JPH0340963A - 圧電体グリーンシートの製造方法 - Google Patents
圧電体グリーンシートの製造方法Info
- Publication number
- JPH0340963A JPH0340963A JP1174683A JP17468389A JPH0340963A JP H0340963 A JPH0340963 A JP H0340963A JP 1174683 A JP1174683 A JP 1174683A JP 17468389 A JP17468389 A JP 17468389A JP H0340963 A JPH0340963 A JP H0340963A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- balls
- green sheet
- slurry
- ball mill
- piezoelectric body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系圧電体
のグリーンシートを製造する方法に関する。
のグリーンシートを製造する方法に関する。
鉛及びチタンの酸化物を主成分とする焼結体からなる圧
電体は、超音波振動子、フィルタなど各種の電気機器に
用いられ、新規な機能を求めて形状の小型化、薄型化が
進められている。 圧電体の薄板を製造する方法として、焼結体をスライス
して研磨する方法があるが、この方法は加工工程が煩雑
でコストが高いという問題がある。 そこで、これに代わるものとして、圧電セラミックス原
料の微粉末に分散剤、溶剤、結合剤及び可塑剤を加え、
ボールミルで均一に混合してスラリを調製し、このスラ
リを移動する担体（ポリエチレンシート）の上に流し込
みドクターブレードの刃先などで肉厚を調整することに
よりグリーンシートを製作し、その後、これを焼結する
方法がある。
電体は、超音波振動子、フィルタなど各種の電気機器に
用いられ、新規な機能を求めて形状の小型化、薄型化が
進められている。 圧電体の薄板を製造する方法として、焼結体をスライス
して研磨する方法があるが、この方法は加工工程が煩雑
でコストが高いという問題がある。 そこで、これに代わるものとして、圧電セラミックス原
料の微粉末に分散剤、溶剤、結合剤及び可塑剤を加え、
ボールミルで均一に混合してスラリを調製し、このスラ
リを移動する担体（ポリエチレンシート）の上に流し込
みドクターブレードの刃先などで肉厚を調整することに
よりグリーンシートを製作し、その後、これを焼結する
方法がある。
ところで、従来、上記ボールミルには直径１５Ｍのモノ
マロンボールが使用されているが、圧電セラミックスの
原料粉末は微粉であるため混合時に凝集してしまう傾向
があり、特に結合剤などを加えてスラリの粘性が上がる
とモノマロンボールが十分に回転できず、スラリ中に原
料粉末の凝集物が発生し、これがグリーンシートを形成
したときに表面に析出するという問題があった。 この発明は、ボールくル中の混合効率を改善して、グリ
ーンシート表面への凝集物の析出を防止した圧電体グリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とするもの
である。
マロンボールが使用されているが、圧電セラミックスの
原料粉末は微粉であるため混合時に凝集してしまう傾向
があり、特に結合剤などを加えてスラリの粘性が上がる
とモノマロンボールが十分に回転できず、スラリ中に原
料粉末の凝集物が発生し、これがグリーンシートを形成
したときに表面に析出するという問題があった。 この発明は、ボールくル中の混合効率を改善して、グリ
ーンシート表面への凝集物の析出を防止した圧電体グリ
ーンシートの製造方法を提供することを目的とするもの
である。
上記目的を遠戚するために、この発明の方法は、ＰＺＴ
系圧電セラミックスの原料粉末と分散剤、溶剤、結合剤
及び可塑剤とをボールミルで混合してスラリを調製し、
このスラリを担体上に流し込んでシート状に形成する圧
電体グリーンシートの製造方法において、ボールミルの
ボールとして直径が５ｍｎ＋（以下、φ５と記す、）及
び１５ｍｍ （以下、φ１５と記す。）の２種類のジル
コニアボールを用い、これらのボールの原料粉末に対す
る重量割合をそれぞれ２５ｗ ｔ％及び７５し％とする
ものである。
系圧電セラミックスの原料粉末と分散剤、溶剤、結合剤
及び可塑剤とをボールミルで混合してスラリを調製し、
このスラリを担体上に流し込んでシート状に形成する圧
電体グリーンシートの製造方法において、ボールミルの
ボールとして直径が５ｍｎ＋（以下、φ５と記す、）及
び１５ｍｍ （以下、φ１５と記す。）の２種類のジル
コニアボールを用い、これらのボールの原料粉末に対す
る重量割合をそれぞれ２５ｗ ｔ％及び７５し％とする
ものである。
モノマロンボールに換えてジルコニアボールを用いるこ
とによりボールの重量が増し、粘性の高いスラリ中でも
十分なボールの回転が得られるようになる。また、φ５
とφ１５の大小２種類のボールを混在させることにより
、大きい凝集物をまず大径のボールで砕き、その後小径
のボールで更にに細かく砕くという現象が得られ、凝集
物の粉砕が効果的に行われる。原料粉末に対する重量割
合をφ５のボールが２５ｗｔ％、φ１５のボールが７５
ｗ ｔ％となるようにすると最高の混合効率が得られる
が、これは後述するように実験により確かめられたもの
である。
とによりボールの重量が増し、粘性の高いスラリ中でも
十分なボールの回転が得られるようになる。また、φ５
とφ１５の大小２種類のボールを混在させることにより
、大きい凝集物をまず大径のボールで砕き、その後小径
のボールで更にに細かく砕くという現象が得られ、凝集
物の粉砕が効果的に行われる。原料粉末に対する重量割
合をφ５のボールが２５ｗｔ％、φ１５のボールが７５
ｗ ｔ％となるようにすると最高の混合効率が得られる
が、これは後述するように実験により確かめられたもの
である。
実施例では出発原料として、−酸化鉛（ＰｂＯ）、酸化
ジルコニウム（ＺｒＯｉ）、酸化チタン（ＴｉＯｇ）、
酸化ニッケル（Ｎｉｐ） 、五酸化ニオブ（ＮｂｚＯｓ
）を用い、次の製造工程でグリーンシートを形成した。 まず、上記原料を目的の組成になるように秤量し、純水
を加えてボールミルで約２４時開音合、粉砕する。これ
を熱風炉で乾燥した後、８００“Ｃで２時間仮焼し、更
に純水を加えてボールミルで再度粉砕する。これを再び
熱風炉で乾燥した後、ライカイ機で粉砕し、できた粉末
をメツシュ造粒する。このようにしてできた原料粉末の
粒径は０．３〜０．５μｍ程度である。 次に、第２図に示す工程に従いボールミルを用いて原料
粉末、分散剤、溶剤を２４時間混合し、更に結合剤、可
塑剤を加えて再び２４時時間音してスラリを得た。そし
て、このスラリからドクターブレード法により大きさ２
００ｍｎ＋ Ｘ ２００ｍｍのグリーンシートを形成し
た。その際、ボールミルのボールとしては、φ５及びφ
１５のジルコニアボールを同時に使用し、その原料粉末
に対する重量割合を種々に変化させて実験を行った。で
きたグリーンシートは２０ｍＸ２０ｍｍの大きさに切断
し、その部分にＩ ｃｔＡ当たり′ｌｋ集物が何個ある
か数えた。第１表はその結果を示すものである。第１表
から明らかなように、ジルコニアボールの混合割合によ
ってグリーンシート表面に析出する凝集物の量（１−当
たりの凝集物の個数）が変化することが分かる。第１図
はこれを線図にして示したものである。 第１表 上記結果によれば、ボールの混合割合が、φ５が２５ｗ
ｔ％、φ１５が７５ｗｔ％のときに凝集物の発生が最も
低くなっている。また、第１図に示すように、φ５が７
０ｗｔ％より多（、φ１５が３０ｗｔ％より少ない場合
には凝集物が増えてグリーンシートの形成が不能であっ
た。これは、スラリがかなりの高粘度となるため、重い
ボールがある程度ないと凝集物の粉砕ができないためと
思われる。 なお、この発明の方法はグリーンシートの製作のみなら
ず、積層型圧電素子などの素子を製作するための粉末調
製にも適用することができる。
ジルコニウム（ＺｒＯｉ）、酸化チタン（ＴｉＯｇ）、
酸化ニッケル（Ｎｉｐ） 、五酸化ニオブ（ＮｂｚＯｓ
）を用い、次の製造工程でグリーンシートを形成した。 まず、上記原料を目的の組成になるように秤量し、純水
を加えてボールミルで約２４時開音合、粉砕する。これ
を熱風炉で乾燥した後、８００“Ｃで２時間仮焼し、更
に純水を加えてボールミルで再度粉砕する。これを再び
熱風炉で乾燥した後、ライカイ機で粉砕し、できた粉末
をメツシュ造粒する。このようにしてできた原料粉末の
粒径は０．３〜０．５μｍ程度である。 次に、第２図に示す工程に従いボールミルを用いて原料
粉末、分散剤、溶剤を２４時間混合し、更に結合剤、可
塑剤を加えて再び２４時時間音してスラリを得た。そし
て、このスラリからドクターブレード法により大きさ２
００ｍｎ＋ Ｘ ２００ｍｍのグリーンシートを形成し
た。その際、ボールミルのボールとしては、φ５及びφ
１５のジルコニアボールを同時に使用し、その原料粉末
に対する重量割合を種々に変化させて実験を行った。で
きたグリーンシートは２０ｍＸ２０ｍｍの大きさに切断
し、その部分にＩ ｃｔＡ当たり′ｌｋ集物が何個ある
か数えた。第１表はその結果を示すものである。第１表
から明らかなように、ジルコニアボールの混合割合によ
ってグリーンシート表面に析出する凝集物の量（１−当
たりの凝集物の個数）が変化することが分かる。第１図
はこれを線図にして示したものである。 第１表 上記結果によれば、ボールの混合割合が、φ５が２５ｗ
ｔ％、φ１５が７５ｗｔ％のときに凝集物の発生が最も
低くなっている。また、第１図に示すように、φ５が７
０ｗｔ％より多（、φ１５が３０ｗｔ％より少ない場合
には凝集物が増えてグリーンシートの形成が不能であっ
た。これは、スラリがかなりの高粘度となるため、重い
ボールがある程度ないと凝集物の粉砕ができないためと
思われる。 なお、この発明の方法はグリーンシートの製作のみなら
ず、積層型圧電素子などの素子を製作するための粉末調
製にも適用することができる。
この発明によれば、スラリ調製工程でφ５とφ１５の２
種類のジルコニアボールを用い、これらの原料粉末に対
する重量割合をそれぞれ２５ｗ ｔ％及び７５ｗｔ％と
することにより、グリーンシート表面に析出する凝集物
を最小限に抑え、圧電素子の品質を向上させることがで
きる。
種類のジルコニアボールを用い、これらの原料粉末に対
する重量割合をそれぞれ２５ｗ ｔ％及び７５ｗｔ％と
することにより、グリーンシート表面に析出する凝集物
を最小限に抑え、圧電素子の品質を向上させることがで
きる。
第１図はこの発明の実施例におけるボールミルのボール
の混合割合と凝集物の析出個数との関係を示す線図、第
２図はボールミルによるスラリ調製工程を示す工程図で
ある。
の混合割合と凝集物の析出個数との関係を示す線図、第
２図はボールミルによるスラリ調製工程を示す工程図で
ある。
Claims (1)
- １）ＰＺＴ系圧電セラミックスの原料粉末と分散剤、溶
剤、結合剤及び可塑剤とをボールミルで混合してスラリ
を調製し、このスラリを担体上に流し込んでシート状に
形成する圧電体グリーンシートの製造方法において、ボ
ールミルのボールとして直径が５ｍｍ及び１５ｍｍの２
種類のジルコニアボールを用い、これらのボールの原料
粉末に対する重量割合をそれぞれ２５ｗｔ％及び７５ｗ
ｔ％とすることを特徴とする圧電体グリーンシートの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174683A JPH0340963A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 圧電体グリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1174683A JPH0340963A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 圧電体グリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0340963A true JPH0340963A (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=15982869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1174683A Pending JPH0340963A (ja) | 1989-07-06 | 1989-07-06 | 圧電体グリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0340963A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59186401A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-23 | Sony Corp | アンテナ |
-
1989
- 1989-07-06 JP JP1174683A patent/JPH0340963A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59186401A (ja) * | 1983-04-07 | 1984-10-23 | Sony Corp | アンテナ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102428586B (zh) | 钨青铜型压电材料及其制备方法 | |
| CN107235724B (zh) | 压电陶瓷溅射靶材、无铅压电薄膜以及压电薄膜元件 | |
| CN103073289B (zh) | 压电陶瓷材料、烧结体、压电陶瓷器件及其制备方法 | |
| CN1085637C (zh) | 烧结压电陶瓷、压电陶瓷器件、及其制备方法 | |
| CN114249592A (zh) | 硬性压电陶瓷材料的制备方法 | |
| CN106518053A (zh) | BaTiO3系无铅压电陶瓷的晶体定向用模板及其制备方法 | |
| JP4724330B2 (ja) | 錫−アンチモン酸化物焼結体ターゲット及びその製造方法 | |
| JPS63136677A (ja) | 圧電セラミツクス薄板の製造方法 | |
| KR20040054965A (ko) | 무연(無鉛)계 압전세라믹스 및 그 제조방법 | |
| CN108238788A (zh) | 高致密度薄型压电陶瓷雾化介质片的制造方法 | |
| JP3914635B2 (ja) | セラミック電子部品の製造方法 | |
| JPH0769722A (ja) | アクチュエータ用圧電体の製造方法 | |
| JPH0517216A (ja) | 圧電セラミツクス | |
| JPH0319714B2 (ja) | ||
| CN101328058A (zh) | 一种铌镁酸铅铁电材料的制备方法 | |
| JPH04300235A (ja) | セラミックス素地の製造方法 | |
| JPS6048115B2 (ja) | 圧電セラミック基板の製造方法 | |
| JPH03265543A (ja) | ガラス―セラミックス基板用のガラス粉末およびスラリの製造方法と、ガラス―セラミックス基板の製造方法 | |
| JPS62113723A (ja) | 複合ペロブスカイト化合物の製造方法 | |
| CN105948745A (zh) | 压电陶瓷材料、压电陶瓷烧结体及其压电陶瓷器件 | |
| JPS5857765A (ja) | 圧電セラミツク微粒子の製造方法 | |
| JPH03232755A (ja) | 圧電磁器の製造方法 | |
| CN115536392A (zh) | 高温叠层压电驱动器用压电陶瓷片及其制备方法 | |
| JPS63215545A (ja) | 高温ｐｔｃ材料の製法 | |
| JPS6126514A (ja) | 圧電セラミツクス粉末の製造方法 |