜の角
度で入射し、該半透明鏡２によつて反射光３と透
過光４に分割される。該反射光と透過光は、夫々
固定鏡５、移動鏡６によつて反射された後、再び
該半透明鏡に入射して干渉光７が作成される。こ
のようなマイケルソン型干渉計では、固定鏡５と
移動鏡６によつて反射し、半透明鏡に入射する光
の半分は入射光束１側に出てしまうため、干渉光
の利用効率は50％となつてしまう。
第２図は、干渉光の利用効率を改善したマイケ
ルソン型干渉計を示しており、図中１１は入射光
束、１２は透明板であり、該透明板１２の片側の
半面には第１の半透明鏡１３が設けられ、他方の
側の半面には第２の半透明鏡１４が設けられてい
る。該入射光束１１は、該第１の半透明鏡によつ
て２光束に分割され、一方の反射光１５は第１の
コーナキユーブ１６によつて反射され、他方の透
過光１７は第２のコーナキユーブ１８によつて反
射され、両光は第２の半透明鏡１４の同一部分に
入射する。該第２の半透明鏡１４において２種の
光が結合され、異なつた方向に向う干渉光１９，
２０が得られる。この第２図に示したマイケルソ
ン型干渉計は、干渉光の略全部を利用し得るが、
入射光束の半透明鏡への入射位置と半透明鏡にお
ける干渉光の作成位置とが異なつているために、
第１図に示したマイケルソン型干渉計に比べ、大
きな半透明鏡を用いなければならない。
ルソン型干渉計を示しており、図中１１は入射光
束、１２は透明板であり、該透明板１２の片側の
半面には第１の半透明鏡１３が設けられ、他方の
側の半面には第２の半透明鏡１４が設けられてい
る。該入射光束１１は、該第１の半透明鏡によつ
て２光束に分割され、一方の反射光１５は第１の
コーナキユーブ１６によつて反射され、他方の透
過光１７は第２のコーナキユーブ１８によつて反
射され、両光は第２の半透明鏡１４の同一部分に
入射する。該第２の半透明鏡１４において２種の
光が結合され、異なつた方向に向う干渉光１９，
２０が得られる。この第２図に示したマイケルソ
ン型干渉計は、干渉光の略全部を利用し得るが、
入射光束の半透明鏡への入射位置と半透明鏡にお
ける干渉光の作成位置とが異なつているために、
第１図に示したマイケルソン型干渉計に比べ、大
きな半透明鏡を用いなければならない。
本考案は、上述した点に鑑みてなされたもの
で、干渉光の利用効率に優れ、小さな半透明鏡を
使用し得るマイケルソン型干渉計を提供する。
で、干渉光の利用効率に優れ、小さな半透明鏡を
使用し得るマイケルソン型干渉計を提供する。
本考案に基づくマイケルソン型干渉計は、入射
光束を反射光と透過光の２光束に分割するための
半透明鏡と、該半透明鏡によつて反射された光を
該半透明鏡の入射光束の入射部分に導くための複
数の反射鏡と、該半透明鏡を透過した光を該半透
明鏡の入射光束の入射部分に導くための複数の反
射鏡とを備え、該反射光の該半透明鏡に対する入
射角と該透過光の該半透明鏡に対する入射角とが
等しくなり、該入射角が前記入射光束の該半透明
鏡に対する入射角と相違するように各鏡を配置す
ると共に、少なくとも該反射光と透過光とのいず
れかの光路長を変化させ得るように構成した点に
特徴を有している。
光束を反射光と透過光の２光束に分割するための
半透明鏡と、該半透明鏡によつて反射された光を
該半透明鏡の入射光束の入射部分に導くための複
数の反射鏡と、該半透明鏡を透過した光を該半透
明鏡の入射光束の入射部分に導くための複数の反
射鏡とを備え、該反射光の該半透明鏡に対する入
射角と該透過光の該半透明鏡に対する入射角とが
等しくなり、該入射角が前記入射光束の該半透明
鏡に対する入射角と相違するように各鏡を配置す
ると共に、少なくとも該反射光と透過光とのいず
れかの光路長を変化させ得るように構成した点に
特徴を有している。
以下、本考案の実施例を添附図面に基づいて詳
述する。
述する。
第３図において、入射光束２１は半透明鏡２２
に、入射角度15゜で入射している。該入射光束２
１は該半透明鏡２２によつて２つの光束２３，２
４に分割され、該半透明鏡によつて反射された一
方の光２３は、第１と第２の反射鏡２５，２６に
よつて反射された後に、該半透明鏡２２に角度
45゜で入射する。該第１と第２の反射鏡２５，２
６は、75゜の角度を成して配置されており、該２
つの反射鏡によつて反射された光は、半透明鏡２
２の入射光束２１が入射した部分に導かれる。該
半透明鏡２２を透過した他方の光２４は、第３と
第４の反射鏡２７，２８によつて反射された後
に、該半透明鏡２２に角度45゜で入射する。該第
３と第４の反射鏡２７，２８は、75゜の角度を成
して配置されており、該２つの反射鏡によつて反
射された光は、半透明鏡２２の入射光束２１が入
射した部分に導かれる。該半透明鏡に導かれた２
種の光２３，２４は、該半透明鏡上において結合
され、その結合した光の約半分は、第１の干渉光
２９となり、他の半分の光は第２の干渉光３０と
なる。尚、第３と第４の反射鏡２７，２８は、図
中矢印Ａの方向に移動可能に構成されている。こ
こで、該干渉光２９の光路に試料を配置し、該試
料を透過した光を検出し、他方の干渉光３０をそ
のまま別個の検出器によつて検出し、両検出器の
出力信号の差を求めれば、バツクグラウンドノイ
ズが除去された信号を得ることができる。更に、
両干渉光２９，３０の夫々の光路に同一試料を配
置し、該試料を透過した光を、相互に異なつた波
数領域に感度を有する別個の検出器によつて検出
すれば、同時に試料の異なつた情報を測定するこ
とができる。
に、入射角度15゜で入射している。該入射光束２
１は該半透明鏡２２によつて２つの光束２３，２
４に分割され、該半透明鏡によつて反射された一
方の光２３は、第１と第２の反射鏡２５，２６に
よつて反射された後に、該半透明鏡２２に角度
45゜で入射する。該第１と第２の反射鏡２５，２
６は、75゜の角度を成して配置されており、該２
つの反射鏡によつて反射された光は、半透明鏡２
２の入射光束２１が入射した部分に導かれる。該
半透明鏡２２を透過した他方の光２４は、第３と
第４の反射鏡２７，２８によつて反射された後
に、該半透明鏡２２に角度45゜で入射する。該第
３と第４の反射鏡２７，２８は、75゜の角度を成
して配置されており、該２つの反射鏡によつて反
射された光は、半透明鏡２２の入射光束２１が入
射した部分に導かれる。該半透明鏡に導かれた２
種の光２３，２４は、該半透明鏡上において結合
され、その結合した光の約半分は、第１の干渉光
２９となり、他の半分の光は第２の干渉光３０と
なる。尚、第３と第４の反射鏡２７，２８は、図
中矢印Ａの方向に移動可能に構成されている。こ
こで、該干渉光２９の光路に試料を配置し、該試
料を透過した光を検出し、他方の干渉光３０をそ
のまま別個の検出器によつて検出し、両検出器の
出力信号の差を求めれば、バツクグラウンドノイ
ズが除去された信号を得ることができる。更に、
両干渉光２９，３０の夫々の光路に同一試料を配
置し、該試料を透過した光を、相互に異なつた波
数領域に感度を有する別個の検出器によつて検出
すれば、同時に試料の異なつた情報を測定するこ
とができる。
このように、上述した実施例においては、干渉
光の略全部を利用し得ると共に、半透明鏡で分割
された２種の光を、複数の反射鏡によつて半透明
鏡の入射光束が入射する位置に導いているため
に、小さな半透明鏡を使用することができる。
光の略全部を利用し得ると共に、半透明鏡で分割
された２種の光を、複数の反射鏡によつて半透明
鏡の入射光束が入射する位置に導いているため
に、小さな半透明鏡を使用することができる。
以上本考案を詳述したが、本考案は第３図に示
した構成に限定されず、幾多の変形が可能であ
る。例えば、半透明鏡に対する入射光束の入射角
は、第３図の実施例に限らず、第４図に示す如
く、45゜であつても良い。尚、第４図において、
第３図と同一乃至は同種の構成要素及び光束につ
いては、同一の番号を付し、その説明を省略す
る。又、半透明鏡によつて分割された光を再び半
透明鏡に導くために、夫々２枚の反射鏡を用いた
が、３枚以上の反射鏡によつて分割された光を半
透明鏡に導くようにしても良い。
した構成に限定されず、幾多の変形が可能であ
る。例えば、半透明鏡に対する入射光束の入射角
は、第３図の実施例に限らず、第４図に示す如
く、45゜であつても良い。尚、第４図において、
第３図と同一乃至は同種の構成要素及び光束につ
いては、同一の番号を付し、その説明を省略す
る。又、半透明鏡によつて分割された光を再び半
透明鏡に導くために、夫々２枚の反射鏡を用いた
が、３枚以上の反射鏡によつて分割された光を半
透明鏡に導くようにしても良い。
第１図及び第２図は、従来のマイケルソン型干
渉計を示す図、第３図及び第４図は、本考案に基
づくマイケルソン型干渉計を示す図である。 ２２……半透明鏡、２５，２６，２７，２８…
…反射鏡。
渉計を示す図、第３図及び第４図は、本考案に基
づくマイケルソン型干渉計を示す図である。 ２２……半透明鏡、２５，２６，２７，２８…
…反射鏡。
Claims (1)
- 入射光束を反射光と透過光の２光束に分割する
ための半透明鏡と、該半透明鏡によつて反射され
た光を該半透明鏡の入射光束の入射部分に導くた
めの複数の反射鏡と、該半透明鏡を透過した光を
該半透明鏡の入射光束の入射部分に導くための複
数の反射鏡とを備え、該反射光の該半透明鏡に対
する入射角と該透過光の該半透明鏡に対する入射
角とが等しくなり、該入射角が前記入射光束の該
半透明鏡に対する入射角と相違するように各鏡を
配置すると共に、少なくとも該反射光と透過光と
のいずれかの光路長を変化させ得るように構成し
たマイケルソン型干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16499383U JPS6072511U (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | マイケルソン型干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16499383U JPS6072511U (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | マイケルソン型干渉計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6072511U JPS6072511U (ja) | 1985-05-22 |
| JPH0336898Y2 true JPH0336898Y2 (ja) | 1991-08-05 |
Family
ID=30361582
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16499383U Granted JPS6072511U (ja) | 1983-10-25 | 1983-10-25 | マイケルソン型干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6072511U (ja) |
-
1983
- 1983-10-25 JP JP16499383U patent/JPS6072511U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6072511U (ja) | 1985-05-22 |
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