JPH0339989B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0339989B2 JPH0339989B2 JP57133676A JP13367682A JPH0339989B2 JP H0339989 B2 JPH0339989 B2 JP H0339989B2 JP 57133676 A JP57133676 A JP 57133676A JP 13367682 A JP13367682 A JP 13367682A JP H0339989 B2 JPH0339989 B2 JP H0339989B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- zro
- mgo
- tool
- cutting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
本発明は窒化珪素を主体とする高靭性セラミツ
ク工具の製造法に関する。 従来鋳物の黒皮を100ｍ／min以上のハイスピ
ードで切削するセラミツク工具としては、Al2O3
及びAl2O3−TiC等をホツトプレス若しくは熱間
静水圧法（HIP法）などにより焼結したものが主
として使用されてきた。ところがこれらの工具
は、使用中欠け、割れ等を起し易く、自動機で切
削加工する場合には、稼動率の低下の最大原因に
なつていた。 又、工具としての寿命は欠け及び割れに左右さ
れ、摩耗幅が非常に少ない状態でも交換しなけれ
ばならないことが多かつた。 これらの欠点を解消するため、さきにAl2O3系
材料よりも衝撃強さ、熱衝撃強さ及び靭性の高い
窒化珪素に着目し、研究の結果、MgO及び安定
化したZrO2を焼結助剤としてホツトプレスする
ことにより使用中に欠けや割れのない高靭性窒化
珪素工具を開発した（特開昭55−62857号公報参
照）。 該工具は、Si3N4、ZrO2、MgOの３成分組成
を焼結するものであるが、ホツトプレスによる加
圧焼結を用いておりコストが極めて高い。そこ
で、セラミツク工具として、加圧焼結しないで安
価に普通焼結できる組成物で、かつ高靭性のセラ
ミツク工具の開発が望まれていた。 又、同様のSi3N4、ZrO2、MgOの３成分組成
の焼結体として、特開昭55−109276号公報に記載
のものが知られている。しかし、このものは抗折
力は最大78Kg／mm2程度と小さく、高靭性が必要な
セラミツク工具の用途には使用できなかつた。 一方、Si3N4系セラミツク工具において、ホツ
トプレスによらないで、普通焼結する方法として
特開昭56−73670号公報に記載のものが知られて
いるが、その製造方法の要旨は、Si3N4からなる
基質粉末に、第２粉末としてY2O3、MgO、
ZrO2、CeO2及びこれらの混合物より選定したも
のを添加し、更に第３粉末としてAl2O3、WC、
WSi2、Ｗ、TiC及びこれらの混合物より選定し
たものを添加して、混合、粒度調整した後、この
３種類の粉末の混合物を普通焼結するものであ
り、この第３粉末の添加が必須とされ、Si3N4、
ZrO2、MgO、Y2O3、CeO2を選択混合するだけ
では加圧焼結しないで緻密化することはできず、
高靭性のセラミツク工具を作り出すことはできな
かつた。 更に、他のSi3N4系のセラミツクの高強度化方
法として、例えば、特公昭56−388号公報（これ
は、Si3N4の基質粉末にY2O3等の希土類酸化物を
混合し、AlNの存在下で焼結する）や、特開昭
54−99115号公報（これはSi3N4、MgO及びラン
タン族酸化物の混合粉末を焼結して耐熱性ハース
ロールを製造する）が知られているが、いずれも
特殊な条件下で焼結したり、高靭性を目的としな
いで、耐熱性を向上させることを目的としたもの
である。 本発明者らの知る限りにおいては、Si3N4、
MgO、ZrO2の３成分組成に、Y2O3及び／又は
Dy2O3を添加して、４成分ないしは５成分組成と
することにより、従来ホツトプレスでしか得られ
なかつた切削工具の用途に適する高靭性のセラミ
ツクが普通焼結によつて得られることを示す公知
例は存在しない。 本発明者等は鋭意検討の結果、このような高靭
性のセラミツク工具の開発に成功した。 すなわち本発明の要旨は、図面に示すように正
三角形に交わる三軸にそれぞれSi3N4、MgO及び
安定化されたZrO2の重量％の表示した三角座標
において、点Ａ（Si3N494重量％、MgO3重量％、
ZrO23重量％）、点Ｂ（Si3N485重量％、MgO12重
量％、ZrO23重量％）、点Ｃ（Si3N480重量％、
MgO10重量％、ZrO210重量％）及び点Ｄ
（Si3N485重量％、MgO3重量％、ZrO212重量％）
を結ぶ実線で囲まれる範囲においてSi3N4、MgO
及び安定化されたZrO2の各粉末を配合した第１
粉末85〜98重量％とDy2O3及びY2O3の少なくと
も１種からなる第２粉末２〜15重量％の混合粉末
を成形し、ホツトプレスによらないで、焼結する
ことを特徴とする高靭性セラミツク工具の製造法
にある。 以下に本発明を詳細に説明するに、本発明では
原料としてSi3N4、MgO及びZrO2の三成分と
Dy2O3及びY2O3のうちの一成分以上を必要とし、
ZrO2はY2O3、CaOなどで安定化されていること
を要する。安定化されていないZrO2を使用する
と、焼結後部分安定化した形か又は単斜晶系の形
で焼結体中に残留し、切削加工する際工具先端の
温度が1000℃以上に上昇した時、高温型の正方晶
系に変態を行ない、異常な容積変化を伴うため熱
歪により欠け、割れに対する抵抗性が減少してし
まう。 上記のSi3N4、MgO、ZrO2の三成分の配合量
は図面に示すような三角座標において点Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄを結ぶ実線で囲まれる範囲内であることが
要求される。この範囲内であると欠けに対する抵
抗性が大きく、範囲外になるとそれが低下する。
また概してMgOが少なくなると耐摩耗性が低下
する傾向がある。80重量％以上94重量％以下の
Si3N4にY2O3、又はCaOで安定化したZrO2を添
加剤として３重量％以上12重量％以下加えた理由
は、ZrO2添加量が３重量％より少ない範囲では
靭性の向上効果がみられず、12重量％より多くな
ると工具としての硬度の低下と共に切削時の摩耗
が多くなる点にある。又、Si3N4の限定理由は、
Si3N4が94重量％を越えると焼結性が悪く目的と
する特性が得られず、80重量％未満では切削時の
耐摩耗性が低下するためである。又、MgOを３
重量％以上12重量％以下加える理由は３重量％よ
り少ない範囲では焼結促進剤としての効果が少な
く、12重量％より多くなると切削時の摩耗が多く
なり工具としての特性が得にくくなるためであ
る。 以上の三成分でホツトプレスによる緻密化は可
能であるが、これを普通焼結するためには、上記
三成分85〜98重量％にさらにDy2O3及びY2O3の
少なくとも１種を２〜15重量％添加しなければな
らない。Dy2O3及びY2O3の添加量の限定理由は、
添加量２重量％未満では普通焼結ができず、15重
量％を越えると硬度の低下と共に切削時の摩耗が
多くなり工具として使用できない。 本発明により工具を製造するためには、以上の
混合粉末に有機バインダーを添加し、金型プレス
により所定の形状に成型し、仮焼して有機バイン
ダーを除去した後、1550〜1800℃、非酸化性雰囲
気でホツトプレスによらないで焼成する。非酸化
性雰囲気で焼成するのは窒化珪素が酸化し易いか
らで、1550℃未満の温度では焼結が不十分となる
場合があり、1800℃を越えるとSi3N4の蒸発が著
しくなる。 以下に実施例によつて本発明をより詳細に説明
する。 実施例 １ α−Si3N490重量％とβ−Si3N410重量％より
なる粉末とCaO20モル％により安定化したZrO2、
MgO、Dy2O3及びY2O3を表１に示す比で混合し、
ボールミルにより粉砕して平均粒径1μとした。
これに５外重量％のパラフインを加え造粒し、金
型プレスによりプレス圧1.5ton／cm2で所定形状に
成型した。これを真空中800℃で仮焼した後、N2
気流中で表１に示す温度で１時間焼結した。得ら
れた焼結体を研磨して、SNGN432−TN（チヤン
フアー0.1）、SNGN455−TN（チヤンフアー0.2）
及び４×８×25mmの各テストピースを作成し、諸
物性を測定した。なお、表中の注は下記のとおり
である。 ＊１ Y2O3で安定化したZrO2を使用した ＊２ SNGN432−TN（チヤンフアー0.1）のテ
ストピースを用い、被削材として100φ×500lの
FC25を選び、切削条件を切削速度400ｍ／
min、切込み2.0mm、送り0.3mm／revとし、1000
mm切削後のフランク摩耗幅VBを測定した。 ＊３ SNGN455−TN（チヤンフアー0.2）のテ
ストピースを用い、被削材として200φ×35l
のFC20（黒皮）を選び、切削条件を切削速度
400ｍ／min、切込み2.5mm、送り0.3mm／rev
とし、円板の外側面を軸方向に切削した。
ク工具の製造法に関する。 従来鋳物の黒皮を100ｍ／min以上のハイスピ
ードで切削するセラミツク工具としては、Al2O3
及びAl2O3−TiC等をホツトプレス若しくは熱間
静水圧法（HIP法）などにより焼結したものが主
として使用されてきた。ところがこれらの工具
は、使用中欠け、割れ等を起し易く、自動機で切
削加工する場合には、稼動率の低下の最大原因に
なつていた。 又、工具としての寿命は欠け及び割れに左右さ
れ、摩耗幅が非常に少ない状態でも交換しなけれ
ばならないことが多かつた。 これらの欠点を解消するため、さきにAl2O3系
材料よりも衝撃強さ、熱衝撃強さ及び靭性の高い
窒化珪素に着目し、研究の結果、MgO及び安定
化したZrO2を焼結助剤としてホツトプレスする
ことにより使用中に欠けや割れのない高靭性窒化
珪素工具を開発した（特開昭55−62857号公報参
照）。 該工具は、Si3N4、ZrO2、MgOの３成分組成
を焼結するものであるが、ホツトプレスによる加
圧焼結を用いておりコストが極めて高い。そこ
で、セラミツク工具として、加圧焼結しないで安
価に普通焼結できる組成物で、かつ高靭性のセラ
ミツク工具の開発が望まれていた。 又、同様のSi3N4、ZrO2、MgOの３成分組成
の焼結体として、特開昭55−109276号公報に記載
のものが知られている。しかし、このものは抗折
力は最大78Kg／mm2程度と小さく、高靭性が必要な
セラミツク工具の用途には使用できなかつた。 一方、Si3N4系セラミツク工具において、ホツ
トプレスによらないで、普通焼結する方法として
特開昭56−73670号公報に記載のものが知られて
いるが、その製造方法の要旨は、Si3N4からなる
基質粉末に、第２粉末としてY2O3、MgO、
ZrO2、CeO2及びこれらの混合物より選定したも
のを添加し、更に第３粉末としてAl2O3、WC、
WSi2、Ｗ、TiC及びこれらの混合物より選定し
たものを添加して、混合、粒度調整した後、この
３種類の粉末の混合物を普通焼結するものであ
り、この第３粉末の添加が必須とされ、Si3N4、
ZrO2、MgO、Y2O3、CeO2を選択混合するだけ
では加圧焼結しないで緻密化することはできず、
高靭性のセラミツク工具を作り出すことはできな
かつた。 更に、他のSi3N4系のセラミツクの高強度化方
法として、例えば、特公昭56−388号公報（これ
は、Si3N4の基質粉末にY2O3等の希土類酸化物を
混合し、AlNの存在下で焼結する）や、特開昭
54−99115号公報（これはSi3N4、MgO及びラン
タン族酸化物の混合粉末を焼結して耐熱性ハース
ロールを製造する）が知られているが、いずれも
特殊な条件下で焼結したり、高靭性を目的としな
いで、耐熱性を向上させることを目的としたもの
である。 本発明者らの知る限りにおいては、Si3N4、
MgO、ZrO2の３成分組成に、Y2O3及び／又は
Dy2O3を添加して、４成分ないしは５成分組成と
することにより、従来ホツトプレスでしか得られ
なかつた切削工具の用途に適する高靭性のセラミ
ツクが普通焼結によつて得られることを示す公知
例は存在しない。 本発明者等は鋭意検討の結果、このような高靭
性のセラミツク工具の開発に成功した。 すなわち本発明の要旨は、図面に示すように正
三角形に交わる三軸にそれぞれSi3N4、MgO及び
安定化されたZrO2の重量％の表示した三角座標
において、点Ａ（Si3N494重量％、MgO3重量％、
ZrO23重量％）、点Ｂ（Si3N485重量％、MgO12重
量％、ZrO23重量％）、点Ｃ（Si3N480重量％、
MgO10重量％、ZrO210重量％）及び点Ｄ
（Si3N485重量％、MgO3重量％、ZrO212重量％）
を結ぶ実線で囲まれる範囲においてSi3N4、MgO
及び安定化されたZrO2の各粉末を配合した第１
粉末85〜98重量％とDy2O3及びY2O3の少なくと
も１種からなる第２粉末２〜15重量％の混合粉末
を成形し、ホツトプレスによらないで、焼結する
ことを特徴とする高靭性セラミツク工具の製造法
にある。 以下に本発明を詳細に説明するに、本発明では
原料としてSi3N4、MgO及びZrO2の三成分と
Dy2O3及びY2O3のうちの一成分以上を必要とし、
ZrO2はY2O3、CaOなどで安定化されていること
を要する。安定化されていないZrO2を使用する
と、焼結後部分安定化した形か又は単斜晶系の形
で焼結体中に残留し、切削加工する際工具先端の
温度が1000℃以上に上昇した時、高温型の正方晶
系に変態を行ない、異常な容積変化を伴うため熱
歪により欠け、割れに対する抵抗性が減少してし
まう。 上記のSi3N4、MgO、ZrO2の三成分の配合量
は図面に示すような三角座標において点Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄを結ぶ実線で囲まれる範囲内であることが
要求される。この範囲内であると欠けに対する抵
抗性が大きく、範囲外になるとそれが低下する。
また概してMgOが少なくなると耐摩耗性が低下
する傾向がある。80重量％以上94重量％以下の
Si3N4にY2O3、又はCaOで安定化したZrO2を添
加剤として３重量％以上12重量％以下加えた理由
は、ZrO2添加量が３重量％より少ない範囲では
靭性の向上効果がみられず、12重量％より多くな
ると工具としての硬度の低下と共に切削時の摩耗
が多くなる点にある。又、Si3N4の限定理由は、
Si3N4が94重量％を越えると焼結性が悪く目的と
する特性が得られず、80重量％未満では切削時の
耐摩耗性が低下するためである。又、MgOを３
重量％以上12重量％以下加える理由は３重量％よ
り少ない範囲では焼結促進剤としての効果が少な
く、12重量％より多くなると切削時の摩耗が多く
なり工具としての特性が得にくくなるためであ
る。 以上の三成分でホツトプレスによる緻密化は可
能であるが、これを普通焼結するためには、上記
三成分85〜98重量％にさらにDy2O3及びY2O3の
少なくとも１種を２〜15重量％添加しなければな
らない。Dy2O3及びY2O3の添加量の限定理由は、
添加量２重量％未満では普通焼結ができず、15重
量％を越えると硬度の低下と共に切削時の摩耗が
多くなり工具として使用できない。 本発明により工具を製造するためには、以上の
混合粉末に有機バインダーを添加し、金型プレス
により所定の形状に成型し、仮焼して有機バイン
ダーを除去した後、1550〜1800℃、非酸化性雰囲
気でホツトプレスによらないで焼成する。非酸化
性雰囲気で焼成するのは窒化珪素が酸化し易いか
らで、1550℃未満の温度では焼結が不十分となる
場合があり、1800℃を越えるとSi3N4の蒸発が著
しくなる。 以下に実施例によつて本発明をより詳細に説明
する。 実施例 １ α−Si3N490重量％とβ−Si3N410重量％より
なる粉末とCaO20モル％により安定化したZrO2、
MgO、Dy2O3及びY2O3を表１に示す比で混合し、
ボールミルにより粉砕して平均粒径1μとした。
これに５外重量％のパラフインを加え造粒し、金
型プレスによりプレス圧1.5ton／cm2で所定形状に
成型した。これを真空中800℃で仮焼した後、N2
気流中で表１に示す温度で１時間焼結した。得ら
れた焼結体を研磨して、SNGN432−TN（チヤン
フアー0.1）、SNGN455−TN（チヤンフアー0.2）
及び４×８×25mmの各テストピースを作成し、諸
物性を測定した。なお、表中の注は下記のとおり
である。 ＊１ Y2O3で安定化したZrO2を使用した ＊２ SNGN432−TN（チヤンフアー0.1）のテ
ストピースを用い、被削材として100φ×500lの
FC25を選び、切削条件を切削速度400ｍ／
min、切込み2.0mm、送り0.3mm／revとし、1000
mm切削後のフランク摩耗幅VBを測定した。 ＊３ SNGN455−TN（チヤンフアー0.2）のテ
ストピースを用い、被削材として200φ×35l
のFC20（黒皮）を選び、切削条件を切削速度
400ｍ／min、切込み2.5mm、送り0.3mm／rev
とし、円板の外側面を軸方向に切削した。
【表】
【表】
表１によつて示される通り本発明のセラミツク
工具は、靭性特に鋳物のラフカツトに対する工具
のチツピング、欠けに対する抵抗性に優れ、自動
機における工具の信頼性を大幅に向上させること
ができる。その理由は断定できないが、第１に表
１に示す如き断続切削に於ては刃先の温度は1000
℃以上に上昇することが繰り返され、この時
Al2O3−TiC系工具は熱膨脹係数が約７×10-6／
℃と大きいのに対し本発明のSi3N4を主体とする
工具は約3.5×10-6／℃と小さく熱衝撃に強いた
めと考えられる。又、第２にSi3N4を主体とする
工具は微構造的に観察した時、繊維構造を示し、
破壊に対する靭性が高いためと考えられる。 又、Si3N4−MgO−ZrO2にDy2O3やY2O3を添
加することにより普通焼結が可能となり、ホツト
プレスした場合に較べ切断不要となり、研磨加工
時間も大幅に短縮されるとともに穴付チツプ等の
複雑形状の切削工具も容易に得られる様になつ
た。 実施例 ２ 実施例１の試料No.２と同一組成にて安定化ジル
コニヤを用いる代りに、安定化されていない単斜
晶系のジルコニヤを用い、比較試料No.2Rを製作
した。特に欠け、割れを起すまでの製品の切削枚
数を調査する試料は10ケ製作し、No.２と比較した
結果表２の通りになつた。
工具は、靭性特に鋳物のラフカツトに対する工具
のチツピング、欠けに対する抵抗性に優れ、自動
機における工具の信頼性を大幅に向上させること
ができる。その理由は断定できないが、第１に表
１に示す如き断続切削に於ては刃先の温度は1000
℃以上に上昇することが繰り返され、この時
Al2O3−TiC系工具は熱膨脹係数が約７×10-6／
℃と大きいのに対し本発明のSi3N4を主体とする
工具は約3.5×10-6／℃と小さく熱衝撃に強いた
めと考えられる。又、第２にSi3N4を主体とする
工具は微構造的に観察した時、繊維構造を示し、
破壊に対する靭性が高いためと考えられる。 又、Si3N4−MgO−ZrO2にDy2O3やY2O3を添
加することにより普通焼結が可能となり、ホツト
プレスした場合に較べ切断不要となり、研磨加工
時間も大幅に短縮されるとともに穴付チツプ等の
複雑形状の切削工具も容易に得られる様になつ
た。 実施例 ２ 実施例１の試料No.２と同一組成にて安定化ジル
コニヤを用いる代りに、安定化されていない単斜
晶系のジルコニヤを用い、比較試料No.2Rを製作
した。特に欠け、割れを起すまでの製品の切削枚
数を調査する試料は10ケ製作し、No.２と比較した
結果表２の通りになつた。
【表】
表２より明らかな如く、抗折力、硬度、耐摩耗
性では両者共差がないけれども、欠け、割れを起
すまでの製品の切削枚数はNo.２が10ケの試料中、
10ケ皆150ケ以上切削できたのに対し、No.2Rは４
ケのみ150以上切削でき、その他は32ケ〜131ケの
間にばらついていた。これの理由は断定できない
が、No.2RがＸ線回折により、少量の単斜晶系の
低温型ZrO2を検出されるのに対し、本発明のNo.
２はすべて安定化ZrO2のみ検出されるため、欠
け、割れに対する強さが安定しているためと思わ
れる。 最近の切削機械はいずれも自動化が進んでお
り、工具の突発的な欠け、割れは大変やつかいな
問題を起すため、本発明による安定した工具は欠
け、割れに対する強さのばらつきの大きいNo.2R
に比較し、大きな長所を有している。なお、更に
室温から1200℃までの熱膨脹を調査したところ、
No.2Rは900℃と1000℃の間で熱膨脹係数の変化点
が認められたがNo.２は変化点が認められず直線的
膨脹曲線を示した。 又、本発明のセラミツク工具は、上記のような
優れた諸物性のため、鋳物以外の金属、例えばア
ルミニウム、スチールなどの切削工具、更には切
削のような振動や熱のかかる機械用耐熱部品に使
用することができる。
性では両者共差がないけれども、欠け、割れを起
すまでの製品の切削枚数はNo.２が10ケの試料中、
10ケ皆150ケ以上切削できたのに対し、No.2Rは４
ケのみ150以上切削でき、その他は32ケ〜131ケの
間にばらついていた。これの理由は断定できない
が、No.2RがＸ線回折により、少量の単斜晶系の
低温型ZrO2を検出されるのに対し、本発明のNo.
２はすべて安定化ZrO2のみ検出されるため、欠
け、割れに対する強さが安定しているためと思わ
れる。 最近の切削機械はいずれも自動化が進んでお
り、工具の突発的な欠け、割れは大変やつかいな
問題を起すため、本発明による安定した工具は欠
け、割れに対する強さのばらつきの大きいNo.2R
に比較し、大きな長所を有している。なお、更に
室温から1200℃までの熱膨脹を調査したところ、
No.2Rは900℃と1000℃の間で熱膨脹係数の変化点
が認められたがNo.２は変化点が認められず直線的
膨脹曲線を示した。 又、本発明のセラミツク工具は、上記のような
優れた諸物性のため、鋳物以外の金属、例えばア
ルミニウム、スチールなどの切削工具、更には切
削のような振動や熱のかかる機械用耐熱部品に使
用することができる。
図面は焼結されるべき混合粉末を構成する各要
素の配合割合を示す三角座標図である。
素の配合割合を示す三角座標図である。
Claims (1)
- １ 図面に示すように正三角形に交わる三軸にそ
れぞれSi3N4、MgO及び安定化されたZrO2の重
量％を表示した三角座標において、点Ａ
（Si3N494重量％、MgO3重量％、ZrO23重量％）、
点Ｂ（Si3N485重量％、MgO12重量％、ZrO23重
量％）、点Ｃ（Si3N480重量％、MgO10重量％、
ZrO210重量％）及び点Ｄ（Si3N485重量％、
MgO3重量％、ZrO212重量％）を結ぶ実線で囲
まれる範囲においてSi3N4、MgO及び安定化され
たZrO2の各粉末を配合した第１粉末85〜98重量
％とDy2O3及びY2O3の少なくとも１種からなる
第２粉末２〜15重量％の混合粉末を成形し、ホツ
トプレスによらないで焼結することを特徴とする
高靭性セラミツク工具の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57133676A JPS5926976A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 高靭性セラミツク工具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57133676A JPS5926976A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 高靭性セラミツク工具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5926976A JPS5926976A (ja) | 1984-02-13 |
| JPH0339989B2 true JPH0339989B2 (ja) | 1991-06-17 |
Family
ID=15110279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57133676A Granted JPS5926976A (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 高靭性セラミツク工具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5926976A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62292674A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-19 | 住友電気工業株式会社 | 窒化珪素質焼結体およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5499115A (en) * | 1978-01-20 | 1979-08-04 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Heat resistant hearth roil |
| JPS6016388B2 (ja) * | 1978-11-04 | 1985-04-25 | 日本特殊陶業株式会社 | 高靭性セラミック工具の製法 |
| DE2850901C3 (de) * | 1978-11-24 | 1981-11-19 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Verfahren zum Drucken mit Entwicklungsfarbstoffen |
| JPS6020347B2 (ja) * | 1979-02-12 | 1985-05-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体の製造法 |
| US4280973A (en) * | 1979-11-14 | 1981-07-28 | Ford Motor Company | Process for producing Si3 N4 base articles by the cold press sinter method |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP57133676A patent/JPS5926976A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5926976A (ja) | 1984-02-13 |
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