JPH033760A - デジタイジング制御装置 - Google Patents

デジタイジング制御装置

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JPH033760A
JPH033760A JP1136746A JP13674689A JPH033760A JP H033760 A JPH033760 A JP H033760A JP 1136746 A JP1136746 A JP 1136746A JP 13674689 A JP13674689 A JP 13674689A JP H033760 A JPH033760 A JP H033760A
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distance detector
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digitizing
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Hitoshi Matsuura
仁 松浦
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はモデルの形状をならいながら逐次位置データを
取り込み、NCデータとして出力するデジタイジング制
御装置に関し、特に簡単な構成で高精度の法線方向デー
タを得ることのできるデジタイジング制御装置に関する
〔従来の技術〕
従来より、デジタイジング制御装置に使用されるトレー
サヘッドとしては接触型プローブが使用されており、こ
れをモデル面に接触させることにより変位情報を得て、
送り制御あるいはNCCブタ算出を行っていた。しかし
、この方法はプロブの接触圧により、柔らかい材質のモ
デルの表面を傷つける欠点があった。
この点を改良するために、モデル表面までの距離を非接
触で検出する非接触距離検出器でトレーサヘッドを構成
したデジタイジング制御装置が開発されている。
方、接触型プローブと異なり、非接触距離検出器は同時
に1次元の変位情報しか検出できない。
したがって、上記のデジタイジング制御装置は、工具の
オフセット量等の計算に必要な法線方向データを得るた
めに、例えば非接触距離検出器を3個設けて同時にモデ
ル表面上の異なる3点の座標値を求め、これら3点の座
標値から法線ベクトルを算出して求めている。また、別
な方法として、ジグザグのならい通路を創成し、このな
らい通路上の順次測定した3点の座標値から法線ベクト
ルを算出して求約ている。
〔発明が解決しようどする課題〕
しかし、非接触距離検出器を3個設けることはコストが
高くなり、好ましくない。また、ジグザグのならい通路
を創成することは、送り速度等の機械的な条件での制約
がつき、精度が低下し、またデジタイジングに要する時
間が長くなる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、簡
単な構成で高精度の法線方向データを得ることのできる
デジタイジング制御装置を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明では上記課題を解決するために、モデルの形状を
ならいながら逐次位置データを取り込み、NCデータと
して出力するデジタイジング制御装置において、各々独
立にモデル表面までの距離を測定する第1及び第2の非
接触距離検出器を送り方向に対して互いに並送する位置
に設けたトレーサヘッドと、所定のサンプリング時間毎
に前記第1及び第2の非接触距離検出器のそれぞれの測
定値をサンプリングするサンプリング手段と、前回のサ
ンプリング時にサンプリングされた前記第1の非接触距
離検出器の第1の測定値及び前記第2の距離検出器の第
2の測定値を記憶する記憶手段と、前記第1及び第2の
測定値と、今回のサンプリング時にサンプリングされた
前記第1の距離検出器の第3の測定値及び前記第2の非
接触距離検出器の第4の測定値のうちの少なくとも三つ
の測定値に基づいて前記モデル表面の法線方向データを
求める演算手段と、を有することを特徴とするデジタイ
ジング制御装置が提供される。
〔作用〕
一つの距離検出器からの前回と今回のサンプリング時の
測定値に基づいてモデル面」二の微小な長方形の各頂点
の座標値を得て、この中の所要の三つの頂点の座標値に
基づいて法線ベクトルを求め、法線方向データを得る。
〔実施例〕
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明の一実施例のデジタイジング制御装置の
ハードウェアの構成を示したブロック図である。図にお
いて、プロセッサ11はバス10を介してROM12に
格納されたシステムプログラムを読みだし、このシステ
ムプログラムに従ってデジタイジング制御装置1の全体
の動作を制御する。RAM13はDRAMで構成され、
後述するサンプリングされた測定値、及びその他の−時
的なデータを記憶する。不揮発性メモリ14は図示され
ていないバッテリでバックアップされており、デジタイ
ジングに必要な各種のパラメータを格納する。これらの
パラメータはインターフェース15を介して操作盤2よ
り入力される。
トレーサヘッド3は距離検出器30a及び30bより構
成されている。距離検出器30a及び30bには半導体
レーザあるいは発光ダイオードを光源とした反射光量式
の距離検出器が使用され、それぞれモデル4までの距離
を非接触で測定する。
なお、この他に同じく光学式の三角測距式距離検出器、
あるいは高周波発振による渦電流式距離検出器、超音波
距離検出器等も使用することができる。
デジタイジング制御装置1内のサンプリング回路16は
距離検出器30a及び30bからの測定値を所定のサン
プリング時間毎にサンプリングして、RAM13に格納
する。このデータは逐次プロセッサ11によって読み取
られ、トレーサヘッド3の軸変位量及び法線方向データ
が算出される。
ならい制御回路17はプロセッサ11からトレサヘッド
3の送り方向、ならい速度等を指令されると共に、軸変
位量を人力され、周知の技術によって各軸の速度信号V
x、Vy、Vzを発生ずる。サーボアンプ18x、18
.y、18zは速度信号Vx、Vy、Vzを増幅して機
械側に取りつけられたX軸周ザーボモータ31x、Y軸
周サーボモータ31y、z軸周サーボモータ31zを駆
動する。これにより、トレーサヘッド3は、距離検出器
30aあるいは30bの何れか一方、またはこれらの中
間の所定点からモデル4の表面までの距離を一定に保ち
ながら、指令された送り方向、ならい速度で移動する。
また、ならい制御回路17は上記の制御と同時に、指令
された送り方向に基づいて回転制御指令R■を発生し、
サーボアンプ190がこの回転制御信号Reを増幅して
トレーサヘッド3に取りつけられた0軸のサーボモータ
32eを駆動し、これによりトレーサヘッド3の距離検
出器30a及び30bが常に送り方向に対して正確に並
送するように制御される。
パルスコーダ33x、33y、33zはサーボモータ3
1x、31y、31zが所定角度回転する毎にパルス信
号FPx、FPy、FPzを発生する。デジタイジング
制御装置1内の現在位置レジスタ20は、これらのパル
ス信号をそれぞれ可逆計数して各軸の現在位置を記憶し
、位置データとしてプロセッサ11に入力する。
プロセッサ11はこの位置データを一定時間毎に、ある
いは位置データの変動量が所定のトレランス値を越えた
時に取り込むと共に、先に求めた法線方向データより工
具の形状に合わせたオフセット量を求めてNCデータを
生成する。
このNCデータはインターフェース21を介して紙テー
プリーダ/パンチャー34に人力され、NCテープが作
成される。また、インターフェース21に直接に図示さ
れていない数値制御工作機械を接続することにより、オ
ンラインで高精度のならい加工を行うこともできる。
第2図は上記のデジタイジング制御装置1における法線
方向データの算出方法の説明図である。
図において、トレーサヘッド3が送り方向に所定のなら
い速度で移動し、所定時間毎に距離検出器30aの測定
値がサンプリングされ、この測定値と第1図の現在位置
レジスタ20に格納されたデータとから、モデル4の面
上の点P1.、Plo−1、Pl、、の座標値が求めら
れる。同様に、サンプリングされた距離検出器30bの
測定値と現在位置レジスタ20に格納されたデータとか
ら、点P2.、    P2.、、P2.、の座標値が
求められる。
次に、点P1oの座標値(Xl、、Yl、  Zl、)
及び点P2..の座標値(X2n、Y2゜Z2.、)か
ら、表面ベクトルS1〔X2n−xl。、Y2.、−Y
l、、、Z2+、−Zl、、〕を求める。
また、点P1..の座標値(XI、、、Yl、、、21
イ)及び点P]、、−,の座標値(Xl、−、、Yl、
Zl、−、)から、表面ベクトルS2〔Xl、。
Xi、、、Yl、、−、−Yl、、、Zl、、、Zl、
〕を求める。
0 ここで、トレーサヘッド3のe軸は距離検出器30a及
び30bが送り方向に正確に並送するように制御されて
いるので、表面ベクトルS1と82は常に互いに直交し
ている。したがって、次式%式% で表面ベクトルS1と表面ベクトルS2との外積を演算
して法線ベクトルNOを求めることによって、法線方向
データが得られる。
第3図は本発明の一実施例のデジタイジング制御装置の
法線方向データの算出時のフローチャートである。図に
おいて、STに続く数値はステップ番号を示す。
[ST1’]サンプリングを開始する。
[5T2)1回目のサンプリングの場合はSTIへ戻っ
て次のサンプリングを行う。
[ST3’l今回のサンプリング時における距離検出器
30aの測定値と、今回のサンプリング時における距離
検出器30bの測定値に基づいて表面ベクトルS1を求
める。
C3T4:]今回のサンプリング時における距離検出器
30aの測定値と、前回のサンプリング時における同じ
く距離検出器30aの測定値に基づいて表面ベクトルS
2を求める。
[ST5]表面ベクトル81及びS2の外積を演算して
法線方向ベクトルNOを求め、その表面の法線方向デー
タを得る。
[’ST6]指令された範囲のデジタイジングが終了し
たかどうかを判断し、終了していなければST1へ戻っ
て次のサンプリングを行う。
なお、上記の実施例では前回のサンプリング時の一方の
距離検出器の測定値と、今回のサンプリング時の両方の
距離検出器の測定値に基づいて法線ベクトルを求めたが
、これに限らず、少なくとも前回と今回のサンプリング
によって得られた四つの測定値のうちの他の組み合わせ
による3点からも同様な法線ベクトルを求めることもで
きる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明では、二つの距離検出器から
の前回と今回のサンプリング時の測定値1 2 に基づいてモデル面上の微小な長方形の各頂点の座標値
を得て、この中の所要の三つの頂点の座標値に基づいて
法線ベクトルを求め、法線方向データを得るので、従来
の3個の距離検出器を用いたものに比較して低コストと
なる。また、トレーサヘッドの送り方向をジグザグにす
る必要がなく、送り速度に制約されない高精度のデジタ
イジングが可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例のデジタイジング制御装置の
ハードウェアの構成を示したブロック図、第2図は本発
明の一実施例のデジタイジング制御装置の法線方向デー
タの算出方法の説明図、第3図は本発明の一実施例のデ
ジタイジング制御装置の法線方向データの算出方法のフ
ローチャートである。 1 3 6 30a、30b Sl、S2 O トレーサへラド モデル プロセッサ AM サンプリング手段 距離検出器 表面ベクトル 法線ベクトル

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)モデルの形状をならいながら逐次位置データを取
    り込み、NCデータとして出力するデジタイジング制御
    装置において、 各々独立にモデル表面までの距離を測定する第1及び第
    2の非接触距離検出器を送り方向に対して互いに並送す
    る位置に設けたトレーサヘッドと、所定のサンプリング
    時間毎に前記第1及び第2の非接触距離検出器のそれぞ
    れの測定値をサンプリングするサンプリング手段と、 前回のサンプリング時にサンプリングされた前記第1の
    非接触距離検出器の第1の測定値及び前記第2の距離検
    出器の第2の測定値を記憶する記憶手段と、 前記第1及び第2の測定値と、今回のサンプリング時に
    サンプリングされた前記第1の距離検出器の第3の測定
    値及び前記第2の非接触距離検出器の第4の測定値のう
    ちの少なくとも三つの測定値に基づいて前記モデル表面
    の法線方向データを求める演算手段と、 を有することを特徴とするデジタイジング制御装置。
  2. (2)前記演算手段は、前記三つの測定値に基づいて前
    記モデル表面上の異なる3点の座標値を求め、前記3点
    の座標値から互いに直交する第1及び第2のベクトルを
    作成し、前記第1及び第2のベクトル間の外積演算を行
    うことにより前記法線方向データを求めることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載のデジタイジング制御装
    置。
  3. (3)前記トレーサヘッドを前記送り方向の角度に従っ
    て回転制御することを特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載のデジタイジング制御装置。
JP1136746A 1989-05-30 1989-05-30 デジタイジング制御装置 Pending JPH033760A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992001534A1 (fr) * 1990-07-25 1992-02-06 Fanuc Ltd Dispositif de commande de copie sans contact
WO1992004157A1 (fr) * 1990-09-07 1992-03-19 Fanuc Ltd Dispositif de commande de copiage sans contact
WO1992008575A1 (fr) * 1990-11-08 1992-05-29 Fanuc Ltd Dispositif de commande de numerisation
WO1992011974A1 (fr) * 1991-01-14 1992-07-23 Fanuc Ltd Procede de numerisation sans contact
US10132624B2 (en) 2012-02-15 2018-11-20 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Normal detection method, normal detection device, and machining machine provided with normal detection function

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04256554A (ja) * 1991-02-06 1992-09-11 Fanuc Ltd 非接触デジタイジング制御装置
JPH05104413A (ja) * 1991-10-16 1993-04-27 Fanuc Ltd デイジタイジング制御装置
JP3230826B2 (ja) * 1991-10-16 2001-11-19 ファナック株式会社 スポット溶接ガンの位置補正方法及びロボット溶接装置
JPH0914902A (ja) * 1995-07-03 1997-01-17 Ushikata Shokai:Kk 図形測定装置
US6166506A (en) * 1998-06-19 2000-12-26 Tregaskiss, Ltd. Wireless safety clutch
DE10100156A1 (de) * 2001-01-03 2002-07-04 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zur Meßwerterfassung
US7715602B2 (en) * 2002-01-18 2010-05-11 Orthosoft Inc. Method and apparatus for reconstructing bone surfaces during surgery
US20060206233A1 (en) * 2005-03-09 2006-09-14 Carpenter David A Method and apparatus for cutting a workpiece
US9491275B2 (en) * 2005-09-15 2016-11-08 AT&T Intellectual Property I, L.P., by transfer of ownership from AT&T Systems, methods and computer program products for aggregating contact information
JP5936039B2 (ja) * 2012-02-29 2016-06-15 三菱重工業株式会社 法線検出方法、法線検出装置および法線検出機能を備えた加工機

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61274853A (ja) * 1985-05-28 1986-12-05 Shin Meiwa Ind Co Ltd 罫書き線追従装置
JPS6215063A (ja) * 1985-07-10 1987-01-23 Shin Meiwa Ind Co Ltd 罫書き線追従装置における距離、姿勢制御装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3101226A1 (de) * 1981-01-16 1982-09-02 Josef M. 8934 Großaitingen Röhrich Verfahren und vorrichtung zur herstellung von bildhauererzeugnissen
CA1171494A (en) * 1981-03-31 1984-07-24 John L. Henderson Pattern tracer using digital logic
JPS5969248A (ja) * 1982-10-12 1984-04-19 Okuma Mach Works Ltd 工具径自動計測補正方法
JPS6056857A (ja) * 1983-09-09 1985-04-02 Fanuc Ltd トレ−サヘツドの自動調整方法
JPH0729257B2 (ja) * 1987-07-31 1995-04-05 ファナック株式会社 デジタイジング装置
JPH01115550A (ja) * 1987-10-23 1989-05-08 Fanuc Ltd デジタイジング方法
IT212380Z2 (it) * 1987-10-26 1989-07-04 Advanced Data Processing Macchina per il rilevamento e la matematizzazione della superficie di modelli tridimensionali partico larmente per la costruzione di stampi con macchine utensili a controllo numerico
JP2577950B2 (ja) * 1988-03-22 1997-02-05 オークマ 株式会社 非接触式デジタイザ
JPH01245307A (ja) * 1988-03-28 1989-09-29 Okuma Mach Works Ltd 非接触式デジタイザ
JPH01274955A (ja) * 1988-04-27 1989-11-02 Fanuc Ltd 非接触距離測定装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61274853A (ja) * 1985-05-28 1986-12-05 Shin Meiwa Ind Co Ltd 罫書き線追従装置
JPS6215063A (ja) * 1985-07-10 1987-01-23 Shin Meiwa Ind Co Ltd 罫書き線追従装置における距離、姿勢制御装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992001534A1 (fr) * 1990-07-25 1992-02-06 Fanuc Ltd Dispositif de commande de copie sans contact
US5345687A (en) * 1990-07-25 1994-09-13 Fanuc, Ltd. Noncontact tracing control device
EP0494314B1 (en) * 1990-07-25 1996-07-10 Fanuc Ltd. Non-contact copy control device
WO1992004157A1 (fr) * 1990-09-07 1992-03-19 Fanuc Ltd Dispositif de commande de copiage sans contact
US5274563A (en) * 1990-09-07 1993-12-28 Fanuc Ltd. Noncontact tracing control system
WO1992008575A1 (fr) * 1990-11-08 1992-05-29 Fanuc Ltd Dispositif de commande de numerisation
US5266811A (en) * 1990-11-08 1993-11-30 Fanuc Ltd. Digitizing control equipment utilizing normal vector calculations and a position sensor
WO1992011974A1 (fr) * 1991-01-14 1992-07-23 Fanuc Ltd Procede de numerisation sans contact
US5327351A (en) * 1991-01-14 1994-07-05 Fanuc Ltd. Non-contact digitizing method
US10132624B2 (en) 2012-02-15 2018-11-20 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Normal detection method, normal detection device, and machining machine provided with normal detection function

Also Published As

Publication number Publication date
DE69027911T2 (de) 1996-12-19
WO1990014924A1 (fr) 1990-12-13
EP0428739A4 (en) 1992-12-02
DE69027911D1 (de) 1996-08-29
US5182714A (en) 1993-01-26
EP0428739A1 (en) 1991-05-29
EP0428739B1 (en) 1996-07-24

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