JPH0343431Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本考案は、脱気装置などに使用される真空ポン
プ装置に関するものである。

〈従来の技術〉 真空ポンプをはたらかせて真空チヤンバ内を減
圧すると、真空チヤンバ内に水滴が発生し、その
水滴が真空チヤンバと真空ポンプとを接続するパ
イプを通つて真空ポンプ内に浸入しやすく、真空
ポンプ内に水滴が浸入すると、ダイヤフラム式真
空ポンプの場合にはその内部に錆が発生しやすく
なり、オイル式真空ポンプの場合にはオイルと混
合して性能を著しく低下させてしまう不具合があ
つた。

そこで、従来ではダイヤフラム式真空ポンプを
使用する場合には、その構成部品をステンレス材
で作つたり特殊な防錆加工を施こしており、その
結果真空ポンプが非常に高価なものとなる欠点が
あり、又オイル式真空ポンプを使用する場合には
頻繁にオイルを交換しなければならない不便欠点
があつた。

〈考案が解決しようとする問題点〉 本考案はこの様な従来の不便欠点に鑑みてなさ
れたものであり、ダイヤフラム式真空ポンプにお
いてその内部に浸入した水滴を直ちに排出させて
内部を乾燥させることが出来、その結果ダイヤフ
ラム式真空ポンプをステンレス材で構成したり特
殊な防錆加工を施こさずともその内部に錆が発生
する虞れのない真空ポンプ装置を提供せんとする
ものである。

〈問題点を解決するための手段〉 係る目的を達成するための手段として本考案
は、真空チヤンバと真空ポンプとを接続するパイ
プに三方電磁弁を組込み、該三方電磁弁のノーマ
ルクローズ側に真空チヤンバを接続させイン側に
真空ポンプを接続させると共に、前記真空ポンプ
に上記三方電磁弁のノーマルクローズ側を閉じノ
ーマルオープン側を開いた後に所定時間真空ポン
プを動作させるタイマを接続せしめてなる事を特
徴としたものである。

〈作用〉 真空チヤンバ内を減圧させる場合は、三方電磁
弁のノーマルクローズ側（真空チヤンバ側）とイ
ン側（真空ポンプ側）とを導通させ、真空チヤン
バ内が所定の減圧状態になつたら、三方電磁弁の
ノーマルクローズ側（真空チヤンバ側）を閉じて
ノーマルオープン側（大気側）とイン側（真空ポ
ンプ側）とを導通させ、その状態でもつて真空ポ
ンプを、タイマで設定した時間動作を継続させて
真空ポンプ内に大気を供給せしめ、真空ポンプ内
に浸入した水滴を排出すると共に内部を乾燥させ
る。

〈実施例〉 以下、本考案実施の一例を図面に基づいて説明
する。

真空チヤンバ１は脱気装置における真空（減
圧）タンクなど、真空ポンプ２によつて減圧され
るものであり、真空ポンプ２とパイプ３介して連
通接続される。

真空ポンプ２はダイヤフラム式真空ポンプを使
用するが、従来品のようにその構成部品をステン
レス材で作つたり特殊な防錆加工を施す必要は必
ずしもない。

真空ポンプ２と真空チヤンバ１とを接続するパ
イプ３には三方電磁弁４を組込み、この三方電磁
弁４のノーマルクローズ側に真空チヤンバ１を接
続させ、イン側に真空ポンプ２を接続させる。そ
して、真空チヤンバ１内を減圧する時はノーマル
クローズ側（真空チヤンバ１側）とイン側（真空
ポンプ２側）とを連通させ、真空チヤンバ１内が
所定の減圧状態になつたらイン側（真空ポンプ２
側）とノーマルオープン側（大気側）とを導通さ
せて、大気を真空ポンプ２へ供給できるようにす
る。

この三方電磁弁４は真空チヤンバ１と真空ポン
プ２及びタイマ５と共に制御器６と電気的に接続
される。

タイマ５は真空チヤンバ１が三方電磁弁４によ
つて真空ポンプ２と遮断された後、所定時間真空
ポンプ２を動作させるためのものであり、制御器
６に組込まれて真空ポンプ２と電気的に接続され
る。またこのタイマ５は真空ポンプ２内へ浸入し
た水滴の量に応じて真空ポンプ２を動作させる時
間を可変できるように構成されている。

〈考案の効果〉 本考案は斯様に構成したので、真空チヤンバが
真空ポンプと遮断された後も真空ポンプは所定時
間動作を継続することになり、その結果仮に真空
ポンプ内部に水滴が浸入しても、真空ポンプ内に
浸入した水滴は直ちに外へ排出されると共に、電
磁弁からパイプを通つて供給される大気によつて
真空ポンプ内部が直ちに乾燥されることになる。
従つて、従来のように真空ポンプをステンレス材
で構成したり特殊な防錆加工を施さずとも真空ポ
ンプの内部に錆が発生する恐れがなくなる。

しかも、従来のものより極めて安価に製造し
得、その実用的価値は頗る大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案実施の一例を示す模式図である。 図中、１は真空チヤンバ、２は真空ポンプ、３
はパイプ、４は三方電磁弁、５はタイマである。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空チヤンバと真空ポンプとを接続するパイプ
   に三方電磁弁を組込み、該三方電磁弁のノーマル
   クローズ側に真空チヤンバを接続させイン側に真
   空ポンプを接続させると共に、前記真空ポンプに
   上記三方電磁弁のノーマルクローズ側を閉じノー
   マルオープン側を開いた後に所定時間真空ポンプ
   を動作させるタイマを接続せしめてなる事を特徴
   とする真空ポンプ装置。