JPH0339923A - 可変密度走査装置 - Google Patents

可変密度走査装置

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JPH0339923A
JPH0339923A JP7333990A JP7333990A JPH0339923A JP H0339923 A JPH0339923 A JP H0339923A JP 7333990 A JP7333990 A JP 7333990A JP 7333990 A JP7333990 A JP 7333990A JP H0339923 A JPH0339923 A JP H0339923A
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JP
Japan
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scanning
light
diffraction grating
spot
laser
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Pending
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JP7333990A
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English (en)
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Akira Arimoto
昭 有本
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Koki Holdings Co Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
Hitachi Koki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】
本発明は、レーザを用いた走査装置に係り、特にレーザ
プリンタ装置に用いられ、印字密度を可変できる可変密
度走査装置に関する。
【従来の技v#】
従来、レーザ光をもちいる走査装置は1回転多面鏡及び
感光ドラムの回転速度が一定で、印刷の走査密度は常に
一定であった。最近、同じ図形を寸法のみを変えて、別
のサイズの用紙に印刷させたいという要求が強くなって
いる。そこで印字ドツト密度を変えるために、感光ドラ
ムの回転速度を一定に保った状態で1回転多面鏡の回転
数をかえ、且つレーザの変調周波数を変えるものが提案
されている0例えば、特開昭55−119785号参照
。このようにすると、確かに主走査方向及び副走査方向
の印字ドツト間隔(密度)を変えることはできるが、一
つの画素を印刷するレーザのスポットサイズは依然とし
て不変である。主走査方向に関しては、レーザの変調周
波数を変えるので実質的にスポットサイズを変えること
になったが、副走査方向に関しては、全く不変であった
【発明が解決しようとする課題】
第2図(a)(b)は走査密度を変えてもスポット径を
変えないと生じる不都合を示す。(a)は、ある走査密
度間隔で最適なスポットサイズになっている時の状態を
示し、(b)(c)にその状態で間隔を変えた時の状態
を示す。(b)では間隔を拡大した様子を示し、(Q)
では縮少した時の様子を示す。(b)の場合はすき間が
できるのに対し、(e)では不必要なところまでぬりつ
ぶされている様子が示されており、画質の変化及び低下
が生じてしまう、したがって、走査間隔(密度)を変え
た時には、絞り恣まれる光のスポットサイズも随時変え
て最適径に保っておく必要がある。 本発明は、上記従来例で生じる走査間隔変更にともなう
画質低下を防ぐ新しい可変密度走査装置を提供すること
を目的とする。
【課題を解決するための手段) 上記目的を達成するために本発明では、副走査方向の絞
り込みスポット径を変えることを特徴とする。 そのために、副走査方向に作用する動的回折格子を光路
中に設け、その±1次回折光と0次光とを用いることに
より、光量をほとんど損失させることなく有効に利用し
ながら、実質的にスポット径を一次元方向に可変できる
ようにしたものである。 【作用) その原理を第3図(8)に示す910は1弾性係数の大
きい1例えばTaO2,PbMo0.等の光学結晶から
なる動的回折格子であり、結晶の一端面に設けられたト
ランスデユーサ11に高周波信号を印加して超音波を発
生させ、その超音波が光学結晶内を進行すると、進行波
型の回折格子ができる。 このような回折格子に光束4を入射させると、土工法回
折光4+、4−は、結晶内に形成される回折格子の間隔
pとすると、0次光4゜に対してλ O= ± の方向にでる。ここで、Co = vλ(但し、yは加
える高周波信号、Goは結晶内の超音波の速度である。 )シたがって、±1次光4+、4−が、0次光4゜の両
端に重なるように発生することになり、レンズ8を通過
しスポット36のように副走査方向の絞り込みレーザ光
の形状をかえることができる。 光学結晶に加える超音波の周波数(すなわち、トランス
デユーサ11に印加する高周波信号fVの周波数)を、
走査密度に応じてきりかえることで、スポット36の副
走査方向の径を変えることができるのである。 特に、本発明では次のような操作で±1次光4+、4−
の強度を等しくしている。 一般に、超音波を用いたような動的回折格子においては
、第3図(b)で示すように、入射光束4を、回折格子
に対して 2Dsinα=λ を満たす(B raggの条件を満たす)角度αで入射
させると、+1次光4+のみが強くなり入射光の70〜
80%の光が+1次光として導かれる。0次光4゜とじ
ては、入射光の20〜30%の光が残り、−i次光4−
はほとんど発生しないということになる6通常は、+1
次光4◆のみを用い。 他の光はカットするので、このような使い方で良いが、
このような使い方では光量が損失するうえ0次光4゜や
−1次光4−も用いて、スポット形状を変えようとする
と、得られる光スポットは第4例(a)のようになり、
しかも破線で示した断面の強度分布は、第4図(b)の
ように非対称になる。しかし1本発明では、スポットの
強度分布をスポットの中心に対し上下対称にする必要が
ある。 そこで、第3図(a)に示したように、光束4を光学結
晶内に形成される動的回折格子に対して入射角α=0で
入射させると、B raggの条件を満たしてはいない
ので、±1次回折光4+、4−は、それぞれ10〜20
%ぐらいの光が等しく発生し、0次光4.には約50%
の光が残り、これらを1/ンズ8で絞り込むと、第5図
(a)で示すよ・うな、上下対称な光スポツト36が得
られる。このようなスポットの破線で示す断面の光強度
分布は、第5図(b)のように対称なものとなる。 ここでレーザプリンタに用いられる。感光ドラムの感光
特性として、第6図で示すような、2値的な露光特性を
示すものを用いると、第7図(aのような強度の分布(
第5図(b)に相当)をもった光スポットでも、感光ド
ラムの感光閾値を一点鎖線で示す位置に設定すれば、第
7図(b)に示すような均一な露光パターン(潜像)が
得られる。したがって、前述のようにトランスジューサ
上1による超音波の周波数yを変えて動的回折格子の間
隔りを変えると、スポット36の径を一次元的に変化さ
せることができ、得られる感光ドラム上のパターン(潜
像)も適当な閾値を用いれば。 スポット内で均一なパターン(潜像)を感光ドラム上に
形成できる。 このような動的回折格子を用いる利点を次にのべる。本
発明では、周波数を変えることで連続的にスポット径を
一次元的に変えることができるので、感光ドラムの感光
閾値を適宜設定することにより、任意の径の均一なパタ
ーン(潜像)を感光ドラム上に形成できる他に、0次光
と士↓次光の全ての光を使っているために、入射レーザ
光を有効に利用できる。本発明者等は、先に特願昭61
−117390 (USP4,768,043)で。 電気光学効果を用いたスポット径変換による可変密度の
プリンタを提案しているが、この提案では。 光の偏光特性を用いてスポット径を変えており、その為
、出射光の光量は得られるスポット径の大きさによって
変化するうえ、必ずしも全ての光量が使えないという問
題があるのに対し1本発明では上述のとおり、入射レー
ザ光の全ての光を有効に利用することができ、光量も得
られるスポット径の大きさによって変化しないという大
きな長所がある。 【実施例】 第1図は、本発明の一実施例を示す。 工は半導体レーザ、2はコリメータレンズであり、半導
体レーザ1からのレーザ光4はコリメータレンズ2を通
って平光光束になる。回転多面鏡6とコリメータレンズ
2の間に動的回折格子10を置くと、上述したようにこ
の動的回折格子10に印加する高周波信号に応じて副走
査方向に±1次回折光4+、4−が発生する。なお、高
周波信号を印加しなければ、光束4はそのまま通過する
。 ±工法光4+、4−と0次光4゜を併せて、回転多面鏡
6で走査し、走査レンズに入れることにより。 走査面9である感光ドラム上で、副走査方向に任意の径
のレーザスポット36を得ることができる。 この時、−例として点線で囲まれた部分をプリンタ装置
として動作させるとすると、制御装置700からは、印
刷内容に従って、ドツト密度。 印刷内容等の指令がプリンタ装置に送出される。 100は、動的回折格子IOのドライバ回路で、制御装
置700からのドツト密度に関する指令に応じて、トラ
ンスジューサ11に印加する高周波信号の周波数をあら
かじめ設定された値に設定する。また、その指令信号は
、回転多面鏡6のドライバ回路300にも送られる。ド
ライバ回路300は、ドツト密度が上がれば、回転多面
ff16の回転数をその上昇した比だけ増加し、逆に下
れば、その比だけ下った回転数で回転多面鏡6を回転さ
せるよう制御する。回転多面鏡6のドライバ回路300
は、例えば、嘲i瑠=ヒステリシスシンクロナスモータ
の場合は、回転数制御を内蔵の水晶発振子の周波数制御
で行う。従って、ドツト密度変換の為には、その数だけ
周波数の異なる水晶発振子を準備すればよい。制御装置
700からの印刷内容の指令は、バッファメモリ400
を通してレーザ1のドライバ回路200に伝えられる。 バッファメモリ400の内容を、ドツト密度が高い時に
は高い変調周波数で、逆に低い時は低い変調周波数でも
って、読み出してレーザ1を変調することによって、感
光ドラム9上に印刷内容を記録させる。 を用いて説明する。制御装置700から、例えば1ビツ
トの信号が入って時は第8図(a)のような縮小パター
ンを、2ビツトの信号が入った時は第8図(b)のよう
な拡大パターンを印刷するとする。この時、動的回折格
子10に加えられる信号fVは、第8図(a)の縮小パ
ターンの時は低周波fV2で、第8図(b)の拡大パタ
ーンの時は高周波fVゆで与える。それは、(b)の方
が。 副走査方向のスポット径を大きくするため、動的回折格
子の間隔りを小さい値にするためである。 この周波数fVの与え方は一概に決められないので実験
的に決めるのが良い。ドライバ200の信号fDは、縮
小パターン(a)の時は高速の変調れる。また、回転多
面@6のドライバ回路300からはシンクロナスモータ
を動かすための水晶発振子の周波数fMをモータに与え
る。縮小ノ(ターン(a)の場合は高周波の信号fM、
を、拡大ノ(ターン(b)の場合は、ドツト密度比だけ
低し1周波数の信号fM、でもって1回転多面鏡6の回
転数を制御することになる。 第9図のよう松、信号によってドツト密度の変換を行い
1文字2図形の縮小拡大印刷を正確に行なうことが可能
となる。 次の実施例を示す。第10図は、動的回折格子として、
表面弾性波素子を用いたもので、例えば。 L j、 N b O、からなる結晶20の表面に1表
面弾性波を発生させる為のAQ電極41を設けたものを
用いる。電極41の形状はくし型になっており、くし間
の間隔は中心発振波長に等しくなっている。 ここで弾性波が発生すると、結晶への歪が生じて屈折率
の変化を生じ、動的な回折格子の役割りを果すことにな
る。 あとの動作は第1図の実施例と同じである。 表面弾性波を用いる長所は、小型、省電力化が望める為
である。その理由は、結晶20の表面から工〜2μmの
深さにのみ表面弾性波を発生させるので、バルクの結晶
に超音波を発生させるのに対し、2〜3桁の省電力化が
遠戚される。 この際、制御装置(コンピュータ)700からの指令に
従って、ドツト密度変換を行なうには。 回転多面鏡6の回転数、レーザ1の変調周波数も併せて
変更することは、第1図の実施例と同じで、制御装[7
00との接続も第1図と同じように行なえばよい。 表面弾性波を用いるもう一つの実施例を第11図に示す
。レーザーからでたレーザ光は、プリズムカプラ45を
通して、Tiを熱拡散したLiNbO3結晶の導波路4
3に導かれる。導波路43はLiNb0.結晶の表面に
Tiの拡散した約1μmの厚さの導波路である。この導
波路に、超音波発生用の電極41が設けてあり、これで
超音波を発生させて動的回折格子として用いる。この動
的回折格子に垂直にレーザ光を入れると、上述した原理
で、±]6次光4+、4−が発生し、その光をO次光4
゜と共に、導波路の端面からとりだし、シリンダレンズ
44を通して整形した後2回転多面鏡6に導く、このあ
とのドラム上でスポット径が変化する様子は前述の実施
例と同じである。 次に1本発明のもう一つの実施例として、複数のレーザ
光を並行走査する場合に1本発明が特にを並行走査する
に際して、印字密度の切換え(こ応じて複数の走査レー
ザ光の副走査方向の間隔を自動的に切換えることで、複
数レーザ光の並行走査の場合でも印字密度の変換が可能
であることを示した。しかしながら、より高品位の記録
を行なうためには、走査線間隔の変更にともなって、各
走査ビームの副走査方向のスポット径を変えることが必
要である。 以下の実施例では、2本のレーザ光による並行走査を例
に1本発明が複数のレーザ光による並行走査の場合にも
有効であることを示す。 第12図は本発明の一実施例を示す。2つの直線偏光光
を発する光rAla、lbを用い、nつ各々の偏光方向
をほぼ直交配置(p、s偏光)する。 これらの光源より出射したビーム4a、4bは、レンズ
21,21光路調整器211,212(これは例えばミ
ラー3 a + 3 b夫々に付した回転翻動体を差動
増巾器211,222の出力331.332によって暉
動させ、もって光路を変更させるものを装備したミラー
3a、3bを経由して偏光ビームスプリッタ5に達する
。このビームスプリッタ5はP偏光光を直進させ、S偏
光光を直角に曲げる作用を有するので、ビーム4a。 4bはビームスプリッタ5を通過後、はぼ同一方向に進
み、上記ビームの偏向手段となる回転多面鏡6と走査レ
ンズ8を通って走査面9上で走査線141.142とし
て、同時並行走査を行なうこととなる。 走査ビーム検出器15は、ビーム走査ごとの走査開始位
置を示すためのものであって、この検出器15からの出
力は、図示は省略するが、記録差 (印刷)データを検出する際の同期信号として用いられ
る。 ここで、走査面9上の走査線141と142の間隔dは
、所定の画素密度(ドツト密度)に対応する適正な値に
保つ必要がある。 このため、ビームスプリッタ5に入射したビーム4a、
4bの一部をビーム位置制御用ビーム101.102と
してとり出し、ビーム位置検出器111,112に入射
する。この検出器は第13図に示すように基本的には走
査と直角な方向に2分割されたもので、その分割境界の
それぞれの側の照射光量を光電変換して電気信号として
取出すことができる。従って、この信号を差動増幅器2
21,222を通して差分信号をつくり、光路変更素子
311,2−12に各々加え、該差分信号が常に零とな
るようミラー31.32の傾きをFA整すれば、制御用
ビーム101,102を検出器111,112それぞれ
の分割境界を中心とする位置に安定化できる。 また、第I3図示の検出器111において、リード線端
部Cを端部A及び端部Bに触れない状態にするとともに
1位置制御用ビーム101によるスポット601によっ
て生ずる出力331を零にし、又検出器112において
は、位置制御用ビーム102によるスポット602によ
って生ずる出力332を零にする。そのような場合にお
いては、検出器111と112との相互の配置は、第1
図示の走査面9上の走査ビーム間隔dに整合するように
決めであるので、制御用ビーム101及び102の位置
を安定化することとなり、この場合の並行走査ビーム1
41及び142の間隔dは一定値に保持できる。 第14図は、上記走査光学系を動作させるための走査制
御系24(第12図にも示しである)の構成を示す図で
ある。なお1画素密度の変更は、制御系700からのド
ツト密度変更命令17によって行なわれる。 ここで、走査面9の移動速度(すなわち、感光ドラムの
回転数)を一定にしておき、画素密度の変更を図る場合
においてビーム走査方向とこれに直交する(副走査方向
)にわけて考えると下記のとおりとなる。 まず走査方向に関しては、画素信号に対するビーム強度
の変調パルス幅の調整により、露光面積を変えることに
より画素密度の変更が可能である。 このための信号301,302は走査制御系24からビ
ーム強度変調系201,202に送出される。この場合
、ドツト密度変更命令17によって。 発振器431,432からの発振周波数fDl。 fD、、のうちどちらか一方を選別器44で選別する。 ついで、データメモリー421,422から記録(印刷
)データを、!i別された周波数でそれぞれのビーム強
度変調系201,202に送出され(301,302)
、レーザ光を所定の速さでオン・オフさせる。 変える必要がある。 このためにはドツト密度変更命令17に基づき走査制御
系24内で、回転RMM動用周波数f’M1゜fM2に
対して選別器47で選別を行い、この選別された周波数
を開動パルス回路48に通す。そこで、回転速度制御用
グロックパルスを形成し、回転鏡騨動電源23を動作さ
せて、適正な回転速度とし、所定の走査回数を実現する
。 ところが複数ビーム、例えば2つのビーム141と14
2を同時に並行走査する場合には、この複数の走査ビー
ム相互間の間隔dを画素密度変更に見合った分(予じめ
設定しておく)だけ変化する必要がある。このためには
ビーム位置検知用の一方の検出器111の分割境界(以
下に説明する第13図の53及び54)を走査ビーム間
隔に対応させて移動させればよい。 この場合の動作も走査制御系24を介してドツト密度変
更命令17によって行われる。このための検出器系を第
13図に示す。これは走査ビーム間隔dを2種類変化さ
せた場合の例である。 検出器111はビーム101用で、そのスポット60]
−の位置を検出する。検出器111は例えば、5分割の
光検出部511〜515より構成される。このうち、5
1↓と512および514と515は各々、リード$!
56.57で電気的に接続され、ついで差動増幅器22
1’ に結合されている。また、検出部513のリード
線端部Cは、走査制御系24からの信号31によってA
またはBに選択的に結合されるようになっている。今、
CがAに接続されたとき検出器111は分割境界53を
分割ラインとする2分割検出器として作用し、このとき
の差分信号に対するサーボ制御によって、ビームスポッ
トは、検出器111上において第13図示の点線で示す
6↓17の位置で安定する。一方、検出器112は検出
部521と522とからなる2分割検出器で分割境界5
8を中心としてビームスポット602は安定化される。 このとき、2つの検出器の分割境界53と58の間隔は
P2であり、この値に対応して走査面9上の走査ビーム
141,142の間隔dが定まる。 次に、走査制御系24からの信号3J−によりCをBに
接続したときには、検出器】↓1は分割境界54を分割
ラインとする2分割検出器として作用する。このときの
差分信号に対するサーボ制御によってビームスポットは
601−の位置で安定化する。このときの検出器系での
2つのビームスポット間隔はPlとなり、これに対応し
て走査面上のビーム間隔dも別の値をとることができる
。 このようにしで、複数ビームを用いた走査光学系でも、
走査線間隔を変えてドツト密度g換ができるが、更に高
画質の印刷を行なうには走査間隔の!I!整と同時に、
副走査方向のレーザスボッi−径を適当な値だけ変化さ
せる必要がある。ここで、第12図
【、−示すように、
偏光プリズム5と回転多面鏡6の間に、動的回折格子1
0を挿入する。該回折格子10には、第3図(a)に示
したように超音波発生用のトランスデユーサ■1が設け
られている。例えば、縮小パターンを印刷する時の2つ
の走査レーザ光141,142のスポット径と間隔dが
印写上はぼ適当な関係に設定しておき、この時には動的
回折格子1oは動作させず、±1゜次光を発生させない
で、0次光のみを用いる1、そして、拡大パターンを印
刷する時には、走査線間隔dの拡がりに対して、副走査
方向のスポット径を各々拡大する。この時には、第3図
(a)で説明したように、動的回折格子10に適″!4
な高周波を加えて超音波を発生させ、偏光プリズム5か
らのレーザ光4a、4bのそれぞれに±1次回折光を発
生させてやれば、感光ドラム上の走査レーザスポット1
4]、、142のそれぞれを拡げることができ、走査線
141と142の間隔(d)と、それぞれのスポット径
の値は、高画質の印字を行なうのに適当な関係を保つこ
とが可能となる。 この動作の制御は、第14図を用いて説明すると、ドラ
]・密度変更命令17によってV oltage制御回
路120を動作させ、V CO(VoltageCon
trolled 0scillator)回路130か
ら適当な高周波を発生させるための電圧を発生させる。 VCO回路130からは、与えられた電圧に応した高周
波が発生し、動的回折格子】0を動作させる。本実施例
では、縮小パターンでは動的回折格子10を動作させず
、拡大パターンの時のみ1回転多面鏡6の駆動周波数f
M、レーザ変調周波数fD及び光検出器111−の分割
線の切り換えと同期して、適当な高周波を加え、各走査
レーザ光のスポット径を変えている。 以」二のようにして、複数ビーム走査の場合、画素密度
あるいは印刷ドツト密度の変換を行う場合。 適正な走査ビーム間隔とスポット径を常に最適に保持で
きる。 第15a図〜第15i図は第12図の走査光学系を動作
させるときのタイムチャートである。 15aは2種類の画M由度(含ドツト密度)Sl、、S
2の状態を示し、これらのうちのどちらかを選択する。 15bは、15aの状態に追従して変わる、第I3図に
示すビーム位置制御用検出器111の中の分割部513
の接続状態を示す(信号31に相当)、(15c)は、
15aの状態に追従して変わる、回転多面鏡6の駆動周
波数fMよ、あるいはfM、の状態を示す(信号32に
相当)。なお、レーザ変調周波数fD□、あるいは、f
D2も同様に選択される。15d及び15eは、それぞ
れ、レーザの変調信号を示す(301,302に相当)
。この中で、m、m’部は、記録(印刷)すべきパター
ンの信号波形を表し、変調周波数はfDいまたは、fD
、である。 走査周期は回転鏡回転数と一定の関係で決まり、Kはこ
れを表す定数である。g、g’部では、各走査ごとのビ
ーム位置検出を行うためにレーザをオン(点灯)してい
る。15fは、光検出器15で出力される走査ビーム位
置検出信号波形で、記録(印刷)パターンを表すドツト
信号の送出タイミングを決めるための同期信号である。 15g、15hは、走査ビーム間隔を安定化するために
用いるサンプル値制御(S ampled−dataC
ontrol)系のサンプリング及びホールド時間を示
す(331,332、に対応)、’rs、、 Ts2は
サンプリング時間、THよ、TH,はホールド時間を示
す。レーザの走査開始付近の点灯中(TS。 15d、15eのgrg’に対応)に走査ビーム間隔の
検出及び制御を行い、それに続く時間(TH)では状態
をホールドし、この動作を各走査ごとに繰り返す。 15jは動的回折格子10に加える高周波信号fVの状
態を示している。S2の状態は縮小パターンの状態を示
しているので、本実施例では動的回折格子10は動作さ
せない。Slの状態は拡大パターンに相当するので適当
な高周波信号fV□を動的回折格子10に加えて、11
次光を発生させている。なおS8.S、の状態に応じて
各々異る周波数の高周波信号fV1.fV2を印加して
、常に動的回折格子10を動作させても一向に構わない
。 このようなタイムチャートで動作させることにより、複
数ビームの並行走査の場合でも、ドツト密度変換に伴う
スポット可変を実現できる6第12図の実施例に使用す
る光gtA整素子211.212の具体例としては、ガ
ルバノミラ−に代表される電磁力駆動を用いるもの、あ
るいはミラーrMj!l!I用の圧電素子などすでに広
く知られているものが使用可能である。 尚、上記の説明では、2本ビームを並行走査する場合に
ついて記述したが5本実施例はさらに多数本のビームの
並行走査についても適用可能である。 以−ヒの如く、本実施例によれば、複数光源を用いた複
数本ビームの並行走査において、走査ビームの間隔を所
定の値に変更できるとともに、各走査ビームのスポット
径を変更する手段を設けたので、同一装置で5画素密度
変換あるいは印刷ピッl−密度変換を行って、画像を構
成する際により高品質の画像をつくることができる。し
かも、これらの動作が機械的′1Alu等、厄介な操作
を必要としない、電気的な調整ですべてできるため、高
度な調整を必要とすることなく比較的容易に実行でき。 高性能且つ取扱いが容易な可変密度走査装置が実現でき
る点本実施例は顕著な効果を奏するものである。 【発明の効果] 以上のように1回折格子の間隔を任意に変えられる動的
回折格子を、レーザ走査光学系に押入してその回折光を
利用することで、走査密度が変っても、光量をほとんど
損失させることなく有効に利用しながら、その都度最適
な絞り込みレーザスポットサイズが得られ、もってより
良好な画質が得られることになる。 もちろん、本発明は、第12図に示したように。 光源を複数用いたマルチスポット走査でも、共通光路中
に動的回折格子を入れることで、目的を達成することが
可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す構成図、第2図は本発
明を用いずに走査密度変更を行なうことで生じる問題点
を示す図、第3図(a )(b )は、動的回折格子の
動作を示す原理図、第4図(a)(b)は、第3図(b
)に示した動的回折格子の使い方をした場合の問題点を
説明するための図、第5図(a )(b )は第3図(
a)に示した本発明の動的回折格子の使い方をした場合
のスボノト形状とその断面強度を示す図、第6図は感光
ドラムの露光特性の一例を示す図、第7図(aHb)は
適当な感光閾値を用いることにより均一なパターン(潜
像)が感光ドラム−Lに形成できることを示す説明図、
第8図(a)(b)、第9図(a)(b)は縮小パター
ンと拡大パターンの一例とその時の各部に与える信診の
一例を示す図、第10図、第11図は表面弾性波を用い
た動的回折格子による本発明の一実施例をそれぞれ示す
構成図、第12図は複数ビーム並行走査のレーザプリン
タに本発明を適用した一実施例を示すtT!戊図、第1
3図は第12図の実施例で使用するビーム位置間隔を検
出するための光検出器系の詳細構成図、第14図は第1
2図の実施例を動作させるための走査制御系の詳細構成
図、第15図は第12図の実施例の動作を示すタイムチ
ャートである。 し−一一〜−一 第 整 」 第 ? 図 (鈍) 蔦 区 (久) 隼5図 (久) 〔b) 草 図 め 臣 第 図 墳 デ 図 ttlノ (b) ネ // 図 −−−一一−−=4−3g

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、超音波を用いた動的回折格子を光路中に設け、その
    回折格子による回折光の発生する方向を副走査方向にし
    たことを特徴とする可変密度走査装置。 2、上記動的回折格子として表面弾性表面波を用いた回
    折格子を用いたことを特徴とする請求項1記載の可変密
    度走査装置。
JP7333990A 1989-04-03 1990-03-26 可変密度走査装置 Pending JPH0339923A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007047354A (ja) * 2005-08-09 2007-02-22 Seiko Epson Corp 光走査装置及び画像表示装置
CN108982675A (zh) * 2018-07-18 2018-12-11 东北轻合金有限责任公司 一种超声波探伤扫查间距的确定方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007047354A (ja) * 2005-08-09 2007-02-22 Seiko Epson Corp 光走査装置及び画像表示装置
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