JPS6124023A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野および目的〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法に関し、その目的とするところは、耐久性
に優れた前記の磁気記録媒体の製造方法を提供すること
にある。

〔背景技術〕

強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記録媒体は、
通常、金属もしくはそれらの合金などを真空蒸着等によ
ってポリエステルフィルムなどの基板上に被着してつ（
られ、高密度記録に適した特性を有するが、反面磁気ヘ
ッドとの′摩擦係数が大き（て摩耗や損傷を受は易く、
耐久性に劣るという難点がある。

このため、従来から強磁性金属薄膜層上に種々の保護層
を設けるなどして摩擦係数を低減し、耐久性を改善する
ことが行われており、たとえば、強磁性金属薄膜層上に
種々の潤滑剤を塗布するか、あるいは強磁性金属薄膜層
の表面をプラズマ酸化した後、この上に高級脂肪酸等を
蒸着する（特開昭５７−１６４４３１号）などの方法で
保護層を設けることが試みられている。

ところが、この強磁性金属薄膜層上に潤滑剤を塗布する
方法では、強磁性金属薄膜層を形成した後、これを取り
出して、別個の工程で潤滑剤を塗布し、乾燥しなければ
ならないという不便がある上、真空環境下から外気中に
取り出され′Ｃ潤清剤の塗布が行われるため、強磁性金
属薄膜層表面が腐食あるいは異物の付着等によって変質
し、充分に良好な耐久性が得られない。また強磁性金属
薄膜層の表面をプラズマ酸化した後脂肪酸等を蒸着する
方法では、酸素プラズマ中にさらして酸化する場合の真
空度が、強磁性材を真空蒸着する場合の真空度と大きく
異なるため、真空蒸着装置とは別個のプラズマ処理装置
を用いるか、あるいは同じ真空蒸着装置を用いる場合に
は差圧室を設けなければならないなどの不便がある。

〔発明の概要〕

この発明はかかる欠点を改善するため種々検討を行った
結果なされたもので、真空槽内に、円筒状キャンの周側
面に沿って移動する基板と、この基板の移動方向に沿っ
て順次に基板と対向する強磁性材蒸発源と脂肪酸蒸発源
とを配設し、真空雰囲気下で強磁性材蒸発源から強磁性
材の蒸気流を基板に差し向けて基板上に強磁性金属薄膜
層を形成した後、引き続いて脂肪酸蒸発源から脂肪酸の
蒸気流を差し向けることによって、同一の”真空槽内で
、差圧室などを設けることなく、しかも一工程で、迅速
か・つ効率よく強磁性金属薄膜層上に脂肪酸からなる保
護層を設け、強磁性金属薄膜層の耐久性を充分に向上さ
せたものである。

この発明によれば、脂肪酸蒸発源を真空槽内の基板の移
動方向に沿って強磁性材蒸発源の次に位置するように配
設し、この脂肪酸蒸発源でもって、真空蒸着によって基
板上に形成された強磁性金属ｉ１１！膜層に、同じ真空
雰囲気下という非常に低いガス圧下で引き続いて脂肪酸
の蒸気流を差し向けているため、同一の真空槽内で、差
圧室を設けることもなく、一工程で迅速かつ効率よく、
脂肪酸を強磁性金属薄膜層上に真空蒸着させることがで
き、潤滑性に優れた脂肪酸からなる保護層を形成して、
強磁性金属薄膜層の耐久性を充分に向上することができ
る。また保護層の形成が同一の真空槽内で一工程で行わ
れるため、生産性を大きく向上することができ、さらに
強磁性金属薄膜層表面が腐食あるいは異物の付着によっ
て変質することもない。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図は真空蒸着装置の断面図を示したものであり、１
は真空槽でこの真空槽１の内部は仕切板２によって区画
分離され、それぞれ排気系３および４により真空に保持
される。５は真空槽１の中央部に前記区画分離された２
室に跨がり配設された円筒状キャンであり、ポリエステ
ルフィルム等の基板６は原反ロール７よりこの円筒状キ
ャン５の周側面に沿って移動し、巻き取りロール８に巻
き取られる。この間円筒状キャン５の周側面に沿って移
動する基板６に対向して真空槽ｌの下部に配設された強
磁性材蒸発源９で強磁性材１０が加熱蒸発され、蒸気流
Ａが基板６に差し向けられて蒸着が行われ、基板６上に
強磁性金属薄膜層が形成される。次いで、強磁性金属薄
膜層が形成された基板６が円筒状キャン５の周側面を移
動して、円筒状キャン５の直下に配設された防着板１１
の上に至ると、防着板ｌｌ上に配設された脂肪酸蒸発源
１２で脂肪酸１３が加熱蒸発され、蒸気流Ｂが基板６・
に差し向けられて蒸着が行われ、基板６上の強磁性金属
薄膜層上に脂肪酸からなる保護層が形成される。１４は
、脂肪酸蒸発源１２の次に円筒状キャン５の周側面を移
動する基板６と対向するように真空槽１内に配設された
赤外線加熱装置であり、脂肪酸からなる保護層が形成さ
れた基板６はこの赤外線加熱装置１４によって加熱され
る。このように保護層が形成された後、赤外線加熱装置
１４によって加熱が行われると、保護層の強磁性金属薄
膜層に対する接着性が良好になり、保護層の効果が良好
に発揮されて耐久性が一段と向上される。゛なお、この
赤外線加熱装置１４によヮて加熱処理を行わなくても、
充分な耐久性が得られるため、この赤外線加熱装置１４
での加熱処理は必ずしも必要ではない。

ここで脂肪酸蒸発源１２で加熱蒸発されて使用される脂
肪酸としては、炭素数が１２以上の高級脂肪酸が好まし
く使用され、たとえば、ステアリン酸、オレイン酸、パ
ルミチン酸、ミリスチン酸、ラウリン酸などが挙げられ
る。これらの高級脂肪酸は優れた潤滑性を有し、また強
磁性金属薄膜層との親和性もよいため、脂肪酸蒸発源１
２で加熱蒸発して真空蒸着すると、強磁性金属薄膜層の
表面に強固に結合して潤滑性に優れた保護層が良好に形
成され、摩擦係数が低減されて耐摩耗性が充分に向上さ
れる。またこの脂肪酸蒸発源１２から脂肪酸１３を加熱
蒸発させて行う蒸着は、強磁性材の真空蒸着を行う場合
と同じ真空雰囲気下でおこなわれるため、真空槽１内に
差圧室を設ける必要もなく、同じ真空雰囲気下で強磁性
材を真空蒸着して強磁性金属薄膜層を形成した後、引き
続いて脂肪酸の真空蒸着により脂肪酸からなる保護層を
形成することができ、便利で生産性も向上する。

このように強磁性材の真空蒸着と脂肪酸の真空蒸着を同
時に行う際の真空蒸着は、１ｘｔｏ−！ｉトール以下ψ
真空雰囲気下で行うのが好ましく、脂肪酸は、抵抗加熱
など適宜加熱手段により２０〜３５０℃の温度で加熱蒸
発させて行うのが好ましい。このようにして形成される
脂肪酸からなる保ｌ［Ｍの膜厚は、３人より薄いと耐摩
耗性が充分に改善されず、５００人″より厚くするとス
ペーシングロスが大きくなって電磁変換特性社悪影響を
及ぼすため３〜５００人の範囲内となるようにするのが
好ましく、１０〜２００人の範囲内となるようにするの
がより好ましい。このようにして形成された脂肪酸から
なる保護層は脂肪酸の優れた潤滑効果が充分に発揮され
、摩擦係数が充分に低減されて、強磁性金属薄膜層の耐
摩耗性が充分に向上される。

基板としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等、一般に使用されている高分子成形物からなるプラス
チックフィルム、および銅などの非磁性金属からなる金
属フィルムが使用され、また強磁性金属薄膜層の形成材
料としては、Ｃ０２ＦｅＳＮｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ合金など一
般に真空蒸着に使用される強磁性材がいずれも使用され
る。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図に示す真空蒸着装置を使用し、厚さ１３μのポリ
エステルフィルム６を原反ロール７から円筒状キャン５
の周側面に沿って移動させ、巻き取りロール８に巻き取
るようにセントするとともに、強磁性材蒸発源９にコバ
ルト１０をセットし、脂肪酸蒸発源１２にステアリン酸
１３をセットした。次いで、真空槽１内を排気系３およ
び４でｌＸｌ０Ｊｉ）−ルにまで真空排気し、強磁性材
蒸発源９でコバルト１０を加熱蒸発させてポリエステル
フィルム６上に厚さ１５００人のコバルトからなる強磁
性金属薄膜層を形成した。引き続いて脂肪酸蒸発源１２
でステアリン酸を加熱蒸発させて、強磁性金属薄膜層上
にステアリン酸からなる厚さ２００人の保護層を形成し
た。次いで赤外線加熱装置１４で１００℃で加熱、した
。しかる後、所定の巾に裁断して第２図に示すようなポ
リエステルフィルム６上に強磁性金属薄膜層１５、保護
層１６を順次に積層形成した磁気テープｄをつくった。

実施例２ 実施例１において、脂肪酸蒸発源１２に、ステアリン酸
に代えて、ミリスチン酸を使用した以外は実施例１と同
様にして真空蒸着を行い、強磁性金属薄膜層上にミリス
チン酸からなる厚さが２００人の保護層が形成された磁
気テープＣをつくった。

実施例３ 実施例１において、強磁性材蒸発源９に、コバルトに代
えて、コバルト−ニッケル合金（重量比８５：１５）を
使用した以外は実施例１を同様にして真空蒸着を行い、
ポリエステルフィルム６上に厚さが１５００人のコバル
ト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層が形成され
、さらにその上にステアリン酸からなる厚さが２００人
の保護層が形成された磁気テープＣをつくった。

実施例４ 実施例２において、強磁性材蒸発源９に、コバルトに代
えて、コバルト−ニッケル合金（重量比８５’：１５）
を使用した以外は実施例２と同様にして真空蒸着を行い
、ポリエステルフィルム６上に厚さが１５００人のコバ
ルト−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層が形成さ
れ、さらにその上にミリスチン酸からなる厚さが２００
人の保護層が形成された磁気テープＣをつくった。

実施例５ 実施例Ｊにおいて、赤外線加熱装置での加熱処理を省い
た以外は、実施例１と同様にして磁気テープＣをつくっ
た。

実施例６ 実施例２において、赤外線加熱装置での加熱処理を省い
た以外は、実施例２と同様にして磁気テープＣをつくっ
た。

比較例１ 実施例１において、ステアリン酸の真空蒸着と赤外線加
熱装置での加熱処理を省いた以外は、実施例１と同様に
して厚さが１５００人のコバルトからなる強磁性金属薄
膜層を形成し、次いで、これを真空蒸着装置から取り出
した後、下記の組成の保護層溶液を強磁性金属薄膜層上
に塗布、乾燥して厚さが２００人のステアリン酸からな
る保護層を形成した。しかる後所定の幅に裁断して磁気
テープをつくった。

保護層溶液 ステアリン酸　　　　　　　　　　１重量部メチルエチ
ルケトン　　　　　　５００〃トルエン　　　　　　　
　　　　５００〃比較例２ 実施例５において、ステアリン酸の真空蒸着を省いた以
外は実施例５と同様にして磁気テープをつくった。

比較例３ 実施例６において、ミリスチン酸の真空蒸着を省いた以
外は実施例６と同様にして磁気テープをつくった。

各実施例および各比較例で得られた磁気テープについて
、耐久性を調べるためスチール特性試験を行った。スチ
ール特性試験は、得られた磁気テープをビデオレコーダ
に装填し、静止画像を再生してその持続時間を測定して
行った。

下表はその結果である。

表 〔発明の効果〕 上表から明らかなように、この発明で得られた磁気テー
プ（実施例ｒ〜６）は、いずれも比較例１ないし３で得
られた磁気テープに比し、スチール時間が長く、このこ
とからこの発明によって得られる磁気記録媒体は耐摩耗
性が良好で耐久性に優れていることがわかる。また、こ
の発明の製造方法によれば、保護層の形成が同一の真空
槽内で一工程で行われ、生産性も大きく向上されること
がわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法を実施するために使用する
真空蒸着装置の概略断面図、第２図はこの発明の製造方
法で得られた磁気テープの部分拡大断面図である。 １・・・真空槽、５・・・円筒状キャン、６・・・基板
、９・・・強磁性材蒸発源、ｌＯ・・・強磁性材、１２
・・・脂肪酸蒸発源、１３・・・脂肪酸、１５・・・強
磁性金属薄膜層、１６・・・保護層、Ａ・・・強磁性材
の蒸気流、Ｂ・・・脂肪酸の蒸気流、Ｃ・・・磁気テー
プ（磁気記録媒体）第１図 ３．５７ケー、　　　第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空槽内に、円筒状キャンの周側面に沿って移動す
   る基板と、この基板の移動方向に沿って順次に基板と対
   向する強磁性材蒸発源と脂肪酸蒸発源とを配設し、真空
   雰囲気下で強磁性材蒸発源から強磁性材の蒸気流を基板
   に差し向けて基板上に強磁性金属薄膜層を形成し、次い
   でこの強磁性金属薄膜層に脂肪酸蒸発源から脂肪酸の蒸
   気流を差し向けて強磁性金属薄膜層上に脂肪酸からなる
   保護層を設けることを特徴とする磁気記録媒体の製造方
   法