JPH0343689B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0343689B2 JPH0343689B2 JP12756684A JP12756684A JPH0343689B2 JP H0343689 B2 JPH0343689 B2 JP H0343689B2 JP 12756684 A JP12756684 A JP 12756684A JP 12756684 A JP12756684 A JP 12756684A JP H0343689 B2 JPH0343689 B2 JP H0343689B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- film
- thin film
- vapor
- deposited
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 15
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 13
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 10
- -1 fluoroalkyl carboxylic acid Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 6
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 6
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 13
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 12
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910001860 alkaline earth metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000005019 vapor deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
本発明は、耐摩耗性磁気記録体の製造法に関す
る。従来、磁気記録体の磁性薄膜に耐摩耗性を付
与するため、その磁性薄膜上に、潤滑剤として、
フルオロアルキルカルボン酸、その金属塩、エス
テル、アミド等のフツ素系潤滑剤を溶剤に溶解
し、塗布、浸漬などの手段で、その塗膜を形成し
ていたが、その塗膜は比較的剥がれ易いなどの欠
点を有した。その欠点を改善するため、先に出願
人は、特開昭59−213031号において、フルオロア
ルキルカルボン酸のアルカリ金属塩又はアルカリ
土金属塩を蒸発させこれを磁性薄膜上に形成せし
めた耐摩耗性磁気記録体を提案した。 然し乍ら、かゝるフルオロアルキルカルボン酸
の金属塩を蒸発せしめるには一般に150℃〜350℃
程度の比較的高温に加熱することを要し、熱分解
を発生し、その蒸着膜には潤滑剤として寄与しな
い分解生成物が混入していることがしばしばみら
れることが、その後の検討の結果分つて来た。 本発明は、フルオロアルキルカルボン酸の金属
塩の蒸着膜を、上記の如き分解生成物が混じらな
いより良質の該蒸着膜を磁性薄膜上に形成できる
ようにし耐摩耗性の一層向上した磁気記録体を製
造する方法を提供するもので、アルカリ金属又は
アルカリ土金属の酸化物又は水酸化物とフルオロ
アルキルカルボン酸とを各別に蒸発させ、これら
の蒸気を非磁性基材上に予め形成した磁性薄膜上
において接触反応させ、該磁性薄膜上にその反応
生成物、フルオロアルキルカルボン酸の金属塩の
蒸着薄膜を形成せしめるようにしたことを特徴と
する。 上記の本発明の製造法において、該磁性薄膜上
とは勿論、予め、例えばSiO2,CaO、有機系ポ
リマー等を用いた保護膜を形成してこの膜を介す
る場合をも含む。又上記の接触反応は、必要に応
じ、これらの蒸気が蒸着する過程又は後におい
て、加熱により反応を促進するようにしてもよ
い。而して、磁性薄膜上に、アルカリ金属又はア
ルカリ土金属の蒸着膜とフルオロアルキルカルボ
ン酸の蒸着膜との膜を析出積層させこの状態で相
互に反応させフルオロアルキルカルボン酸の金属
塩を生成せしめるには、前者の膜は2〜20Åの範
囲、後者の膜は50〜500Åの範囲で全体で50〜500
Åの程度と薄いことがその反応生成に好結果が得
られる。 次に本発明の製造法の実施例を添付図面に基き
説明する。 図面は本発明を実施する装置の1例を示し、1
は、真空装置に排気口2を介し接続する真空処理
室。3,4はいづれの方向にも回転可能なローラ
ーを示し、例えばその1方のローラー3をテープ
状の磁気記録体5を巻き付けた巻き解しローラー
3とし、その他方のローラー4を巻き取りローラ
ー4として使用する。該磁気記録体5は、12μm
厚のポリエステルフイルムから成る非磁性基材に
1500Å厚のCo−20Ni−O磁性膜を形成して成り、
常法により作成したもので、これをローラー3に
ロール状に用意し、ローラー3,4の中間に設け
た金属製円胴状キヤン6の周面を介してその他方
のローラー4に巻き付けて張設用意する。該キヤ
ン6は、必要に応じ内部に熱媒を供給され150℃
までの適宜の温度に加熱されるようにつくられて
いる。該キヤン6の最下端には垂直に仕切板7を
設け、その1側にはアルカリ金属又はアルカリ土
金属の水酸化物又は酸化物aを入れたるつぼなど
から成る第1蒸発源8を設け、これを抵抗加熱式
或は電子ビーム加熱式(図示しない)により加熱
し蒸発せしめるようにする。その水酸化物の場合
は、一般に抵抗加熱式を用い、酸化物の場合は電
子ビーム加熱式を用いて蒸発せしめる。又該仕切
板7の他側には、フルオロアルキルカルボン酸b
を入れたるつぼなどから成る第2蒸発源9を設け
る。図示例では、Ta線ヒーターからのふく射熱
により加熱して蒸発させるようにした。10は、
回動キヤン6の下端両側に配置した防着板を示
す。該仕切板7は、固定式か上下動自在の可動式
のいづれでもよい。かくして該仕切板7が図示の
ようにその上端がキヤン6上を移行する磁気テー
プ5面に略近接して設けられたときは、その両側
の第1及び第2蒸発源8,9の蒸気は互に混じる
ことなく、その磁気テープ5の移行方向に従つ
て、その磁性膜上に、先づそのいづれか1方の蒸
着膜を形成し、次でその蒸着膜上に他方の蒸着膜
が形成されその積層膜相互の反応が行なわれるこ
ととなり、その仕切板7を下方に移行させその仕
切を解除するときは、その両側の蒸発源8,9か
らの蒸気は、そのテープ5に蒸着する過程で両者
の反応が行なわれることになる。この場合、両者
の反応を促進するにはキヤン6の加熱により、そ
の熱がテープ5を介して両積層に伝わり反応が促
進される。又、別の加熱手段として、該巻き取り
ローラー3又は4から、蒸着処理した磁気テープ
をはづし、別の真空室内又は大気中でオーブンな
どの加熱器により加熱し反応を促進できる。 上記の装置を使用し、次のように実施する。即
ち、ローラー3より磁気テープ5を巻き解し、回
動キヤン6の周面を介して一定速度で移行させロ
ーラー4に巻き付けるようにし、その移行途上に
おいて、その仕切板7の左側において、その下向
きの磁性膜面に蒸発源8からの蒸気aを蒸着せし
めその第1蒸着層を形成せしめ、次でこれが仕切
板7の右側に移行したとき、蒸発源9からそのフ
ルオロアルキルカルボン酸の種類に応じ約60〜
150℃に加熱してその蒸気bをその第1蒸着層の
上面に蒸着せしめてその第2蒸着層を重合形成す
る。然るときは、この両積層間に反応がおこり、
その反応生成物であるフルオロアルキルカルボン
酸の金属塩の薄膜が磁性膜を被覆結着したものと
なりローラー4に巻き取り、製造を完了する。
尚、この間、特に反応の比較的おそいアルカリ土
金属の酸化物の蒸着層の場合は、キヤン6を加熱
しその磁気テープ5の磁性膜の温度を適宜の温度
に昇温しておくことが好ましい。加熱の場合、反
応生成物の熱分解が生じない。好ましくは150℃
を越えない温度に保持することが好ましい。又、
その両種蒸気a,bの蒸着層が前記と反対でも同
様の良好な結果が得られる。この場合は、勿論、
磁気テープの送行方向を前記とは逆にする。尚、
図示しないが、かゝる2種の蒸着層の積層手段
は、各別の真空蒸発処理室を設け、順次蒸着させ
たり、同一の室内で先づ1種の蒸着を行ない次で
その蒸着テープを反対方向に移行させて次の他種
の蒸着を行なうようにする等任意である。 上記の装置と方法を使用して下記表に示す如
き、各種の試料No.1〜No.9を得た。比較のため、
フルオロアルキルカルボン酸の金属塩を直接蒸発
原料とした場合の参考例として試料No.10,No.11を
作成した。この場合は、第2蒸発源9のみを使用
した。 これらの試料の耐摩耗性につき、ビデオテープ
として使用した場合の、実用上重要なスチル再生
寿命を測定した。その結果を下記表に示す。
る。従来、磁気記録体の磁性薄膜に耐摩耗性を付
与するため、その磁性薄膜上に、潤滑剤として、
フルオロアルキルカルボン酸、その金属塩、エス
テル、アミド等のフツ素系潤滑剤を溶剤に溶解
し、塗布、浸漬などの手段で、その塗膜を形成し
ていたが、その塗膜は比較的剥がれ易いなどの欠
点を有した。その欠点を改善するため、先に出願
人は、特開昭59−213031号において、フルオロア
ルキルカルボン酸のアルカリ金属塩又はアルカリ
土金属塩を蒸発させこれを磁性薄膜上に形成せし
めた耐摩耗性磁気記録体を提案した。 然し乍ら、かゝるフルオロアルキルカルボン酸
の金属塩を蒸発せしめるには一般に150℃〜350℃
程度の比較的高温に加熱することを要し、熱分解
を発生し、その蒸着膜には潤滑剤として寄与しな
い分解生成物が混入していることがしばしばみら
れることが、その後の検討の結果分つて来た。 本発明は、フルオロアルキルカルボン酸の金属
塩の蒸着膜を、上記の如き分解生成物が混じらな
いより良質の該蒸着膜を磁性薄膜上に形成できる
ようにし耐摩耗性の一層向上した磁気記録体を製
造する方法を提供するもので、アルカリ金属又は
アルカリ土金属の酸化物又は水酸化物とフルオロ
アルキルカルボン酸とを各別に蒸発させ、これら
の蒸気を非磁性基材上に予め形成した磁性薄膜上
において接触反応させ、該磁性薄膜上にその反応
生成物、フルオロアルキルカルボン酸の金属塩の
蒸着薄膜を形成せしめるようにしたことを特徴と
する。 上記の本発明の製造法において、該磁性薄膜上
とは勿論、予め、例えばSiO2,CaO、有機系ポ
リマー等を用いた保護膜を形成してこの膜を介す
る場合をも含む。又上記の接触反応は、必要に応
じ、これらの蒸気が蒸着する過程又は後におい
て、加熱により反応を促進するようにしてもよ
い。而して、磁性薄膜上に、アルカリ金属又はア
ルカリ土金属の蒸着膜とフルオロアルキルカルボ
ン酸の蒸着膜との膜を析出積層させこの状態で相
互に反応させフルオロアルキルカルボン酸の金属
塩を生成せしめるには、前者の膜は2〜20Åの範
囲、後者の膜は50〜500Åの範囲で全体で50〜500
Åの程度と薄いことがその反応生成に好結果が得
られる。 次に本発明の製造法の実施例を添付図面に基き
説明する。 図面は本発明を実施する装置の1例を示し、1
は、真空装置に排気口2を介し接続する真空処理
室。3,4はいづれの方向にも回転可能なローラ
ーを示し、例えばその1方のローラー3をテープ
状の磁気記録体5を巻き付けた巻き解しローラー
3とし、その他方のローラー4を巻き取りローラ
ー4として使用する。該磁気記録体5は、12μm
厚のポリエステルフイルムから成る非磁性基材に
1500Å厚のCo−20Ni−O磁性膜を形成して成り、
常法により作成したもので、これをローラー3に
ロール状に用意し、ローラー3,4の中間に設け
た金属製円胴状キヤン6の周面を介してその他方
のローラー4に巻き付けて張設用意する。該キヤ
ン6は、必要に応じ内部に熱媒を供給され150℃
までの適宜の温度に加熱されるようにつくられて
いる。該キヤン6の最下端には垂直に仕切板7を
設け、その1側にはアルカリ金属又はアルカリ土
金属の水酸化物又は酸化物aを入れたるつぼなど
から成る第1蒸発源8を設け、これを抵抗加熱式
或は電子ビーム加熱式(図示しない)により加熱
し蒸発せしめるようにする。その水酸化物の場合
は、一般に抵抗加熱式を用い、酸化物の場合は電
子ビーム加熱式を用いて蒸発せしめる。又該仕切
板7の他側には、フルオロアルキルカルボン酸b
を入れたるつぼなどから成る第2蒸発源9を設け
る。図示例では、Ta線ヒーターからのふく射熱
により加熱して蒸発させるようにした。10は、
回動キヤン6の下端両側に配置した防着板を示
す。該仕切板7は、固定式か上下動自在の可動式
のいづれでもよい。かくして該仕切板7が図示の
ようにその上端がキヤン6上を移行する磁気テー
プ5面に略近接して設けられたときは、その両側
の第1及び第2蒸発源8,9の蒸気は互に混じる
ことなく、その磁気テープ5の移行方向に従つ
て、その磁性膜上に、先づそのいづれか1方の蒸
着膜を形成し、次でその蒸着膜上に他方の蒸着膜
が形成されその積層膜相互の反応が行なわれるこ
ととなり、その仕切板7を下方に移行させその仕
切を解除するときは、その両側の蒸発源8,9か
らの蒸気は、そのテープ5に蒸着する過程で両者
の反応が行なわれることになる。この場合、両者
の反応を促進するにはキヤン6の加熱により、そ
の熱がテープ5を介して両積層に伝わり反応が促
進される。又、別の加熱手段として、該巻き取り
ローラー3又は4から、蒸着処理した磁気テープ
をはづし、別の真空室内又は大気中でオーブンな
どの加熱器により加熱し反応を促進できる。 上記の装置を使用し、次のように実施する。即
ち、ローラー3より磁気テープ5を巻き解し、回
動キヤン6の周面を介して一定速度で移行させロ
ーラー4に巻き付けるようにし、その移行途上に
おいて、その仕切板7の左側において、その下向
きの磁性膜面に蒸発源8からの蒸気aを蒸着せし
めその第1蒸着層を形成せしめ、次でこれが仕切
板7の右側に移行したとき、蒸発源9からそのフ
ルオロアルキルカルボン酸の種類に応じ約60〜
150℃に加熱してその蒸気bをその第1蒸着層の
上面に蒸着せしめてその第2蒸着層を重合形成す
る。然るときは、この両積層間に反応がおこり、
その反応生成物であるフルオロアルキルカルボン
酸の金属塩の薄膜が磁性膜を被覆結着したものと
なりローラー4に巻き取り、製造を完了する。
尚、この間、特に反応の比較的おそいアルカリ土
金属の酸化物の蒸着層の場合は、キヤン6を加熱
しその磁気テープ5の磁性膜の温度を適宜の温度
に昇温しておくことが好ましい。加熱の場合、反
応生成物の熱分解が生じない。好ましくは150℃
を越えない温度に保持することが好ましい。又、
その両種蒸気a,bの蒸着層が前記と反対でも同
様の良好な結果が得られる。この場合は、勿論、
磁気テープの送行方向を前記とは逆にする。尚、
図示しないが、かゝる2種の蒸着層の積層手段
は、各別の真空蒸発処理室を設け、順次蒸着させ
たり、同一の室内で先づ1種の蒸着を行ない次で
その蒸着テープを反対方向に移行させて次の他種
の蒸着を行なうようにする等任意である。 上記の装置と方法を使用して下記表に示す如
き、各種の試料No.1〜No.9を得た。比較のため、
フルオロアルキルカルボン酸の金属塩を直接蒸発
原料とした場合の参考例として試料No.10,No.11を
作成した。この場合は、第2蒸発源9のみを使用
した。 これらの試料の耐摩耗性につき、ビデオテープ
として使用した場合の、実用上重要なスチル再生
寿命を測定した。その結果を下記表に示す。
【表】
上記表から明らかなように、本発明によるフル
オロアルキルカルボン酸の金属塩をもつ磁気記録
体は、先に提案のフルオロアルキルカルボン酸の
金属塩を蒸発させこれを蒸着して製造する磁気記
録体に比しスチル再生寿命を著しく向上したもの
が得られる。尚本発明によるその反応生成膜の厚
さは300Å以下であることが好ましい。 このように本発明によるときは、アルカリ金属
又はアルカリ土金属の酸化物又は水酸化物とフル
オロアルキルカルボン酸とを蒸発させ、その両者
を反応を介して磁性膜上にその反応生成物である
フルオロアルキルカルボン酸の金属塩を形成する
ようにしたので、直接フルオロアルキルカルボン
酸の金属塩を蒸発させこれを蒸着せしめるように
したものに比し、著しく耐摩耗性を向上させるこ
とができる効果を有する。
オロアルキルカルボン酸の金属塩をもつ磁気記録
体は、先に提案のフルオロアルキルカルボン酸の
金属塩を蒸発させこれを蒸着して製造する磁気記
録体に比しスチル再生寿命を著しく向上したもの
が得られる。尚本発明によるその反応生成膜の厚
さは300Å以下であることが好ましい。 このように本発明によるときは、アルカリ金属
又はアルカリ土金属の酸化物又は水酸化物とフル
オロアルキルカルボン酸とを蒸発させ、その両者
を反応を介して磁性膜上にその反応生成物である
フルオロアルキルカルボン酸の金属塩を形成する
ようにしたので、直接フルオロアルキルカルボン
酸の金属塩を蒸発させこれを蒸着せしめるように
したものに比し、著しく耐摩耗性を向上させるこ
とができる効果を有する。
図面は本発明を実施する装置の1例の断面図を
示す。 1……真空処理室、3,4……ローラー、5…
…磁気記録体、6……キヤン、7……仕切板、8
……第1蒸発源、9……第2蒸発源、a……アル
カリ金属又はアルカリ土金属の酸化物又は水酸化
物、b……フルオロアルキルカルボン酸。
示す。 1……真空処理室、3,4……ローラー、5…
…磁気記録体、6……キヤン、7……仕切板、8
……第1蒸発源、9……第2蒸発源、a……アル
カリ金属又はアルカリ土金属の酸化物又は水酸化
物、b……フルオロアルキルカルボン酸。
Claims (1)
- 1 アルカリ金属又はアルカリ土金属の酸化物又
は水酸化物とフルオロアルキルカルボン酸とを各
別に蒸発させ、これらの蒸気を非磁性基材上に予
め形成した磁性薄膜上において接触反応させ、該
磁性薄膜上にその反応生成物、フルオロアルキル
カルボン酸の金属塩の薄膜を形成せしめるように
したことを特徴とする耐摩耗性磁気記録体の製造
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12756684A JPS618731A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 耐摩耕性磁気記録体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12756684A JPS618731A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 耐摩耕性磁気記録体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS618731A JPS618731A (ja) | 1986-01-16 |
| JPH0343689B2 true JPH0343689B2 (ja) | 1991-07-03 |
Family
ID=14963206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12756684A Granted JPS618731A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | 耐摩耕性磁気記録体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS618731A (ja) |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP12756684A patent/JPS618731A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS618731A (ja) | 1986-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4543275A (en) | Method of forming thin vapor deposited film of organic material | |
| JPS58111127A (ja) | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 | |
| US5460853A (en) | System and method for multilayer film production on tape substrate | |
| JPH0343689B2 (ja) | ||
| JPH0343690B2 (ja) | ||
| JPS6082663A (ja) | 混合物薄膜製造の方法および装置 | |
| JPS5850628A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| SU618452A1 (ru) | Способ получени фольги | |
| JPS61278032A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 | |
| JPS59154642A (ja) | 耐摩耗性磁気記録体並にその製造法 | |
| JPS5939664B2 (ja) | 金属箔の表面に太陽熱選拓吸収皮膜を形成する方法 | |
| JPS6124023A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0121534B2 (ja) | ||
| JPS61163272A (ja) | 薄膜の製造方法及び該方法に使用する装置 | |
| JPH0338650B2 (ja) | ||
| JPS59203223A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH04110752U (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPS63145775A (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPS59157844A (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH03291376A (ja) | 真空蒸着方法および装置 | |
| JPS60121522A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS61214116A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS6045271B2 (ja) | 真空蒸着装置 | |
| JPS60167120A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH06101120B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |