JPH0341808A - 圧電共振部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数個のエネルギ閉込め型圧電共振子が連結
された圧電共振部品の製造方法に関し、特に、複数個の
圧電共振ユニット間の振動の漏洩を防止するために加工
工程が改良されたものに関する。

〔従来の技術〕

第２図を参照して、従来の圧電共振部品の一例を説明す
る。圧電板１上に、共振電極２ａ、２ｂ。

３ａ、３ｂが形成されている。圧電板ｌの下面には、共
振電極２ａ〜３ｂに表裏対向する領域にそれぞれ共通共
振電極が形成されており、従って圧電板１には２個のエ
ネルギ閉込め型共振ユニット２．３が構成されている。

共振ｉ極２ａ、３ａは、導電パターンを介して端子電ｉ
４，５に接続されている。また、共振電極２ｂ、３ｂに
は、導電パターンを介してコンデンサ電極６が接続され
ている。圧電板１の下面にも、コンデンサ電極６と表裏
対向する位置に容量取出しのためのコンデンサ電極が形
成されており、かつ下面側のコンデンサ電極が圧電板１
の端縁に形成された端子電極に引出されている。

第２図の圧電共振部品の回路図を第３図に示す。

第３図から明らかなように、２個の共振ユニット２．３
が接続されてフィルタが構成されている。

ところで、第２図の圧電共振部品では、圧電板■の一方
端縁から共振ユニット２．３間の領域に向かって延びる
スリンドアが形成されている。該スリット７は、共振ユ
ニント２，３間の振動の漏洩を防止するために設けられ
ているものである。

〔発明が解決しようとする技術的課理］上記圧電共振部
品の製造においては、圧電板１にスリット７を機械加工
により形成するに際し、圧電板ｌに割れが生じがちであ
るという問題があった。また、例えスリンドアを形成し
得たとしても、圧電板ｌの強度が低下するため、組立て
の際に破損事故が発生しがちであった。従って、両共振
ユニット２．．３間の振動の漏洩を防止し得るという利
点を有するものの、量産性の点で難があった。

また、スリット７は、圧電４Ｎ　１の一方端縁から共振
ユニット２．３間に延びるものであるが、共振ユニット
２．３間を完全に分離しているものではない。従って、
共振ユニット２，３間において多少の振動のａ洩が生じ
ることは避けられず、よって多少の特性の劣化は甘受せ
ざるを得なかった。

本発明の目的は、複数個のエネルギ閉込め型共振ユニッ
トが連結された圧電共振部品の製造方法であって、圧電
板の破損を生し難く、かつ連結される共振ユニット間に
おける振動の′ａ洩を確実に防止し得る圧電共振部品の
製造方法を提供することにある。

〔技術的課題を解決するための手段〕

本発明は、エネルギ閉込め型の複数個の圧電共振ユニｙ
）を連結した構造を有する圧電共振部品の製造方法を提
供するものであり、両主面に共振電極を形成することに
より複数のエネルギ閉込め型共振ユニットが構成された
圧電板を用意し、この圧電板に絶縁板を貼付けて積層基
板を得、複数個の共振ユニット間の領域において上記積
Ｎ基板を圧電板側からハーフカットする各工程を備える
ことを特徴とする。

〔作用〕

絶縁板に支持された状態の圧電板を該圧電板側からハー
フカットすることにより、複数個の圧電共振ユニット間
の分離が行われる。すなわち、圧電板を絶縁板で支持し
た状態で加工するものであるため、ハーフカット時に割
れや欠は等が生し難い、また、絶縁板で支持された状態
でハーフカットするものであるため、圧電板部分におい
て連結される共振ユニット間を確実に分離することも可
能であり、よって共振ユニット間の振動の漏洩を効果的
に防止し得る。

〔実施例の説明〕

以下、図面を参照しつつ本発明の圧電共振部品の製造方
法の一実施例を説明する。

まず、第４図（ａ）及び（ｂ）に示すように、両主面に
共振電極が形成された圧電板１１を用意する。なお、第
４図（ｂ）では、下面に形成された導電バクーンを上面
側から透かした向きに図示しである。圧’１Ｊｊｉｌｌ
は、圧電性セラミソクスよりなり、上面に、共振電極１
２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂが形成
されている。

共振電極１２ａ、１２ｂは、エネルギ閉込め型共振ユニ
ット１２を構成するために設けられているものであり、
該共振電極１２ａ、１２ｂが設けられている領域の裏面
には、第４図（ｂ）に示す共通共振電極１２ｃが形成さ
れている。

同様に、共振電極１３ａ、１３ｂが形成されている領域
の裏面には、共通共振電極１３ｃが形成されて共振ユニ
ット１３が構成されている。また、共振電極１４ａ、１
４ｂが形成されている領域の裏面には、共通共振電極１
４ｃが形成されており、それによって共振ユニソト１４
が構成されている。

上記３個のエネルギ閉込め型圧型共振ユニントは、導電
パターン２１．２２で相互に電気的に接続されている。

また、共振電極１２ａ、１４ｂは、それぞれ、圧電板１
１の端縁に沿って形成された入出力用端子電極２３．２
４に導電パターンを介して接続されている。

次に、上記圧電基板１１を、第５図に示す同一平面形状
の絶縁板１５に貼付け、積層基板を得る。

絶縁奢反１５としては、アル５す、フェライトまたはガ
ラス等の絶縁性子オ料よりなるものであって、比較的剛
性の高い材料を用いることが好ましい。

絶縁板１５の上面には、複数個の凹部１６が形成されて
いる。各凹部１６は、圧電板１１に貼付けられたときに
、共振ユニット１２〜１４の共振を妨げないための空間
を与えるために設けられている。

次に、第１図に示すように、積Ｎ基板１７の圧電板側に
スリ７）１８．１９を形成し、複数個の圧電板ユニット
ｌｌａ、ｌｌｂ、ｌｉｅに分割する。このスリット１８
．１９の形成は、圧電亭反１１を絶縁板１５に貼付けた
後に、圧電板１１側かう共振ユニット１２，１３．１４
間において、ハーフカットすることにより形成する。本
実施例では、スリット１８．１９の深さは、圧電板１１
の厚みに相当の深さとされている。

スリット１８．１９を形成することにより、共振電極１
２ｂ、１３ｂに電気的に接続された圧電板１１の端縁近
傍に形威された導電パターン２１が分割されて、端子電
極２１ａ、２１ｂが、それぞれ、各圧電板ユニット１１
ａ、１１ｂのコーナ一部分に形威されている。同様に、
共振電極１３ａ、１４ａに電気的に接続される端子電極
２２ａ。

２２ｂが、圧電仮ユニット１１ｂ、１１ｃのコーナ一部
分に形成されている。

次に、第１図の積層基板１７の上面に、絶縁板１５と同
一の構造の絶縁板を裏向けて接着する。

従って、絶縁板１５に形威された凹部１６が各共振ユニ
ット１２〜１４の上部に被さるように位置されるため、
共振ユニット１２〜１４の上方に共振を妨げないための
空間が形成される。

このようにして、第６図に示す積層体２５が得られる。

積層体２５では、−の側面２５ａに、端子を極２１ａ、
２１ｂが露出されている。また、端子電極２３．２４（
第１図参照）は、積層体２５の側面２５ｂ、２５Ｃに主
として露出されている。同様に、第６図では明らかでは
ないが、第１図の端子電極２２ａ、２２ｂも積層体２５
の側面２５ｄに露出されている。

よって、第７図に示すように、外部電極２６２７．２８
．２９等を付与することにより、各圧電共振ユニット１
２〜１４間を電気的に接続することができる。すなわち
、外部電極２６により、端子電極２１ａ、２１ｂ間が電
気的に接続される。

また、外部電極２７は、積層体２５の下面を経由して、
反対側の側面２５ｄ（第６図参照）上に露出している端
子電極２７ａ（第４図（ｂ）参照）に至るように形威さ
れている。この外部電極２７により、アース電位に接続
される電極が相互に電気的に接続される。また、外部電
極２８．２９は、端子電極２３．　２４　（第１図）に
電気的に接続され、それぞれ入出力電極となる。特に図
示はしないが、第１図の端子電極２２ａ、２２ｂも、積
層体の側面に露出している部分に付与された外部電極に
より互いに電気的に接続されている。

従って、上記圧電共振部品では、第８図に示す回路構成
が実現される。すなわち、３個のエネルギ閉込め型圧電
共振子がコンデンサＣ，，Ｃ，と共に電気的に接続され
た回路が構成されている。

上記実施例では、エネルギ閉込め型共振ユニッ）１２〜
１４が、スリット１８．１９で分離されているため、各
共振ユニット１２〜１４間における振動の漏洩が効果的
に防止される。しかも、上記製造工程の説明から明らか
なように、絶縁板１５に圧電板１１を貼付けてなる積層
基板１７の状態でスリット１８．１９の形成を行うため
、圧電仮に割れの生じる恐れが非常に少ない。同様に、
その後の組立て工程においても絶！ｉ仮１５に接着固定
された状態で行われるため、圧電板の割れが非常に生じ
難くされている。

上述した実施例では、ｌの圧電板１１を絶縁板１５に接
着した後にスリットを形威したが、本実施例の製造方法
は、マザー基板の状態で行ってもよい０例えば、第９図
に示すように、比較的大きな絶縁板３１上に、圧電共振
ユニット１２〜１４が多数組形成されたマザーの圧電板
３２を貼付け、その状態で圧電板側からハーフカットし
てスリットを形威し、しかる後に切断し、第１図に示し
た個々の積層基板１７を得てもよい。さらに、マザーの
状態でスリットを形成した後に上面に比較的大きなマザ
ーの絶縁板を接着し、その後で個別の圧電共振部品ごと
に切断してもよい。

また、上記実施例では、スリ７）１８　１９のを朶さが
、圧電板１１の厚みと等しいン朶さとされていたが、第
１０図に断面図で略図的に示すように、圧電＋ｆｆ１ｌ
ｌの厚みには至らない深さのスリット３３を形成しても
よい。同様に、スリットは圧電板の厚みを越えて′ｉｊ
Ａ縁仮に至る深さとしてもよい。

さらに、第１１図に略図的部分切欠平面図で示すように
、隣接する共振ユニット１２．１３間の領域において圧
電板１１の端縁には至らないスリット３４を形成しても
よい。すなわち、スリットの平面形状は隣接する共振ユ
ニット間を分離することが可能であれば任意である。ス
リ７）の数についても共振子間に複数本人っていてもよ
い。

また、隣接する共振ユニット間の端子電極をスリット形
成後に電気的に接続するに際し、上記実施例では外部電
極を用いていた。例えば、外部電極２６により端子電極
２１ａ、２１ｂが電気的に接続されていた。これに代え
て、第１２図に部分切欠断面図で示すように、隣接する
圧電板ユニッ）１１ａ、ｌｌｂ間において、スリット１
日内に接続電極３５を形成することにより端子電極２１
ａ、２１ｂを電気的に接続してもよい。

接続電極３５は、スリット１６の一部において端子電極
２１ａ、２１ｂ間を電気的に接続するようにさえ形成さ
れれば良く、その形成方法は特に問わない。例えば、導
電性ペーストを印刷することにより、あるいはスパツク
または草着等の薄膜形成法を用いれば容易に形成される
。

なお、第１２図に示したように、スリットの一部を利用
して接続電極３５を形成すれば、マザー基板の状態で、
スリットにより分割された端子電極間を電気的に接続す
ることができる。

また、スリットの形状についても、上記実施例では断面
形状が矩形の溝を示したが、■字型の溝やＵ字型の溝等
、任意の形状及び幅に形成し得る。

さらに、スリットは機械的に形成してもよく、あるいは
レーザ等の光学的な方法により切削して形成してもよく
、さらにエッチャントを用いて化学的に形成してもよい
。

また、隣合う共振ユニット間の振動の漏洩をより確実に
防止するには、スリットの形成に加えて、第１３図に部
分拡大平面図で示すように、−の共振ユニッ１−１２を
取囲むように変質領域３６を圧電板１１に設けてもよい
。変質領域３６は、圧電＋１１１の一部を化学的あるい
は光学的に変質させることにより形成される。このよう
な変質領域３６の平面形状についても図示の円環状のも
のに限らず、角環状等の任意の形状に構成し得る。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、複数個のエネルギ閉込
め型共振ユニットが構成された圧電板が１！！縁板に貼
付けられて積層基板の状態でハーフカットされることに
より、複数個の共振ユニット間が分離される。従って、
絶縁板に支持されて強度が高められているため、従来例
のような分離のためのスリット形成に際しての割れが極
めて生じ難い。また、ハーフカット後の取扱いに際して
も割れが生じ難いため、圧電共振部品の歩留を改善する
ことが可能となる。

また、絶縁板に支持された状態でハーフカットするもの
であるため、隣接する共振ユニット間を確実に分離する
スリットを形成し得る。従って、隣接する共振ユニット
間の振動の漏洩も確実に防止することができ、特性の安
定な圧電共振部品をより確実に得ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の製造方法において積層基板
にスリットを形成した状態を示す斜視図、第２図は従来
の圧電共振部品の平面図、第３図は第２図の圧電共振部
品の回路図、第４図（ａ）は圧電板を説明するための斜
視図、第４図（ｂ）は圧電板の裏面図、第５図は絶縁板
を示す斜視図、第６図は積層基板の上面にさらに絶縁板
を積層した積層体を示す斜視図、第７図は本発明の一実
施例により得た圧電共振部品の斜視図、第８図は第７図
の圧電共振部品の回路図、第９図はマザーの絶縁板にマ
ザーの圧電板を貼合わせた状態を示す斜視図、第１０図
はスリットの他の例を説明するための部分切欠断面図、
第１１図はスリットのさらに他の例を説明するための部
分切欠断面図、第１２図はスリット内に接続電極を形成
した例を説明するための部分切欠断面図、第１３図はス
リ・７トに加えて変質領域を共振ユニットの周囲に形成
した例を説明するための部分切欠平面図である。 図において、１１は圧電板、１２〜１４はエネルギ閉込
め型圧電共振ユニット、１２ａ　　１２ｂ〜１４ａ、１
４ｂは共振電極、１５は絶縁板、１７は積層基板、１８
．１９はハーフカットにより形成されたスリソトを示す
。 第３図 ３Ｃ 湾８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 両主面に共振電極が形成されることにより複数のエネル
   ギ閉込め型共振ユニットが構成された圧電板を用意する
   工程と、 前記圧電板に絶縁板を貼付けて積層基板を得る工程と、 前記複数個の共振ユニット間の領域において、前記積層
   基板を圧電板側からハーフカットする工程とを備えるこ
   とを特徴とする圧電共振部品の製造方法。