JPH0339614B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、三次元測定機の測定方法に係り、特
に手動操作型三次元測定機のロボツトによる自動
測定化に利用できる。

［背景技術とその問題点］ 一般に、形状が複雑な被測定物の寸法や形状等
を高精度に測定するには、三次元測定機が広く用
いられている。

三次元測定機には、人がプローブまたはプロー
ブの近傍を手でつかみ、プローブを予め定められ
た測定手順に従つて被測定物の測定面へ順次当接
させ、その当接時点のプローブの移動変位量から
被測定物の寸法や形状等を求める手動型と、例え
ばCNC三次元測定機のように、測定機本体にプ
ローブをＸ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向へ移動させるた
めのスクリユーやモータ等の駆動装置を装備さ
せ、これらの駆動装置を予めプログラムされた手
順に従つて自動的に制御しながらプローブを被測
定物の測定面へ順次当接させる自動型と、が知ら
れている。

前者の型式は、構造が簡単であるため構造上測
定精度に影響を与える要素が少なく、高精度な測
定値が得られる利点がある反面、次のような欠点
がある。即ち、 被測定物毎に測定箇所および手順を人が全て
記憶しなければならないので、作業ミスが生じ
やすい。しかも、これは被測定物毎に変る。

それと同時に、データ処理装置との一連的作
業を要するので、専門的かつ技術的知識が必要
とされる結果、誰でもが運転できるわけではな
い。また、専門家は、測定態様から見れば測定
機に占有され、他の作業に活用できない。ま
た、かかる人を集めることも難しい。

大きな測定範囲を許容する大型の測定機にあ
つては、被測定物の全ての測定点を測定するよ
うな場合、測定者が測定機の周囲を動き回らな
くてはならなかつたり、測定台の上に乗つて操
作しなければならないので、測定能率が低下
し、かつ安全性にも欠ける。

操作時間が長くなる場合には、体温が手から
プローブ等へ伝達され、その結果プローブ等の
熱膨張によつて測定精度の低下が生じる場合が
ある。

これに対し、後者の型式は、前者とは逆に、前
者の欠点を解決でき、かつ同一性のある被測定物
を繰返し測定するのに適している反面、プローブ
をＸ，Ｙ，Ｚ軸の各軸方向へ自動的に移動させる
ためにスクリユーやモータ等の駆動装置を測定機
本体、特にプローブ軸を支持するスライダ、更に
はスライダを支持する梁に装着しなければならな
いので、これらを支持する構造が大型にならざる
を得ない。すると、これら装置の重量増加に伴
い、基礎構造に歪や撓みが生じる結果、これによ
り測定精度が低下する欠点がある。

［発明の目的］ 本発明の目的は、このような従来例の欠点を解
消すべくなされたもので、手動型および自動型の
利点を生かしつつ、両型の欠点を全て解消でき、
かつ自動型とする上で測定手順に従つて検出子を
移動させるための移動軌跡を設定するに当たつ
て、検出子を手動でしかも軽い力で正確に位置づ
けしながら能率的に設定することができる三次元
測定機の測定方法を提供することにある。

［問題点を解決するための手段および作用］ そのため、本発明では、移動機構を介して三次
元方向へ移動可能なタツチ信号プローブ等の検出
子を、測定機本体とは別個独立なロボツト機構に
より行い、つまり自動化のための駆動装置を別個
独立にし、これにより上述した両型式の利点を生
かしつつ欠点を解決する一方、測定機本体とロボ
ツト機構とを機械的に切離した状態において、検
出子を手動で所定の測定手順に従つて移動させ、
このとき測定機本体側の各変位検出器の出力信号
をロボツト機構側のロボツト作動指令装置に取込
んで検出子の移動軌跡を記憶させ、測定に当つ
て、記憶された移動軌跡データを測定手順プログ
ラムに従つて順次読出しながら、ロボツト機構を
作動させるようにしたものである。

具体的には、載物台上の被測定物に関与させる
検出子を三次元方向へ移動させる移動機構、検出
子の移動変位量を検出するための変位検出器およ
び変位検出器の出力信号を所定処理して被測定物
の寸法等を求めるデータ処理装置を含む三次元測
定機の測定方法であつて、前記三次元測定機と前
記検出子を三次元方向へ移動可能なロボツト機構
とを機械的に切離した状態において、前記検出子
を、前記載物台上に取付けられた見本被測定物に
沿つて複数ステツプからなる所定の測定手順に従
つて前記移動機構を介して移動させつつ、前記測
定機本体と独立したロボツト機構のロボツト作動
指令装置に前記変位検出器の出力信号を入力して
検出子の移動軌跡を記憶させる検出子移動手順記
憶工程と、前記移動機構または検出子にロボツト
機構を連結した後、前記測定手順の各ステツプ毎
に、前記ロボツト作動指令装置に記憶された移動
軌跡データに従つてロボツト機構を作動させて前
記検出子を被測定物に関与させると同時に、前記
変位検出器の出力信号を前記データ処理装置へ取
込む測定データ取込工程と、この測定データ取込
工程によつて取込まれた測定データに基づき被測
定物の寸法等を演算し、その演算完了後に前記ロ
ボツト作動指令装置に次のステツプ起動指令を発
する測定値演算工程と、からなり、前記測定デー
タ取込工程と測定値演算工程とを前記測定手順プ
ログラムの全ステツプについて繰返して自動測定
する、ことを特徴としている。

［実施例］ 第１図は本発明の方法が適用された測定システ
ムの外観を示している。同図において、設置台１
の上面には、三次元測定機本体２が設置されてい
るとともに、この三次元測定機本体２と別個独立
に構成されかつロボツト作動指令装置３からの作
動指令に従つて動作するロボツト機構４が設置さ
れている。なお、三次元測定機本体２によつて測
定された測定データは、データ処理装置５へ送ら
れ、そこで所定処理された後被測定物の寸法や形
状を表わす値として出力される。

前記三次元測定機本体２は、被測定物１１を載
置した載物台１２の両側にそれぞれ案内レール１
３を介して支柱１４が前記載物台１２の前後方向
（Ｙ軸方向）へ、この両支柱１４間に掛渡された
水平ビーム１５に沿つてスライダ１６が前記載物
台１２の左右方向（Ｘ軸方向）へ、このスライダ
１６に下端に前記載物台１２上の被測定物１１に
関与させる検出子としてのタツチ信号プローブ１
７を有するプローブ軸１８が前記載物台１２の上
下方向（Ｚ軸方向）へ、それぞれ移動自在に設け
られている。ここで、支柱１４、スライダ１６お
よびプローブ軸１８等からなる移動機構１９は、
例えばエアーベアリング装置等により比較的軽い
手動操作力でタツチ信号プローブ１７を三次元方
向へ移動させることができるようになつている。
これにより、タツチ信号プローブ１７が移動され
ると、タツチ信号プローブ１７が被測定物１１に
当接したとき、支柱１４のＹ軸方向の位置、スラ
イダ１６のＸ軸方向の位置およびプローブ軸１８
のＺ軸方向の位置が前記データ処理装置５へ送ら
れ、そこで所定処理された後測定値としてデジタ
ル表示される。

前記ロボツト機構４は、第２図にも示す如く、
前記載置台１の上面に固定された基台２０に垂直
に立設されたＺ軸２１と、このＺ軸２１にＺ軸駆
動モータ２２の駆動によりＺ軸方向へ昇降自在に
設けられた昇降ブロツク２３と、この昇降ブロツ
ク２３にＹ軸駆動モータ２４の駆動によりＹ軸方
向へ進退可能に設けられた互いに平行な２本の進
退杆２５と、これら２本の進退杆２５の一端にＺ
軸と平行にかつ旋回駆動モータ２６の駆動により
回転可能に設けられた回転軸２７と、この回転軸
２７に基端が固定された旋回アーム２８と、この
旋回アーム２８の先端と前記タツチ信号プローブ
１７近傍のプローブ軸１８とを互いに連結する連
結アーム２９とから構成されている。連結アーム
２９は、プローブ軸１８側の一端が止めねじ３０
によりプローブ軸１８に固定されているととも
に、旋回アーム２８側の他端が連結軸３１とベア
リング３２とにより旋回アーム２８に対して回転
可能に連結されている。これにより、ロボツト機
構４の作動により移動機構１９を介してタツチ信
号プローブ１７が三次元方向へ移動されるように
なつている。

第３図は本測定システムの回路構成を示してい
る。同図において、４１は前記スライダ１６のＸ
軸方向の移動変位量つまりタツチ信号プローブ１
７のＸ軸方向の移動変位量を検出するＸ軸変位検
出器、４２は支柱１４のＹ軸方向における移動変
位量つまりタツチ信号プローブ１７のＹ軸方向に
おける移動変位量を検出するＹ軸変位検出器、４
３はプローブ軸１８のＺ軸方向における移動変位
量つまりタツチ信号プローブ１７のＺ軸方向にお
ける移動変位量を検出するＺ軸変位検出器であ
る。これら変位検出器４１，４２，４３で検出さ
れたタツチ信号プローブ１７のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向
における測定データは、前記タツチ信号プローブ
１７の測定子１７Ａが被測定物１１に当接し、そ
のタツチ信号プローブ１７からのタツチ信号がデ
ータ処理装置５へ与えられたとき、データ処理装
置５内へ取込まれるようになつている。

データ処理装置５は、変位検出器４１，４２，
４３から与えられる測定データを所定処理して被
測定物１１の寸法等を求めるもので、前記測定デ
ータを記憶するためのメモリ、これらメモリに記
憶された測定データを基に測定モードに応じた演
算を行うための演算処理プログラムを記憶するメ
モリのほかに、測定手順が設定された複数ステツ
プからなる測定手順プログラムを記憶する測定手
順プログラムメモリ４４を備え、この測定手順プ
ログラムメモリ４４に記憶された測定手順プログ
ラムに従つて、第４図中鎖線より左側に示すフロ
ーチヤートの処理を実行する。

即ち、測定手順プログラムメモリ４４に記憶さ
れた測定手順プログラムに従つて、ステツプ起動
指令SECを前記ロボツト作動指令装置３へ与え、
これによりロボツト作動指令装置３からの指令で
ロボツト機構４が所定の動作を行う中で変位検出
器４１，４２，４３からの測定データが予め設定
された数だけ入力されると、これらの測定データ
を基に演算処理を実行した後、次のステツプ起動
指令SECをロボツト作動指令装置３へ与える。こ
れを測定手順プログラムメモリ４４に記憶された
測定手順プログラムの全ステツプについて行う。

一方、前記ロボツト作動指令装置３は、前記Ｚ
軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４および旋
回駆動モータ２６を駆動させるモータ駆動装置５
１と、検出子移動手順記憶工程で求められたタツ
チ信号プローブ１７の移動軌跡を記憶する移動軌
跡記憶装置５２と、前記データ処理装置５からス
テツプ起動指令SECが与えられた際、移動軌跡記
憶装置５２に記憶された移動軌跡データを各モー
タ２２，２４，２６の駆動量（指令値）に変換
し、この指令値に基づきモータ駆動装置５１を介
してＺ軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４お
よび旋回駆動モータ２６を駆動させる運転指令装
置５３とを含む。移動軌跡記憶装置５２には、前
記測定機本体２側の各変位検出器４１，４２，４
３からの出力信号が入力されている。また、運転
指令装置５３は、前記Ｚ軸駆動モータ２２によつ
て昇降される昇降ブロツク２３のＺ軸方向の位置
を検出するＺ軸位置検出器５４からの位置デー
タ、前記Ｙ軸駆動モータ２４によつて移動される
進退杆２５のＹ軸方向における位置を検出するＹ
軸位置検出器５５の位置データおよび旋回駆動モ
ータ２６によつて旋回される旋回アーム２８の旋
回角度を検出するθ角検出器５６からの角度デー
タと移動軌跡データから換算された指令値とを比
較し、その差分だけ各モータ２２，２４，２６に
駆動指令を与える。

次に、本実施例の測定方法を説明する。本シス
テムによる測定では、始めに検出子移動手順記憶
工程が行なわれた後、測定データ取込工程と測定
値演算工程とを測定手順プログラムの全ステツプ
について繰返えし行なわれる。

検出子移動手順記憶工程では、まず測定機本体
２とロボツト機構４との連結を切離す。これに
は、止めねじ３０をゆるめ、連結アーム２９の先
端をプローブ軸１８から取外せばよい。すると、
測定機本体２とロボツト機構４との機械的連結が
切離された状態となるため、測定機本体２のタツ
チ信号プローブ１７を手動操作によつて三次元方
向の任意の位置へ移動させることができる。

この状態において、載物台１２上に見本被測定
物１１を載置した後、三次元測定機本体２のタツ
チ信号プローブ１７を、手動操作により見本被測
定物に沿つてデータ処理装置５の測定手順プログ
ラムメモリ４４に予め設定された測定手順プログ
ラムに従つて移動させる。すると、タツチ信号プ
ローブ１７が移動する各時点における変位検出器
４１，４２，４３からのデータがロボツト作動指
令装置３の移動軌跡記憶装置５２へ順次記憶され
る。つまり、タツチ信号プローブ１７が測定手順
プログラムに従つて移動したときのタツチ信号プ
ローブ１７の移動軌跡が移動軌跡記憶装置５２に
記憶される。これを、測定手順プログラムメモリ
４４に記憶された測定手順プログラムの全ステツ
プについて行うと、移動軌跡記憶装置５２には、
測定手順プログラムの各ステツプに対応してタツ
チ信号プローブ１７の移動軌跡が順次記憶され
る。

このようにして、測定手順プログラムに対応す
るタツチ信号プローブ１７の移動軌跡をロボツト
作動指令装置３の移動軌跡記憶装置５２へ記憶さ
せた後、前記移動機構１９のプローブ軸１８にロ
ボツト機構４の連結アーム２９を連結する。この
状態において、載物台１２上に被測定物を載置し
た後、測定データ取込工程と測定値演算工程とを
行なう。

測定データ取込工程と測定値演算工程は、第４
図に示すフローチヤートの処理に従つて行われ
る。即ち、データ処理装置５が測定モードに設定
されると、データ処理装置５およびロボツト作動
指令装置３では共に測定のための準備処理が行わ
れた後、データ処理装置５において、測定手順プ
ログラムメモリ４４に記憶された測定手順プログ
ラムの中から第１番目のステツプ、つまり第１番
目の測定項目が指示され、この測定項目に対応す
るステツプ起動指令SEC₁がロボツト作動指令装
置３の運転指令装置５３へ与えられる。

ロボツト作動指令装置３の運転指令装置５３で
は、前記データ処理装置５からのステツプ起動指
令SEC₁が与えられると、そのステツプ起動指令
SEC₁に対応する移動軌跡データを移動軌跡記憶
装置５２の中から読出し、この移動軌跡データを
各モータ２２，２４，２６の駆動量に変換し、そ
の駆動指令値に基づきモータ駆動装置５１を介し
てＺ軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４およ
び旋回駆動モータ２６を駆動させる。すると、ロ
ボツト機構４を介してタツチ信号プローブ１７が
移動される。タツチ信号プローブ１７の移動によ
り、タツチ信号プローブ１７が被測定物１１に当
接すると、タツチ信号プローブ１７からタツチ信
号がデータ処理装置５へ与えられる。このとき、
Ｘ軸変位検出器４１によつて検出されたＸ軸方向
の位置データ、Ｙ軸変位検出器４２によつて検出
されたＹ軸方向における位置データおよびＺ軸変
位検出器４３によつて検出されたＺ軸方向におけ
る位置データがそれぞれデータ処理装置５内へ取
込まれる。なお、この工程中において、初めに、
プローブ交換を行つた後、測定に入るようにして
もよい。

すると、データ処理装置５では、Ｘ軸変位検出
器４１、Ｙ軸変位検出器４２およびＺ軸変位検出
器４３から与えられる測定データが所定数入力さ
れると、それらの測定データに基づき被測定物１
１の寸法等を演算し、その演算結果を例えばプリ
ンタ等により出力する。この演算終了後に、測定
手順プログラムメモリ４４に記憶された測定手順
プログラムの中から第２番目のステツプ、つまり
第２番目の測定項目指示され、これに基づくステ
ツプ起動指令SEC₂がロボツト作動指令装置３の
運転指令装置５３へ与えられる。

ロボツト作動指令装置３の運転指令装置５３で
は、データ処理装置５からのステツプ起動指令
SEC₂が与えられると、そのステツプ起動指令
SEC₂に対応する移動軌跡データを移動軌跡記憶
装置５２の中から読出し、その移動軌跡データを
各モータ２２，２４，２６の駆動量に変換し、そ
の駆動指令値に基づきモータ駆動装置５１を介し
てＺ軸駆動モータ２２、Ｙ軸駆動モータ２４およ
び旋回駆動モータ２６を駆動させる。

このようにして、測定データ取込工程と測定値
演算工程とが測定手順プログラムの全ステツプに
ついて繰返し行なわれ、これにより自動測定が達
成される。

従つて、本実施例によれば、タツチ信号プロー
ブ１７を三次元測定機本体２とは別個独立なロボ
ツト機構４によつて移動させるようにしたので、
手動型のもつ欠点および自動型のもつ欠点を共に
解決することができる。つまり、大型の測定機で
も測定者が定位置で遠隔操作できるため、測定能
率の向上と共に安全な測定が可能であり、しかも
測定者がプローブ等を直接つかむ必要がないこと
から、温度変化の影響が極めて少ない。また、三
次元測定機本体２にタツチ信号プローブ１７を移
動させるためのスクリユーやモータ等を装備させ
る必要がないことから構造も簡素化でき、その重
量で歪や撓みが発生することがなく、その結果高
精度測定が可能である。

また、ロボツト作動指令装置３の移動軌跡記憶
装置５２に記憶された移動軌跡データに基づいて
ロボツト機構４を作動させるようにしたので、手
動型のように被測定物毎に測定箇所および手順を
人が記憶する必要がなく、ミス作業をなくすこと
ができる。しかも、専門家にロボツト機構４を模
範運転させ、その移動軌跡を移動軌跡記憶装置５
２へ一旦記憶させれば、後は自動運転することが
できるので、専門家の負担を軽減することがで
き、飛躍的普及が期待できる。

また、タツチ信号プローブ１７の移動軌跡を移
動軌跡記憶装置５２へ記憶させるに当つては、測
定機本体２とロボツト機構４との機械的連結を切
離し、この状態において測定機本体２のタツチ信
号プローブ１７を手動操作により予め設定された
所定の測定手順に従つて移動させれば、測定機の
変位検出器４１，４２，４３からの出力信号を利
用して自動的に行なわれるので、タツチ信号プロ
ーブ１７の移動軌跡を能率的に記憶させることが
できる。

つまり、測定機本体２とロボツト機構４２との
機械的連続を切離した状態でタツチ信号プローブ
１７を手動で移動させるので、測定機本体２とロ
ボツト機構４２とを機械的に連結したままタツチ
信号プローブ１７を手動で移動させる場合に比
べ、タツチ信号プローブ１７を軽い力で移動させ
ることができるとともに、その移動に際してロボ
ツト機構４２の慣性力もかからないのでタツチ信
号プローブ１７を迅速にかつ正確に位置づけする
ことができる。もつとも、測定時におけるロボツ
ト機構４の運転時には、ロボツト機構４の各検出
器５４，５５，５６からのフイードバツク信号に
よりロボツト機構４の位置制御を行なうため、つ
まり移動軌跡データの記憶用の検出器と測定時の
検出器との位置誤差が生じる問題が残るが、検出
子としてタツチ信号プローブ１７を用いる場合に
は、10〜５mm程度の許容オーバストロークがあ
り、かつオーバランしても当接時点に発するタツ
チ信号をもつて測定データを取込むので、構造的
にも、また精度的にも問題はない。

このことは、ロボツト機構４についても、タツ
チ信号プローブ１７の許容オーバーストローク
（≒10〜５mm）の精度で位置づけできれば十分で
あるから、高級ロボツト機構等を必要とすること
がない。つまり、タツチ信号プローブ１７は上記
範囲程度のオーバーストロークを許容でき、かつ
自由状態において所定の姿勢に自動復帰できる構
造であるが、オーバーランしても当接時点に発す
るタツチ信号をもつて測定データを取込むので、
高級ロボツト機構を用いなくても測定誤差が生じ
ることがないという測定機固有の利益がある。こ
のことはまた、両者のマツチングをそれほど厳格
にしなくてもよいという利益もある。

また、ロボツト機構４を起動させるには、デー
タ処理装置５からステツプ起動指令SECをロボツ
ト作動指令装置３の運転指令装置５３へ与えれば
よいので、つまりデータ処理装置５とロボツト作
動指令装置３とをステツプ起動指令SECを介して
連結すればよいので、既設の手動型三次元測定機
に取入れる場合でも容易にかつ経済的に構成する
ことができる。

なお、上記実施例では、測定機の変位検出器４
１，４２，４３からの出力信号を利用してタツチ
信号プローブ１７の移動軌跡を移動軌跡記憶装置
５２へ記憶させる一方、測定時におけるロボツト
機構４の運転時には、ロボツト機構４の各検出器
５４，５５，５６からのフイードバツク信号によ
りロボツト機構４の位置制御を行なうようにした
が、例えば測定機本体の変位検出器４１，４２，
４３からの出力信号をロボツト作動指令装置３の
運転指令装置５３へフイードバツク信号として与
えるようにすれば、軌跡記憶時と位置制御時との
間で位置誤差が生じることがないばかりでなく、
ロボツト機構４の位置検出器５４，５５，５６が
不要になる利点がある。

また、移動軌跡記憶装置５２に記憶されたタツ
チ信号プローブ１７の移動軌跡データを運転指令
装置５３においてロボツト機構４の各モータ２
２，２４，２６の駆動量に換算するようにした
が、タツチ信号プローブ１７の移動軌跡を移動軌
跡記憶装置５２へ記憶させる際に各モータ２２，
２４，２６の駆動量に換算して記憶するようにし
てもよい。

また、三次元測定機本体２側の移動機構１９は
上記実施例の構造に限らず、タツチ信号プローブ
１７を比較的軽い力で三次元方向へ移動させるこ
とができるものであればよい。更に、検出子とし
ては、上記実施例で述べたタツチ信号プローブ１
７に限らず、例えば光学式の非接触検出器でもよ
い。

同様に、ロボツト機構４についても、移動機構
１９の三次元的移動を行えるものであればよい。
例えば、第５図に示す如く、基台６１に移動台６
２を前記タツチ信号プローブ１７のＸ軸方向と同
方向へ移動自在に設け、この移動台６２に支持フ
レーム６３を前記タツチ信号プローブ１７のＹ軸
方向と同方向へ移動自在に設け、この支持フレー
ム６３の先端に、一端が前記プローブ軸１８に連
結された連結レバー６４の他端を前記タツチ信号
プローブ１７のＺ軸方向と同方向へ移動させる昇
降装置６５を設けた構成でもよい。このようにす
ると、ロボツト機構４の３つの移動軸が測定機本
体２のＸ，Ｙ，Ｚ軸とそれぞれ一致するため、移
動軌跡データを記憶させるに当つて、各変位検出
器４１，４２，４３の信号を各モータ２２，２
４，２６の駆動量に換算しなくてもよい利点があ
る。更に、ロボツト機構４の各駆動源としては、
上記実施例で述べたモータに限らず、例えば油
圧、空気圧等の他の動力源でもよい。

また、上記実施例では、ロボツト機構４の先端
のハンドをプローブ軸１８のタツチ信号プローブ
１７近傍に係合させたが、タツチ信号プローブ１
７、或いはプローブ軸１８の任意の位置でもよ
い。例えば、ロボツト機構４の先端の連結アーム
２９の一端をプローブ軸１８の上端に係合させる
ようにすれば、ロボツト機構４の各アームが被測
定物１１にぶつかることがないので、有効測定範
囲を縮小させることがない。しかも、このように
すると、ロボツト機構４を測定機本体２の側方に
配置できるため、載物台１２の前後方向の空間を
確保できる。

また、ロボツト機構４は三次元測定機本体２と
全く別体に構成したが、タツチ信号プローブ１７
の可動部に重量の負担をかけなければ、例えば載
物台１２等に取付け或いは併用するようにしても
よい。このようにすると、装置全体がコンパクト
に構成できる利点がある。

［発明の効果］ 以上の通り、本発明によれば、手動型および自
動型の利点を生かしつつ、両型の欠点を全て解消
でき、かつ自動型とする上で測定手順に従つて検
出子を移動させるための移動軌跡を設定するに当
たつて、検出子を手動でしかも軽い力で正確に位
置づけしながら能率的に設定することができる三
次元測定機の測定方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図は本発明の方法を適用した装
置の一実施例を示すもので、第１図は全体の斜視
図、第２図はロボツト機構の要部を示す側面図、
第３図は回路構成を示すブロツク図、第４図はデ
ータ処理装置とロボツト作動指令装置との処理動
作を示すフローチヤートである。第５図は本発明
の方法を適用した装置の他の実施例を示す全体の
斜視図である。 ２……三次元測定機本体、３……ロボツト作動
指令装置、４……ロボツト機構、５……データ処
理装置、１１……被測定物、１２……載物台、１
７……検出子としてのタツチ信号プローブ、１９
……移動機構、４１……Ｘ軸変位検出器、４２…
…Ｙ軸変位検出器、４３……Ｚ軸変位検出器。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 載物台上の被測定物に関与させる測定子を三
   次元方向へ移動させる移動機構、検出子の移動変
   位量を検出するための変位検出器および変位検出
   器の出力信号を所定処理して被測定物の寸法等を
   求めるデータ処理装置を含む三次元測定機の測定
   方法であつて、 前記三次元測定機と前記検出子を三次元方向へ
   移動可能なロボツト機構とを機械的に切離した状
   態において、前記測定子を、前記載物台上に取付
   けられた見本被測定物に沿つて複数ステツプから
   なる所定の測定手順に従つて前記移動機構を介し
   て移動させつつ、前記ロボツト機構のロボツト作
   動指令装置に前記変位検出器の出力信号を入力し
   て検出子の移動軌跡を記憶させる検出子移動手順
   記憶工程と、 前記移動機構または検出子にロボツト機構を機
   械的に連結した後、前記測定手順の各ステツプ毎
   に、前記ロボツト作動指令装置に記憶された移動
   軌跡データに従つてロボツト機構を作動させて前
   記検出子を被測定物に関与させると同時に、前記
   変位検出器の出力信号を前記データ処理装置へ取
   込む測定データ取込工程と、 この測定データ取込工程によつて取込まれた測
   定データに基づき被測定物の寸法等を演算し、そ
   の演算完了後に前記ロボツト作動指令装置に次の
   ステツプ起動指令を発する測定値演算工程と、か
   らなり、 前記測定データ取込工程と測定値演算工程とを
   前記測定手順の全ステツプについて繰返して自動
   測定する、 ことを特徴とする三次元測定機の測定方法。