JPH0336947U - - Google Patents
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- JPH0336947U JPH0336947U JP9785089U JP9785089U JPH0336947U JP H0336947 U JPH0336947 U JP H0336947U JP 9785089 U JP9785089 U JP 9785089U JP 9785089 U JP9785089 U JP 9785089U JP H0336947 U JPH0336947 U JP H0336947U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- extraction unit
- ccd camera
- defect extraction
- defects
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 19
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 7
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図は従来のデイスク表面欠陥検査装置を示す
ブロツク図、第３図は検出対象欠陥の一例を示し
た図である。 １……２次元ＣＣＤカメラ、２，３……欠陥抽
出ユニツト、４……欠陥選択ユニツト、ａ……欠
陥例１、ｂ……欠陥例２。
第２図は従来のデイスク表面欠陥検査装置を示す
ブロツク図、第３図は検出対象欠陥の一例を示し
た図である。 １……２次元ＣＣＤカメラ、２，３……欠陥抽
出ユニツト、４……欠陥選択ユニツト、ａ……欠
陥例１、ｂ……欠陥例２。
Claims (1)
- ２次元ＣＣＤカメラと、前記ＣＣＤカメラに接
続され前記ＣＣＤカメラの画像の濃淡を第１のし
きい値により判別して欠陥情報を抽出する第１の
欠陥抽出ユニツトと、前記第１の欠陥抽出ユニツ
トと並列に前記ＣＣＤカメラに接続され前記第１
のしきい値より低い第２のしきい値により前記Ｃ
ＣＤの画像の濃淡を判別して欠陥情報を抽出する
第２の欠陥抽出ユニツトと、前記第１と第２の欠
陥抽出ユニツトに接続され前記第１の欠陥抽出ユ
ニツトが抽出した欠陥情報はすべて欠陥とし前記
第２の欠陥抽出ユニツトが抽出した欠陥情報を予
め設定した大きさ以上のもののみを欠陥とする欠
陥選択ユニツトとを含むことを特徴とするデイス
ク表面欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9785089U JPH0336947U (ja) | 1989-08-21 | 1989-08-21 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9785089U JPH0336947U (ja) | 1989-08-21 | 1989-08-21 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0336947U true JPH0336947U (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=31646977
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9785089U Pending JPH0336947U (ja) | 1989-08-21 | 1989-08-21 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0336947U (ja) |
-
1989
- 1989-08-21 JP JP9785089U patent/JPH0336947U/ja active Pending
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