JPH0339838U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0339838U JPH0339838U JP10125989U JP10125989U JPH0339838U JP H0339838 U JPH0339838 U JP H0339838U JP 10125989 U JP10125989 U JP 10125989U JP 10125989 U JP10125989 U JP 10125989U JP H0339838 U JPH0339838 U JP H0339838U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pure water
- tank
- piping section
- branch
- branched
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による配管を示す
構成説明図、第２図は従来例を示す構成説明図で
ある。 １１……純水タンク、１２……第１バルブ、１
３……第２バルブ、１４……ホース、１５……開
閉バルブ、１６……リークホース、Ｃ……純水メ
イン配管部、Ｄ……分岐配管部。
構成説明図、第２図は従来例を示す構成説明図で
ある。 １１……純水タンク、１２……第１バルブ、１
３……第２バルブ、１４……ホース、１５……開
閉バルブ、１６……リークホース、Ｃ……純水メ
イン配管部、Ｄ……分岐配管部。
Claims (1)
- 半導体装置の洗浄に用いる純水が常時循環され
る純水メイン配管部と、この配管部から純水が薬
液槽・純水槽に至るよう上記純水メイン配管部か
ら分岐された分岐配管部と、この分岐配管部から
さらに分岐され、薬液槽・純水槽への純水の供給
が停止されても常時分岐配管部を介して純水が流
れうる補助分岐路とを備えた半導体装置の洗浄機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10125989U JPH0339838U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10125989U JPH0339838U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0339838U true JPH0339838U (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=31650219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10125989U Pending JPH0339838U (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0339838U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016042806A1 (ja) * | 2014-09-18 | 2016-03-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP10125989U patent/JPH0339838U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016042806A1 (ja) * | 2014-09-18 | 2016-03-24 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2107785A1 (en) | Drain valve | |
| JPH0339838U (ja) | ||
| JPH0463634U (ja) | ||
| JPS6369914U (ja) | ||
| JPS63193471U (ja) | ||
| JPH0373681U (ja) | ||
| JPH0186232U (ja) | ||
| JPS5971643U (ja) | 消毒温水手洗器 | |
| JPS6435318U (ja) | ||
| JPH0343729U (ja) | ||
| JPH01154666U (ja) | ||
| JPS61113290U (ja) | ||
| JPS63160993U (ja) | ||
| JPS6453270U (ja) | ||
| JPS62136601U (ja) | ||
| JPH02722U (ja) | ||
| JPS6345872U (ja) | ||
| JPS5971642U (ja) | 消毒温水手洗器 | |
| JPH02145192U (ja) | ||
| JPS631691U (ja) | ||
| JPS5843446U (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH024240U (ja) | ||
| JPS62190591U (ja) | ||
| JPH0295371A (ja) | スチーム入浴室とスチーム入浴ユニット | |
| JPS6297602U (ja) |