JPH0341299U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0341299U JPH0341299U JP10334789U JP10334789U JPH0341299U JP H0341299 U JPH0341299 U JP H0341299U JP 10334789 U JP10334789 U JP 10334789U JP 10334789 U JP10334789 U JP 10334789U JP H0341299 U JPH0341299 U JP H0341299U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas supply
- pipe
- purge
- supply pipe
- gas
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Description
図面はこの考案の一実施例の構成図である。
１……シリンダーボツクス、２，３，４，５…
…ボンベ、６，７，８，９……ガス供給手段、２
２……第１のパージ配管、３０……第２のパージ
配管。
…ボンベ、６，７，８，９……ガス供給手段、２
２……第１のパージ配管、３０……第２のパージ
配管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 材料ガスを充填したボンべを格納する格納
空間と、上記ボンベからボツクス外に延びて所定
の製造ラインに材料ガスを供給するガス供給配管
と、始端側がパージガス源から上記ガス供給配管
の始端側に延び上記ガス供給配管を流路としてガ
ス供給配管の中間部から終端側が分岐するパージ
配管と、上記両配管の中間部から真空排気部に延
びる真空排気配管と、上記ガス供給配管の始端に
着脱自在に材料ガスボンベを連結する連結部とを
備え、上記パージガス供給源から常時パージガス
を流す管路を上記パージ配管の終端側に連結した
ことを特徴とするシリンダーボツクス。 (2) 上記パージガス供給源から常時流すパージ
ガスの流量を常時検出する検知器と、この検知器
による検出値が一定の値より低くなつた場合に外
部警報を発する警報器を備えた請求項(1)記載の
シリンダーボツクス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334789U JPH0341299U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334789U JPH0341299U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0341299U true JPH0341299U (ja) | 1991-04-19 |
Family
ID=31652189
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10334789U Pending JPH0341299U (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341299U (ja) |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP10334789U patent/JPH0341299U/ja active Pending
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