JPH0337248Y2 - - Google Patents

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JPH0337248Y2
JPH0337248Y2 JP1294785U JP1294785U JPH0337248Y2 JP H0337248 Y2 JPH0337248 Y2 JP H0337248Y2 JP 1294785 U JP1294785 U JP 1294785U JP 1294785 U JP1294785 U JP 1294785U JP H0337248 Y2 JPH0337248 Y2 JP H0337248Y2
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laser beam
oscillator
pressure
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correction device
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Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案はレーザビームを平行に集束し、その
レーザビーム補正装置に係り、特にその出力ウイ
ンドウの湾曲を防止する装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
第2図は従来のレーザビーム補正装置を示す概
略説明図であり、図において1は発振器、3はこ
の発振器1の出力側(図面右側)に設けられた補
正装置2と発振器1との間に設けた出力ウインド
ウ、4は出力ウインドウ3を透過したレーザビー
ム5aを下方に反射させる第一のベンドミラー、
6は第一のベンドミラー4から反射してきたレー
ザビーム5bを平行に集束させながら上方に反射
させる凹面ミラー、7は凹面ミラー6から反射し
てきたレーザビーム5cを加工ヘツド(図示せ
ず)の方向(図面右側)へ反射させる第二のベン
ドミラーであり、発振器1の内部は真空、補正装
置2の内部は大気圧となつている。
従来のレーザビーム補正装置は上記のように構
成され、発振器1から出力されたレーザビーム5
aは出力ウインドウ3を透過して第一のベンドミ
ラー4で下方に反射される。発振器1から出力さ
れるレーザビーム5aはわずかに拡散しているの
で、第一のベンドミラー4で反射された後、凹面
ミラー6で平行に集束補正されながら上方に反射
される。凹面ミラー6で反射されたレーザビーム
5cは第二のベンドミラー7で加工ヘツド(図示
せず)の方向(図面右側)に反射出力される。
〔考案が解決しようとする問題点〕
上記のような従来のレーザビーム補正装置で
は、発振器1の内部が真空で、補正装置2の内部
が大気圧となつているので、特にウインドウがレ
ーザ光の一部を吸収し、温度上昇すると出力ウイ
ンドウ3が、二点鎖線3aでしめすように、発振
器1の方向に湾曲し、出力ウインドウ3がレンズ
になり、出力されるレーザビーム5aが歪むこと
があるという問題点があつた。
この考案は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、出力ウインドウが湾曲せず、レー
ザビームが歪まない状態で出力できるレーザビー
ム補正装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この考案に係るレーザビーム補正装置は、発振
器の出力ウインドウに対向させて集光レンズを設
けて、該出力ウインドウと該集光レンズとの間に
緩衝室を形成し、該緩衝室の圧力を該発振器内の
圧力と大気圧との中間の圧力としたものである。
〔作 用〕
この考案においては、大気圧が集光レンズで弱
められて出力ウインドウに作用するので、出力ウ
インドウの湾曲を抑制する。
〔実施例〕
第1図はこの考案の一実施例を示す概略説明図
であり、1〜5は上記従来装置と全く同一のもの
であり、その説明を省略する。8は出力ウインド
ウ3に対向させて設けた集光レンズであり、出力
ウインドウ3と集光レンズ8とのあいだには緩衝
室9が形成されている。集光レンズ8はレーザビ
ームの吸収を少なくするために、出力ウインドウ
3と同様、KCから成る材質で形成されている。
又、緩衝室9の圧力は発振器1の内部の圧力と大
気圧との中間としている。例えば、発振器1の内
部の圧力を70Torr、大気圧を760Torrとした場
合、緩衝室9の圧力は200〜500Torr程度にされ
ている。
上記のように構成されたレーザビーム補正装置
においては、大気圧が集光レンズ8で弱められて
出力ウインドウ3に作用するので、出力ウインド
ウ3の湾曲を抑制させることになる。
〔考案の効果〕
この考案は以上説明したとおり、発振器の出力
ウインドウに対向させて集光レンズを設けて、該
出力ウインドウと該集光レンズとの間に緩衝室を
形成し、該緩衝室の圧力を該発振器内の圧力と大
気圧との中間の圧力とすることにより、大気圧に
よる出力ウインドウの湾曲を抑制し、レーザビー
ムの歪みをなくするという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す概略説明
図、第2図は従来のレーザビーム補正装置の概略
説明図である。 図において、1は発振器、2は補正装置、3は
出力ウインドウ、4はベンドミラー、5はレーザ
ビーム、8は集光レンズ、9は緩衝室である。な
お、各図中同一符号は同一または相当部分を示
す。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 発振器から出力されたレーザービームを平行
    に集束補正させるレーザービーム補正装置にお
    いて、該発振器の出力ウインドウに対向させて
    集光レンズを設けると共に、該出力ウインドウ
    と該集光レンズとの間に緩衝室を形成し、該緩
    衝室の圧力を、該発振器内の圧力と大気圧との
    中間の圧力としたことを特徴とするレーザビー
    ム補正装置。 (2) 緩衝室の圧力が200〜500Torr、発振器の圧
    力が70Torrであることを特徴とする実用新案
    登録請求の範囲第1項に記載のレーザビーム補
    正装置。
JP1294785U 1985-01-31 1985-01-31 Expired JPH0337248Y2 (ja)

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JP1294785U JPH0337248Y2 (ja) 1985-01-31 1985-01-31

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Publication Number Publication Date
JPS61129368U JPS61129368U (ja) 1986-08-13
JPH0337248Y2 true JPH0337248Y2 (ja) 1991-08-07

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