JPH0343729U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0343729U JPH0343729U JP10522189U JP10522189U JPH0343729U JP H0343729 U JPH0343729 U JP H0343729U JP 10522189 U JP10522189 U JP 10522189U JP 10522189 U JP10522189 U JP 10522189U JP H0343729 U JPH0343729 U JP H0343729U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- chemical
- shower nozzle
- developing device
- double
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図、第２図は本考案の実施例を示す構成図
、第３図は従来の現像装置を示す構成図である。 １……薬液槽、２……ポンプ、３……シヤワー
ノズル、４……処理槽、５ｂ……ドレインバルブ
、６……新液供給バルブ、７……消泡剤供給ポン
プ、８……消泡剤貯槽、１１……薬液槽の内槽、
１２……薬液槽の外槽。
、第３図は従来の現像装置を示す構成図である。 １……薬液槽、２……ポンプ、３……シヤワー
ノズル、４……処理槽、５ｂ……ドレインバルブ
、６……新液供給バルブ、７……消泡剤供給ポン
プ、８……消泡剤貯槽、１１……薬液槽の内槽、
１２……薬液槽の外槽。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 現像液を溜める薬液槽と、シヤワーノズル
を設けた処理槽と、薬液槽からの現像液を前記シ
ヤワーノズルを通して処理槽内にシヤワーし、そ
の後再び薬液槽に帰還する循環系とからなる現像
装置において、前記薬液槽を二重槽構造としたこ
とを特徴とする現像装置。 (2) 前記二重槽構造の薬液槽のうち外槽に消泡
剤を投入する手段を設けたことを特徴とする請求
項(1)に記載の現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10522189U JPH0343729U (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10522189U JPH0343729U (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343729U true JPH0343729U (ja) | 1991-04-24 |
Family
ID=31653990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10522189U Pending JPH0343729U (ja) | 1989-09-07 | 1989-09-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343729U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006240683A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 紙箱 |
| JPWO2005040930A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2007-04-19 | 凸版印刷株式会社 | 現像装置、現像方法、及び現像液循環方法 |
-
1989
- 1989-09-07 JP JP10522189U patent/JPH0343729U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005040930A1 (ja) * | 2003-10-28 | 2007-04-19 | 凸版印刷株式会社 | 現像装置、現像方法、及び現像液循環方法 |
| JP2011018943A (ja) * | 2003-10-28 | 2011-01-27 | Toppan Printing Co Ltd | 光学素子の現像方法 |
| JP4645449B2 (ja) * | 2003-10-28 | 2011-03-09 | 凸版印刷株式会社 | 現像装置 |
| JP2011141563A (ja) * | 2003-10-28 | 2011-07-21 | Toppan Printing Co Ltd | 光学素子の現像装置 |
| JP2006240683A (ja) * | 2005-03-04 | 2006-09-14 | Dainippon Printing Co Ltd | 紙箱 |