JPH0338356U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0338356U JPH0338356U JP9650389U JP9650389U JPH0338356U JP H0338356 U JPH0338356 U JP H0338356U JP 9650389 U JP9650389 U JP 9650389U JP 9650389 U JP9650389 U JP 9650389U JP H0338356 U JPH0338356 U JP H0338356U
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- JP
- Japan
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- correction plate
- film thickness
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- Pending
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は膜厚補正板回転装置を有する真空蒸着
装置の構成を示す断面図、第２図は本考案による
膜厚補正板回転装置の構成を示す側面図、第３図
は本考案による膜厚補正板回転装置の他の例の構
成を示す側面図、第４図および第５図は補正板の
停止位置を設定する装置を示す側面図、第６図は
コートドームの構成を示す斜視図、第７図は同じ
くその他の例を示す斜視図である。 １０……真空処理室、１１……ドーム、１２…
…補正板、１３……補正板支柱、１４……蒸発源
、１５……ドーム回転台、３１……パレツト枠、
４１……補正板ホルダー、４２……回転ノブ、５
１……回転軸、５２ａ，５２ｂ……ギヤ、６１…
…回転位置決めピン、６２……ストツパー、６３
……ストツパー。
装置の構成を示す断面図、第２図は本考案による
膜厚補正板回転装置の構成を示す側面図、第３図
は本考案による膜厚補正板回転装置の他の例の構
成を示す側面図、第４図および第５図は補正板の
停止位置を設定する装置を示す側面図、第６図は
コートドームの構成を示す斜視図、第７図は同じ
くその他の例を示す斜視図である。 １０……真空処理室、１１……ドーム、１２…
…補正板、１３……補正板支柱、１４……蒸発源
、１５……ドーム回転台、３１……パレツト枠、
４１……補正板ホルダー、４２……回転ノブ、５
１……回転軸、５２ａ，５２ｂ……ギヤ、６１…
…回転位置決めピン、６２……ストツパー、６３
……ストツパー。
Claims (1)
- 真空蒸着装置において、膜厚分布補正板を、蒸
発源に対し正対する対向位置、および９０°回転
位置に回転可能に配置するようにしたことを特徴
とする膜厚補正板回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9650389U JPH0338356U (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9650389U JPH0338356U (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0338356U true JPH0338356U (ja) | 1991-04-12 |
Family
ID=31645699
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9650389U Pending JPH0338356U (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0338356U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006312765A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Fujinon Sano Kk | 真空蒸着装置 |
-
1989
- 1989-08-18 JP JP9650389U patent/JPH0338356U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006312765A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Fujinon Sano Kk | 真空蒸着装置 |