JPH0340094U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0340094U
JPH0340094U JP10221689U JP10221689U JPH0340094U JP H0340094 U JPH0340094 U JP H0340094U JP 10221689 U JP10221689 U JP 10221689U JP 10221689 U JP10221689 U JP 10221689U JP H0340094 U JPH0340094 U JP H0340094U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
slider device
clean
linear motion
air hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10221689U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP10221689U priority Critical patent/JPH0340094U/ja
Publication of JPH0340094U publication Critical patent/JPH0340094U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Ventilation (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はこの考案の一実施例によるクリーン形
スライダー装置の部分断面図、第２図は第１図に
よる内部を説明するための、カバーを取り除いた
平面図、第３図は従来の通常環境で用いられるス
ライダー装置の部分断面図、第４図は第３図によ
るカバーを取り除いた平面図である。１……ベー
ス、２……サーボモータ、８……ボールネジ、１
０……直線運動軸受、１２……スライド部品、１
５……風穴ベース、１６……軸流フアンである。
矢印Ａは、軸流フアンにより発生させた風の流れ
を示す。なお、図中、同一符号は同一、または相
当部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. クリーンルーム等の清浄環境内にて使用される
    スライダー装置において、駆動機器及び、直線運
    動用軸受等の必要機器を、風穴を設けたベースに
    取付け、その下部に軸流フアンを有したことを特
    徴とするクリーン形スライダー装置。
JP10221689U 1989-08-31 1989-08-31 Pending JPH0340094U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10221689U JPH0340094U (ja) 1989-08-31 1989-08-31

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10221689U JPH0340094U (ja) 1989-08-31 1989-08-31

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0340094U true JPH0340094U (ja) 1991-04-17

Family

ID=31651127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10221689U Pending JPH0340094U (ja) 1989-08-31 1989-08-31

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0340094U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002153409A (ja) * 2000-11-20 2002-05-28 Tekishi Kitada 手袋型タワシ
JP2008018497A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Yaskawa Electric Corp 走行装置およびロボット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002153409A (ja) * 2000-11-20 2002-05-28 Tekishi Kitada 手袋型タワシ
JP2008018497A (ja) * 2006-07-13 2008-01-31 Yaskawa Electric Corp 走行装置およびロボット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0340094U (ja)
JPS61169450U (ja)
JPS58131156U (ja) 直動装置
JPS6349055U (ja)
JPH0389258U (ja)
JPH0429719U (ja)
JPH02146217U (ja)
JPS6112995U (ja) フアン装置の防水構造
JPS5837544U (ja) 環境試験装置
JPS58146681U (ja) 可動ベ−ス駆動装置における保護装置
JPH038699U (ja)
JPH0361697U (ja)
JPS6366061U (ja)
JPH0412161U (ja)
JPS6181838U (ja)
JPH01113657U (ja)
JPH0314950U (ja)
JPS647917U (ja)
JPS6041624U (ja) 電子機器用スピンドルユニツト
JPS6447554U (ja)
JPS624620U (ja)
JPH0463605U (ja)
JPS62108616U (ja)
JPH03113781U (ja)
JPH0370059U (ja)